兩段式角閥的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種兩段式角閥，其使用于真空艙壓力平衡作業(yè)，包括：一閥體，具有相連通的一第一管道及一第二管道；以及一連接于所述閥體處的驅(qū)動缸，所述驅(qū)動缸并具有一沿軸向位移的驅(qū)動軸，所述驅(qū)動軸端部設(shè)置有一位于所述第一管道與第二管道間的氣密閥片，所述氣密閥片并與第一管道活動氣密。本實用新型的有益效果為：所述驅(qū)動軸可帶動氣密閥片與第一管道先產(chǎn)生一第一間距，以控制第一、第二管道間以較小流量降低壓力差，再產(chǎn)生一較第一間距大的第二間距以大流量完成壓力平衡。確實避免第一、第二管道壓力差所產(chǎn)生氣流造成真空艙內(nèi)待加工物被吹移的問題。
【專利說明】兩段式角閥

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型有關(guān)于真空艙壓力平衡用的兩段式角閥有關(guān)，具體涉及一種具有兩段開啟行程、可先以第一段較小流量降低真空艙壓力差，再以第二段大流量完成真空艙壓力平衡，以避免壓力差所產(chǎn)生氣流造成真空艙內(nèi)待加工物被吹移的問題的兩段式角閥。

【背景技術(shù)】
[0002]晶圓、TFT IXD玻璃基板于制程中常需于真空環(huán)境下處理，一般待加工的晶圓、TFTLCD玻璃基板多于一可抽真空的真空艙內(nèi)進(jìn)行加工，而真空艙通常具有一進(jìn)氣閥門連接大氣或空氣泵，可于加工完成后開啟進(jìn)氣閥門以破除真空艙的真空狀況，并使真空艙之壓力直到與大氣壓力平衡，以方便真空艙可進(jìn)行取料及進(jìn)料動作。
[0003]然而，傳統(tǒng)進(jìn)氣閥門僅有一段行程，只能控制全開或全關(guān)，并無流量控制功效。當(dāng)進(jìn)氣閥門于真空艙真空狀態(tài)下開啟時，開啟初期的壓力差會造成極大、快速的氣流，造成真空艙內(nèi)部的晶圓、TFT LCD玻璃基板容易被吹動而位移，導(dǎo)致晶圓、TFT LCD玻璃基板自載具上掉落、撞擊的問題產(chǎn)生。
實用新型內(nèi)容
[0004]針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，本實用新型的目的在于提供一種兩段式角閥，可產(chǎn)生第一間距及第二間距兩段行程，以控制先以第一間距較小流量降低壓力差，再產(chǎn)生一較第一間距大的第二間距以大流量完成壓力平衡。
[0005]本實用新型的技術(shù)方案如下:
[0006]一種兩段式角閥，包括:一閥體，所述閥體具有相連通的至少一第一管道及至少一第二管道；以及
[0007]一驅(qū)動缸，其一端連接于所述閥體處，并具有一沿驅(qū)動缸軸向位移的驅(qū)動軸，所述驅(qū)動軸端部可供一氣密閥片設(shè)置，且所述氣密閥片位于所述第一管道與第二管道間，所述氣密閥片并與第一管道活動氣密；其中，所述驅(qū)動軸可帶動氣密閥片與第一管道產(chǎn)生一第一間距及一第二間距，使得所述氣密閥片得以控制第一管道及第二管道間的流體流量。
[0008]上述的兩段式角閥，所述驅(qū)動缸還包括有:
[0009]一設(shè)于所述驅(qū)動缸內(nèi)的第一腔室；
[0010]一設(shè)于所述第一腔室的外活塞桿，所述外活塞桿具有一密合于第一腔室壁面的外活塞部，以及一沿驅(qū)動缸軸向設(shè)置的外桿部，所述外桿部軸向穿設(shè)有一軸孔；
[0011]一第二腔室，其設(shè)于所述外活塞部內(nèi)，并與所述軸孔連通；
[0012]一內(nèi)活塞桿，其具有一密合于第二腔室壁面的內(nèi)活塞部，以及一穿設(shè)于所述軸孔內(nèi)的內(nèi)桿部，且所述內(nèi)桿部連接于驅(qū)動軸；
[0013]一連通于第一腔室的外驅(qū)動流道；以及
[0014]一連通于第二腔室的內(nèi)驅(qū)動流道。
[0015]上述的兩段式角閥，所述驅(qū)動缸連接于閥體的一端為一開口，所述開口處設(shè)有一端塊，所述端塊上穿設(shè)有一樞孔，以供所述外桿部端部穿設(shè)。
[0016]上述的兩段式角閥，所述外驅(qū)動流道設(shè)置于端塊內(nèi)，一端連通于所述第一腔室，另一端連通于端塊外部。
[0017]上述的兩段式角閥，所述端塊處沿平行于外活塞桿軸向的方向突伸設(shè)有至少一滑桿，且所述外活塞部設(shè)有可供所述滑桿穿伸的滑孔。
[0018]上述的兩段式角閥，所述內(nèi)驅(qū)動流道具有一設(shè)于端塊內(nèi)之第一段以及一設(shè)于所述滑桿內(nèi)之第二段，且所述第二段一端連通于所述第一段，另一端則連通于所述第二腔室。
[0019]上述的兩段式角閥，所述第二段自滑桿連接于端塊的一端沿滑桿軸心設(shè)置，并于滑桿的外周緣形成一開孔，且所述開孔并連通于第二腔室接近軸孔處。
[0020]上述的兩段式角閥，所述外驅(qū)動流道與內(nèi)驅(qū)動流道連通于端塊外部的一端設(shè)有一接頭O
[0021]上述的兩段式角閥，所述內(nèi)驅(qū)動流道設(shè)有一止逆裝置，俾以限制所述內(nèi)驅(qū)動流道內(nèi)之流體僅能由第一段往第二段方向流動。
[0022]上述的兩段式角閥，所述止逆裝置為一設(shè)置于所述第一段與接頭間的止逆鋼珠，且所述止逆鋼珠往接頭方向位移時，所述止逆鋼珠可與所述接頭密合。
[0023]上述的兩段式角閥，所述驅(qū)動缸相反于所述開口的另一端為一封閉端，所述封閉端與外活塞桿的外活塞部間設(shè)有一復(fù)位彈簧。
[0024]上述的兩段式角閥，所述外活塞部的第二腔室可軸向滑動地設(shè)有一彈簧座，所述彈簧座可供復(fù)位彈簧的端部套設(shè)固定。
[0025]上述的兩段式角閥，所述彈簧座呈中空狀，其內(nèi)設(shè)有一內(nèi)復(fù)位彈簧，且所述內(nèi)復(fù)位彈簧的一端抵接于彈簧座，另一端抵接于內(nèi)活塞部。
[0026]本實用新型的有益效果為:
[0027](I)產(chǎn)生第一間距及第二間距兩段行程，以控制先以第一間距較小流量降低壓力差，再產(chǎn)生一較第一間距大的第二間距以大流量完成壓力平衡。確實避免第一、第二管道壓力差所產(chǎn)生氣流造成真空艙內(nèi)待加工物被吹移之問題；
[0028](2)真空艙剛開啟時由于內(nèi)外壓力差最大，造成需額外增加開啟之驅(qū)動力量。而本實用新型兩段式角閥先以較小第一間距開啟氣密閥片與第一管道，先破除真空艙之真空狀態(tài)，可有效減少開啟所需之驅(qū)動力量，并減少兩段式角閥與氣密閥片之耗損、增加產(chǎn)品耐用度。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0029]圖1為本實用新型的立體結(jié)構(gòu)組合圖。
[0030]圖2為本實用新型的局部立體結(jié)構(gòu)分解圖(一)。
[0031]圖3為本實用新型的局部立體結(jié)構(gòu)分解圖(二)。
[0032]圖4為本實用新型的剖面示意圖。
[0033]圖5為本實用新型剖面動作示意圖(一)。
[0034]圖6為本實用新型剖面動作示意圖(二)。
[0035]其中:
[0036]閥體10
[0037]第一管道11
[0038]第二管道12
[0039]驅(qū)動缸20
[0040]驅(qū)動軸21
[0041]氣密閥片22
[0042]第一間距dl
[0043]第二間距d2
[0044]第一腔室23
[0045]開口24
[0046]封閉端25
[0047]端塊30
[0048]樞孔31
[0049]滑桿32
[0050]外活塞桿40
[0051]外活塞部41
[0052]外桿部42
[0053]軸孔43
[0054]第二腔室44
[0055]滑孔45
[0056]環(huán)槽46
[0057]內(nèi)活塞桿50
[0058]內(nèi)活塞部51
[0059]內(nèi)桿部52
[0060]外驅(qū)動流道60
[0061]內(nèi)驅(qū)動流道70
[0062]接頭63
[0063]第一段71
[0064]第二段72
[0065]開孔721
[0066]接頭73
[0067]止逆裝置74
[0068]止逆鋼珠741
[0069]復(fù)位彈簧80
[0070]彈簧座81
[0071]內(nèi)復(fù)位彈簧82。

【具體實施方式】
[0072]如圖廣圖4所示，本實用新型一種兩段式角閥，包括:
[0073]—閥體10，所述閥體10具有相連通的至少一第一管道11及至少一第二管道12，所述第一管道11連接于真空艙(圖未示)而第二管道12則連通于大氣或空氣泵(圖未示)；以及
[0074]一驅(qū)動缸20，其一端連接于所述閥體10處，并具有一沿驅(qū)動缸20軸向位移的驅(qū)動軸21，所述驅(qū)動軸21端部可供一氣密閥片22設(shè)置，且所述氣密閥片22位于所述第一管道11與第二管道12間，并可受驅(qū)動軸21的帶動與所述第一管道11活動氣密；其中，所述驅(qū)動軸21可帶動氣密閥片22與第一管道11產(chǎn)生一第一間距dl及一第二間距d2，以使得所述氣密閥片22得以控制第一管道11及第二管道12間的流體流量。
[0075]所述驅(qū)動缸20進(jìn)一步包括有:
[0076]一設(shè)于所述驅(qū)動缸20內(nèi)的第一腔室23 ;其中，所述驅(qū)動缸20連接于閥體10之一端為一開口 24，所述開口 24處設(shè)有一端塊30，所述端塊30上穿設(shè)有一樞孔31 ；
[0077]一設(shè)于所述第一腔室23的外活塞桿40，所述外活塞桿40具有一密合于第一腔室23壁面的外活塞部41，以及一沿驅(qū)動缸20軸向設(shè)置的外桿部42，所述外桿部42軸向穿設(shè)有一軸孔43 ;且所述外桿部42端部可滑動地穿設(shè)于樞孔31處；另外，所述端塊30處沿平行于外活塞桿40軸向的方向突伸設(shè)有至少一滑桿32，且所述外活塞部41設(shè)有可供所述滑桿32穿伸之滑孔45 ;在較佳的實施例中，所述滑桿32與滑孔45的數(shù)量可為兩個以上，圖3、圖4中以兩個為例。
[0078]一第二腔室44，其設(shè)于所述外活塞部41內(nèi)，并與所述軸孔43連通；
[0079]一內(nèi)活塞桿50，其具有一密合于第二腔室44壁面的內(nèi)活塞部51，以及一穿設(shè)于所述軸孔43內(nèi)的內(nèi)桿部52，且所述內(nèi)桿部52的端部連接于驅(qū)動軸21 ;其中，在本實施例所述驅(qū)動軸21由外桿部42及內(nèi)桿部52所組成；
[0080]一連通于第一腔室23的外驅(qū)動流道60 ;以及
[0081]一連通于第二腔室44的內(nèi)驅(qū)動流道70，所述外驅(qū)動流道60與內(nèi)驅(qū)動流道70連通于端塊30外部的一端設(shè)有一接頭63、73，以連接于驅(qū)動壓力源(圖未示)，所述驅(qū)動壓力源可為氣體壓力源或液體壓力源，以下為方便說明先以氣體壓力源為實施例說明。
[0082]如圖4，所述外驅(qū)動流道60設(shè)置于端塊30內(nèi)，一端連通于所述第一腔室23，另一端連通于端塊30外部。而所述內(nèi)驅(qū)動流道70具有一設(shè)于端塊30內(nèi)的第一段71及一設(shè)于所述滑桿32內(nèi)的第二段72。所述第一段71自端塊30外部之接頭73連通至滑桿32處(當(dāng)滑桿32為兩個以上的數(shù)量時，僅需于其中一滑桿32設(shè)置第二段72)，而所述第二段72自滑桿32連接于端塊30的一端沿滑桿32軸心設(shè)置，并于滑桿32之外周緣形成一開孔721。另外，所述第二腔室44接近軸孔43的壁面上凹設(shè)有一環(huán)槽46 (如圖4、圖5所示)，當(dāng)所述外活塞部41位于與端塊30相鄰接的位置時，所述開孔721可借由所述環(huán)槽46連通于第二腔室44接近軸孔43之處。
[0083]更進(jìn)一步地，所述內(nèi)驅(qū)動流道70設(shè)有一止逆裝置74，俾以限制所述內(nèi)驅(qū)動流道70內(nèi)之流體僅能由第一段71往第二段72方向流動。其中，所述止逆裝置74為一設(shè)置于所述第一段71與接頭73間的止逆鋼珠741，且所述止逆鋼珠741往接頭73方向位移時，所述止逆鋼珠741可與所述接頭73密合。
[0084]另外，所述驅(qū)動缸20相反于所述開口 24的另一端為一封閉端25，所述封閉端25與外活塞桿40的外活塞部41間設(shè)有一復(fù)位彈簧80，所述外活塞部41的第二腔室44可軸向滑動地設(shè)有一彈簧座81，所述彈簧座81可供復(fù)位彈簧80的端部套設(shè)固定。且所述彈簧座81呈中空狀，其內(nèi)設(shè)有一內(nèi)復(fù)位彈簧82，且所述內(nèi)復(fù)位彈簧82的一端抵接于彈簧座81，另一端抵接于內(nèi)活塞部51。以提供外活塞桿40與內(nèi)活塞桿50彈性回復(fù)原位的力量。
[0085]此外，所述滑桿32相對于端塊30的另一端穿伸過所述外活塞部41的滑孔45后，固定于所述封閉端25處，以增加外活塞桿40滑動時的穩(wěn)定度。
[0086]明了上述本案詳細(xì)結(jié)構(gòu)后，以下針對本案之動作原理逐一詳細(xì)說明:
[0087]如圖4所示，當(dāng)真空艙于真空狀態(tài)時，外驅(qū)動流道60與內(nèi)驅(qū)動流道70處于未進(jìn)氣狀態(tài)，外活塞桿40與內(nèi)活塞桿50受復(fù)位彈簧80、內(nèi)復(fù)位彈簧82的彈性推抵而處于第一腔室23、第二腔室44接近于閥體10的一側(cè)，并使得氣密閥片22與第一管道11氣密。且內(nèi)驅(qū)動流道70的第一段71與第二段72間保持相互連通。
[0088]當(dāng)真空艙需破除真空狀態(tài)時，自所述內(nèi)驅(qū)動流道70輸入驅(qū)動氣體，驅(qū)動氣體自所述接頭73輸入，由第一段71經(jīng)第二段72之開孔721通過環(huán)槽46流動至第二腔室44接近軸孔43處，并驅(qū)動內(nèi)活塞部51于第二腔室44內(nèi)往驅(qū)動缸20的封閉端25方向滑移，使內(nèi)桿部52帶動驅(qū)動軸21、氣密閥片22與第一管道11產(chǎn)生第一間距dl (如圖5所示)。此時，空氣則可以較小的流量緩速自第二管道12流往第一管道11與真空艙內(nèi)，本案得以流量來控制壓力差所產(chǎn)生的氣流流速，確實避免第一、第二管道11、12壓力差所產(chǎn)生氣流造成真空艙內(nèi)待加工物被吹移的問題。
[0089]再如圖6所示，當(dāng)驅(qū)動氣體自所述接頭63輸入外驅(qū)動流道60，并輸送至第一腔室23，使外活塞桿40的外活塞部41，被推往驅(qū)動缸20的封閉端25方向，并使外活塞桿40及位于其內(nèi)的內(nèi)活塞桿50，帶動氣密閥片22與第一管道11產(chǎn)生第二間距d2。以較第一間距dl大的第二間距d2以大流量完成真空艙壓力平衡，以兼具有快速達(dá)成壓力平衡之效果。
[0090]其中，當(dāng)外活塞部41被推往驅(qū)動缸20的封閉端25方向時，所述開孔721會自外活塞部41露出，而與第一腔室23相連通。此時，借由內(nèi)驅(qū)動流道70的止逆裝置74(止逆鋼珠741)，可防止驅(qū)動氣體逆向往接頭73方向流出，以確實防止意外漏氣、動作不確實等問題產(chǎn)生。
[0091]上述實施例僅僅是為清楚地說明本實用新型創(chuàng)造所作的舉例，而并非對本實用新型創(chuàng)造【具體實施方式】的限定。為了清楚地說明各部件的組合關(guān)系，上面對各種說明性的部件及其連接關(guān)系圍繞其功能進(jìn)行了一般地描述，至于這種部件的組合是實現(xiàn)哪種功能，取決于特定的應(yīng)用和對整個裝置所施加的設(shè)計約束條件。對于所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在上述說明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動。這里無需也無法對所有的實施方式予以窮舉。凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)所引伸出的任何顯而易見的變化或變動仍處于本權(quán)利要求的保護(hù)范圍之中。
【權(quán)利要求】
1.一種兩段式角閥，其特征在于，包括: 一閥體，所述閥體具有相連通的至少一第一管道及至少一第二管道；以及 一驅(qū)動缸，其一端連接于所述閥體處，并具有一沿驅(qū)動缸軸向位移的驅(qū)動軸，所述驅(qū)動軸端部可供一氣密閥片設(shè)置，且所述氣密閥片位于所述第一管道與第二管道間，所述氣密閥片并與第一管道活動氣密；其中，所述驅(qū)動軸可帶動氣密閥片與第一管道產(chǎn)生一第一間距及一第二間距，使得所述氣密閥片得以控制第一管道及第二管道間的流體流量。
2.如權(quán)利要求1所述的兩段式角閥，其特征在于，所述驅(qū)動缸還包括有: 一設(shè)于所述驅(qū)動缸內(nèi)的第一腔室； 一設(shè)于所述第一腔室的外活塞桿，所述外活塞桿具有一密合于第一腔室壁面的外活塞部，以及一沿驅(qū)動缸軸向設(shè)置的外桿部，所述外桿部軸向穿設(shè)有一軸孔； 一第二腔室，其設(shè)于所述外活塞部內(nèi)，并與所述軸孔連通； 一內(nèi)活塞桿，其具有一密合于第二腔室壁面的內(nèi)活塞部，以及一穿設(shè)于所述軸孔內(nèi)的內(nèi)桿部，且所述內(nèi)桿部連接于驅(qū)動軸； 一連通于第一腔室的外驅(qū)動流道；以及 一連通于第二腔室的內(nèi)驅(qū)動流道。
3.如權(quán)利要求2所述的兩段式角閥，其特征在于，所述驅(qū)動缸連接于閥體的一端為一開口，所述開口處設(shè)有一端塊，所述端塊上穿設(shè)有一樞孔，以供所述外桿部端部穿設(shè)。
4.如權(quán)利要求2所述的兩段式角閥，其特征在于，所述外驅(qū)動流道設(shè)置于端塊內(nèi)，一端連通于所述第一腔室，另一端連通于端塊外部。
5.如權(quán)利要求4所述的兩段式角閥，其特征在于，所述端塊處沿平行于外活塞桿軸向的方向突伸設(shè)有至少一滑桿，且所述外活塞部設(shè)有可供所述滑桿穿伸的滑孔。
6.如權(quán)利要求5所述的兩段式角閥，其特征在于，所述內(nèi)驅(qū)動流道具有一設(shè)于端塊內(nèi)之第一段以及一設(shè)于所述滑桿內(nèi)之第二段，且所述第二段一端連通于所述第一段，另一端則連通于所述第二腔室。
7.如權(quán)利要求6所述的兩段式角閥，其特征在于，所述第二段自滑桿連接于端塊的一端沿滑桿軸心設(shè)置，并于滑桿的外周緣形成一開孔，且所述開孔并連通于第二腔室接近軸孔處。
8.如權(quán)利要求7所述的兩段式角閥，其特征在于，所述外驅(qū)動流道與內(nèi)驅(qū)動流道連通于端塊外部的一端設(shè)有一接頭。
9.如權(quán)利要求8所述的兩段式角閥，其特征在于，所述內(nèi)驅(qū)動流道設(shè)有一止逆裝置，俾以限制所述內(nèi)驅(qū)動流道內(nèi)之流體僅能由第一段往第二段方向流動。
10.如權(quán)利要求9所述的兩段式角閥，其特征在于，所述止逆裝置為一設(shè)置于所述第一段與接頭間的止逆鋼珠，且所述止逆鋼珠往接頭方向位移時，所述止逆鋼珠可與所述接頭U-1 I=I O
11.如權(quán)利要求3所述的兩段式角閥，其特征在于，所述驅(qū)動缸相反于所述開口的另一端為一封閉端，所述封閉端與外活塞桿的外活塞部間設(shè)有一復(fù)位彈簧。
12.如權(quán)利要求11所述的兩段式角閥，其特征在于，所述外活塞部的第二腔室可軸向滑動地設(shè)有一彈簧座，所述彈簧座可供復(fù)位彈簧的端部套設(shè)固定。
13.如權(quán)利要求12所述的兩段式角閥，其特征在于，所述彈簧座呈中空狀，其內(nèi)設(shè)有一內(nèi)復(fù)位彈簧，且所述內(nèi)復(fù)位彈簧的一端抵接于彈簧座，另一端抵接于內(nèi)活塞部。
【文檔編號】F16K17/20GK204187021SQ201420563856
【公開日】2015年3月4日 申請日期:2014年9月28日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月28日
【發(fā)明者】蔡環(huán)宇 申請人:新萊應(yīng)材科技有限公司