專利名稱：一種波紋管固定架的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種固定架，具體涉及一種用于MOCVD設(shè)備氣體管道連接處的波紋管固定架。
背景技術(shù)：
MOCVD (金屬有機化學(xué)氣相沉積)設(shè)備，是LED外延芯片生產(chǎn)所必需的設(shè)備之一。MOCVD設(shè)備上大部分氣體管道中間是用波紋管連接的，經(jīng)過長時間使用后，波紋管會出現(xiàn)變形的情況，導(dǎo)致波紋管連接處的卡箍由于變形松動帶來漏氣，從而導(dǎo)致工藝參數(shù)發(fā)生變化，不利于外延生長。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡單、操作方便、能夠避免波紋管在安裝后出現(xiàn)松動，從而造成漏氣故障的波紋管固定架。一種波紋管固定架，包括底板，所述底板兩端分別設(shè)有與其相垂直的波紋管，所述波紋管之間套設(shè)有與底板相平行的調(diào)節(jié)板，所述調(diào)節(jié)板具有沿波紋管移動的自由度，所述調(diào)節(jié)板與波紋管的相接端設(shè)有固定調(diào)節(jié)板位置的調(diào)節(jié)螺母。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，制作方便，可方便將波紋管的長度固定，使其不會由于長時間使用發(fā)生變形連接處松動漏氣，而且操作方便，制造成本也較低。

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
實施例1參見圖1，本實用新型提供的一種波紋管固定架，包括底板I，所述底板I兩端分別設(shè)有與其相垂直的波紋管2，所述波紋管2之間套設(shè)有與底板I相平行的調(diào)節(jié)板3，所述調(diào)節(jié)板3具有沿波紋管2移動的自由度，所述調(diào)節(jié)板3與波紋管2的相接端設(shè)有固定調(diào)節(jié)板3位置的調(diào)節(jié)螺母4。使用時，通過旋動調(diào)節(jié)螺母4，便可實現(xiàn)對調(diào)節(jié)板3的位置調(diào)節(jié)，當(dāng)波紋管2被調(diào)節(jié)板3帶動，調(diào)整至合適長度時，鎖緊調(diào)節(jié)螺母4，波紋管2的長度便得到了固定，不會由于外界原因而導(dǎo)致伸長或縮短，使連接處松動，從而發(fā)生漏氣而影響工藝參數(shù)。
權(quán)利要求1.一種波紋管固定架，包括底板，其特征在于所述底板兩端分別設(shè)有與其相垂直的波紋管，所述波紋管之間套設(shè)有與底板相平行的調(diào)節(jié)板，所述調(diào)節(jié)板具有沿波紋管移動的自由度，所述調(diào)節(jié)板與波紋管的相接端設(shè)有固定調(diào)節(jié)板位置的調(diào)節(jié)螺母。
專利摘要本實用新型公開了一種波紋管固定架，包括底板，所述底板兩端分別設(shè)有與其相垂直的波紋管，所述波紋管之間套設(shè)有與底板相平行的調(diào)節(jié)板，所述調(diào)節(jié)板具有沿波紋管移動的自由度，所述調(diào)節(jié)板與波紋管的相接端設(shè)有固定調(diào)節(jié)板位置的調(diào)節(jié)螺母。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，制作方便，可方便將波紋管的長度固定，使其不會由于長時間使用發(fā)生變形連接處松動漏氣，而且操作方便，制造成本也較低。
文檔編號F16L3/00GK202868055SQ20122054070
公開日2013年4月10日 申請日期2012年10月22日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月22日
發(fā)明者林長軍 申請人:合肥彩虹藍光科技有限公司