專利名稱：一種新型高速脈沖閥裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于氣壓控制技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種新型高速脈沖閥裝置。
背景技術(shù)：
目前，在許多物理實(shí)驗(yàn)儀器中需要將樣品的載氣以很窄的高壓氣體脈沖(約50-100US)釋放到真空腔體內(nèi)，但現(xiàn)有的電磁閥由于其機(jī)械特性不能達(dá)到更高的開關(guān)速度，影響實(shí)驗(yàn)結(jié)果的精確性。
發(fā)明內(nèi)容為了克服現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，本實(shí)用新型的目的是提供一種新型高速脈沖閥裝置，本實(shí)用新型脈沖閥利用了壓電陶瓷高速的電能-機(jī)械能轉(zhuǎn)換特性，使閥門的開關(guān)速度可達(dá)每分鐘上百次，(高速電磁閥每分鐘一般只能是十幾次)，并且閥門打開最小時長大大縮短，由于壓電陶瓷質(zhì)量輕，動作速度快，因此相對于電磁閥中電磁鐵的鐵芯具有無可比擬的高速性。本實(shí)用新型提供了一種新型高速脈沖閥裝置，該裝置包括前端蓋(I)、閥體(2)、壓電陶瓷片(3)、密封墊片(4)、壓力陶瓷支架(5)和接線柱(6);閥體(2)為圓柱形空腔，閥體(2)上下各有一個氣孔，用于進(jìn)氣和出氣；在閥體(2)的上部連有兩個壓力陶瓷支架(5)和一個接線柱(6)，壓力陶瓷支架(5)上固定有I個密封墊片(4)和壓電陶瓷片(3)。本實(shí)用新型提供的新型高速脈沖閥裝置，其工作原理為:當(dāng)氣體從閥外殼的進(jìn)氣口接入閥體時，由于壓電陶瓷片本身的彈性和氣體的壓力使密封墊片緊壓在閥體的出氣口上，達(dá)到密封的效果；當(dāng)給壓電陶瓷片加上直流的脈沖電壓后，壓電陶瓷片會向反方向彎曲，使出口打開，氣體快速從出口噴出，同時壓電陶瓷片背部氣壓降低同時也會加速出口的打開；當(dāng)脈沖電壓消失后，壓電陶瓷片恢復(fù)原來的形狀，壓住出氣口，同時背部氣壓增大，二者合力使出氣口快速關(guān)閉。本實(shí)用新型提供的新型高速脈沖閥裝置，利用壓電陶瓷片對高速電壓的快速反應(yīng)來提高閥門的開關(guān)速度，可使開關(guān)速度達(dá)到每分鐘上百次。本實(shí)用新型的有益效果是:本實(shí)用新型脈沖閥利用了壓電陶瓷高速的電能-機(jī)械能轉(zhuǎn)換特性，使閥門的開關(guān)速度可達(dá)每分鐘上百次，(高速電磁閥每分鐘一般只能是十幾次)，并且閥門打開最小時長大大縮短，由于壓電陶瓷質(zhì)量輕，動作速度快，因此相對于電磁閥中電磁鐵的鐵芯具有無可比擬的高速性。

圖1是本實(shí)用新型一種新型高速脈沖閥裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，其中:(1)前端蓋、(2)閥體、(3)壓電陶瓷片、(4)密封墊片、(5)壓力陶瓷支架、(6)接線柱。
具體實(shí)施方式
[0009]
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)說明。如圖1所示，本實(shí)用新型一種新型高速脈沖閥裝置，由前端蓋(I)、閥體(2)、壓電陶瓷片(3)、密封墊片(4)、壓力陶瓷支架(5)和接線柱(6)組成；閥體(2)為圓柱形空腔，閥體(2)上下各有一個氣孔，用于進(jìn)氣和出氣；在閥體(2)的上部連有兩個壓力陶瓷支架(5)和一個接線柱(6)，壓力陶瓷支架(5)上固定有I個密封墊片(4)和壓電陶瓷片(3)。工作原理:氣體從閥外殼的進(jìn)氣口接入閥體，由于壓電陶瓷片本身的彈性和氣體的壓力使密封墊緊壓在閥體的出氣口上，達(dá)到密封的效果。當(dāng)給壓電陶瓷片加上直流的脈沖電壓后，壓電陶瓷片會向反方向彎曲，使出口打開，氣體快速從出口噴出，同時壓電陶瓷片背部氣壓降低同時也會加速出口的打開。當(dāng)脈沖電壓消失后，壓電陶瓷片恢復(fù)原來的形狀，壓住出氣口，同時背部氣壓增大，二者合力使出氣口快速關(guān)閉。本實(shí)用新型可以應(yīng)用于各種高真空實(shí)驗(yàn)中的脈沖進(jìn)氣控制利用壓電陶瓷片對高速電壓的快速反應(yīng)來提1 閥丨I的開 關(guān)速度，提1 實(shí)驗(yàn)結(jié)果的精確度和實(shí)驗(yàn)效率。
權(quán)利要求1.一種新型高速脈沖閥裝置，其特征在于:該裝置包括前端蓋(I)、閥體(2)、壓電陶瓷片(3)、密封墊片(4)、壓力陶瓷支架(5)和接線柱(6);閥體(2)為圓柱形空腔，閥體(2)上下各有一個氣孔，用于進(jìn)氣和出氣；在閥體(2)的上部連有兩個壓力陶瓷支架(5)和一個接線柱(6)，壓力陶瓷支架(5)上固定有I個密封墊片(4)和壓電陶瓷片(3)。
2.按照權(quán)利要求1所述新型高速脈沖閥裝置，其特征在于:當(dāng)氣體從閥外殼的進(jìn)氣口接入閥體時，由于壓電陶瓷片本身的彈性和氣體的壓力使密封墊片緊壓在閥體的出氣口上，達(dá)到密封的效果；當(dāng)給壓電陶瓷片加上直流的脈沖電壓后，壓電陶瓷片會向反方向彎曲，使出口打開，氣體快速從出口噴出，同時壓電陶瓷片背部氣壓降低同時也會加速出口的打開；當(dāng)脈沖電壓消失后，壓電陶瓷片恢復(fù)原來的形狀，壓住出氣口，同時背部氣壓增大，二者合力使出氣口快速關(guān)閉。
3.按照權(quán)利要求1所述新型高速脈沖閥裝置，其特征在于:利用壓電陶瓷片對高速電壓的快速反應(yīng)來提高閥門的開關(guān)速度，可使開關(guān)速度達(dá)到每分鐘上百次。
專利摘要本實(shí)用新型的一種新型高速脈沖閥裝置，由前端蓋(1)、閥體(2)、壓電陶瓷片(3)、密封墊片(4)、壓力陶瓷支架(5)和接線柱(6)組成；閥體(2)為圓柱形空腔，閥體(2)上下各有一個氣孔，用于進(jìn)氣和出氣；在閥體(2)的上部連有兩個壓力陶瓷支架(5)和一個接線柱(6)，壓力陶瓷支架(5)上固定有1個密封墊片(4)和壓電陶瓷片(3)；本實(shí)用新型脈沖閥利用了壓電陶瓷高速的電能-機(jī)械能轉(zhuǎn)換特性，使閥門的開關(guān)速度可達(dá)每分鐘上百次，提高實(shí)驗(yàn)結(jié)果的精確度。
文檔編號F16K31/02GK203023593SQ20122066111
公開日2013年6月26日 申請日期2012年12月4日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月4日
發(fā)明者唐紫超, 任文峰 申請人:中國科學(xué)院大連化學(xué)物理研究所