本發(fā)明涉及氣動微閥，尤其是涉及一種步進電機氣動微閥。

背景技術：

目前，市場上所使用的壓力驅(qū)動式微流量控制系統(tǒng)和氣動微流控芯片中所使用的氣動閥采用的是常規(guī)的氣動元件。壓力驅(qū)動式微流量控制系統(tǒng)的原理是通過氣動閥控制氣體的壓力，并利用這一壓力將液體從存液容器中以一定流量輸出。氣動微流控芯片的原理是通過控制微流控芯片上位于液體流道下方的氣體流道的壓力，進而實現(xiàn)對液體流道開關的控制。這二者中所使用的氣體流量 ( 壓力 ) 控制閥均為常規(guī)的氣動閥，存在如下缺點 ：1) 與微流控系統(tǒng) / 微流控芯片本身體積相比，采用的常規(guī)氣動閥的體積過大，導致整個系統(tǒng)無法進一步微型化和集成化，2) 各個元件之間使用的管道長度過長導致系統(tǒng)控制難度加劇，3) 常規(guī)的氣體流道與微流道的封裝難度大，價格昂貴，維護成本高。

技術實現(xiàn)要素：

為了克服上述缺陷，本發(fā)明提供了一種步進電機氣動微閥，具有體積小，成本低，易操控的優(yōu)點。

本發(fā)明解決其技術問題所采用的技術方案是：一種步進電機氣動微閥，包括流道支架，氣體流道，閥芯致動器和步進電機，氣體流道固定在流道支架上，流道支架由兩個U型支架、連接兩U型支架的橫梁和第一平板構成，氣體流道由底座及底座上設置的平薄膜及帶有流道的薄膜構成，氣體流道相對兩側均設有鋼管，鋼管與平薄膜間均通過波紋管連接，步進電機通過減震墊固定在電機固定板上，步進電機下設有閥芯致動器，閥芯致動器包括第二平板及垂直設置在第二平板上的閥芯桿，閥芯桿由底桿，彈簧部和頂桿構成。

在本發(fā)明的一個較佳實施例中，第一平板與第二平板平行設置。

本發(fā)明的有益效果是：通過減震墊的設置減緩步進電機在工作過程中產(chǎn)生的振動；閥芯桿上彈簧部的設置有利于減緩閥芯桿對薄膜的沖擊，減少閥芯桿對薄膜造成的磨損，延長薄膜的使用壽命；波紋管的設置可在閥芯桿對閥口進行關閉操作時，減緩薄膜與鋼管的壓力，延長其使用壽命。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本發(fā)明進一步說明。

圖1是本發(fā)明結構示意圖；

圖2是圖1中A-A剖視圖。

具體實施方式

如圖1和圖2所示一種步進電機氣動微閥，包括流道支架，氣體流道，閥芯致動器和步進電機11，氣體流道固定在流道支架上，流道支架由兩個U型支架1、連接兩U型支架的橫梁2和第一平板3構成，氣體流道由底座4及底座上設置的平薄膜5及帶有流道的薄膜7構成，氣體流道相對兩側均設有鋼管6，鋼管6與平薄膜5間均通過波紋管8連接，波紋管由于其自身的特性，在閥芯桿對閥口進行關閉時，可減緩鋼管與薄膜間的壓力，延長薄膜的使用壽命；步進電機11通過減震墊9固定在電機固定板10上，步進電機11下設有閥芯致動器，閥芯致動器包括第二平板12及垂直設置在第二平板12上的閥芯桿13，閥芯桿13由底桿13a，彈簧部13b和頂桿13c構成；第一平板3與第二平板12平行設置。

由于步進電機在工作過程中會產(chǎn)生振動，而振動則會影響閥芯桿對氣體流道閥口的控制，影響氣流的精確通過量，通過在步進電機底部設置減震墊，可以有效的緩解步進電機在工作過程中產(chǎn)生的振動，提高閥芯桿對閥口的控制精度；閥芯桿上彈簧部的設置，在起到減振的同時，還能減少閥芯桿對帶有流道的薄膜的傷害，由于閥芯桿對閥口的開閉進行操作及步進電機的正轉和反轉都會使閥芯桿對薄膜造成沖擊，通過設置彈簧部，可大大減少沖擊力，提高精度控制閥口的目的，同時減緩對薄膜的磨損。