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密封機構、密封機構的驅動裝置、輸送裝置和制造裝置的制作方法

文檔序號:12927782閱讀:來源:國知局
技術總結
本發(fā)明提供一種可提高密封性的密封機構、密封機構的驅動裝置、輸送裝置和制造裝置。密封機構是分隔壓力或氣體不同的2個空間的密封機構,其包括:外殼;軸,其插入到外殼中;以及多個環(huán)狀密封部件,其與軸的一部分或固定于軸的旋轉部的徑向外側表面接觸,對間隙進行密封。多個環(huán)狀密封部件分別含有不同材質的材料,配置于與軸的中心軸平行的軸向上的不同位置。

技術研發(fā)人員:中村剛;金秀樹;樋口英也
受保護的技術使用者:日本精工株式會社
文檔號碼:201480064689
技術研發(fā)日:2014.12.10
技術公布日:2017.11.17

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