專利名稱：旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種傳動(dòng)設(shè)備，尤其涉及一種將旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)密封地傳遞至液態(tài)環(huán)境的傳動(dòng)設(shè)備。
背景技術(shù)：
隨著科學(xué)技術(shù)的迅猛發(fā)展，對(duì)工業(yè)工藝要求日益增高，真空技術(shù)在高科技產(chǎn)業(yè)化的發(fā)展中展現(xiàn)出廣闊的應(yīng)用前景，尤其體現(xiàn)在對(duì)真空環(huán)境要求極高的數(shù)碼顯示面板產(chǎn)業(yè)中。例如，薄膜晶體管顯不屏(LCD-TFT, Liquid Crystal Display-Thin Film Transistor) >有機(jī)發(fā)光顯示器件(OLED, Organic Light-Emitting Diode)面板、太陽能電池板及其他類似者的制程中，由于此類制程的工藝要求比較嚴(yán)格，即必須在真空狀態(tài)下以及完全潔凈的空間環(huán)境中進(jìn)行。例如，在IXD-TFT、OLED及太陽能電池板的制程中，光刻是必不可少的步驟，光刻生產(chǎn)的目標(biāo)是根據(jù)設(shè)計(jì)的要求，生成尺寸精確的特征圖形，一般的光刻工藝要經(jīng)歷·玻璃基片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對(duì)準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕、檢測(cè)等工序；其中，蝕刻也稱光化學(xué)蝕刻(photochemical etching),是指通過曝光制版、顯影后，將要蝕刻區(qū)域的保護(hù)膜去除，在蝕刻時(shí)接觸化學(xué)溶液，達(dá)到溶解腐蝕的作用，形成凹凸或者鏤空成型的效果。因此，蝕刻等步驟都是在帶有腐蝕性的液體環(huán)境下進(jìn)行的，而在實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化生產(chǎn)的設(shè)備中，常需要在液體環(huán)境下傳輸玻璃基片，或進(jìn)行閥門開啟等動(dòng)作，在這些動(dòng)作的輸入過程中，對(duì)設(shè)備的密封性也提出更高的要求。在上述制程中，液態(tài)環(huán)境下的密封傳輸凸顯了其重要意義，液態(tài)環(huán)境下的密封傳輸往往考驗(yàn)著用于整個(gè)制程的真空系統(tǒng)的可靠性?，F(xiàn)有的用于液態(tài)環(huán)境下的密封傳輸設(shè)備，在真空腔室內(nèi)設(shè)置有大量的滾輪、滾珠頂桿和吸盤，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)復(fù)雜，為了保證整個(gè)傳送系統(tǒng)的同步運(yùn)行，一般采用一個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)腔室內(nèi)部的所有傳送滾輪同步轉(zhuǎn)動(dòng)，利用摩擦力勻速傳送玻璃基片等，由于傳動(dòng)機(jī)構(gòu)復(fù)雜，在將外部旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳輸至密封腔體內(nèi)的液態(tài)環(huán)境時(shí)，隨著傳輸機(jī)構(gòu)的運(yùn)行，密封腔體內(nèi)的液體會(huì)慢慢通過傳輸軸浸出密封腔體外，造成污染，并影響真空環(huán)境的密封性。因此，有必要提供一種高清潔度、高密封性、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低廉的傳動(dòng)設(shè)備來解決現(xiàn)有技術(shù)的不足。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種高清潔度、高密封性、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低廉的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)設(shè)備。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案為提供一種旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)設(shè)備，密封地安裝于盛有液體的密封腔體上，用于將旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)密封地傳輸至液態(tài)環(huán)境，所述密封腔體的側(cè)壁上開設(shè)有安裝孔，所述旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)設(shè)備包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、聯(lián)軸器、傳動(dòng)軸、傳動(dòng)齒輪及密封機(jī)構(gòu)，所述密封機(jī)構(gòu)密封地安裝于所述側(cè)壁上的安裝孔內(nèi)，所述密封機(jī)構(gòu)上開設(shè)有連通所述密封腔體的連接孔，所述密封機(jī)構(gòu)上還開設(shè)有連通所述連接孔的壓縮空氣入口，所述傳動(dòng)軸密封地穿設(shè)于所述連接孔內(nèi)，且所述傳動(dòng)軸的伸入所述密封腔體內(nèi)的一端安裝有所述傳動(dòng)齒輪，所述傳動(dòng)軸的另一端伸出所述密封機(jī)構(gòu)外并與所述聯(lián)軸器的一端連接，所述聯(lián)軸器的另一端與所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的輸出軸連接，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過所述聯(lián)軸器帶動(dòng)所述傳動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述傳動(dòng)軸帶動(dòng)所述傳動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)從而將所述旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳輸至液態(tài)環(huán)境。較佳地，所述密封機(jī)構(gòu)包括密封連接件、密封壓板、軸承、軸套、第一密封環(huán)及第二密封環(huán)，所述密封連接件上開設(shè)有所述連接孔及所述壓縮空氣入口，所述密封連接件密封地安裝于所述安裝孔內(nèi)并伸入所述密封腔體內(nèi)，且具有所述壓縮空氣入口的一端位于所述密封腔體外，所述軸承設(shè)置于所述連接孔內(nèi)，所述密封壓板密封地安裝于所述密封連接件的位于所述密封腔體外的端部，且所述密封壓板上開設(shè)有與所述連接孔相對(duì)應(yīng)的通孔，所述軸套、第一密封環(huán)及第二密封環(huán)均套設(shè)于所述傳動(dòng)軸上，且所述軸套位于所述第一密封環(huán)與所述第二密封環(huán)之間，所述傳動(dòng)軸依次穿過所述通孔及所述連接孔伸入所述密封腔體內(nèi)，且所述傳動(dòng)軸承載于所述軸承上；通過壓縮空氣入口進(jìn)入連接孔的壓縮空氣，在第一密封環(huán)與第二密封環(huán)之間形成高壓環(huán)境，因此，在傳輸旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的過程中，即使第一密封環(huán)、第二密封環(huán)有少許的磨損，連接孔內(nèi)的高壓環(huán)境也可有效防止液體通過傳動(dòng)軸浸出到外密 封腔體之外，形成良好的動(dòng)密封。較佳地，所述連接孔貫穿所述密封連接件的前后兩端，所述密封連接件的中部向外凸伸出一連接部，所述密封連接件的前端伸入所述密封腔體內(nèi)，所述連接部與所述密封腔體的側(cè)壁密封地連接，所述密封連接件的后端位于所述密封腔體外，所述壓縮空氣入口開設(shè)于所述密封連接件的后端。較佳地，所述第一密封環(huán)壓入所述密封壓板的通孔內(nèi)，所述第二密封環(huán)壓入所述密封連接件的連接孔內(nèi)，且所述第二密封環(huán)壓入所述密封連接件的前端，所述第一密封環(huán)及第二密封環(huán)均與所述傳動(dòng)軸過盈配合，第一密封環(huán)及第二密封環(huán)均采用耐磨橡膠制成，并均與傳動(dòng)軸過盈配合，因此，與傳動(dòng)軸之間形成良好的動(dòng)密封，密封性好且耐用。較佳地，所述軸承包括兩個(gè)，兩所述軸承均設(shè)置于所述連接孔內(nèi)，且兩軸承設(shè)置于所述第一密封環(huán)與所述第二密封環(huán)之間。較佳地,所述軸套包括外軸套及內(nèi)軸套,所述內(nèi)軸套套設(shè)于所述傳動(dòng)軸上,所述外軸套套設(shè)于所述內(nèi)軸套外，且所述外軸套及內(nèi)軸套均位于兩所述軸承之間。較佳地，所述密封機(jī)構(gòu)還包括第一密封圈及第二密封圈，所述第一密封圈設(shè)于所述密封壓板與所述密封連接件之間，所述第二密封圈設(shè)置于所述連接部與所述密封腔體的側(cè)壁之間，通過第一密封圈及第二密封圈密封連接，使密封腔體及密封連接件均保持靜密封狀態(tài)，提高密封性能。較佳地，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為伺服電機(jī)，伺服電機(jī)響應(yīng)速度快、精度高，能將輸入的控制電壓信號(hào)平穩(wěn)快速轉(zhuǎn)換為電機(jī)軸上的機(jī)械輸出量，使得基片在傳送的過程中快速有效、精確且平穩(wěn)可靠。與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于本實(shí)用新型的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)設(shè)備，包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、聯(lián)軸器、傳動(dòng)軸、傳動(dòng)齒輪及密封機(jī)構(gòu)，所述密封機(jī)構(gòu)密封地安裝于所述密封腔體的安裝孔內(nèi)，所述密封機(jī)構(gòu)上開設(shè)有連通所述密封腔體的連接孔，所述密封機(jī)構(gòu)上還開設(shè)有連通所述連接孔的壓縮空氣入口，所述傳動(dòng)軸密封地穿設(shè)于所述連接孔內(nèi)，且所述傳動(dòng)軸的伸入所述密封腔體內(nèi)的一端安裝有所述傳動(dòng)齒輪，所述傳動(dòng)軸的另一端伸出所述密封機(jī)構(gòu)外并與所述聯(lián)軸器的一端連接，所述聯(lián)軸器的另一端與所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的輸出軸連接，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過所述聯(lián)軸器帶動(dòng)所述傳動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述傳動(dòng)軸帶動(dòng)所述傳動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)從而將所述旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)密封地傳輸至液態(tài)環(huán)境，通過壓縮空氣入口將壓縮空氣壓入密封機(jī)構(gòu)的連接孔內(nèi)，從而使所述連接孔內(nèi)保持高壓環(huán)境，有效防止液體通過傳動(dòng)軸浸出到密封腔體之外，形成良好的動(dòng)密封，且密封機(jī)構(gòu)密封地安裝于所述密封腔體的安裝孔內(nèi)，有效避免外部環(huán)境給密封腔體內(nèi)帶來的污染，使真空環(huán)境保持良好的氣密性及高清潔度，且該旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)設(shè)備的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低廉。

圖I是本實(shí)用新型旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是圖I中A部分的放大示意圖。
具體實(shí)施方式
·[0017]現(xiàn)在參考附圖描述本實(shí)用新型的實(shí)施例，附圖中類似的元件標(biāo)號(hào)代表類似的元件。如圖I、圖2所示，本實(shí)用新型所提供的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)設(shè)備I，密封地安裝于盛有液體的密封腔體2上，用于將密封腔體2外的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)密封地傳輸至液態(tài)環(huán)境，具體地，所述密封腔體2的側(cè)壁21上開設(shè)有安裝孔211，所述旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)設(shè)備I密封地安裝于所述安裝孔211內(nèi)，且其一端伸入密封腔體2內(nèi)的液體中，另一端位于密封腔體2外。如圖I、圖2所示,所述旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)設(shè)備I包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)10、聯(lián)軸器20、傳動(dòng)軸30、傳動(dòng)齒輪40及密封機(jī)構(gòu)50，所述密封機(jī)構(gòu)50上開設(shè)有貫穿其前后兩端的連接孔511，所述密封機(jī)構(gòu)50的后端還開設(shè)有連通所述連接孔511的壓縮空氣入口 512，所述密封機(jī)構(gòu)50密封地安裝于所述側(cè)壁21上的安裝孔211內(nèi)，其前端伸入密封腔體2內(nèi)，其后端位于密封腔體2外，所述連接孔511與密封腔體2連通，所述傳動(dòng)軸30密封地穿設(shè)于所述連接孔511內(nèi)，且傳動(dòng)軸30的一端伸入密封腔體2內(nèi)的液體中，傳動(dòng)軸30的另一端位于密封機(jī)構(gòu)50之外，所述傳動(dòng)軸30的伸入所述密封腔體2內(nèi)的一端安裝有傳動(dòng)齒輪40，所述傳動(dòng)軸30的位于所述密封機(jī)構(gòu)50外的一端與所述聯(lián)軸器20的一端連接，所述聯(lián)軸器20的另一端與所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)10的輸出軸連接，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)10通過所述聯(lián)軸器20帶動(dòng)所述傳動(dòng)軸30轉(zhuǎn)動(dòng)，所述傳動(dòng)軸30帶動(dòng)所述傳動(dòng)齒輪40轉(zhuǎn)動(dòng)從而將所述旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳輸至液態(tài)環(huán)境。繼續(xù)結(jié)合圖I、圖2所示，所述密封機(jī)構(gòu)50包括密封連接件51、密封壓板52、兩軸承53a、53b、內(nèi)軸套54a、外軸套54b、第一密封環(huán)55a、第二密封環(huán)55b、第一密封圈56a及第二密封圈56b。所述密封連接件51上開設(shè)有所述連接孔511，且連接孔511貫穿密封連接件51的前后兩端，所述密封連接件51的中部向外凸伸出一連接部513，所述密封連接件51的前端伸入所述密封腔體2內(nèi)，所述連接部513與所述密封腔體2的側(cè)壁21密封地連接，且所述第二密封圈56b設(shè)置于所述連接部513與所述密封腔體2的側(cè)壁21之間，所述連接部513與側(cè)壁21之間通過第二密封圈56b密封連接，保持良好的靜密封。所述密封連接件51的后端位于所述密封腔體2外，且所述壓縮空氣入口 512開設(shè)于所述密封連接件51的后端，該壓縮空氣入口 512與連接孔511相連通。另外，在連接孔511內(nèi)還設(shè)置有所述軸承53a、53b，兩所述軸承53a、53b間隔的設(shè)置于連接孔511內(nèi)，具體地，一軸承53a設(shè)置于密封連接件51的后端，另一軸承53b設(shè)置于靠近密封連接件51的前端的位置處。所述密封壓板52安裝于所述密封連接件51的后端，且密封壓板52與密封連接件51之間通過第一密封圈56a密封連接，在所述密封壓板52上開設(shè)有與所述連接孔511相對(duì)應(yīng)的通孔521 ;所述第一密封環(huán)55a壓入所述密封壓板52的通孔521內(nèi)，所述第二密封環(huán)55b壓入所述密封連接件51的連接孔511內(nèi)，且所述第二密封環(huán)55b壓入所述密封連接件51的前端端部，因此，兩軸承53a、53b設(shè)置于所述第一密封環(huán)55a與所述第二密封環(huán)55b之間。所述內(nèi)軸套54a套設(shè)于所述傳動(dòng)軸30上，所述外軸套54b套設(shè)于所述內(nèi)軸套54a外。安裝時(shí)，所述傳動(dòng)軸30依次穿過所述通孔521及所述連接孔511伸入所述密封腔體2內(nèi)，且所述傳動(dòng)軸30承載于所述軸承53a、53b上，并使所述外軸套54b及內(nèi)軸套54a均位于兩軸承53a、53b之間，并且所述第一密封環(huán)55a及第二密封環(huán)55b均與所述傳動(dòng)軸30過盈配合，第一密封環(huán)55a及第二密封環(huán)55b均采用耐磨橡膠制成，因此，與傳動(dòng)軸30之間形成良 好的動(dòng)密封，密封性好且耐用；通過壓縮空氣入口 512進(jìn)入連接孔511的壓縮空氣，在第一密封環(huán)55a與第二密封環(huán)55b之間形成高壓環(huán)境，因此，在傳輸旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的過程中，即使第一密封環(huán)55a、第二密封環(huán)55b有少許的磨損，連接孔511內(nèi)的高壓環(huán)境也可有效防止液體通過傳動(dòng)軸30浸出到外密封腔體2之外，形成良好的動(dòng)密封。優(yōu)選地，所述密封連接件51為密封法蘭，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)10為伺服電機(jī)，伺服電機(jī)響應(yīng)速度快、精度高，能將輸入的控制電壓信號(hào)平穩(wěn)快速轉(zhuǎn)換為電機(jī)軸上的機(jī)械輸出量，使得基片在傳送的過程中快速有效、精確且平穩(wěn)可靠。結(jié)合圖I、圖2所示，在蝕刻等工序中需在液態(tài)環(huán)境下傳輸玻璃基片時(shí)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)10通過聯(lián)軸器20帶動(dòng)傳動(dòng)軸30轉(zhuǎn)動(dòng)，傳動(dòng)軸30再帶動(dòng)傳動(dòng)齒輪40運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而將旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳輸至密封腔體2內(nèi)的液態(tài)環(huán)境中，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)玻璃基片等在液態(tài)環(huán)境下的傳輸。由于通過所述壓縮空氣入口 512壓入壓縮空氣到連接孔511內(nèi)，使第一密封環(huán)55a與第二密封環(huán)55b之間形成高壓環(huán)境，因此，在傳輸旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的過程中，密封腔體2內(nèi)的液體不會(huì)通過傳動(dòng)軸30浸出到外密封腔體2之外，形成良好的動(dòng)密封；同時(shí)，密封壓板52與密封連接件51之間通過第一密封圈56a密封連接，密封連接件51與密封腔體2的側(cè)壁21之間通過第二密封圈56b密封連接，形成良好的靜態(tài)密封。由于本實(shí)用新型的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)設(shè)備1，包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)10、聯(lián)軸器20、傳動(dòng)軸30、傳動(dòng)齒輪40及密封機(jī)構(gòu)50，所述密封機(jī)構(gòu)50密封地安裝于所述密封腔體2的安裝孔211內(nèi)，所述密封機(jī)構(gòu)50上開設(shè)有連通所述密封腔體2的連接孔511，所述密封機(jī)構(gòu)50上還開設(shè)有連通所述連接孔511的壓縮空氣入口 512，所述傳動(dòng)軸30密封地穿設(shè)于所述連接孔511內(nèi)，且所述傳動(dòng)軸30的伸入所述密封腔體2內(nèi)的一端安裝有所述傳動(dòng)齒輪40，所述傳動(dòng)軸30的另一端伸出所述密封機(jī)構(gòu)50外并與所述聯(lián)軸器20的一端連接，所述聯(lián)軸器20的另一端與所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)10的輸出軸連接，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)10通過所述聯(lián)軸器20帶動(dòng)所述傳動(dòng)軸30轉(zhuǎn)動(dòng)，所述傳動(dòng)軸30帶動(dòng)所述傳動(dòng)齒輪40轉(zhuǎn)動(dòng)從而將所述旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳輸至液態(tài)環(huán)境，而通過壓縮空氣入口 512可將壓縮空氣壓入密封機(jī)構(gòu)50的連接孔511內(nèi)，從而使所述連接孔511內(nèi)保持高壓環(huán)境，有效防止液體通過傳動(dòng)軸30浸出到外密封腔體2之外，形成良好的動(dòng)密封，且密封機(jī)構(gòu)50密封地安裝于所述密封腔體2的安裝孔211內(nèi)，有效避免外部環(huán)境給密封腔體2內(nèi)帶來的污染，使真空環(huán)境保持良好的氣密性及高清潔度。本實(shí)用新型旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)設(shè)備I不限于對(duì)玻璃基片在液態(tài)環(huán)境下的傳輸，還可根據(jù)實(shí)際需要，用于相類似的其他平板物件在液態(tài)環(huán)境下的傳輸。以上所揭露的僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，當(dāng)然不能以此來限定本實(shí)用新 型之權(quán)利范圍，因此依本實(shí)用新型申請(qǐng)專利范圍所作的等同變化，仍屬本實(shí)用新型所涵蓋的范圍。
權(quán)利要求1.一種旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)設(shè)備，密封地安裝于盛有液體的密封腔體上，用于將旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)密封地傳輸至液態(tài)環(huán)境，所述密封腔體的側(cè)壁上開設(shè)有安裝孔，其特征在于所述旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)設(shè)備包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、聯(lián)軸器、傳動(dòng)軸、傳動(dòng)齒輪及密封機(jī)構(gòu)，所述密封機(jī)構(gòu)密封地安裝于所述側(cè)壁上的安裝孔內(nèi)，所述密封機(jī)構(gòu)上開設(shè)有連通所述密封腔體的連接孔，所述密封機(jī)構(gòu)上還開設(shè)有連通所述連接孔的壓縮空氣入口，所述傳動(dòng)軸密封地穿設(shè)于所述連接孔內(nèi)，且所述傳動(dòng)軸的伸入所述密封腔體內(nèi)的一端安裝有所述傳動(dòng)齒輪，所述傳動(dòng)軸的另一端伸出所述密封機(jī)構(gòu)外并與所述聯(lián)軸器的一端連接，所述聯(lián)軸器的另一端與所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的輸出軸連接，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過所述聯(lián)軸器帶動(dòng)所述傳動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述傳動(dòng)軸帶動(dòng)所述傳動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)從而將所述旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳輸至液態(tài)環(huán)境。
2.如權(quán)利要求I所述的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)設(shè)備，其特征在于所述密封機(jī)構(gòu)包括密封連接件、密封壓板、軸承、軸套、第一密封環(huán)及第二密封環(huán)，所述密封連接件上開設(shè)有所述連接孔及所述壓縮空氣入口，所述密封連接件密封地安裝于所述安裝孔內(nèi)并伸入所述密封腔體內(nèi)，且具有所述壓縮空氣入口的一端位于所述密封腔體外，所述軸承設(shè)置于所述連接孔內(nèi)，所述密封壓板密封地安裝于所述密封連接件的位于所述密封腔體外的端部，且所述密封壓板上開設(shè)有與所述連接孔相對(duì)應(yīng)的通孔，所述軸套、第一密封環(huán)及第二密封環(huán)均套設(shè)于所述傳動(dòng)軸上，且所述軸套位于所述第一密封環(huán)與所述第二密封環(huán)之間，所述傳動(dòng)軸依次穿過所述通孔及所述連接孔伸入所述密封腔體內(nèi)，且所述傳動(dòng)軸承載于所述軸承上。
3.如權(quán)利要求2所述的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)設(shè)備，其特征在于所述連接孔貫穿所述密封連接件的前后兩端，所述密封連接件的中部向外凸伸出一連接部，所述密封連接件的前端伸入所述密封腔體內(nèi)，所述連接部與所述密封腔體的側(cè)壁密封地連接，所述密封連接件的后端位于所述密封腔體外，所述壓縮空氣入口開設(shè)于所述密封連接件的后端。
4.如權(quán)利要求2所述的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)設(shè)備，其特征在于所述第一密封環(huán)壓入所述密封壓板的通孔內(nèi)，所述第二密封環(huán)壓入所述密封連接件的連接孔內(nèi)，且所述第二密封環(huán)壓入所述密封連接件的前端，所述第一密封環(huán)及第二密封環(huán)均與所述傳動(dòng)軸過盈配合。
5.如權(quán)利要求4所述的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)設(shè)備，其特征在于所述軸承包括兩個(gè)，兩所述軸承均設(shè)置于所述連接孔內(nèi)，且兩軸承設(shè)置于所述第一密封環(huán)與所述第二密封環(huán)之間。
6.如權(quán)利要求5所述的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)設(shè)備,其特征在于所述軸套包括外軸套及內(nèi)軸套，所述內(nèi)軸套套設(shè)于所述傳動(dòng)軸上，所述外軸套套設(shè)于所述內(nèi)軸套外，且所述外軸套及內(nèi)軸套均位于兩所述軸承之間。
7.如權(quán)利要求3所述的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)設(shè)備，其特征在于所述密封機(jī)構(gòu)還包括第一密封圈及第二密封圈，所述第一密封圈設(shè)于所述密封壓板與所述密封連接件之間，所述第二密封圈設(shè)置于所述連接部與所述密封腔體的側(cè)壁之間。
8.如權(quán)利要求I所述的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)設(shè)備，其特征在于所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為伺服電機(jī)。
專利摘要本實(shí)用新型公開一種旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)設(shè)備，包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、聯(lián)軸器、傳動(dòng)軸、傳動(dòng)齒輪及密封機(jī)構(gòu)，密封機(jī)構(gòu)密封地安裝于密封腔體側(cè)壁上，其上開設(shè)有連接孔及壓縮空氣入口，傳動(dòng)軸密封地穿設(shè)于連接孔內(nèi)，且其一端安裝有傳動(dòng)齒輪，另一端與聯(lián)軸器的一端連接，聯(lián)軸器的另一端與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的輸出軸連接，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過聯(lián)軸器帶動(dòng)傳動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，傳動(dòng)軸帶動(dòng)傳動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)從而將旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)密封地傳輸至液態(tài)環(huán)境，通過壓縮空氣入口將壓縮空氣壓入連接孔內(nèi)，使連接孔內(nèi)保持高壓環(huán)境，有效防止液體通過傳動(dòng)軸浸出到密封腔體外，形成良好的動(dòng)密封，密封機(jī)構(gòu)密封地安裝有效避免外部環(huán)境給密封腔體內(nèi)帶來污染，使密封腔體保持良好的氣密性及高清潔度，且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低廉。
文檔編號(hào)F16J15/16GK202629027SQ201220224168
公開日2012年12月26日 申請(qǐng)日期2012年5月17日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月17日
發(fā)明者余超平, 李思述, 范振華 申請(qǐng)人:東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司