專利名稱：一種化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)用閥箱的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
—種化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)用閥箱[技術(shù)領(lǐng)域][0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)用閥箱。[背景技術(shù)][0002]隨著我國半導(dǎo)體行業(yè)的繼續(xù)發(fā)展，芯片生產(chǎn)線在我國也已開始越來越規(guī)?；淠康氖菍崿F(xiàn)對芯片上的雜質(zhì)、微粒子進行清洗等。而作為半導(dǎo)體制程前端的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，其工作中的任何問題都可能會造成無法估量的損失，因此為了不斷提高化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性，半導(dǎo)體制造廠商已越來越重視該制程中的每一個化學(xué)品供應(yīng)設(shè)備。 根據(jù)目前化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)所使用的情況，現(xiàn)有技術(shù)中基本是一個閥箱對應(yīng)一個化學(xué)品分配出口，至多可以一個閥箱對應(yīng)兩個化學(xué)品分配出口，而若需要提供更多個化學(xué)品分配出口時，只能增加閥箱的數(shù)量，從而成本非常高，且結(jié)構(gòu)也更復(fù)雜，安裝更麻煩，還占用了現(xiàn)場大量的場地，使用非常不方便，尤其是非常不經(jīng)濟。為了解決此類問題，人們一直在尋求一種更理想的技術(shù)解決方案。[實用新型內(nèi)容][0003]本實用新型的目的就是要解決上述的不足而提供一種化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)用閥箱，結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)計合理，只需要一個閥箱即可實現(xiàn)多個化學(xué)品分配出口，從而降低了成本，節(jié)約了場地，安裝和使用也都非常方便。[0004]為實現(xiàn)上述目的設(shè)計一種化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)用閥箱，包括箱體I和箱體蓋2，所述箱體I與箱體蓋2密封連接，所述箱體I內(nèi)設(shè)置有手動閥3和氣動閥4，所述手動閥3與氣動閥4通過管道5連接，所述箱體I上端設(shè)有進口 6，所述箱體I上端還設(shè)有至少兩個以上出口 7，所述箱體I的進口 6與出口 7之間通過管道5循環(huán)連接，所述手動閥3和氣動閥4設(shè)置在管道5中，所述箱體I側(cè)面設(shè)有排氣口 8。[0005]所述箱體I內(nèi)側(cè)下方設(shè)置有泄漏偵測器。[0006]所述箱體I與箱體蓋2之間設(shè)有O型密封圈。[0007]所述箱體I包括內(nèi)箱體和外箱體。[0008]本實用新型同現(xiàn)有技術(shù)相比，結(jié)構(gòu)新穎、簡單，設(shè)計合理，構(gòu)思巧妙，只需要一個閥箱即可實現(xiàn)多個化學(xué)品分配出口，從而降低了成本，節(jié)約了現(xiàn)場的場地，安裝和使用也都非常方便；并且，由于在箱體內(nèi)側(cè)下方設(shè)置有泄漏偵測器，該泄漏偵測器的利用，使得即使微小流量的泄露也可以被快速地檢測到，從而實現(xiàn)了對現(xiàn)場終端制程設(shè)備安全可控的化學(xué)品的分配作業(yè)；此外，本實用新型所述閥箱的管道及箱體結(jié)構(gòu)均采用模塊化設(shè)計，維護非常方便，值得推廣應(yīng)用。[
][0009]圖I是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；[0010]圖中1、箱體2、箱體蓋3、手動閥4、氣動閥5、管道6、進口 7、出口 8、排氣口。[具體實施方式
][0011]
以下結(jié)合附圖對本實用新型作以下進一步說明[0012]如附圖所示，本實用新型包括箱體I和箱體蓋2，所述箱體I與箱體蓋2密封連接，所述箱體I與箱體蓋2之間設(shè)有O型密封圈，利用該O型密封圈，實現(xiàn)了箱體與箱體蓋之間的密封連接，所述箱體I內(nèi)設(shè)置有手動閥3和氣動閥4，所述手動閥3與氣動閥4通過管道5連接，所述箱體I上端設(shè)有進口 6，所述箱體I上端還設(shè)有至少兩個以上出口 7，所述箱體I的進口 6與出口 7之間通過管道5循環(huán)連接，所述手動閥3和氣動閥4設(shè)置在管道 5中，所述箱體I側(cè)面設(shè)有排氣口 8。[0013]本實用新型中，箱體I內(nèi)側(cè)下方設(shè)置有泄漏偵測器，該泄漏偵測器的利用，使得即使微小流量的泄露也可以被快速地檢測到，從而實現(xiàn)了對現(xiàn)場終端制程設(shè)備安全可控的化學(xué)品的分配作業(yè)。[0014]本實用新型所述的閥箱實現(xiàn)了單個閥箱多路化學(xué)品分配出口，該化學(xué)品分配出口可為4路或4路以上，以最大可多至6路化學(xué)品分配出口為佳。該閥箱主要包括手動閥、氣動閥、管接頭和管道標準化安裝面板等，其箱體包括內(nèi)箱體和外箱體，外箱體主要起防護作用，內(nèi)箱體和外箱體采用PP材質(zhì)制成，箱體蓋采用CPVC材質(zhì)制成，管道采用PFA材質(zhì)制成。[0015]本實用新型并不受上述實施方式的限制，其他的任何未背離本實用新型的精神實質(zhì)與原理下所作的改變、修飾、替代、組合、簡化，均應(yīng)為等效的置換方式，都包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)用閥箱，包括箱體(I)和箱體蓋(2)，其特征在于所述箱體(I)與箱體蓋(2 )密封連接，所述箱體(I)內(nèi)設(shè)置有手動閥(3 )和氣動閥(4 )，所述手動閥(3 )與氣動閥(4 )通過管道(5 )連接，所述箱體(I)上端設(shè)有進口( 6 )，所述箱體(I)上端還設(shè)有至少兩個以上出口(7)，所述箱體(I)的進口(6)與出口(7)之間通過管道(5)循環(huán)連接，所述手動閥(3)和氣動閥(4)設(shè)置在管道(5)中，所述箱體(I)側(cè)面設(shè)有排氣口(8)。
2.如權(quán)利要求I所述的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)用閥箱，其特征在于所述箱體(I)內(nèi)側(cè)下方設(shè)置有泄漏偵測器。
3.如權(quán)利要求I或2所述的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)用閥箱，其特征在于所述箱體(I)與箱體蓋(2)之間設(shè)有O型密封圈。
4.如權(quán)利要求3所述的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)用閥箱，其特征在于所述箱體(I)包括內(nèi)箱體和外箱體。
專利摘要本實用新型涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)用閥箱，包括箱體(1)和箱體蓋(2)，所述箱體(1)與箱體蓋(2)密封連接，所述箱體(1)內(nèi)設(shè)置有手動閥(3)和氣動閥(4)，所述手動閥(3)與氣動閥(4)通過管道(5)連接，所述箱體(1)上端設(shè)有進口(6)，所述箱體(1)上端還設(shè)有至少兩個以上出口(7)，所述箱體(1)的進口(6)與出口(7)之間通過管道(5)循環(huán)連接，所述手動閥(3)和氣動閥(4)設(shè)置在管道(5)中，所述箱體(1)側(cè)面設(shè)有排氣口(8)；本實用新型同現(xiàn)有技術(shù)相比，不僅結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)計合理，而且實現(xiàn)了單個閥箱即可提供多個化學(xué)品分配出口，從而降低了成本，節(jié)約了場地，安裝和使用也都非常方便。
文檔編號F16K11/10GK202812315SQ201220461948
公開日2013年3月20日 申請日期2012年9月11日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月11日
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