專利名稱：一種真空壓力調(diào)節(jié)閥的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種真空壓力調(diào)節(jié)閥技術(shù)領(lǐng)域[0001 ] 本發(fā)明涉及閥門技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種壓力調(diào)節(jié)閥。
背景技術(shù)：
[0002]真空壓力調(diào)節(jié)閥是真空設(shè)備上必不可少的部件，用來調(diào)節(jié)真空設(shè)備的壓強(qiáng)，其操作的可控性和穩(wěn)定性直接影響真空設(shè)備的使用性能。真空壓力調(diào)節(jié)閥一般通過調(diào)節(jié)閥口流導(dǎo)大小來調(diào)節(jié)反應(yīng)室真空度，流導(dǎo)是真空管道、孔、擋板、阱及閥門等元件傳輸氣體的能力。 一般閥門的最小可控流導(dǎo)越小，閥的靈敏度越高，因此真空壓力調(diào)節(jié)閥設(shè)計(jì)過程中需盡可能增大閥芯厚度，同時(shí)又要顧及到閥芯在閥腔內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)自如，間隙不能過小，因此要求閥腔、 閥芯和閥桿具有較高的精度，這就給設(shè)計(jì)和制造帶來了難度。實(shí)用新型內(nèi)容[0003]本實(shí)用新型提供一種真空壓力調(diào)節(jié)閥，包括閥體、閥芯、閥桿、軸承、壓力傳感器、 PLC系統(tǒng)、電位器、電機(jī)和封堵，所述閥體內(nèi)設(shè)置有閥芯和閥桿，所述閥桿穿過閥芯，其一端與所述軸承連接，其特征在于所述閥桿另一端與壓力傳感器連接，所述壓力傳感器還與 PLC系統(tǒng)連接，PLC系統(tǒng)分別通過導(dǎo)線與電位器、電機(jī)連接，所述封堵設(shè)置在閥體端部。[0004]本實(shí)用新型的有益效果為閥體設(shè)置有PLC系統(tǒng)，PLC能通過采集壓力傳感器所檢測到的真空室實(shí)際壓力值，與設(shè)定值比較，然后調(diào)節(jié)閥桿位置，來調(diào)節(jié)閥口流導(dǎo)大小，使真空室達(dá)到設(shè)定值，簡化了傳動(dòng)及定位機(jī)構(gòu)，整個(gè)過程快速自動(dòng)實(shí)現(xiàn)對閥門的調(diào)節(jié)，精度較高，同時(shí)采用電機(jī)作動(dòng)力源，經(jīng)濟(jì)、實(shí)用。整個(gè)閥結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，適合廣泛推廣。


[0005]圖I為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
[0006]
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步解釋說明。[0007]圖I中1_閥體、2-閥芯、3-閥桿、4-軸承、5-壓力傳感器、6-PLC系統(tǒng)、7-電位器、 8_電機(jī)、9_封堵。[0008]在本實(shí)用新型中，閥芯2和閥桿3設(shè)置在閥體I內(nèi)，閥桿3穿過閥芯2，其一端與軸承4連接，另一端與壓力傳感器5連接，壓力傳感器5與PLC系統(tǒng)6相連接，PLC系統(tǒng)6分別與電位器7和電機(jī)8連接，在閥體I端部還設(shè)置有封堵9。[0009]使用例[0010]本實(shí)用新型在使用時(shí)，啟動(dòng)電機(jī)，閥芯2在閥桿3的帶動(dòng)下開始運(yùn)轉(zhuǎn)，同時(shí)對壓力傳感器5產(chǎn)生力的作用,壓力傳感器5將測到的壓力值傳輸至PLC系統(tǒng)6中,PLC系統(tǒng)6將接受到的壓力值與設(shè)定值比較后判斷閥芯2位置，再根據(jù)電位器7輸出電壓，給電機(jī)8指令，從而進(jìn)一步調(diào)整閥桿的運(yùn)動(dòng)。[0011]以上對本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)說明，但所述內(nèi)容僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，不能被認(rèn)為用于限定本實(shí)用新型的實(shí)施范圍。凡依本實(shí)用新型申請范圍所作的均等變化與改進(jìn)等，均應(yīng)仍歸屬于本實(shí)用新型的專利涵蓋范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1. 一種真空壓力調(diào)節(jié)閥，包括閥體(I)、閥芯(2)、閥桿(3)、軸承(4)、壓力傳感器(5)、 PLC系統(tǒng)(6)、電位器(7)、電機(jī)(8)和封堵(9)，所述閥體(I)內(nèi)設(shè)置有閥芯(2)和閥桿(3)， 所述閥桿(3)穿過閥芯(2)，其一端與所述軸承(4)連接，其特征在于所述閥桿(3)另一端與壓力傳感器(5)連接，所述壓力傳感器(5)還與PLC系統(tǒng)(6)連接，PLC系統(tǒng)(6)分別通過導(dǎo)線與電位器(7 )、電機(jī)(8 )連接，所述封堵(9 )設(shè)置在閥體(I)端部。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種真空壓力調(diào)節(jié)閥，包括閥體、閥芯、閥桿、軸承、壓力傳感器、PLC系統(tǒng)、電位器、電機(jī)和封堵，所述閥體內(nèi)設(shè)置有閥芯和閥桿，所述閥桿穿過閥芯，其一端與所述軸承連接，其特征在于所述閥桿另一端與壓力傳感器連接，所述壓力傳感器還與PLC系統(tǒng)連接，PLC系統(tǒng)分別通過導(dǎo)線與電位器、電機(jī)連接，所述封堵設(shè)置在閥體端部。閥體設(shè)置有PLC系統(tǒng)，PLC能通過采集壓力傳感器所檢測到的真空室實(shí)際壓力值，與設(shè)定值比較，然后調(diào)節(jié)閥桿位置，來調(diào)節(jié)閥口流導(dǎo)大小，使真空室達(dá)到設(shè)定值，簡化了傳動(dòng)及定位機(jī)構(gòu)，整個(gè)過程快速自動(dòng)實(shí)現(xiàn)對閥門的調(diào)節(jié)，精度較高，同時(shí)采用電機(jī)作動(dòng)力源，經(jīng)濟(jì)、實(shí)用。整個(gè)閥結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，適合廣泛推廣。
文檔編號F16K51/02GK202746762SQ201220318510
公開日2013年2月20日 申請日期2012年7月3日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月3日
發(fā)明者蔡敏, 唐廣勇 申請人:天津市金佳同達(dá)科技有限公司