壓力動作閥的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種能夠抑制膜片體的振動動作的壓力動作閥。壓力動作閥(1)層疊多個(gè)薄膜金屬部件(51)而構(gòu)成。多個(gè)薄膜金屬部件(51)的各個(gè)具有環(huán)狀平板部(53)和與其內(nèi)緣連接的山狀的突部(54)。并且，閥口(16)與離該閥口(16)最近的薄膜金屬部件(51)的突部(54)的中央部分(C)的移動相應(yīng)地開閉，在閥口(16)被關(guān)閉的閉閥時(shí)，預(yù)先變形為如下形狀，離閥口(16)最近的薄膜金屬部件(51A)的突部(54)的中央部分(C)向翻轉(zhuǎn)動作方向側(cè)超過翻轉(zhuǎn)動作開始位置(P1)的與該中央部分(C)對應(yīng)的位置，而且該突部(54)的中央部分(C)以外的部分配置到翻轉(zhuǎn)動作開始位置(P1)的與該中央部分(C)以外的部分對應(yīng)的位置的跟前。
【專利說明】壓力動作閥

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及具有通過流體的壓力使膜片體變形而對閥口進(jìn)行開閉的結(jié)構(gòu)的壓力動作閥。

【背景技術(shù)】
[0002]如圖11所示，專利文獻(xiàn)I所公開的壓力動作閥801具有:設(shè)于閥口 817的周圍的閥座部818 ;以及作為膜片體的翻轉(zhuǎn)板823，該翻轉(zhuǎn)板823的中央形成為大致半球狀并感應(yīng)作用于板面的壓力而以速動式(根據(jù)壓力而緩慢變形至某個(gè)變形量，當(dāng)超過該變形量時(shí)則一下變形至規(guī)定變形量的形態(tài))進(jìn)行翻轉(zhuǎn)動作并具有彈性。即、翻轉(zhuǎn)板823在某種變形量前為欲返回初始形狀的方向的彈簧常數(shù)(正的彈簧常數(shù))，當(dāng)超過該變形量時(shí)則成為欲向翻轉(zhuǎn)動作方向變形至規(guī)定變形量的方向的彈簧常數(shù)(負(fù)的彈簧常數(shù))。該翻轉(zhuǎn)板823配置成，在正的彈簧常數(shù)的范圍內(nèi)，以不進(jìn)行翻轉(zhuǎn)動作的程度稍微預(yù)先變形并被按壓到閥座部。由此，利用翻轉(zhuǎn)板823的彈性將該翻轉(zhuǎn)板823的中央部分按壓到閥座部818以確保閥斷流性。
[0003]根據(jù)該壓力動作閥801，由于以不進(jìn)行翻轉(zhuǎn)動作的程度稍微預(yù)先變形而被按壓到閥座部，因此能夠?qū)崿F(xiàn)良好的速動式的動作，能夠得到可靠地快速切換開閉狀態(tài)的良好的閥特性。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本特開2002 - 71037號公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]發(fā)明所要解決的課題
[0007]然而，在上述的壓力動作閥801中，由于翻轉(zhuǎn)板823以速動式進(jìn)行翻轉(zhuǎn)動作，因此在翻轉(zhuǎn)板823進(jìn)行了翻轉(zhuǎn)動作時(shí)，容納有該翻轉(zhuǎn)板823的閥室內(nèi)的流體壓力急劇下降。并且，由于該流體壓力的下降，翻轉(zhuǎn)板823從翻轉(zhuǎn)狀態(tài)復(fù)原，因該復(fù)原，閥室內(nèi)的流體壓力升高，翻轉(zhuǎn)板823再次進(jìn)行翻轉(zhuǎn)動作，因此存在如下問題:重復(fù)翻轉(zhuǎn)動作及其復(fù)原動作，流量在短周期內(nèi)有可能產(chǎn)生反復(fù)增減的振動動作。
[0008]因此，本發(fā)明的課題是提供一種能夠抑制膜片體的振動動作的壓力動作閥。
[0009]用于解決課題的方案
[0010]本發(fā)明的
【發(fā)明者】對膜片體的動作重新進(jìn)行了銳意研究的結(jié)果發(fā)現(xiàn)，通過層疊在單體狀態(tài)下進(jìn)行速動式的動作的多個(gè)薄膜金屬部件而構(gòu)成、以及使其預(yù)先變形為特定的形狀(預(yù)先變形)，從而在流體壓力施加于膜片體時(shí)，該膜片體進(jìn)行與壓力相應(yīng)的變形動作(也成為“慢動式的動作”)，由此完成了本發(fā)明。
[0011]為了解決上述課題，方案I所述的發(fā)明是一種壓力動作閥，閥殼；膜片體，其與上述閥殼一起劃分閥室，并通過層疊因該閥室內(nèi)的流體壓力而變形的多個(gè)彈性薄膜金屬部件而構(gòu)成；以及閥座部，其設(shè)于上述閥殼，且形成有伴隨上述流體壓力引起的上述膜片體的變形而開閉的閥口，上述壓力動作閥的特征在于，上述多個(gè)薄膜金屬部件的各個(gè)具有環(huán)狀平板部、和與該環(huán)狀平板部的內(nèi)緣一體地連接的俯視呈圓形狀且向一個(gè)方向隆起成山狀的突部，形成為在單體狀態(tài)下，上述突部整體從初始形狀朝向與上述一個(gè)方向相反的翻轉(zhuǎn)動作方向變形至到達(dá)規(guī)定的翻轉(zhuǎn)動作開始位置的形狀時(shí)，該突部進(jìn)行速動式的翻轉(zhuǎn)動作，并且上述突部以分別朝向同一方向的方式相互層疊，上述膜片體以使上述多個(gè)薄膜金屬部件各個(gè)的突部朝向上述閥口側(cè)的方式將該膜片體的周緣固定于上述閥殼，上述閥口與離該閥口最近的上述薄膜金屬部件的突部的中央部分的移動相應(yīng)地開閉，在上述閥口被關(guān)閉的閉閥時(shí)，預(yù)先變形為如下形狀，離上述閥口最近的上述薄膜金屬部件的突部的中央部分配置成向上述翻轉(zhuǎn)動作方向側(cè)超過上述翻轉(zhuǎn)動作開始位置的與該中央部分對應(yīng)的位置，而且該突部的中央部分以外的部分配置在比上述翻轉(zhuǎn)動作開始位置的與該中央部分以外的部分對應(yīng)的位置更靠跟前。
[0012]方案2所述的發(fā)明根據(jù)方案I所述的發(fā)明，其特征在于，上述突部具備以同心狀配置并在半徑方向上依次連接的多個(gè)構(gòu)成部分，上述多個(gè)構(gòu)成部分的各個(gè)形成為，半徑方向的彎曲程度或者相對于上述環(huán)狀平板部的傾斜程度與鄰接的其他上述構(gòu)成部分相互不同。
[0013]方案3所述的發(fā)明根據(jù)方案2所述的發(fā)明，其特征在于，還具備:對上述閥口進(jìn)行開閉的閥體；以及以伴隨上述膜片體的變形而開閉上述閥口的方式連結(jié)該膜片體和上述閥體的圓柱狀的閥桿，上述閥桿的上述膜片體側(cè)的端面的直徑比上述膜片體的位于離上述閥口最近的上述薄膜金屬部件的突部的中央的上述構(gòu)成部分的直徑小。
[0014]方案4所述的發(fā)明根據(jù)方案I?3任一項(xiàng)中所述的發(fā)明，其特征在于，在上述多個(gè)薄膜金屬部件之間填充有非壓縮性流體。
[0015]方案5所述的發(fā)明根據(jù)方案I?3任一項(xiàng)中所述的發(fā)明，其特征在于，從上述多個(gè)薄膜金屬部件除去離上述閥口最近的上述薄膜金屬部件后剩余的一個(gè)或多個(gè)上述薄膜金屬部件中的至少一個(gè)在其上述突部的中央形成有貫通孔。
[0016]本發(fā)明的效果如下。
[0017]根據(jù)方案I所述的發(fā)明，構(gòu)成膜片體的多個(gè)薄膜金屬部件的各個(gè)具有環(huán)狀平板部、和與該環(huán)狀平板部的內(nèi)緣一體地連接的俯視呈圓形狀且向一個(gè)方向隆起成山狀的突部。多個(gè)薄膜金屬部件的各個(gè)形成為，在單體狀態(tài)下，突部整體在從初始形狀朝向與上述一個(gè)方向相反的翻轉(zhuǎn)動作方向變形至到達(dá)規(guī)定的翻轉(zhuǎn)動作開始位置的形狀時(shí)，該突部進(jìn)行速動式的翻轉(zhuǎn)動作。多個(gè)薄膜金屬部件以各個(gè)突部朝向同一方向的方式相互層疊。膜片體以多個(gè)薄膜金屬部件的各個(gè)突部朝向閥口側(cè)的方式，將該膜片體的周緣固定于閥殼。閥口與離該閥口最近的薄膜金屬部件的突部的中央部分的移動相應(yīng)地開閉。并且，在閥口被關(guān)閉的閉閥時(shí)，以如下方式預(yù)先變形，離閥口最近的薄膜金屬部件的突部的中央部分配置成向翻轉(zhuǎn)動作方向側(cè)超過翻轉(zhuǎn)動作開始位置的與該中央部分對應(yīng)的位置，而且該突部的中央部分以外的部分配置在翻轉(zhuǎn)動作開始位置的與該中央部分以外的部分對應(yīng)的位置的跟前。
[0018]這樣，(i)構(gòu)成膜片體的多個(gè)薄膜金屬部件的各個(gè)在單體狀態(tài)下進(jìn)行速動式的動作，層疊這些多個(gè)薄膜金屬部件而構(gòu)成膜片體，因此變形時(shí)在薄膜金屬部件間產(chǎn)生滑動阻力，(ii)并且，在閥口的閉閥時(shí)，離該閥口最近的薄膜金屬部件的突部的中央部分配置成超過預(yù)先翻轉(zhuǎn)動作開始位置，因此多個(gè)薄膜金屬部件的各個(gè)突部的中央部分成為彼此相接觸的狀態(tài)，薄膜金屬部件之間產(chǎn)生的滑動阻力進(jìn)一步變大，抑制了速動式動作。因此，通過抑制多個(gè)薄膜金屬部件的各個(gè)的速動式動作，作為膜片體成為與流體壓力相應(yīng)的變形動作(慢動式的動作)，因此與速動式的動作相比，能夠抑制閥室內(nèi)的急劇的壓力變動，能夠抑制振動動作。
[0019](iii)另外，由于薄膜金屬部件間的滑動阻力抑制了若超過規(guī)定的壓力則一下變形的速動式的動作，因此通過膜片體變形，即使變形至若各薄膜金屬部件為單體狀態(tài)則進(jìn)行速動式的動作的程度的情況下，膜片體自體的彈簧常數(shù)也不會成為負(fù)的值，該彈簧常數(shù)成為O或接近O的正的值。因此，相對于壓力的變化能夠得到比較大的變形量。因此，即使流體壓力的變化量小，膜片體也較大地變形，從而在開閥時(shí)能夠確保比較大的流量。
[0020]根據(jù)方案2所述的發(fā)明，構(gòu)成膜片體的多個(gè)薄膜金屬部件的突部具有以同心狀配置并在半徑方向上依次連接的多個(gè)構(gòu)成部分，這些多個(gè)構(gòu)成部分的各個(gè)形成為，半徑方向的彎曲程度或者相對于環(huán)狀平板部的傾斜程度與鄰接的其他構(gòu)成部分相互不同。這樣，例如與整體平滑地連續(xù)地彎曲的半球形狀的突部等相比，如果各構(gòu)成部分是彎曲的形狀，則能夠獨(dú)立地調(diào)整各構(gòu)成部分的彎曲程度，或者，如果各構(gòu)成部分是在一個(gè)方向(例如半徑方向)上平坦的形狀，則能夠獨(dú)立地調(diào)整相對于環(huán)狀平板部的傾斜程度，由此，能夠?qū)τ啥鄠€(gè)構(gòu)成部分構(gòu)成的突部的變形特性在更大幅度的范圍內(nèi)進(jìn)行調(diào)整。因此，能夠容易地得到所希望的變形特性的膜片體。
[0021]根據(jù)方案3所述的發(fā)明，還具備:對閥口進(jìn)行開閉的閥體；以及以伴隨膜片體的變形而開閉閥口的方式連結(jié)該膜片體和閥體的圓柱狀的閥桿。并且，閥桿的膜片體側(cè)的端面的直徑比膜片體的位于離閥口最近的薄膜金屬部件的突部的中央的構(gòu)成部分的直徑小。這樣，位于薄膜金屬部件的突部的中央的第二構(gòu)成部分由于剛性低容易變形，因此該第二構(gòu)成部分容易與其他薄膜金屬部件相接觸，因此，能夠增大摩擦阻力。由此，能夠進(jìn)一步抑制速動式的動作，成為與流體壓力相應(yīng)的變形動作(慢動式的動作)。
[0022]根據(jù)方案4所述的發(fā)明，在多個(gè)薄膜金屬部件之間填充有非壓縮性流體。這樣，即使在層疊的薄膜金屬部件間存在微小的空間，也由于一個(gè)薄膜金屬部件的變形經(jīng)由非壓縮性流體而傳到鄰接的其他薄膜金屬部件，因此能夠提高相對于流體壓力的閥開閉的反應(yīng)性，因此對微小的壓力變化也能夠得到比較大的變形量。
[0023]根據(jù)方案5所述的發(fā)明，從構(gòu)成膜片體的多個(gè)薄膜金屬部件除去離閥口最近的薄膜金屬部件后剩余的一個(gè)或多個(gè)薄膜金屬部件中的至少一個(gè)在其突部的中央形成有貫通孔。這樣，通過改變該貫通孔的形狀、大小、或者設(shè)有貫通孔的薄膜金屬部件的數(shù)量等，能夠?qū)δてw的變形特性在更大幅度的范圍內(nèi)進(jìn)行調(diào)整。因此，能夠容易地得到所希望的變形特性的膜片體。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0024]圖1是本發(fā)明的實(shí)施方式的壓力動作閥的縱向剖視圖。
[0025]圖2是表示圖1的膜片體的結(jié)構(gòu)的剖視圖。
[0026]圖3(a)是構(gòu)成的圖2的膜片體的薄膜金屬部件的立體圖，圖3 (b)是沿著圖3(a)的X — X線的剖視圖。
[0027]圖4是示意性地表示在構(gòu)成圖2的膜片體的薄膜金屬部件處于單體狀態(tài)的情況下施加了壓力時(shí)的突部的變形狀態(tài)的圖，圖4(a)是表示突部處于初始位置的初始狀態(tài)的圖，圖4(b)是表示突部整體處于翻轉(zhuǎn)動作開始位置的狀態(tài)的圖，圖4(c)是表示突部處于翻轉(zhuǎn)位置的狀態(tài)的圖。
[0028]圖5是示意性地表示圖2的膜片體的預(yù)先變形以及變形動作的圖，圖5(a)是表示閉閥時(shí)的狀態(tài)的圖，圖5(b)是表示突部整體大致處于翻轉(zhuǎn)動作開始位置的狀態(tài)的圖，圖5(c)是表示突部處于翻轉(zhuǎn)位置的狀態(tài)的圖。
[0029]圖6是示意性地表示施加于膜片體的流體壓力與閥桿的移動量的關(guān)系的曲線圖。
[0030]圖7是表示圖2的膜片體的變形例的結(jié)構(gòu)的剖視圖(在除去了離閥口最近的薄膜金屬部件以外的薄膜金屬部件的突部的中央設(shè)有貫通孔的結(jié)構(gòu))。
[0031]圖8(a)是表示圖3的薄膜金屬部件的第I變形例的結(jié)構(gòu)的剖視圖(具有凹下地彎曲的第二構(gòu)成部分的結(jié)構(gòu))，圖8(b)是表示圖3的薄膜金屬部件的第2變形例的結(jié)構(gòu)的剖視圖(具有凸出地彎曲的第二構(gòu)成部分的結(jié)構(gòu))，圖8(c)是表示圖3的薄膜金屬部件的第3變形例的結(jié)構(gòu)的剖視圖(具有整體平滑地連續(xù)彎曲的半球形狀的突部的結(jié)構(gòu))，圖8(d)是表示圖3的薄膜金屬部件的第4變形例的結(jié)構(gòu)的剖視圖(具有三個(gè)構(gòu)成部分的結(jié)構(gòu))。
[0032]圖9是表示單體狀態(tài)的薄膜金屬部件的相對于流體壓力的變形量(突部的中央部分的移動量)的關(guān)系的曲線圖。
[0033]圖10是表示閥桿的移動量相對于施加于膜片體的流體壓力的關(guān)系的曲線圖。
[0034]圖11是現(xiàn)有的壓力動作閥的縱向剖視圖。
[0035]圖中:
[0036]I一壓力動作閥，10一閥殼，16—閥口，19一閥座部，25一閥室，30—閥部件，31—閥桿，32—球閥(閥體)，40—螺旋彈簧，50、50A—膜片體，51、5IA?5IG—薄膜金屬部件，52—非壓縮性流體，53—環(huán)狀平板部，54、54F、54G—突部，55、55G—第一構(gòu)成部分，56、56D、56E、56G—第二構(gòu)成部分，57G—第三構(gòu)成部分，58—貫通孔，C一突部的中央部分，PO—突部的初始位置，Pl—突部的翻轉(zhuǎn)動作開始位置，P2—突部的翻轉(zhuǎn)位置，QO—突部的初始位置以及與翻轉(zhuǎn)動作開始位置對應(yīng)的閥桿的位置，Q2—與突部的翻轉(zhuǎn)位置對應(yīng)的閥桿的位置。

【具體實(shí)施方式】
[0037]以下，參照圖1?圖6對本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的壓力動作閥進(jìn)行說明。
[0038]圖1是本發(fā)明的實(shí)施方式的壓力動作閥的縱向剖視圖。圖2是表示圖1的膜片體的結(jié)構(gòu)的剖視圖。圖3(a)是構(gòu)成圖2的膜片體的薄膜金屬部件的立體圖，圖3(b)是沿著圖3(a)的X — X線的剖視圖。圖4是示意性地表示在構(gòu)成圖2的膜片體的薄膜金屬部件處于單體狀態(tài)的情況下施加了壓力時(shí)的突部的變形狀態(tài)的圖，圖4(a)是表示突部處于初始位置的初始狀態(tài)的圖，圖4(b)是表示突部整體處于翻轉(zhuǎn)動作開始位置的狀態(tài)的圖，圖4(c)是表示突部處于翻轉(zhuǎn)位置的狀態(tài)的圖。圖5是示意性地表示圖2的膜片體的預(yù)先變形以及變形動作的圖，圖5(a)是表示閉閥時(shí)的狀態(tài)的圖，圖5(b)是表示突部整體處于大致翻轉(zhuǎn)動作開始位置的狀態(tài)的圖，圖5(c)是表示突部處于翻轉(zhuǎn)位置的狀態(tài)的圖。圖6是示意性地表示施加于薄膜金屬部件的流體壓力與該薄膜金屬部件的突部的中央部分的移動量的關(guān)系的曲線圖。此外，在以下的說明中的“上下”的概念與圖1中的上下對應(yīng)，表示各部件的相對的位置關(guān)系，不表示絕對的位置關(guān)系。
[0039]如圖1所示，壓力動作閥I具備閥殼10、閥部件30、螺旋彈簧40、膜片體50、以及限位器60。
[0040]閥殼10具備主體部11和帽部20。
[0041]主體部11例如使用黃銅、不銹鋼等金屬形成為大致圓柱狀，具備一次側(cè)接頭連接孔12、二次側(cè)接頭連接孔13、閥容納空間14、一次側(cè)口 15、閥口 16、彈簧室17、連通路18、以及閥座部19。
[0042]一次側(cè)接頭連接孔12以穿通主體部11的周面的方式形成。二次側(cè)接頭連接孔13以穿通主體部11的圖中下側(cè)的端面的方式形成。閥容納空間14形成為從主體部11的圖中上側(cè)的端面向主體部11內(nèi)伸出的圓柱狀的空間。一次側(cè)口 15形成為連通一次側(cè)接頭連接孔12與閥容納空間14的圖中下部。閥口 16形成連通二次側(cè)接頭連接孔13與閥容納空間14的圖中下部。二次側(cè)接頭連接孔13、閥容納空間14及閥口 16以與主體部11同軸的方式配置。主體部11的閥口 16的周圍的部分作為后述的閥部件30的球閥32離座、落座的閥座部19發(fā)揮功能。彈簧室17以包圍閥容納空間14的方式與該閥容納空間14同軸地配置，形成為從主體部11的圖中上側(cè)的端面向主體部11內(nèi)伸出的大致筒狀的空間。換言之，彈簧室17在閥容納空間14的周圍作為環(huán)狀的深槽而形成。連通路18形成為連通上述一次側(cè)口 15與彈簧室17。
[0043]在一次側(cè)接頭連接孔12安裝有入口接頭12a，入口接頭12a經(jīng)由一次側(cè)口 15與閥容納空間14連通。另外，在二次側(cè)接頭連接孔13安裝有出口接頭13a，作為二次側(cè)口的出口接頭13a的閥口 16側(cè)的開口端經(jīng)由閥口 16與閥容納空間14連通。由此，從入口接頭12a流入到主體部11內(nèi)的流體依次通過一次側(cè)口 15、閥容納空間14、閥口 16，從出口接頭13a流出。另外，一次側(cè)口 15經(jīng)由連通路18與彈簧室17連通。由此，從入口接頭12a流入的流體依次通過一次側(cè)口 15、連通路18，流入到彈簧室17。
[0044]帽部20例如由不銹鋼等金屬構(gòu)成，具備大致圓筒狀的周壁部21和與周壁部21的圖中上端形成為一體的凸緣部22。周壁部21形成為直徑與閥殼10的外徑大致相同的圓筒狀(環(huán)狀)，其圖中下端通過硬釬焊固定安裝于主體部11的圖中上端部。通過在凸緣部22上重疊地配置后述的膜片體50，帽部20與膜片體50 —起劃分作為密閉空間的壓力室23，該壓力室23與主體部11的閥容納空間14相連而構(gòu)成閥室25。
[0045]閥部件30具有分別由不銹鋼等金屬構(gòu)成的閥桿31、作為閥體的球閥32、以及彈簧支架33。閥桿31形成為外徑與閥殼10的閥容納空間14的內(nèi)徑大致相同的圓柱狀。閥桿31以能夠在圖中上下方向(即、主體部的軸向)上滑動移動的方式容納于閥容納空間14。閥桿31的圖中上方的端面與后述的膜片體50 (具體而言，構(gòu)成膜片體50的薄膜金屬部件51的突部54的第二構(gòu)成部分56)按壓接觸。在本實(shí)施方式中，該端面的直徑比與之按壓接觸的第二構(gòu)成部分56的直徑小。球閥32形成為球體狀，固定安裝于閥桿31的圖中下端。球閥32與閥桿31 —起在圖中上下方向上移動，相對于閥殼10的閥座部19離座、落座，對閥口 16進(jìn)行開閉。彈簧支架33形成為內(nèi)徑與閥桿31的外徑相同的圓環(huán)狀，以凸緣狀固定安裝于閥桿31的圖中上部。
[0046]螺旋彈簧40與彈簧室17同軸地容納于閥殼10的該彈簧室17。螺旋彈簧40以壓縮狀態(tài)配置于閥殼10的主體部11 (彈簧室17的底面)與閥部件30的彈簧支架33之間。螺旋彈簧40將閥桿31的圖中上端向后述的膜片體50的第二構(gòu)成部分56 (中央部分C)按壓。由此，閥桿31追隨膜片體50的變形在圖中上下方向移動，伴隨于此，球閥32相對于閥座部19離座、落座。也就是，閥桿31以伴隨膜片體50的變形而開閉閥口 16的方式連結(jié)該膜片體50與球閥32。
[0047]膜片體50例如層疊多個(gè)薄膜金屬部件51而構(gòu)成，該薄膜金屬部件51由不銹鋼等金屬構(gòu)成，俯視呈圓形狀并具有彈性。膜片體50通過層疊多個(gè)薄膜金屬部件51而以與帽部20的外徑大致相同的直徑形成，并配置成其周緣與帽部20的凸緣部22重疊，堵塞該帽部20的圖中上側(cè)的開口。膜片體50與帽部20 —起劃分作為密閉空間的壓力室23。在閥部件30的閥桿31容納于閥容納空間14的狀態(tài)下，該壓力室23經(jīng)由閥殼10的彈簧室17、連通路18以及一次側(cè)口 15而與閥容納空間14相連。另外，膜片體50利用其彈力在閉閥時(shí)通過閥桿31向閥座部19按壓球閥32。關(guān)于該膜片體50的詳細(xì)將于后文敘述。
[0048]限位器60例如使用不銹鋼等金屬形成為與膜片體50大致相同直徑的俯視呈圓形狀的平板。限位器60與膜片體50的圖中上側(cè)重疊地配置，防止膜片體50的過度變形。另夕卜，在限位器60的中央部分形成有貫通孔61。
[0049]閥殼10的帽部20的凸緣部22、膜片體50以及限位器60各自的周緣部通過焊接以成為一體的方式相互固定安裝。
[0050]根據(jù)以上的結(jié)構(gòu)，壓力動作閥I從入口接頭12a流入例如R410A等的氟利昂系等制冷劑(流體)，該制冷劑經(jīng)由一次側(cè)口 15、連通路18、彈簧室17以及壓力室23而向膜片體50施加壓力。
[0051]在該制冷劑的壓力(流體壓力)為預(yù)先設(shè)定的壓力以下的情況下，膜片體50不進(jìn)行向翻轉(zhuǎn)動作方向(圖中上方)側(cè)的變形，而是利用膜片體50并經(jīng)由閥桿31向閥座部19按壓球閥32，從而成為閥口關(guān)閉的閉閥狀態(tài)。此時(shí)，從入口接頭12a流入的制冷劑從一次側(cè)口 15流入閥容納空間14，但在閉閥狀態(tài)下，球閥32關(guān)閉閥口 16，制冷劑不會流向出口接頭13a。
[0052]另一方面，制冷劑的壓力變高，若達(dá)到預(yù)先設(shè)定的壓力以上，則膜片體50向翻轉(zhuǎn)動作方向變形，閥桿31和球閥32因螺旋彈簧40的彈力而追隨膜片體50的變形并移動。由此，閥口 16敞開,成為開閥狀態(tài)。
[0053]接著，對膜片體50的結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0054]如圖2、圖3(a)、(b)所示，膜片體50通過層疊由不銹鋼等金屬構(gòu)成的俯視呈圓形狀的多個(gè)薄膜金屬部件51而構(gòu)成，在多個(gè)薄膜金屬部件51之間的空間填充有例如粘度比較高的油等非壓縮性流體52。在圖2中，為了便于說明，多個(gè)薄膜金屬部件51之間的空間記載得比較寬闊，但在實(shí)際的結(jié)構(gòu)中，為比薄膜金屬部件51的厚度小的微小的空間。
[0055]多個(gè)薄膜金屬部件51的各個(gè)形成為相同的形狀。具備:俯視呈圓環(huán)狀的環(huán)狀平板部53;以及與該環(huán)狀平板部53的內(nèi)緣一體地連接的俯視呈圓形狀且向一個(gè)方向(在圖2及圖3(b)為下方)隆起為山狀的突部54。突部54形成為在未加力的初始形狀中呈大致半球形狀。另外，突部54具備:與環(huán)狀平板部53 —體地連接的環(huán)狀的第一構(gòu)成部分55 ；以及與第一構(gòu)成部分55的內(nèi)緣一體地連接的俯視呈圓形狀的第二構(gòu)成部分56。第一構(gòu)成部分55和第二構(gòu)成部分56以同心狀配置并在半徑方向上依次連接。第一構(gòu)成部分55形成為在其周向及半徑方向上向外側(cè)凸出地彎曲。第二構(gòu)成部分56形成為圓形平板狀。也就是，第二構(gòu)成部分56形成為，半徑方向的彎曲程度與第一構(gòu)成部分55不同，而且相對于環(huán)狀平板部53的傾斜程度也不同。多個(gè)薄膜金屬部件51的各個(gè)配置成突部54朝向主體部11的閥座部19 (即、閥口 16)凸出，并在相互層疊的同時(shí)突部54相互不固定，而且環(huán)狀平板部53以相互固定而一體化的狀態(tài)安裝于閥殼10的帽部20。
[0056]薄膜金屬部件51形成為，在單體狀態(tài)(一張的狀態(tài))下，突部54進(jìn)行速動式的翻轉(zhuǎn)動作(凸出方向翻轉(zhuǎn)的動作)。圖4(a)?(C)示意性地表示該速動式的翻轉(zhuǎn)動作。SP、薄膜金屬部件51構(gòu)成為，若向突部54的整體逐漸施加力，則突部54從來自外部的力未施加于突部54的初始位置PO的初始形狀(圖4(a))朝向翻轉(zhuǎn)動作方向(圖中上方)側(cè)變形(以突出量變少的方式變形)，當(dāng)該突部54整體變形至到達(dá)規(guī)定的翻轉(zhuǎn)動作開始位置Pl (圖4 (b))的形狀時(shí)，則一下進(jìn)行翻轉(zhuǎn)動作，變形至翻轉(zhuǎn)位置P2 (圖4 (c))。
[0057]這種薄膜金屬部件51的速動式的翻轉(zhuǎn)動作伴隨突部54的變形而進(jìn)行。即、如果將從初始位置PO至翻轉(zhuǎn)動作開始位置Pl設(shè)為正的彈簧常數(shù)，若突部54超過翻轉(zhuǎn)動作開始位置Pl進(jìn)行變形，則彈簧常數(shù)的值翻轉(zhuǎn)而成為負(fù)的彈簧常數(shù)，進(jìn)行翻轉(zhuǎn)動作直至翻轉(zhuǎn)位置P2。
[0058]多個(gè)薄膜金屬部件51相互層疊且在它們之間填充有非壓縮性流體52的狀態(tài)下將環(huán)狀平板部53相互固定，由此被一體化而成為膜片體50。在本實(shí)施方式中，通過層疊兩張薄膜金屬部件來構(gòu)成膜片體50。
[0059]參照圖5對該膜片體50的動作進(jìn)行說明。在圖5中，用符號51A表示與閥桿31相接觸的薄膜金屬部件51 ( S卩、離閥口 16最近的薄膜金屬部件51)，用符號51B表示層疊于薄膜金屬部件51A上的其他薄膜金屬部件51。
[0060]膜片體50以在閉閥時(shí)預(yù)先變形的狀態(tài)配設(shè)。具體而言，如圖5(a)示意性地所示，在該突部54以如下方式變形了的狀態(tài)下，環(huán)狀平板部53固定于帽部20，S卩，在球閥32落座于閥座部19的閉閥時(shí)，薄膜金屬部件51A的突部54的中央部分C配置成向翻轉(zhuǎn)動作方向(圖中上方)側(cè)超過該薄膜金屬部件51A的翻轉(zhuǎn)動作開始位置Pl的與該中央部分C對應(yīng)的位置，而且，該突部54的中央部分C以外的部分配置為比翻轉(zhuǎn)動作開始位置Pl的與中央部分C以外的部分對應(yīng)的位置更靠跟前(圖中下方)。隨著薄膜金屬部件51A的變形，與之層疊的其他薄膜金屬部件51B也成為變形后的狀態(tài)。在這種狀態(tài)下，薄膜金屬部件51A由于其突部54整體達(dá)到翻轉(zhuǎn)動作開始位置Pl時(shí)進(jìn)行翻轉(zhuǎn)動作，因此僅中央部分C配置為超過翻轉(zhuǎn)動作開始位置Pl也不進(jìn)行翻轉(zhuǎn)動作。對于其他的薄膜金屬部件51B也同樣。
[0061]在本實(shí)施方式中，構(gòu)成為薄膜金屬部件51A的突部54的中央部分C與該突部54的第二構(gòu)成部分56 —致。不言而喻，并不限定于此，中央部分C的大小根據(jù)壓力動作閥的結(jié)構(gòu)、壓力特性等，在從突部54的中心至該突部的半徑的1/5?1/2程度的范圍內(nèi)適當(dāng)設(shè)定，以便發(fā)揮作為對閥口 16進(jìn)行開閉的膜片體的作用效果。
[0062]并且，在圖5(a)所示的閉閥時(shí)，閥桿31處于位置Q0，并且，若施加于膜片體50的流體壓力從該狀態(tài)逐漸上升，則薄膜金屬部件51A的突部54的中央部分C以外的部分朝向翻轉(zhuǎn)動作開始位置Pl逐漸變形，但中央部分C保持在該位置，閥桿31不移動，停留在位置Q0。然后，如圖5(b)所示，若突部54整體基本上到達(dá)翻轉(zhuǎn)動作開始位置P1，則包含中央部分C的突部54整體朝向翻轉(zhuǎn)動作方向開始變形。此時(shí)，由于在薄膜金屬部件51A上層疊有其他薄膜金屬部件51B，因此在它們之間產(chǎn)生滑動阻力，而且如上述那樣，由于預(yù)先發(fā)生了變形，薄膜金屬部件51A被強(qiáng)有力地按壓到其他薄膜金屬部件51B，滑動阻力進(jìn)一步變大。因此，各薄膜金屬部件51A、51B的速動式的動作被該滑動阻力抑制而不會一下變化至翻轉(zhuǎn)位置P2，而是根據(jù)壓力變化進(jìn)行變形。另外，由于速動式的動作被薄膜金屬部件51A、51B間的滑動阻力抑制，因此膜片體變形，即使變形至若各薄膜金屬部件為單體狀態(tài)則會進(jìn)行速動式動作的程度的情況下，膜片體自身的彈簧常數(shù)也不會成為負(fù)的值(欲向翻轉(zhuǎn)動作方向變形的方向)，該彈簧常數(shù)成為O或接近于O的正(欲返回初始形狀的方向)的值，由此，變?yōu)橄鄬τ趬毫ψ兓冃瘟勘容^大的慢動式的動作。因此，閥桿31也追隨其進(jìn)行移動，如圖5(c)所示，在薄膜金屬部件51A變形至翻轉(zhuǎn)位置P2，閥桿31到達(dá)位置Q2。此外，在上述中，主要著眼于薄膜金屬部件51A對變形動作進(jìn)行了說明，但伴隨薄膜金屬部件51A的變形，層疊于該薄膜金屬部件51A上的其他薄膜金屬部件51B也同樣地變形。
[0063]圖6示意性地表示上述的進(jìn)行慢動式的動作的結(jié)構(gòu)、和以往的進(jìn)行速動式的動作的結(jié)構(gòu)的各結(jié)構(gòu)中的閥桿相對于流體壓力的移動量(即、薄膜金屬部件51A的中央部分C的變形量)的曲線圖。
[0064]膜片體50是如上述那樣通過不預(yù)先變形來進(jìn)行速動式的翻轉(zhuǎn)動作的以往的結(jié)構(gòu)，如圖6中虛線所示，由于膜片體50不預(yù)先變形，因此閥桿31的初始的位置處于比上述位置QO低的位置(更加遠(yuǎn)離位置Q2的位置)。若流體壓力從該狀態(tài)開始逐漸變大，則膜片體50根據(jù)該流體壓力而逐漸變形，閥桿31朝向位置Q2逐漸移動。并且，在達(dá)到規(guī)定的壓力Al時(shí)，膜片體50進(jìn)行速動式的翻轉(zhuǎn)動作，閥桿31 —下移動至位置Q2。因此，閥室25內(nèi)的壓力急劇變動，產(chǎn)生振動動作。
[0065]另一方面，在膜片體50如上述那樣通過預(yù)先變形來進(jìn)行慢動式的動作的本實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)中，如圖6中實(shí)線所示，膜片體50預(yù)先變形，因此在初始狀態(tài)下，閥桿31處于上述位置Q0。若流體壓力從該狀態(tài)開始逐漸變大，則僅僅構(gòu)成膜片體50的多個(gè)薄膜金屬部件51的突部54的中央部分C以外的部分主要變形，該中央部分C的位置不變化，閥桿31仍然處于位置Q0。然后，在成為比上述壓力Al低的規(guī)定的壓力A2時(shí)，突部54的整體大致達(dá)到翻轉(zhuǎn)動作開始位置P1，進(jìn)行與壓力相應(yīng)地變形量比較大的慢動式的翻轉(zhuǎn)動作，閥桿31與流體壓力相應(yīng)地移動至位置Q2。因此，閥室25內(nèi)的壓力不會急劇變動，可抑制振動動作。
[0066]如以上說明的那樣，本實(shí)施方式的壓力動作閥I具備:閥殼10 ;膜片體50，其與閥殼10 —起劃分閥室25，并通過層疊利用該閥室25內(nèi)的流體壓力進(jìn)行變形的多個(gè)彈性薄膜金屬部件51而構(gòu)成；以及閥座部19，其設(shè)置于閥殼10，且形成有伴隨流體壓力引起的膜片體50的變形而開閉的閥口 16。構(gòu)成膜片體50的多個(gè)薄膜金屬部件51的各個(gè)具有環(huán)狀平板部53、和與該環(huán)狀平板部53的內(nèi)緣一體地連接的俯視呈圓形狀且向一個(gè)方向隆起成山狀的突部54，形成為在單體狀態(tài)下，突部54整體在從初始形狀朝向與上述一個(gè)方向相反的翻轉(zhuǎn)動作方向變形至到達(dá)規(guī)定的翻轉(zhuǎn)動作開始位置Pl的形狀時(shí)，該突部54進(jìn)行速動式的翻轉(zhuǎn)動作，突部54以分別朝向同一方向的方式相互層疊。膜片體50以使多個(gè)薄膜金屬部件51的各個(gè)突部54朝向閥口 16側(cè)的方式將該膜片體50的周緣固定于閥殼10，閥口 16與離該閥口 16最近的薄膜金屬部件51A的突部54的中央部分C的移動相應(yīng)地開閉。并且，在閥口 16被關(guān)閉的閉閥時(shí)，預(yù)先變形成:離閥口 16最近的薄膜金屬部件51A的突部54的中央部分C配置為向翻轉(zhuǎn)動作方向側(cè)超過翻轉(zhuǎn)動作開始位置Pl的與該中央部分C對應(yīng)的位置，而且該突部54的中央部分C以外的部分配置在翻轉(zhuǎn)動作開始位置Pl的與該中央部分C以外的部分對應(yīng)的位置的跟前。
[0067]另外，多個(gè)薄膜金屬部件51的各突部54具有以同心狀配置并在半徑方向上依次連接的第一構(gòu)成部分55以及第二構(gòu)成部分56，這些第一構(gòu)成部分55以及第二構(gòu)成部分56形成為，半徑方向的彎曲程度或者相對于環(huán)狀平板部53的傾斜程度與鄰接的其他構(gòu)成部分相互不同。
[0068]另外，還具備:對閥口 16進(jìn)行開閉的球閥32 ;以及以伴隨膜片體50的變形而開閉閥口 16的方式連結(jié)該膜片體50和球閥32的圓柱狀的閥桿31，閥桿31的膜片體50側(cè)的端面的直徑比膜片體50的位于離閥口 16最近的薄膜金屬部件51A的突部54的中央的第二構(gòu)成部分56的直徑小。
[0069]另外，在多個(gè)薄膜金屬部件51之間填充有非壓縮性流體52。
[0070]以上，根據(jù)本實(shí)施方式，構(gòu)成膜片體50的多個(gè)薄膜金屬部件51的各個(gè)具有環(huán)狀平板部53、和與該環(huán)狀平板部53的內(nèi)緣一體地連接的俯視呈圓形狀且向一個(gè)方向隆起成山狀的突部54。多個(gè)薄膜金屬部件51的各個(gè)形成為，在單體狀態(tài)下，突部54整體在從初始形狀朝向與上述一個(gè)方向相反的翻轉(zhuǎn)動作方向變形至到達(dá)規(guī)定的翻轉(zhuǎn)動作開始位置Pl的形狀時(shí)，該突部54進(jìn)行速動式的翻轉(zhuǎn)動作。多個(gè)薄膜金屬部件51以突部54分別朝向同一方向的方式相互層疊。膜片體50以多個(gè)薄膜金屬部件51的各個(gè)突部54朝向閥口 16側(cè)的方式，將該膜片體50的周緣固定于閥殼10。閥口 16與離該閥口 16最近的薄膜金屬部件51A的突部54的中央部分C的移動相應(yīng)地開閉。并且，在閥口 16被關(guān)閉的閉閥時(shí)，以如下方式預(yù)先變形，離閥口 16最近的薄膜金屬部件51A的突部54的中央部分C配置成向翻轉(zhuǎn)動作方向側(cè)超過翻轉(zhuǎn)動作開始位置Pl的與該中央部分C對應(yīng)的位置，而且該突部54的中央部分C以外的部分配置在翻轉(zhuǎn)動作開始位置Pl的與該中央部分C以外的部分對應(yīng)的位置的跟前。
[0071]這樣，(i)構(gòu)成膜片體50的多個(gè)薄膜金屬部件51的各個(gè)在單體狀態(tài)下進(jìn)行速動式動作，層疊這些多個(gè)薄膜金屬部件51而構(gòu)成膜片體50，因此在變形時(shí)在薄膜金屬部件51間產(chǎn)生滑動阻力，(ii)并且，在閥口 16的閉閥時(shí)，離該閥口 16最近的薄膜金屬部件51A的突部54的中央部分C配置成超過預(yù)先翻轉(zhuǎn)動作開始位置P1，因此多個(gè)薄膜金屬部件51的各個(gè)突部54的中央部分C成為彼此相接觸的狀態(tài)，薄膜金屬部件51之間產(chǎn)生的滑動阻力進(jìn)一步變大，抑制了速動式動作。因此，通過抑制多個(gè)薄膜金屬部件51的各個(gè)的速動式動作，作為膜片體50成為與流體壓力相應(yīng)的變形動作(慢動式的動作)，因此與速動式的動作相比，能夠抑制閥室25內(nèi)的急劇的壓力變動，能夠抑制振動動作。
[0072](iii)另外，由于薄膜金屬部件51間的滑動阻力抑制了若超過規(guī)定的壓力則一下變形的速動式的動作，因此相對于壓力的變化能夠得到比較大的變形量。因此，即使流體壓力的變化量小，膜片體50也較大地變形，因而在開閥時(shí)能夠確保比較大的流量。
[0073]另外，構(gòu)成膜片體50的多個(gè)薄膜金屬部件51的突部54具有以同心狀配置并在半徑方向上依次連接的第一構(gòu)成部分55以及第二構(gòu)成部分56，這些第一構(gòu)成部分55以及第二構(gòu)成部分56的各個(gè)形成為，半徑方向的彎曲程度或者相對于環(huán)狀平板部53的傾斜程度與鄰接的其他構(gòu)成部分相互不同。這樣，與例如整體平滑地連續(xù)彎曲的半球形狀的突部等相比，例如，如果各構(gòu)成部分是彎曲的形狀，則能夠獨(dú)立地調(diào)整各構(gòu)成部分的彎曲程度，或者，如果各構(gòu)成部分是在一個(gè)方向(例如半徑方向)上平坦的形狀，則能夠獨(dú)立地調(diào)整相對于環(huán)狀平板部的傾斜程度，由此，能夠?qū)τ傻谝粯?gòu)成部分55以及第二構(gòu)成部分56構(gòu)成的突部54的變形特性在更大幅度的范圍內(nèi)進(jìn)行調(diào)整。因此，能夠容易地得到所希望的變形特性的膜片體50。
[0074]另外，還具備:對閥口 16進(jìn)行開閉的球閥32 ;以及以伴隨膜片體50的變形而開閉閥口 16的方式連結(jié)該膜片體50和球閥32的圓柱狀的閥桿31。并且，閥桿31的膜片體50側(cè)的端面的直徑比膜片體50的位于離閥口 16最近的薄膜金屬部件51A的突部54的中央的第二構(gòu)成部分56的直徑小。這樣，位于薄膜金屬部件51的突部54的中央的第二構(gòu)成部分56由于剛性低而容易變形，因此該第二構(gòu)成部分56容易與其他薄膜金屬部件51相接觸，因此，能夠增大摩擦阻力。由此，能夠進(jìn)一步抑制速動式的動作，成為與流體壓力相應(yīng)的變形動作(慢動式的動作)。
[0075]另外，在多個(gè)薄膜金屬部件51之間填充有非壓縮性流體52。這樣，即使在層疊的薄膜金屬部件51間存在微小的空間，也由于一個(gè)薄膜金屬部件51的變形經(jīng)由非壓縮性流體52而傳遞到鄰接的其他薄膜金屬部件51，因此能夠提高相對于流體壓力的閥開閉的反應(yīng)性，因此對微小的壓力變化也能夠得到比較大的變形量。
[0076]以上，以優(yōu)選的實(shí)施方式為例對本發(fā)明進(jìn)行了說明，但本發(fā)明的壓力動作閥并不限定于上述的實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)。
[0077]例如，在上述的實(shí)施方式中，構(gòu)成膜片體50的多個(gè)薄膜金屬部件51分別形成為相同的形狀，但并不限定于此。例如，也可以做成下述結(jié)構(gòu)的膜片體50A，即、如圖7所示，層疊多個(gè)薄膜金屬部件51 ( 一張薄膜金屬部件51A、三張薄膜金屬部件51C),在離閥口最近的薄膜金屬部件51A以外的其他多個(gè)薄膜金屬部件51C，在中央設(shè)有貫通孔58。換言之，從多個(gè)薄膜金屬部件51除去離閥口 16最近的薄膜金屬部件51A后剩余的薄膜金屬部件51C中的至少一個(gè)在其突部54的中央形成有貫通孔58也可以。這樣，通過改變該貫通孔58的形狀、大小、或者設(shè)有貫通孔58的薄膜金屬部件51的數(shù)量等，能夠?qū)δてw50A的變形特性在更大幅度的范圍內(nèi)進(jìn)行調(diào)整。因此，能夠容易地得到所希望的變形特性的膜片體。
[0078]另外，在上述的實(shí)施方式中，膜片體50通過層疊兩張薄膜金屬部件51 (51A、51B)而構(gòu)成，但并不限定于此，也可以層疊三張以上的薄膜金屬部件51而構(gòu)成。另外，膜片體50構(gòu)成為在多個(gè)薄膜金屬部件51之間填充有非壓縮性流體52，但并限定于此，也可以做成省略非壓縮性流體52的結(jié)構(gòu)。
[0079]另外，在上述的實(shí)施方式中，如圖3所示，薄膜金屬部件51的突部54是具備環(huán)狀的第一構(gòu)成部分55和圓形平板狀的第二構(gòu)成部分56的結(jié)構(gòu)，但并限定于此。例如，也可以如圖8(a)所示，做成具有相對于第一構(gòu)成部分55形成為凹狀的第二構(gòu)成部分56D的薄膜金屬部件51D，或者也可以如圖8(b)所示，做成具有相對于第一構(gòu)成部分55減小了彎曲程度的(增大曲率的)凸?fàn)畹牡诙?gòu)成部分56E的薄膜金屬部件51E。或者，也可以如圖8(c)所示，做成具有整體平滑地連續(xù)地彎曲的半球形狀的突部54F的薄膜金屬部件51F。或者，也可以如圖8 (d)所示，做成具備突部54G的薄膜金屬部件51G，該突部54G具備同心狀地配置且在半徑方向上依次連接的第一構(gòu)成部分55G、第二構(gòu)成部分56G以及第三構(gòu)成部分57G，第一構(gòu)成部分55G、第二構(gòu)成部分56G以及第三構(gòu)成部分57G在半徑方向上平緩地形成，并且形成為相對于環(huán)狀平板部53的傾斜程度與鄰接的其他構(gòu)成部分不同。即、只要不違背本發(fā)明的目的，構(gòu)成膜片體的薄膜金屬部件也可以形成為其突部具有同心狀配置并在半徑方向上依次連接的多個(gè)構(gòu)成部分，多個(gè)構(gòu)成部分的各個(gè)形成為，半徑方向的彎曲程度或者相對于環(huán)狀平板部的傾斜程度與鄰接的其他構(gòu)成部分相互不同?；蛘?，其突部也可以形成為整體平滑地連續(xù)地彎曲的形狀。
[0080]另外，在上述的實(shí)施方式中，是經(jīng)由閥部件30而間接地對閥口 16進(jìn)行開閉的結(jié)構(gòu)，該閥部件30與因閥室25內(nèi)的流體壓力而變形的膜片體50連動并移動，但并不限定于此。例如，也可以如圖11的以往的壓力動作閥的結(jié)構(gòu)那樣，做成膜片體直接按壓到閥座部，通過膜片體的變形來直接地對閥口進(jìn)行開閉的結(jié)構(gòu)。
[0081]此外，上述的實(shí)施方式只不過是表示本發(fā)明的代表性的方式，本發(fā)明并不限定于實(shí)施方式。即、本領(lǐng)域人員能夠根據(jù)以往公知的見解，在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍進(jìn)行各種變形并實(shí)施。只要通過該變形仍然具備本發(fā)明的壓力動作閥的結(jié)構(gòu)，不言而喻，也包含在本發(fā)明的范疇。
[0082]接著，本發(fā)明的
【發(fā)明者】為了確認(rèn)本發(fā)明的效果而關(guān)于上述的壓力動作閥I制作了預(yù)先變形量不同的結(jié)構(gòu)的實(shí)施例1、2以及比較例1、2，關(guān)于各實(shí)施例1、2以及比較例1、2，進(jìn)行了如下實(shí)驗(yàn)，即進(jìn)行相對于施加給膜片體50的壓力的閥桿31移動量(即、膜片體50的變形量)的確認(rèn)。
[0083]首先，對在實(shí)施例1、2以及比較例1、2中使用的薄膜金屬部件51的具體結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。該薄膜金屬部件51從不銹鋼板沖裁直徑20mm的圓板并且將該圓板的中央鍛造成大致半球狀而成為圖3(a)、(b)所示的形狀。該薄膜金屬部件51具有:外徑(Dl)為20_、內(nèi)徑(D2)為14mm的環(huán)狀平板部53 ;以及與環(huán)狀平板部53的內(nèi)緣一體地連接的直徑(D2)為14mm的突部54，厚度(T)形成為0.15mm。該薄膜金屬部件51的突部54具有:外徑(D2)為14_、內(nèi)徑(D3)為4_的環(huán)狀的第一構(gòu)成部分55 ;以及直徑(D3)為4_的圓形平板狀的第二構(gòu)成部分56，將突部54距離環(huán)狀平板部53的鍛造高度(從環(huán)狀平板部53至第二構(gòu)成部分56的高度H)設(shè)為0.84mm。
[0084]圖9表示該薄膜金屬部件51的單體狀態(tài)下的變形量相對于壓力的關(guān)系的曲線圖。圖中，虛線框內(nèi)是進(jìn)行速動式的翻轉(zhuǎn)動作的變形量的范圍，在該薄膜金屬部件51 (實(shí)線的曲線圖(實(shí)施例1、2、比較例1、2))中，為0.22mm?0.65mm。此外，作為參考，關(guān)于上述結(jié)構(gòu)的薄膜金屬部件51，也對僅鍛造高度(H)變更為0.71mm或0.64mm后的薄膜金屬部件(單點(diǎn)劃線的曲線圖(參考例I)、以及虛線的曲線圖(參考例2))表示出曲線圖。在參考例I中，上述范圍為0.18mm?0.60mm，在參考例2中，為0.21mm?0.75_。
[0085](實(shí)施例1)
[0086]層疊兩張上述的薄膜金屬部件51并且在它們之間填充非壓縮性流體52來制作膜片體50，以該膜片體50中的離閥口 16最近的薄膜金屬部件51A的中央部分C的預(yù)先變形量為0.37mm的方式，制作組裝該膜片體50而得到的壓力動作閥I，將其作為實(shí)施例1。(即、使預(yù)先變形量在進(jìn)行上述的速動式的翻轉(zhuǎn)動作的變形量的范圍內(nèi)(0.22mm?0.65mm)。)
[0087](實(shí)施例2)
[0088]在實(shí)施例1中，除了使膜片體50中的薄膜金屬部件51A的中央部分C的預(yù)先變形量為0.57mm以外，以與實(shí)施例1相同的結(jié)構(gòu)進(jìn)行制作，將其作為實(shí)施例2。( S卩、使預(yù)先變形量在進(jìn)行上述的速動式的翻轉(zhuǎn)動作的變形量的范圍內(nèi)(0.22mm?0.65mm)。)
[0089](比較例I)
[0090]在實(shí)施例1中，除了使膜片體50中的薄膜金屬部件51A的中央部分C的預(yù)先變形量為0.18mm以外，以與實(shí)施例1相同的結(jié)構(gòu)進(jìn)行制作，將其作為比較例I。(即、使預(yù)先變形量在進(jìn)行上述的速動式的翻轉(zhuǎn)動作的變形量的范圍外(0.22mm?0.65mm)。)
[0091](比較例2)
[0092]在實(shí)施例1中，除了使膜片體50中的薄膜金屬部件51A的中央部分C的預(yù)先變形量為0.0Omm(未預(yù)先變形)以外，以與實(shí)施例1相同的結(jié)構(gòu)進(jìn)行制作，將其作為比較例2。(即、使預(yù)先變形量在進(jìn)行上述的速動式的翻轉(zhuǎn)動作的變形量的范圍外(0.22mm?
0.65mm)。)
[0093](測定閥桿的移動量)
[0094]在上述的實(shí)施例1、2以及比較例1、2的壓力動作閥I中，測定閥桿31相對于從入口接頭12a流入的流體的壓力的移動量，并基于以下的判定基準(zhǔn)來進(jìn)行判定。
[0095]〇…曲線圖中沒有進(jìn)行與縱軸平行的變化的部分，不進(jìn)行速動式的動作。
[0096]X…曲線圖中具有進(jìn)行與縱軸平行的變化的部分，進(jìn)行速動式的動作。
[0097]圖10表示實(shí)施例1、2以及比較例1、2中的閥桿相對于流體壓力的移動量的測定結(jié)果的曲線圖。以下表示實(shí)施例1、2以及比較例1、2中的判定結(jié)果。
[0098]實(shí)施例Ρ..〇
[0099]實(shí)施例2…〇
[0100]比較例1...X
[0101]比較例2...X
[0102]在實(shí)施例1、2中，不進(jìn)行速動式的動作，從圖10的曲線圖還可知，閥桿31的移動量、即膜片體50的變形量與壓力相應(yīng)地變化。即、進(jìn)行慢動式的動作。另一方面，在比較例
1、2中，進(jìn)行速動式的動作，從圖10的曲線圖還可知，在規(guī)定的壓力下，閥桿31的移動量在某個(gè)壓力下急劇地(與縱軸方向平行地)變化。即、進(jìn)行速動式的動作。
[0103]由此可知，在實(shí)施例1、2中，由于閥桿31與流體壓力相應(yīng)地移動，因此不會產(chǎn)生急劇的流量的增減，可抑制振動動作。另一方面可知，在比較例1、2中，在規(guī)定的流體壓力下，閥桿31較大地移動，因此產(chǎn)生急劇的流量的增減，產(chǎn)生振動動作。
[0104]這樣，從實(shí)際的動作結(jié)果可知，本發(fā)明具有能夠抑制流量反復(fù)增減而引起的振動動作的效果。
【權(quán)利要求】
1.一種壓力動作閥，具備:閥殼；膜片體，其與上述閥殼一起劃分閥室，并通過層疊因該閥室內(nèi)的流體壓力而變形的多個(gè)彈性薄膜金屬部件而構(gòu)成；以及閥座部，其設(shè)于上述閥殼，且形成有伴隨上述流體壓力引起的上述膜片體的變形而開閉的閥口，上述壓力動作閥的特征在于， 上述多個(gè)薄膜金屬部件的各個(gè)具有環(huán)狀平板部、和與該環(huán)狀平板部的內(nèi)緣一體地連接的俯視呈圓形狀且向一個(gè)方向隆起成山狀的突部，形成為在單體狀態(tài)下，上述突部整體從初始形狀朝向與上述一個(gè)方向相反的翻轉(zhuǎn)動作方向變形至到達(dá)規(guī)定的翻轉(zhuǎn)動作開始位置的形狀時(shí)，該突部進(jìn)行速動式的翻轉(zhuǎn)動作，并且上述突部以分別朝向同一方向的方式相互層疊， 上述膜片體以使上述多個(gè)薄膜金屬部件各個(gè)的突部朝向上述閥口側(cè)的方式將該膜片體的周緣固定于上述閥殼， 上述閥口與離該閥口最近的上述薄膜金屬部件的突部的中央部分的移動相應(yīng)地開閉， 在上述閥口被關(guān)閉的閉閥時(shí)，預(yù)先變形為如下形狀，離上述閥口最近的上述薄膜金屬部件的突部的中央部分配置成向上述翻轉(zhuǎn)動作方向側(cè)超過上述翻轉(zhuǎn)動作開始位置的與該中央部分對應(yīng)的位置，而且該突部的中央部分以外的部分配置在比上述翻轉(zhuǎn)動作開始位置的與該中央部分以外的部分對應(yīng)的位置更靠跟前。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力動作閥，其特征在于， 上述突部具備以同心狀配置并在半徑方向上依次連接的多個(gè)構(gòu)成部分， 上述多個(gè)構(gòu)成部分的各個(gè)形成為，半徑方向的彎曲程度或者相對于上述環(huán)狀平板部的傾斜程度與鄰接的其他上述構(gòu)成部分相互不同。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓力動作閥，其特征在于， 還具備:對上述閥口進(jìn)行開閉的閥體；以及 以伴隨上述膜片體的變形而開閉上述閥口的方式連結(jié)該膜片體和上述閥體的圓柱狀的閥桿， 上述閥桿的上述膜片體側(cè)的端面的直徑比上述膜片體的位于離上述閥口最近的上述薄膜金屬部件的突部的中央的上述構(gòu)成部分的直徑小。
4.根據(jù)權(quán)利要求1?3任一項(xiàng)中所述的壓力動作閥，其特征在于， 在上述多個(gè)薄膜金屬部件之間填充有非壓縮性流體。
5.根據(jù)權(quán)利要求1?3任一項(xiàng)中所述的壓力動作閥，其特征在于， 從上述多個(gè)薄膜金屬部件除去離上述閥口最近的上述薄膜金屬部件后剩余的一個(gè)或多個(gè)上述薄膜金屬部件中的至少一個(gè)在其上述突部的中央形成有貫通孔。
【文檔編號】F16K17/04GK104295780SQ201410334840
【公開日】2015年1月21日 申請日期:2014年7月15日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月16日
【發(fā)明者】高田裕正, 松本昌宏 申請人:株式會社鷺宮制作所