壓力容器及其構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法
【專利摘要】本發(fā)明的壓力容器及其構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法，主要在壓力容器的第二本體與第一本體的間設(shè)有至少一主動(dòng)密封元件，另在相對(duì)于主動(dòng)密封元件內(nèi)圈位置設(shè)有至少一被動(dòng)密封元件；于使用時(shí)，可控制主動(dòng)密封元件是否與第二本體接觸，且在主動(dòng)密封元件與第二本體接觸的狀態(tài)下，第一本體的第一容積空間抽真空，藉由第一容積空間所產(chǎn)生的負(fù)壓作用，讓第二本體與第一本體及被動(dòng)密封元件緊密貼合，并且讓作用力同時(shí)平均分布于被動(dòng)密封元件上。而可獲致相對(duì)較為可靠的密封效果，以及在第二本體與第一本體蓋闔過程中，不會(huì)造成主動(dòng)密封元件及被動(dòng)密封元件扭曲變形，有利于第二本體與第一本體快速蓋闔，進(jìn)而提升使用對(duì)象的加工產(chǎn)能。
【專利說明】壓力容器及其構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明有關(guān)一種用以產(chǎn)生氣密壓力環(huán)境的技術(shù)，旨在提供一種可以獲致較佳密封效果的壓力容器，以及使用該壓力容器構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法。

【背景技術(shù)】
[0002]在既有現(xiàn)有的加工【技術(shù)領(lǐng)域】當(dāng)中，經(jīng)常會(huì)透過改變加工環(huán)境壓力差的方式達(dá)到預(yù)期的加工效果；例如，在現(xiàn)有的半導(dǎo)體晶片封裝過程中，必須先從晶圓切割出適當(dāng)大小的晶片，再將其黏附于一載板上(載板可為一基板或可為一導(dǎo)線架等各種可以承載晶片用以聯(lián)外部電子訊號(hào)用的承載物)。在黏附的過程中，膠著材料中會(huì)產(chǎn)生許多氣泡，造成老化后的膠著材料中會(huì)有空腔而影響產(chǎn)品的可靠性、質(zhì)量。
[0003]因此，在黏附的過程中多會(huì)進(jìn)一步施以高壓與高溫于膠著材料之上，主要利用高溫使膠著材料的黏度降低，以及利用高壓使于膠著材料中已存在的氣泡因壓力差而排除于膠著材料之外、或因壓力差而使膠著材料中的氣泡縮小，進(jìn)而有效提升產(chǎn)品的質(zhì)量及可靠性。以及，就處理硅晶圓等的ULSI半導(dǎo)體制程而言，有在半導(dǎo)體基板上形成具備接觸孔的絕緣氧化膜，并于此膜面上形成鋁合金膜，然后藉由氬氣等的惰性氣體來作成高溫、氣密壓力環(huán)境，且將鋁合金膜埋入接觸孔內(nèi)最深部的所謂的高壓回流制程。
[0004]類似的氣密壓力環(huán)境主要被限制在一壓力容器當(dāng)中，該壓力容器基本上由一容器本體及一蓋體所組成，該容器本體設(shè)有至少一方便加工物進(jìn)出的開口，再由蓋體對(duì)應(yīng)蓋闔于容器本體的開口處；再者，為避免蓋體與容器本體的接合處產(chǎn)生壓力滲漏，整體壓力容器且如圖1所示，進(jìn)一步于蓋體12與容器本體11的接合處設(shè)置數(shù)量不等的密封元件13(如O環(huán))。
[0005]原則上，壓力容器可藉由設(shè)于蓋體12與容器本體11的間的密封元件13增加密封效果，理論上，亦會(huì)隨著密封元件13的數(shù)量增加而更產(chǎn)生相對(duì)較佳的密封效果；再者，傳統(tǒng)壓力容器的蓋體12與容器本體11相蓋闔后，透過分布在蓋體12周圍的夾具14壓制力量，使密封元件13緊密貼合于蓋體12與容器本體11之間而產(chǎn)生密封效果。
[0006]然而，在實(shí)際的使用狀態(tài)下，若是采用逐一將夾具14緊扣的操作方式，經(jīng)常因?yàn)樯w體12周圍的夾具14力量分布不均，而使蓋體12與容器本體11無法完全密合；以及，若是采用旋轉(zhuǎn)蓋體12的方式讓全數(shù)夾具14同時(shí)緊扣，而僅由夾具14的力量使蓋體12與容器本體11緊密貼合時(shí)，則在蓋體12與容器本體11相對(duì)旋轉(zhuǎn)的操作過程中，全數(shù)密封元件
13的上、下部位分別會(huì)接受來自蓋體12及容器本體11的不同方向的作用力，經(jīng)常導(dǎo)致密封元件13扭轉(zhuǎn)變形而無法達(dá)到預(yù)期的密封效果。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明即在提供一種可以獲致較佳密封效果的壓力容器，以及使用該壓力容器構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法。
[0008]為達(dá)上揭目的，本發(fā)明的壓力容器，基本上包括:一第一本體、一第二本體、至少一主動(dòng)密封元件、至少一被動(dòng)密封元件，以及復(fù)數(shù)連接件；其中，該第一本體具有一供收容加工物的第一、至少一與第一容積空間相通的第一壓力控制通道、一與第一容積空間相通的開口，于開口邊沿環(huán)設(shè)有一供與第二本體接觸的貼合面，于貼合面上設(shè)有至少一道環(huán)繞于開口外圍供收容主動(dòng)密封元件的限位溝槽，于限位溝槽與開口之間設(shè)有至少一道環(huán)繞于開口外圍供固定被動(dòng)密封元件的定位溝槽，另于限位溝槽處設(shè)有至少一第二壓力控制通道；該第二本體供覆蓋于該第一本體的開口處，且可供重復(fù)開闔；該至少一主動(dòng)密封元件安裝于第一本體的限位溝槽中，可受限位溝槽內(nèi)的壓力變化而與第一本體相對(duì)位移；該至少一被動(dòng)密封元件被固定在第一本體的定位溝槽中，且其表面相對(duì)凸出貼合面預(yù)定高度；各連接件相對(duì)設(shè)于第一本體的開口周圍處，供構(gòu)成第二本體與第一本體相連接。
[0009]依據(jù)上述技術(shù)特征，所述第二本體設(shè)有一與第一容積空間對(duì)應(yīng)的第二容積空間。
[0010]依據(jù)上述技術(shù)特征，所述至少一主動(dòng)密封元件在其內(nèi)外側(cè)邊沿凸設(shè)有供與限位溝槽的壁面貼合的翼部。
[0011]依據(jù)上述技術(shù)特征，所述第一本體在其開口邊沿設(shè)有一相對(duì)凸出周圍預(yù)定寬度的肩部，該貼合面且延伸至肩部處。
[0012]所述至少一定位溝槽的槽口寬幅相對(duì)小于或等于或大于槽底寬幅。
[0013]所述壓力容器將全數(shù)連接件固設(shè)于第一本體的肩部處，且全數(shù)連接件由一可供第二本體對(duì)應(yīng)嵌入的扣體所構(gòu)成。
[0014]所述壓力容器將全數(shù)連接件固設(shè)于第二本體上，且全數(shù)連接件由一可供第一本體的肩部對(duì)應(yīng)嵌入的扣體所構(gòu)成。
[0015]所述壓力容器將預(yù)定數(shù)量的連接件固設(shè)于第一本體的肩部處，全數(shù)固設(shè)于第一本體肩部處的連接件由一可供第二本體對(duì)應(yīng)嵌入的扣體所構(gòu)成；以及，將其余的連接件固設(shè)于第二本體上，全數(shù)固設(shè)于第二本體上的連接件由一可供第一本體的肩部對(duì)應(yīng)嵌入的扣體所構(gòu)成。
[0016]所述各連接件由一穿設(shè)于第二本體與第一本體的肩部之間的螺栓，以及一與螺栓相螺接的螺帽組成。
[0017]所述第二本體設(shè)有一透明視窗。
[0018]至于，本發(fā)明的一種壓力容器構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法，使用上揭任一種結(jié)構(gòu)形態(tài)的壓力容器的第一、第二壓力控制通道分別連接預(yù)定的壓力控制設(shè)備，待加工物放入第一本體且將第二本體確實(shí)蓋闔后，透過于該壓力容器構(gòu)成常態(tài)正壓環(huán)境的方法，對(duì)加工物產(chǎn)生預(yù)期的效果；該壓力容器構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法，基本上包括下列步驟:(a)透過第二壓力控制通道對(duì)限位溝槽內(nèi)部加壓，使主動(dòng)密封元件浮升至與第二本體密合；(b)透過第一壓力控制通道對(duì)第一本體的第一容積空間加壓至預(yù)設(shè)的壓力值，即可讓第一本體的第一容積空間構(gòu)成預(yù)定的正壓環(huán)境。
[0019]依據(jù)上述技術(shù)特征，所述壓力容器構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法，在步驟(a)透過第二壓力控制通道對(duì)限位溝槽內(nèi)部加壓，使主動(dòng)密封元件浮升至與第二本體密合之后，再執(zhí)行步驟(b)透過第一壓力控制通道對(duì)第一本體的第一容積空間加壓至預(yù)設(shè)的正壓值，且維持該壓力狀態(tài)至預(yù)定時(shí)間之后，進(jìn)一步執(zhí)行步驟(c)透過第一壓力控制通道對(duì)第一本體的第一容積空間抽真空，使第二本體相對(duì)朝第一本體位移至與被動(dòng)密封元件緊密貼合，且持續(xù)對(duì)第一本體的第一容積空間抽真空至預(yù)定設(shè)定值。
[0020]進(jìn)一步的，上述壓力容器構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法，在透過第一壓力控制通道對(duì)第一本體的第一容積空間加壓注入氣體至預(yù)設(shè)的壓力值，且維持該壓力狀態(tài)至預(yù)定時(shí)間之后，再執(zhí)行步驟(b)透過第一壓力控制通道對(duì)第一本體的第一容積空間抽真空，將第一本體的第一容積空間內(nèi)部氣體抽出回收。
[0021]本發(fā)明另一種壓力容器構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法，使用上揭任一種結(jié)構(gòu)形態(tài)的壓力容器的第一、第二壓力控制通道分別連接預(yù)定的壓力控制設(shè)備，待加工物放入第一本體且將第二本體確實(shí)蓋闔后，透過于該壓力容器構(gòu)成常態(tài)負(fù)壓環(huán)境的方法，對(duì)加工物產(chǎn)生預(yù)期的效果；該壓力容器構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法，基本上包括下列步驟:(a)透過第二壓力控制通道對(duì)限位溝槽內(nèi)部加壓，使主動(dòng)密封元件浮升至與第二本體密合；(b)透過第一壓力控制通道對(duì)第一本體的第一容積空間抽真空，使第二本體相對(duì)朝第一本體位移至與被動(dòng)密封元件緊密貼合，且持續(xù)對(duì)第一本體的第一容積空間抽真空至預(yù)定設(shè)定值，即可讓第一本體的第一容積空間構(gòu)成預(yù)定的負(fù)壓環(huán)境；以及，在步驟(b)透過第一壓力控制通道對(duì)第一本體的第一容積空間抽真空，使第二本體相對(duì)朝第一本體位移至與被動(dòng)密封元件緊密貼合的過程中，同時(shí)透過第二壓力控制通道釋放限位溝槽內(nèi)部壓力。
[0022]依據(jù)上述技術(shù)特征，所述壓力容器構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法，在完成步驟(a)透過第二壓力控制通道對(duì)限位溝槽內(nèi)部加壓，使主動(dòng)密封元件浮升至與第二本體密合之后，再執(zhí)行步驟(b)透過第一壓力控制通道對(duì)第一本體的第一容積空間抽真空，使第二本體相對(duì)朝第一本體位移至與被動(dòng)密封元件緊密貼合，且持續(xù)對(duì)第一本體的第一容積空間抽真空至預(yù)定負(fù)壓值，至維持該壓力狀態(tài)至預(yù)定時(shí)間；進(jìn)一步再透過第一壓力控制通道對(duì)第一本體的第一容積空間加壓至預(yù)設(shè)的壓力值；以及，在透過第一壓力控制通道對(duì)第一本體的第一容積空間抽真空，使第二本體相對(duì)朝第一本體位移至與被動(dòng)密封元件緊密貼合的過程中，同時(shí)透過第二壓力控制通道釋放限位溝槽內(nèi)部壓力。
[0023]進(jìn)一步，上述壓力容器構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法，在透過第一壓力控制通道對(duì)第一本體的第一容積空間抽真空，使第二本體相對(duì)朝第一本體位移至與被動(dòng)密封元件緊密貼合，且持續(xù)對(duì)第一本體的第一容積空間抽真空至預(yù)定設(shè)定值，至維持該壓力狀態(tài)至預(yù)定時(shí)間的后，先透過第一壓力控制通道將第一本體的第一容積空間內(nèi)部壓力回復(fù)到常壓狀態(tài)，之后再透過第一壓力控制通道對(duì)第一本體的第一容積空間加壓至預(yù)設(shè)的壓力值。。
[0024]具體而言，本發(fā)明所揭露的壓力容器及其構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法，可以產(chǎn)生下列功效。
[0025]1.可獲致相對(duì)較為可靠的密封效果，大幅提升壓力容器的適用性及實(shí)用性。
[0026]2.可有效避免主動(dòng)密封元件及被動(dòng)密封元件扭曲變形。
[0027]3.可有效降低主動(dòng)密封元件及被動(dòng)密封元件磨損，進(jìn)而提升主動(dòng)密封元件及被動(dòng)密封元件的使用壽命。
[0028]4.在第二本體與第一本體蓋闔過程中，較不會(huì)造成主動(dòng)密封元件及被動(dòng)密封元件扭曲變形，有利于第二本體與第一本體快速蓋闔，進(jìn)而提升使用對(duì)象的加工產(chǎn)能。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0029]圖1為一現(xiàn)有壓力容器的局部剖視圖。
[0030]圖2為本發(fā)明第一實(shí)施例的壓力容器結(jié)構(gòu)剖視圖。
[0031]圖3為本發(fā)明第二實(shí)施例的壓力容器結(jié)構(gòu)剖視圖。
[0032]圖4為本發(fā)明第三實(shí)施例的壓力容器結(jié)構(gòu)剖視圖。
[0033]圖5為本發(fā)明第四實(shí)施例的壓力容器結(jié)構(gòu)剖視圖。
[0034]圖6為本發(fā)明第五實(shí)施例的壓力容器結(jié)構(gòu)剖視圖。
[0035]圖7為本發(fā)明的一種構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的操作步驟流程圖。
[0036]圖8為本發(fā)明中正壓前主動(dòng)密封元件浮升至與第二本體接觸的動(dòng)作狀態(tài)示意圖。
[0037]圖9為本發(fā)明另一種可構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的操作步驟流程圖。
[0038]圖10為本發(fā)明中負(fù)壓前主動(dòng)密封元件浮升至與第二本體接觸的動(dòng)作狀態(tài)示意圖。
[0039]圖11為本發(fā)明中負(fù)壓前第二本體與被動(dòng)密封元件緊密接觸的動(dòng)作狀態(tài)示意圖。
[0040]圖號(hào)說明:
先前技術(shù)
11容器本體
12蓋體
13密封元件
14夾具
本發(fā)明
20第一本體
21第一容積空間
22第一壓力控制通道
23開口
24貼合面
25限位溝槽
26定位溝槽
27第二壓力控制通道
28肩部
30第二本體
31透明視窗
32第二容積空間
41主動(dòng)密封元件
411翼部
42被動(dòng)密封元件
50連接件
51扣體
52螺栓
53螺帽。

【具體實(shí)施方式】
[0041]本發(fā)明主要提供一種可以獲致較佳密封效果的壓力容器，以及使用該壓力容器構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法，如圖2本發(fā)明第一實(shí)施例的壓力容器結(jié)構(gòu)剖視圖所示，本發(fā)明的壓力容器，基本上包括:一第一本體20、一第二本體30、至少一主動(dòng)密封元件41、至少一被動(dòng)密封元件42，以及復(fù)數(shù)連接件50 ;其中:該第一本體20具有一供收容加工物的第一容積空間21、至少一與第一容積空間相通的第一壓力控制通道22、一與第一容積空間21相通的開口 23，于開口 23邊沿環(huán)設(shè)有一供與第二本體30接觸的貼合面24，于貼合面24上設(shè)有至少一道環(huán)繞于開口 23外圍供收容主動(dòng)密封元件41的限位溝槽25，于限位溝槽25與開口23之間設(shè)有至少一道環(huán)繞于開口 23外圍供固定被動(dòng)密封元件42的定位溝槽26，另于限位溝槽25處設(shè)有至少一第二壓力控制通道27。
[0042]該第二本體30供覆蓋于該第一本體20的開口處，且可供重復(fù)開闔；于實(shí)施時(shí)，該第二本體30可進(jìn)一步設(shè)有一透明視窗31，以便透過透明視窗31觀察第一本體20的第一容積空間21內(nèi)部的加工情況或狀態(tài)；在圖2至圖4所示實(shí)施例中，所述第二本體30進(jìn)一步可設(shè)有一與第一本體20的第一容積空間21對(duì)應(yīng)的第二容積空間32，藉以增加整體壓力容器的使用空間，及提供加工物較多樣的放置方式。
[0043]該至少一主動(dòng)密封元件41安裝于第一本體20的限位溝槽25中，可受限位溝槽25內(nèi)的壓力變化而與第一本體20相對(duì)位移；于實(shí)施時(shí)，該至少一主動(dòng)密封元件41在其內(nèi)外側(cè)邊沿凸設(shè)有供與限位溝槽25的壁面貼合的翼部411，使當(dāng)經(jīng)由第二壓力控制通道27對(duì)限位溝槽25施壓時(shí)，主動(dòng)密封元件41的翼部411可相對(duì)外張，藉以增加與限位溝槽25之間的密合效果。
[0044]該至少一被動(dòng)密封元件42被固定在第一本體20的定位溝槽26中，且其表面相對(duì)凸出貼合面24預(yù)定高度；于實(shí)施時(shí),第一本體20的定位溝槽26槽口寬幅相對(duì)小于槽底寬幅(呈鳩尾狀斷面)，使可對(duì)被動(dòng)密封元件42產(chǎn)生較佳的定位效果，并可防止被動(dòng)密封元件42扭轉(zhuǎn)變形，另外，第一本體20的定位溝槽26槽口寬幅亦可相對(duì)等于或大于槽底寬幅。
[0045]各連接件50相對(duì)設(shè)于第一本體20的開口 23周圍處，供構(gòu)成第二本體30與第一本體20相連接；于實(shí)施時(shí)，所述第一本體20可在其開口 23邊沿設(shè)有一相對(duì)凸出周圍預(yù)定寬度的肩部28，該貼合面24且延伸至肩部28處；至于，整體壓力容器可將全數(shù)連接件50固設(shè)于第一本體20的肩部28處，且全數(shù)連接件50由一可供第二本體30對(duì)應(yīng)嵌入的扣體51所構(gòu)成；整體壓力容器亦可將全數(shù)連接件50固設(shè)于第二本體30上，且全數(shù)連接件50由一可供第一本體20的肩部28對(duì)應(yīng)嵌入的扣體51所構(gòu)成。
[0046]當(dāng)然，亦可如圖3所示，將預(yù)定數(shù)量的連接件50固設(shè)于第一本體20的肩部28處，全數(shù)固設(shè)于第一本體20肩部28處的連接件50由一可供第二本體30對(duì)應(yīng)嵌入的扣體51所構(gòu)成；以及，將其余的連接件50固設(shè)于第二本體30上，全數(shù)固設(shè)于第二本體30上的連接件50由一可供第一本體20的肩部28對(duì)應(yīng)嵌入的扣體51所構(gòu)成。再者，所述各連接件50亦可以如第3圖所示，由一穿設(shè)于第二本體30與第一本體20的肩部28之間的螺栓52，以及一與螺栓52相螺接的螺帽53組成。
[0047]再者，第一本體與第二本體可為不同型態(tài)組配，而因應(yīng)不同被加工物使用達(dá)到氣密的壓力加工。如圖2的實(shí)施例所不,第一本體為一容器,而第二本體為一蓋體,容器搭配蓋體以容置被加工物，可達(dá)到密效果的壓力加工環(huán)境?；蛘?，如圖4的實(shí)施例所示，第一本體為一容器，而第二本體為一容器，容器搭配容器容置被加工物，可達(dá)到氣密效果的壓力加工環(huán)境?；蛘?，如圖5的實(shí)施例所示,第一本體為一具有凹槽的蓋體,而第二本體為一蓋體，蓋體搭配蓋體容置被加工物，可達(dá)到氣密效果的壓力加工環(huán)境。
[0048]上述各實(shí)施例中，該至少一主動(dòng)密封元件以及至少一被動(dòng)密封元件亦可設(shè)置于該第二本體處，如圖6的第三實(shí)施例所示，該第二本體30于開口 23邊沿環(huán)設(shè)有一供與第一本體20接觸的貼合面24，于貼合面24上設(shè)有至少一道環(huán)繞于開口 23外圍供收容主動(dòng)密封元件41的限位溝槽25，于限位溝槽25與開口 23之間設(shè)有至少一道環(huán)繞于開口 23外圍供固定被動(dòng)密封元件42的定位溝槽26，另于限位溝槽25處設(shè)有至少一第二壓力控制通道27 ；該至少一主動(dòng)密封元件41安裝于第二本體30的限位溝槽25中，可受限位溝槽25內(nèi)的壓力變化而與第二本體30相對(duì)位移；該至少一被動(dòng)密封元件42被固定在第二本體30的定位溝槽26中，且其表面相對(duì)凸出貼合面24預(yù)定高度，以構(gòu)成另種實(shí)施例的壓力容器。
[0049]原則上，上揭任一種結(jié)構(gòu)形態(tài)的壓力容器，可直接應(yīng)用于加工物需要于正壓環(huán)境下的除泡處理，或是于負(fù)壓環(huán)境下的脫泡處理，甚至可在除泡或脫泡的過程中，透過進(jìn)一步對(duì)壓力容器內(nèi)部第一容積空間加溫的方式，加速加工物的除泡或脫泡反應(yīng)，以及提高除泡或脫泡質(zhì)量。
[0050]如圖2及圖7所示，本發(fā)明的一種壓力容器構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法，即使用上揭任一種結(jié)構(gòu)形態(tài)的壓力容器，且將該壓力容器的第一、第二壓力控制通道分別連接預(yù)定的壓力控制設(shè)備，待加工物放入第一本體且將第二本體確實(shí)蓋闔后，透過于該壓力容器構(gòu)成常態(tài)正壓環(huán)境的方法，對(duì)加工物產(chǎn)生預(yù)期的效果；基本上，該壓力容器構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法，包括下列步驟。
[0051](a)透過第二壓力控制通道27對(duì)限位溝槽25內(nèi)部加壓，使主動(dòng)密封元件41浮升至與第二本體30密合(如第8圖所示)，以使第一本體20與第二本體30間達(dá)到氣密的功效；此步驟主要于主動(dòng)密封元件41的外圍再形成一密封包覆作用，而可直接對(duì)第一本體20的第一容積空間21加壓，或是有助于順利執(zhí)行后續(xù)的抽真空動(dòng)作，以及在第二本體30與第一本體20蓋闔的過程中，主動(dòng)密封元件41可相對(duì)隱藏在限位溝槽25內(nèi)部，有助于第二本體30與第一本體20快速蓋闔，并可避免主動(dòng)密封元件41遭受磨損或扭轉(zhuǎn)變形。
[0052](b)透過第一壓力控制通道22對(duì)第一本體20的第一容積空間21加壓至預(yù)設(shè)的正壓值，即可讓第一本體20的第一容積空間21構(gòu)成預(yù)定的正壓環(huán)境，且透過整體壓力容器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可使第一本體20的第一容積空間21常態(tài)保持在預(yù)設(shè)的正壓環(huán)境，對(duì)加工物產(chǎn)生預(yù)期的加工效果。此步驟所設(shè)定的氣密壓力環(huán)境壓力視使用對(duì)象的工作壓力而定，且依照實(shí)際加工需求讓第一本體20的第一容積空間21維持氣密壓力環(huán)境至預(yù)定的時(shí)間之后，再透過第一壓力控制通道22將第一容積空間21的壓力泄放之后即可將第二本體30開啟。
[0053]當(dāng)然，依照不同加工物的特性及加工需求，上揭壓力容器構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法，亦可先加壓達(dá)到正壓環(huán)境，再行抽真空達(dá)到負(fù)壓環(huán)境。其操作先以步驟(a)透過第二壓力控制通道對(duì)限位溝槽內(nèi)部加壓，使主動(dòng)密封元件浮升至與第二本體密合之后(如圖8所示)，再執(zhí)行步驟(b)透過第一壓力控制通道對(duì)第一本體的第一容積空間加壓至預(yù)設(shè)的正壓值，并維持該壓力狀態(tài)至預(yù)定時(shí)間，以使加工物于該壓力容器構(gòu)成常態(tài)正壓環(huán)境產(chǎn)生預(yù)期效果，再透過第一壓力控制通道22將第一容積空間21的壓力泄放；再進(jìn)一步執(zhí)行步驟(c)透過第一壓力控制通道對(duì)第一本體的第一容積空間抽真空，使第二本體相對(duì)朝第一本體位移至與被動(dòng)密封元件緊密貼合，且透過第二壓力控制通道釋放限位溝槽內(nèi)部壓力(如圖11所示)，可避免主動(dòng)密封元件遭受磨損或扭轉(zhuǎn)變形，并持續(xù)對(duì)第一本體的第一容積空間抽真空至預(yù)定負(fù)壓值及預(yù)定時(shí)間，透過于該壓力容器構(gòu)成常態(tài)負(fù)壓環(huán)境的方法，對(duì)加工物產(chǎn)生預(yù)期的效果。
[0054]當(dāng)加工物完成預(yù)期的效果，進(jìn)而第二本體與第一本體進(jìn)行開啟，先透過第一壓力控制通道將第一本體的第一容積空間內(nèi)部負(fù)壓力回復(fù)到常壓狀態(tài)，由大氣壓力進(jìn)入第一容積空間達(dá)到泄真空回復(fù)到常壓，進(jìn)而透過第二壓力控制通道對(duì)限位溝槽內(nèi)部抽真空，以使限位溝槽的被動(dòng)密封元件復(fù)位，有助于使第二本體與第一本體易于開啟。
[0055]上揭先利用正壓環(huán)境對(duì)加工物施以除泡處理，本創(chuàng)作壓力容器構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法可應(yīng)用于半導(dǎo)體制程或面板貼合制程，先由第二壓力控制通道27對(duì)限位溝槽25內(nèi)部加壓，使主動(dòng)密封元件41浮升至與第二本體30密合的狀態(tài)，再透過第一壓力控制通道對(duì)第一本體的第一容積空間加壓至預(yù)設(shè)的正壓值，并維持該壓力狀態(tài)至預(yù)定時(shí)間，有助于防止氣體外泄功效，藉以達(dá)到節(jié)能效果，并使加工物于該壓力容器構(gòu)成常態(tài)正壓環(huán)境不僅達(dá)到除泡效果，更讓面板膠合加工更密合。此外，半導(dǎo)體制程面可于具有溫度的正壓環(huán)境，以使材料達(dá)到軟化點(diǎn)以加速除泡效果，其正壓環(huán)境的壓力值以8公斤為較佳壓力環(huán)境，而溫度環(huán)境為攝氏180度可達(dá)到最佳除泡效果。
[0056]進(jìn)而，面板貼合制程亦可再藉由負(fù)壓環(huán)境對(duì)加工物施以脫泡處理，其由第一壓力控制通道22將第一容積空間21的壓力泄放，亦可再透過第一壓力控制通道對(duì)第一本體的第一容積空間抽真空，使第二本體相對(duì)朝第一本體位移至與被動(dòng)密封元件緊密貼合，且透過第二壓力控制通道釋放限位溝槽內(nèi)部壓力，以使主動(dòng)密封元件41放松復(fù)位，并持續(xù)對(duì)第一本體的第一容積空間抽真空至預(yù)定負(fù)壓值及預(yù)定時(shí)間，透過于該壓力容器構(gòu)成常態(tài)負(fù)壓環(huán)境達(dá)到脫泡效果，以使面板于膠合時(shí)所產(chǎn)生氣泡去除更臻完全。當(dāng)然，面板膠合可于具有溫度的正壓環(huán)境，或具有溫度負(fù)壓環(huán)境，可使材料達(dá)到軟化點(diǎn)以加速除泡或脫泡效果，例如面板與光學(xué)膠膜膠合的溫度環(huán)境為攝氏60度可達(dá)到最佳除泡或脫泡效果。
[0057]此外，實(shí)施應(yīng)用于金屬加工物需達(dá)到防止氧化目的的負(fù)壓環(huán)境，在構(gòu)成常態(tài)負(fù)壓環(huán)境之前，先透過第一壓力控制通道對(duì)第一本體的第一容積空間輸入預(yù)定的氣體(如使用高經(jīng)濟(jì)的特殊氣體)，使第一本體的第一容積空間加壓至預(yù)設(shè)的壓力值，且維持該壓力狀態(tài)至預(yù)定時(shí)間之后，使達(dá)到預(yù)期的加工效果；再透過第一壓力控制通道將第一本體的第一容積空間內(nèi)部壓力回復(fù)到常壓狀態(tài)，之后即可透過第一壓力控制通道對(duì)第一本體的第一容積空間抽真空，使第二本體相對(duì)朝第一本體位移至與被動(dòng)密封元件緊密貼合，且持續(xù)對(duì)第一本體的第一容積空間抽真空至預(yù)定設(shè)定值，負(fù)壓環(huán)境最佳為I公斤的負(fù)壓力，透過于該壓力容器構(gòu)成常態(tài)負(fù)壓環(huán)境的方法，對(duì)加工物產(chǎn)生預(yù)期的效果。
[0058]承上所述，在透過第一壓力控制通道對(duì)第一本體的第一容積空間加壓至預(yù)設(shè)的壓力值，且維持該壓力狀態(tài)至預(yù)定時(shí)間之后，進(jìn)一步透過第一壓力控制通道將第一本體的第一容積空間內(nèi)部氣體回收，其透過第一壓力控制通道對(duì)第一本體的第一容積空間抽真空，使第二本體相對(duì)朝第一本體位移至與被動(dòng)密封元件緊密貼合，且持續(xù)對(duì)第一本體的第一容積空間抽真空至預(yù)定設(shè)定值，而得以回收先前輸入第一容積空間的高經(jīng)濟(jì)特殊氣體，而達(dá)到節(jié)省氣體供應(yīng)重復(fù)使用的目的。
[0059]再者，利用上揭任一種結(jié)構(gòu)形態(tài)的壓力容器構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法，亦可視使用對(duì)象的加工需求，直接構(gòu)成常態(tài)負(fù)壓環(huán)境；如圖2及圖9所示，在本實(shí)施例中，該壓力容器構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法，使用上揭任一種結(jié)構(gòu)形態(tài)的壓力容器，的第一、第二壓力控制通道分別連接預(yù)定的壓力控制設(shè)備，待加工物放入第一本體且將第二本體確實(shí)蓋闔后，透過于該壓力容器構(gòu)成常態(tài)負(fù)壓環(huán)境的方法，對(duì)加工物產(chǎn)生預(yù)期的效果；該壓力容器構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法，基本上包括下列步驟。
[0060](a)透過第二壓力控制通道27對(duì)限位溝槽25內(nèi)部加壓，使主動(dòng)密封元件41浮升至與第二本體30密合(如圖8所示)；同樣的，此步驟主要于被動(dòng)密封元件42的外圍再形成一密封包覆作用，有助于順利執(zhí)行后續(xù)的抽真空動(dòng)作，或是可直接對(duì)第一本體20的第一容積空間21加壓，以及在第二本體30與第一本體20蓋闔的過程中，主動(dòng)密封元件41可相對(duì)隱藏在限位溝槽25內(nèi)部，有助于第二本體30與第一本體20快速蓋闔，并可避免主動(dòng)密封元件41遭受磨損或扭轉(zhuǎn)變形。
[0061](b)透過第一壓力控制通道22對(duì)第一本體20的第一容積空間221抽真空，使第二本體30相對(duì)朝第一本體20位移至與被動(dòng)密封元件42緊密貼合，且持續(xù)對(duì)第一本體20的第一容積空間21抽真空至預(yù)定負(fù)壓值，即可讓第一本體20的第一容積空間21構(gòu)成預(yù)定的負(fù)壓環(huán)境。
[0062]同樣的，本實(shí)施例的壓力容器構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法，亦可依照不同加工物的特性及加工需求，上揭壓力容器構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法，亦可先抽真空達(dá)到負(fù)壓環(huán)境，再行加壓達(dá)到正壓環(huán)境。其操作(如圖10所示)先以步驟(a)透過第二壓力控制通道對(duì)限位溝槽內(nèi)部加壓，使主動(dòng)密封元件浮升至與第二本體密合之后，再執(zhí)行步驟(b)透過第一壓力控制通道對(duì)第一本體的第一容積空間抽真空，使第二本體相對(duì)朝第一本體位移至與被動(dòng)密封元件緊密貼合，再透過第二壓力控制通道釋放限位溝槽內(nèi)部壓力，可避免主動(dòng)密封元件遭受磨損或扭轉(zhuǎn)變形(如圖11所示)，并使第二本體得以朝第一本體位移至確實(shí)與被動(dòng)密封元件緊密貼合之狀；再持續(xù)對(duì)第一本體的第一容積空間抽真空至預(yù)定負(fù)壓值，至維持該壓力狀態(tài)至預(yù)定時(shí)間，透過于該壓力容器構(gòu)成常態(tài)負(fù)壓環(huán)境的方法，對(duì)加工物產(chǎn)生預(yù)期的效果。進(jìn)一步，再透過第一壓力控制通道對(duì)第一本體的第一容積空間加壓(或大氣壓力)以破真空，進(jìn)而對(duì)第一容積空間進(jìn)行加壓，但構(gòu)成正壓環(huán)境前，第一本體與第二本體間的氣密控制，先透過第二壓力控制通道對(duì)限位溝槽內(nèi)部加壓，使主動(dòng)密封元件浮升至與第二本體密合之后(如圖8所示)，再透過第一壓力控制通道對(duì)第一本體的第一容積空間加壓至預(yù)設(shè)的正壓值，并維持該壓力狀態(tài)至預(yù)定時(shí)間，以使加工物于該壓力容器構(gòu)成常態(tài)正壓環(huán)境產(chǎn)生預(yù)期效果。
[0063]當(dāng)加工物完成預(yù)期的效果，進(jìn)而第二本體與第一本體進(jìn)行開啟，先透過第一壓力控制通道將第一本體的第一容積空間內(nèi)部負(fù)壓力回復(fù)到常壓狀態(tài)，由大氣壓力進(jìn)入第一容積空間達(dá)到泄真空回復(fù)到常壓，進(jìn)而透過第二壓力控制通道釋放限位溝槽內(nèi)部壓力，或透過第二壓力控制通道對(duì)限位溝槽內(nèi)部抽真空，以使限位溝槽的被動(dòng)密封元件復(fù)位，有助于使第二本體與第一本體易于開啟。
[0064]上揭先利用負(fù)壓環(huán)境對(duì)加工物施以脫泡處理，本創(chuàng)作壓力容器構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法可應(yīng)用于玻璃制程，先由第二壓力控制通道27對(duì)限位溝槽25內(nèi)部加壓，使主動(dòng)密封元件41浮升至與第二本體30密合的狀態(tài)，再透過第一壓力控制通道對(duì)第一本體的第一容積空間抽真空，使第二本體相對(duì)朝第一本體位移至與被動(dòng)密封元件緊密貼合之后，持續(xù)對(duì)第一本體的第一容積空間抽真空至預(yù)定負(fù)壓值，使達(dá)到對(duì)加工物施以負(fù)壓處理的目的，且維持該負(fù)壓狀態(tài)至預(yù)定時(shí)間之后，有助于脫泡工序的效益。
[0065]進(jìn)而，玻璃制程亦可再藉由正壓環(huán)境對(duì)加工物施以除泡處理，其透過第二壓力控制通道對(duì)限位溝槽內(nèi)部加壓，使主動(dòng)密封元件浮升至與第二本體密合，此時(shí)，藉由第一壓力控制通道對(duì)第一本體的第一容積空間加壓至預(yù)設(shè)的正壓值，使加工對(duì)象于該壓力容器構(gòu)成常態(tài)正壓環(huán)境達(dá)到除泡效果，更有益于去除氣泡更臻完全。當(dāng)然，加工物可于設(shè)有溫度的正壓環(huán)境，或于設(shè)有溫度的負(fù)壓環(huán)境，以使加工物材料達(dá)到軟化點(diǎn)，更有助于加速除泡或脫泡效果。
[0066]與傳統(tǒng)現(xiàn)有技術(shù)相較，本發(fā)明所揭露的壓力容器及其構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法，可以產(chǎn)生下列功效。
[0067]1.可獲致相對(duì)較為可靠的密封效果，大幅提升壓力容器的適用性及實(shí)用性。
[0068]2.可有效避免主動(dòng)密封元件及被動(dòng)密封元件扭曲變形。
[0069]3.可有效降低主動(dòng)密封元件及被動(dòng)密封元件磨損，進(jìn)而提升主動(dòng)密封元件及被動(dòng)密封元件的使用壽命。
[0070]4.在第二本體與第一本體蓋闔過程中，較不會(huì)造成主動(dòng)密封元件及被動(dòng)密封元件扭曲變形，有利于第二本體與第一本體快速蓋闔，進(jìn)而提升使用對(duì)象的加工產(chǎn)能。
【權(quán)利要求】
1.一種壓力容器，其特征在于，包括: 一第一本體，具有一供收容加工物的第一容積空間、至少一與第一容積空間相通的第一壓力控制通道、一與第一容積空間相通的開口，于開口邊沿環(huán)設(shè)有一供與第二本體接觸的貼合面，于貼合面上設(shè)有至少一道環(huán)繞于開口外圍供收容主動(dòng)密封元件的限位溝槽，于限位溝槽與開口之間設(shè)有至少一道環(huán)繞于開口外圍供固定被動(dòng)密封元件的定位溝槽，另于限位溝槽處設(shè)有至少一第二壓力控制通道； 一第二本體，供覆蓋于該第一本體的開口處，且可供重復(fù)開闔； 至少一主動(dòng)密封元件，安裝于第一本體的限位溝槽中，可受限位溝槽內(nèi)的壓力變化而與第一本體相對(duì)位移； 至少一被動(dòng)密封元件，被固定在第一本體的定位溝槽中，且其表面相對(duì)凸出貼合面預(yù)定高度；各連接件相對(duì)設(shè)于第一本體的開口周圍處，供構(gòu)成第二本體與第一本體相連接。
2.如權(quán)利要求1所述的壓力容器，其特征在于，該第二本體設(shè)有一與第一容積空間對(duì)應(yīng)的第二容積空間。
3.如權(quán)利要求1所述的壓力容器，其特征在于，該至少一主動(dòng)密封元件在其內(nèi)外側(cè)邊沿凸設(shè)有供與限位溝槽的壁面貼合的翼部。
4.如權(quán)利要求1所述的壓力容器，其特征在于，該第一本體在其開口邊沿設(shè)有一相對(duì)凸出周圍預(yù)定寬度的肩部，該貼合面且延伸至肩部處。
5.如權(quán)利要求1至4項(xiàng)其中任一所述的壓力容器，其特征在于，該至少一定位溝槽的槽口寬幅相對(duì)小于或等于或大于槽底寬幅。
6.如權(quán)利要求4所述的壓力容器，其特征在于，該壓力容器將全數(shù)連接件固設(shè)于第一本體的肩部處，且全數(shù)連接件由一可供第二本體對(duì)應(yīng)嵌入的扣體所構(gòu)成；或者，該壓力容器將全數(shù)連接件固設(shè)于第二本體上，且全數(shù)連接件由一可供第一本體的肩部對(duì)應(yīng)嵌入的扣體所構(gòu)成；或者，該各連接件由一穿設(shè)于第二本體與第一本體的肩部之間的螺栓，以及一與螺栓相螺接的螺帽組成。
7.如權(quán)利要求1至4項(xiàng)其中任一所述的壓力容器，其特征在于，該第二本體設(shè)有一透明視窗。
8.一種壓力容器構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法，其特征在于，使用權(quán)利要求1至7項(xiàng)其中任一的壓力容器的第一、第二壓力控制通道分別連接預(yù)定的壓力控制設(shè)備，待加工物放入第一本體且將第二本體確實(shí)蓋闔后，透過于該壓力容器構(gòu)成常態(tài)正壓環(huán)境的方法，對(duì)加工物產(chǎn)生預(yù)期的效果；該壓力容器構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法，基本上包括下列步驟: (a)透過第二壓力控制通道對(duì)限位溝槽內(nèi)部加壓，使主動(dòng)密封元件浮升至與第二本體密合； (b)透過第一壓力控制通道對(duì)第一本體的第一容積空間加壓至預(yù)設(shè)的正壓值，即可讓第一本體的第一容積空間構(gòu)成預(yù)定的正壓環(huán)境。
9.如權(quán)利要求8所述的壓力容器構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法，其特征在于，該壓力容器構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法，在完成步驟(a)透過第二壓力控制通道對(duì)限位溝槽內(nèi)部加壓，使主動(dòng)密封元件浮升至與第二本體密合之后，再執(zhí)行步驟(b)透過第一壓力控制通道對(duì)第一本體的第一容積空間加壓至預(yù)設(shè)的正壓值，且維持該壓力狀態(tài)至預(yù)定時(shí)間之后，進(jìn)一步執(zhí)行步驟(c)透過第一壓力控制通道對(duì)第一本體的第一容積空間抽真空，使第二本體相對(duì)朝第一本體位移至與被動(dòng)密封元件緊密貼合，且持續(xù)對(duì)第一本體的第一容積空間抽真空至預(yù)定設(shè)定值。
10.如權(quán)利要求9所述的壓力容器構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法，其特征在于，該壓力容器構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法，在透過第一壓力控制通道對(duì)第一本體的第一容積空間加壓注入氣體至預(yù)設(shè)的壓力值，且維持該壓力狀態(tài)至預(yù)定時(shí)間之后，再執(zhí)行步驟(b)透過第一壓力控制通道對(duì)第一本體的第一容積空間抽真空，將第一本體的第一容積空間內(nèi)部氣體抽出回收。
11.一種壓力容器構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法，其特征在于，使用權(quán)利要求1至7項(xiàng)其中任一的壓力容器的第一、第二壓力控制通道分別連接預(yù)定的壓力控制設(shè)備，待加工物放入第一本體且將第二本體確實(shí)蓋闔后，透過于該壓力容器構(gòu)成常態(tài)負(fù)壓環(huán)境的方法，對(duì)加工物產(chǎn)生預(yù)期的效果；該壓力容器構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法，基本上包括下列步驟: (a)透過第二壓力控制通道對(duì)限位溝槽內(nèi)部加壓，使主動(dòng)密封元件浮升至與第二本體密合； (b)透過第一壓力控制通道對(duì)第一本體的第一容積空間抽真空，使第二本體相對(duì)朝第一本體位移至與被動(dòng)密封元件緊密貼合，且持續(xù)對(duì)第一本體的第一容積空間抽真空至預(yù)定設(shè)定值，即可讓第一本體的第一容積空間構(gòu)成預(yù)定的負(fù)壓環(huán)境；以及， 在步驟(b)透過第一壓力控制通道對(duì)第一本體的第一容積空間抽真空，使第二本體相對(duì)朝第一本體位移至與被動(dòng)密封元件緊密貼合的過程中，同時(shí)透過第二壓力控制通道釋放限位溝槽內(nèi)部壓力。
12.如權(quán)利要求11所述的壓力容器構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法，其特征在于，該壓力容器構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法，在步驟(a)透過第二壓力控制通道對(duì)限位溝槽內(nèi)部加壓，使主動(dòng)密封元件浮升至與第二本體密合之后，再執(zhí)行步驟(b)透過第一壓力控制通道對(duì)第一本體的第一容積空間抽真空，使第二本體相對(duì)朝第一本體位移至與被動(dòng)密封元件緊密貼合，且持續(xù)對(duì)第一本體的第一容積空間抽真空至預(yù)定負(fù)壓值，至維持該壓力狀態(tài)至預(yù)定時(shí)間；進(jìn)一步再透過第一壓力控制通道對(duì)第一本體的第一容積空間加壓至預(yù)設(shè)的壓力值；以及，在透過第一壓力控制通道對(duì)第一本體的第一容積空間抽真空，使第二本體相對(duì)朝第一本體位移至與被動(dòng)密封元件緊密貼合的過程中，同時(shí)透過第二壓力控制通道釋放限位溝槽內(nèi)部壓力。
13.如權(quán)利要求12所述的壓力容器構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法，其特征在于，該壓力容器構(gòu)成氣密壓力環(huán)境的方法，在透過第一壓力控制通道對(duì)第一本體的第一容積空間抽真空，使第二本體相對(duì)朝第一本體位移至與被動(dòng)密封元件緊密貼合，且持續(xù)對(duì)第一本體的第一容積空間抽真空至預(yù)定設(shè)定值，至維持該壓力狀態(tài)至預(yù)定時(shí)間之后，先透過第一壓力控制通道將第一本體的第一容積空間內(nèi)部壓力回復(fù)到常壓狀態(tài)，之后再透過第一壓力控制通道對(duì)第一本體的第一容積空間加壓至預(yù)設(shè)的壓力值。
【文檔編號(hào)】F16J12/00GK104455408SQ201310428870
【公開日】2015年3月25日 申請(qǐng)日期:2013年9月18日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月18日
【發(fā)明者】李俊賢 申請(qǐng)人:李俊賢