專利名稱：化學品供應系統(tǒng)的管路接頭連接裝置的制作方法
技術領域：
化學品供應系統(tǒng)的管路接頭連接裝置[技術領域][0001]本實用新型涉及半導體制作裝置技術領域，具體地說是一種化學品供應系統(tǒng)的管路接頭連接裝置。[背景技術][0002]在半導體集成電路的制造過程中，需要大量的化學藥品。這些化學藥品基本都為腐蝕性、毒性、堿性及易燃性的液體。通常來說，這些化學藥品進配制后都儲存在原液桶中， 需要使用化學品時，通過化學品供應系統(tǒng)的管道從所述原液桶中抽取化學藥品以供使用。 為整個半導體集成電路的制造廠區(qū)提供必要的化學品，即使是短期的停機也會造成巨大的損失。所以對化學品供應系統(tǒng)的要求非常嚴格，尤其是管路這塊更要確?；瘜W品正常穩(wěn)定輸送。由于化學品供應系統(tǒng)要對多臺機器供應化學品，所以會有很條錯綜復雜的管路，這些管路的接頭之間通過管路接頭連接裝置實現(xiàn)管路接頭連接處密封連接。[0003]目前，現(xiàn)有的管路接頭連接裝置，均為普通的構件，很難適用于這種特殊領域的化學品供應系統(tǒng)的管路接頭連接?，F(xiàn)已使用的管路接頭連接裝置，使用周期短，而且使用一段時間后由于老化，結構變形，容易出現(xiàn)連接松動，導致管內液體流量發(fā)生變化，造成化學品供應流量監(jiān)控系統(tǒng)出現(xiàn)誤差，甚至會出現(xiàn)泄漏安全隱患。[實用新型內容][0004]本實用新型的目的就是要解決上述的不足而提供一種化學品供應系統(tǒng)的管路接頭連接裝置。[0005]為實現(xiàn)上述目的設計一種化學品供應系統(tǒng)的管路接頭連接裝置，包括接頭本體、 螺母，所述接頭本體前端設有螺紋接頭，所述螺紋接頭螺紋連接螺母，所述螺紋接頭內部設有套筒，所述套筒外圍與螺紋接頭之間留有間隙，所述套筒與接頭本體內部相聯(lián)通，所述螺紋接頭與螺母之間的連接螺紋為梯形螺紋結構，所述螺紋接頭與接頭本體連接處設有環(huán)形面，所述環(huán)形面與螺母端面端面相接觸。[0006]所述套筒的端部外周設有圓弧面突起，所述套筒內、外表面襯套有耐腐層。[0007]所述套筒采用剛性材料制成。[0008]本實用新型同現(xiàn)有技術相比，結構新穎、簡單，使用壽命長，由于采用了階梯螺紋 (內外螺紋以錐面貼近，所以不易松動，牙根強度高，對中心好)，并且螺母端面與接頭本體有接觸，抗拉力強，提高了防松脫的摩擦力，對振動所產生的松脫現(xiàn)象，可以降到最低；套筒采用剛性材料制成，其內、外表面襯套有耐腐層，所以耐腐蝕，剛性強，不易變形，液體流量平穩(wěn)，氣密性高，不會出現(xiàn)泄漏現(xiàn)象。[
][0009]圖I是本實用新型的結構示意圖；[0010]圖中1為接頭本體、2為螺紋接頭、3為螺母、4為管子、5為套筒、6為突起、7為環(huán)形面。[具體實施方式
][0011]
以下結合附圖對本實用新型作以下進一步說明[0012]如附圖所示，本實用新型包括接頭本體I、螺母3，所述接頭本體I前端設有螺紋接頭2，所述螺紋接頭2螺紋連接螺母3，所述螺紋接頭2內部設有套筒5，所述套筒5外圍與螺紋接頭2之間留有間隙，所述套筒5與接頭本體I內部相聯(lián)通，所述螺紋接頭2與螺母 3之間的連接螺紋為梯形螺紋結構，所述螺紋接頭2與接頭本體I連接處設有環(huán)形面7，所述環(huán)形面7與螺母端面端面相接觸。所述套筒5的端部外周設有圓弧面突起6，所述套筒內 5、外表面襯套有耐腐層。所述套筒5采用剛性材料制成。[0013]本實用新型并不受上述實施方式的限制，其他的任何未背離本實用新型的精神實質與原理下所作的改變、修飾、替代、組合、簡化，均應為等效的置換方式，都包含在本實用新型的保護范圍之內。
權利要求1.一種化學品供應系統(tǒng)的管路接頭連接裝置，包括接頭本體、螺母，所述接頭本體前端設有螺紋接頭，所述螺紋接頭螺紋連接螺母，所述螺紋接頭內部設有套筒，所述套筒外圍與螺紋接頭之間留有間隙，所述套筒與接頭本體內部相聯(lián)通，其特征在于所述螺紋接頭與螺母之間的連接螺紋為梯形螺紋結構，所述螺紋接頭與接頭本體連接處設有環(huán)形面，所述環(huán)形面與螺母端面端面相接觸。
2.如權利要求I所述的管路接頭連接裝置，其特征在于所述套筒的端部外周設有圓 弧面突起，所述套筒內、外表面襯套有耐腐層。
3.如權利要求2所述的管路接頭連接裝置，其特征在于所述套筒采用剛性材料制成。
專利摘要本實用新型涉及半導體制作裝置技術領域，具體地說是一種化學品供應系統(tǒng)的管路接頭連接裝置，包括接頭本體、螺母，所述接頭本體前端設有螺紋接頭，所述螺紋接頭螺紋連接螺母，所述螺紋接頭內部設有套筒，所述套筒外圍與螺紋接頭之間留有間隙，所述螺紋接頭與螺母之間的連接螺紋為梯形螺紋結構，所述螺紋接頭與接頭本體連接處設有環(huán)形面，所述環(huán)形面與螺母端面端面相接觸；本實用新型由于采用了階梯螺紋，并且螺母端面與接頭本體有接觸，抗拉力強，提高了防松脫的摩擦力，對振動所產生的松脫現(xiàn)象，可以降到最低；套筒采用剛性材料制成，其內、外表面襯套有耐腐層，所以耐腐蝕，剛性強，不易變形，液體流量平穩(wěn)，氣密性高，不會出現(xiàn)泄漏現(xiàn)象。
文檔編號F16L19/02GK202812536SQ20122046193
公開日2013年3月20日 申請日期2012年9月11日 優(yōu)先權日2012年9月11日
發(fā)明者簡建至, 胡厚福 申請人:冠禮控制科技(上海)有限公司