相關申請的交叉引用

本申請要求2014年11月15日提交的美國臨時申請?zhí)?2/080,281的優(yōu)先權(quán)，其以引用方式并入本文，就像其被全文給出了一樣。

背景技術(shù)：

電子設備制造業(yè)需要各種液體化學品作為原材料或前體來制造集成電路和其他電子設備。重要的是在電子設備制造工藝過程中，使用的各種液體化學品不混合于一起而是各自保持在高純度下以滿足電子制造業(yè)的嚴苛要求。

在電子設備制造工藝過程中，這些各種不同液體化學品經(jīng)由共同的導管和端口(開口)的系統(tǒng)在化學容器與一個或多個含閥歧管之間反復移動。因此，在制造工藝過程中的不同階段，在可向系統(tǒng)引入新的化學品之前有必要從系統(tǒng)內(nèi)所有潤濕的表面(wettedsurface)吹掃走特定的化學品。這通常通過使用強制通過系統(tǒng)的吹掃氣體來實現(xiàn)。

當該術(shù)語涉及本技術(shù)領域時，“非沖擊的死角(deadleg)”為管道或?qū)Ч芟到y(tǒng)中吹掃氣體不能直接噴射到其中的部分。在現(xiàn)有系統(tǒng)中，導管和端口的幾何形狀使得在吹掃步驟過程中在系統(tǒng)內(nèi)存在一個或多個非沖擊的死角。系統(tǒng)中一個或多個非沖擊的死角的存在降低系統(tǒng)的凈化效率，因為吹掃步驟必須進行更長的時間段——并且必須使用額外的吹掃氣體——以從系統(tǒng)的潤濕表面充分吹掃走所有的化學品。

因此，存在對改進的系統(tǒng)以及提高這些系統(tǒng)的凈化效率的方法的需要。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

提供本發(fā)明內(nèi)容以介紹簡化形式的本發(fā)明的選擇方面，這些方面將在下文具體實施方式中進一步描述。

方面1：一種閥塊，其包含：具有第一側(cè)面、第二側(cè)面和第三側(cè)面的殼體，其中第一側(cè)面與第二側(cè)面相對，且第三側(cè)面與第一側(cè)面和第二側(cè)面二者都鄰近；位于第一側(cè)面上的第一閥座；第一導管，所述第一導管具有終止于第一側(cè)面上且在第一閥座內(nèi)的第一開口和終止于第二側(cè)面上的第二開口，所述第一導管是線性的(linear)，所述第一開口可選擇性地打開和關閉；位于第三側(cè)面上的第二閥座；和以一定角度從第一導管延伸的第二導管，所述第二導管與第一導管流體流動連通，所述第二導管具有終止于第三側(cè)面上在第二閥座內(nèi)的開口，第二導管的所述開口可選擇性地打開和關閉。

方面2：方面1的閥塊，其中所述第二導管以90度角流體流動連通地連接到第一導管。

方面3：方面1或方面2中任一項的閥塊，其中所述殼體呈長方體(rectangularprism)的形狀。

方面4：方面1-3中任一項的閥塊，其中所述第一閥座和第二閥座中的至少之一呈圓柱形凹陷的形狀。

方面5：一種系統(tǒng)，其包含：液體再填充源；吹掃氣體源；和閥塊，所述閥塊具有第一端口開口、第二端口開口、第一導管部和第二導管部，所述第一端口開口流體流動連通地連接到液體再填充源和吹掃氣體源二者，所述第一端口開口位于閥塊的第一側(cè)面上，所述第二端口開口位于閥塊的第二側(cè)面上，所述第二側(cè)面與所述第一側(cè)面相對，所述第一導管部流體流動連通地連接在第一端口開口和第二端口開口之間，所述第二端口開口可選擇性地打開和關閉，所述第一端口開口和所述第二端口開口軸向?qū)R，所述第二導管部以非平行于第一導管部的角度從第一導管部延伸，所述第二導管部與所述第一導管部流體流動連通，所述第二導管部終止于位于閥塊的第三側(cè)面上的第三端口開口處，所述第三端口開口可選擇性地打開和關閉。

方面6：方面5的系統(tǒng)，其中閥塊的第三側(cè)面與閥塊的第一側(cè)面和第二側(cè)面二者鄰近。

方面7：方面5或方面6中任一項的系統(tǒng)，其中所述第二導管部以90度角從所述第一導管部延伸。

方面8：方面5-7中任一項的系統(tǒng)，其還包含：位于閥塊的第二側(cè)面上的第四端口開口；位于閥塊的第四側(cè)面上的第五端口開口，所述第四側(cè)面與所述第三側(cè)面相對；和流體流動連通地連接在第四端口開口和第五端口開口之間的第三導管部。

方面9：方面8的系統(tǒng)，其中所述第三導管部在其中具有彎頭。

方面10：方面9的系統(tǒng)，其中所述彎頭呈90度角。

方面11：方面8-10中任一項的系統(tǒng)，其還包含容器，其中所述第五端口開口流體流動連通地連接到所述容器。

方面12：方面8-11中任一項的系統(tǒng)，其還包含：位于閥塊的第三側(cè)面上的第六端口開口；位于閥塊的第五側(cè)面上的第七端口開口，所述第五側(cè)面與所述第一、第二和第三側(cè)面中的每一個鄰近；和流體流動連通地連接在第五端口開口和第六端口開口之間的第四導管部。

方面13：方面12的系統(tǒng)，其中所述第四導管部在其中具有彎頭。

方面14：方面13的系統(tǒng)，其中第四導管部的彎頭呈90度角。

方面15：方面12-14中任一項的系統(tǒng)，其還包含泄放口(vent)，其中所述第七端口開口流體流動連通地連接到所述泄放口。

方面16：方面5-15中任一項的系統(tǒng)，其中所述第一端口開口和所述第二端口開口的中心點位于第一水平面中，所述第三端口開口位于第二水平面中，并且所述第二水平面位于所述第一水平面上方。

方面17：方面8-15中任一項的系統(tǒng)，其中所述第一端口開口和所述第二端口開口的中心點位于第一水平面中，所述第四端口開口的中心點位于第二水平面中，并且所述第一水平面位于所述第二水平面上方。

方面18：一種在閥塊已經(jīng)歷填充步驟后在閥塊中進行吹掃步驟的方法，所述方法包括：通過位于閥塊的第一側(cè)表面上的第一端口開口向閥塊中遞送吹掃氣體，使得吹掃氣體直接噴射通過第一導管部而與在第二端口開口上方暫時產(chǎn)生的密封相接觸，所述第一導管部是線性的，所述第二端口開口位于閥塊的第二側(cè)表面上，所述第二側(cè)表面位于閥塊的與所述第一側(cè)表面相對的側(cè)上，使得吹掃氣體彈離(reboundoff)所述密封、而沿相反的方向行進通過第一導管部并進入以一定角度從第一導管部延伸的第二導管部，所述第二導管部終止于閥塊的頂表面處。

方面19：方面18的方法，其中所述遞送步驟還包括以至少100升每分鐘的速率向閥塊中遞送吹掃氣體。

方面20：方面18的方法，其中所述遞送步驟還包括以大約300升每分鐘的速率向閥塊中遞送吹掃氣體。

方面21：方面19或方面20中任一項的方法，其還包括在所述遞送步驟之前將吹掃氣體加熱到至少50攝氏度。

方面22：方面18的方法，其還包括在所述遞送步驟之前將吹掃氣體加熱到至少50攝氏度。

附圖說明

下文將結(jié)合附圖描述本發(fā)明，在附圖中，相同的數(shù)字表示相同的元件：

圖1為包含根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的一對閥塊的再填充歧管到主容器歧管系統(tǒng)的示意圖；

圖2為包含根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的閥塊的再填充系統(tǒng)到主容器歧管系統(tǒng)的示意圖；

圖3為包含根據(jù)本發(fā)明的改進閥塊的再填充歧管到主容器歧管系統(tǒng)的示意圖；

圖4為位于散裝化學品柜內(nèi)包含根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的閥塊的歧管的部分的示意圖；和

圖5為位于散裝化學品柜內(nèi)包含根據(jù)本發(fā)明的改進閥塊的歧管的部分的示意圖。

具體實施方式

隨后的詳細描述僅提供優(yōu)選的示例性實施方案而無意于限制本發(fā)明的范圍、適用性或配置。相反，隨后對優(yōu)選的示例性實施方案的詳細描述將為本領域技術(shù)人員提供實施本發(fā)明的優(yōu)選示例性實施方案的可行描述。可對元件的功能和布置作各種改變而不偏離本發(fā)明的精神和范圍，本發(fā)明的精神和范圍在附隨的權(quán)利要求書中給出。

就本說明書和附隨的權(quán)利要求書的目的而言，術(shù)語“高速吹掃”指使用以100升每分鐘或更高的速率遞送的吹掃氣體進行的吹掃步驟。

就本說明書和附隨的權(quán)利要求書的目的而言，術(shù)語“導管”指流體可通過其在系統(tǒng)的兩個或更多個部件之間輸送的一個或多個結(jié)構(gòu)體。例如，導管可包括在整個系統(tǒng)中于不同壓力下輸送液體和/或氣體的管道、輸送管、歧管以及它們的組合。

就本說明書和附隨的權(quán)利要求書的目的而言，術(shù)語“流體流動連通”指兩個或更多個部件之間允許液體和/或氣體以受控的方式在所述部件之間輸送的連接性質(zhì)。將兩個或多個部件聯(lián)接以使得它們彼此流體流動連通可包括本領域已知的任何合適的方法，如使用帶法蘭導管、墊圈和/或螺栓。

申請人已開發(fā)出一種改進的閥塊設計及其系統(tǒng)，其可用來提高用于干燥連接在化學容器與歧管之間或歧管對之間的所有潤濕表面的吹掃效率。此改進的閥塊設計包括若干特征，這些特征可用來顯著地縮短吹掃系統(tǒng)內(nèi)所有潤濕的表面所需的時間。該閥塊設計將消除死角或僅引入極小的死角，并且將對任何極小的死角提供完全沖擊。其還允許大大縮短泄放路徑的長度，并因此大大減小被液體化學品潤濕的導管表面積的總量。

根據(jù)本發(fā)明的閥塊通過使一對閥位于單個閥塊或殼體內(nèi)來取得這些改進，其中閥座相對于彼此方向相差90度(例如，在呈長方體形狀的殼體的相鄰表面上)定向。當用在其中再填充歧管通過該閥塊連接到主容器的系統(tǒng)中時，以90度分開設置的閥對的存在確保在吹掃步驟過程中所有死角被完全沖擊，從而允許更高效的吹掃過程。具體而言，吹掃氣體通過其進入系統(tǒng)的導管與端口開口(其與容器流體流動連通)線性對齊。因為此端口開口在吹掃過程中是關閉的，故鄰近此端口開口的極小死角將在所述端口開口關閉時被吹掃氣體完全沖擊。因此，可使用較少的吹掃氣體，吹掃過程可更快地發(fā)生，并可實現(xiàn)節(jié)能。這與其中閥座位于殼體的相對側(cè)面上的已知現(xiàn)有技術(shù)系統(tǒng)(參見圖1和2)形成對比?，F(xiàn)有技術(shù)中的這一布置不允許在吹掃氣體(來自吹掃氣體源或來自再填充系統(tǒng))移動通過閥塊的同時沖擊在共同的背靠背(back-to-back)液體路徑的兩半上，從而需要更長的吹掃時間及增加的能量和吹掃氣體消耗。另外，將閥以90度分開布置允許液體(泄放)路徑保持很短，從而大大減少被潤濕并因此必須被干燥的導管表面積的量。這與具有相比長得多的必須被干燥的液體(泄放)路徑的已知現(xiàn)有技術(shù)系統(tǒng)(參見圖4)形成對比。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)系統(tǒng)10的示意圖，其在主容器歧管12和再填充歧管42之間包含連接40。在此系統(tǒng)10中，主容器歧管12和再填充歧管42由根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的相同閥塊組成，其中閥塊12的閥座對37、38和閥塊42的閥座對67、68位于其相應的殼體的相對側(cè)面上。

閥塊12(主容器歧管)包含終止于閥塊12的側(cè)面上并經(jīng)由連接40流體流動連通地連接到閥塊42(再填充歧管)的開口14。開口14流體流動連通地連接到導管部15，導管部15流體流動連通地連接到t型接頭16。t型接頭16也流體流動連通地與包含第一部分18和第二部分19的導管部17相連接。

在閥塊12的一個側(cè)面上為包含圓柱形凹陷20的閥座37，圓柱形凹陷20適應于在其中安置閥控制機構(gòu)(未示出)。圓柱形凹陷20包括表面21，開口22、23終止于表面21處。開口22與導管部17的第一部分18流體流動連通。閥控制機構(gòu)包含可與開口22接合的隔膜并因此允許開口22的選擇性打開和關閉。在閥塊12的相對側(cè)面上為包含圓柱形凹陷24的閥座38，圓柱形凹陷24適應于在其中安置第二閥控制機構(gòu)(未示出)。同圓柱形凹陷20一樣，圓柱形凹陷24具有表面和終止于所述表面處的兩個開口(圖1中未示出所述表面和開口)。兩個開口中居中的那個與導管部17的第二部分19流體流動連通，兩個開口中偏置的那個與導管部25流體流動連通。第二閥控制機構(gòu)用來選擇性地打開和關閉圓柱形凹陷24的表面上兩個開口中居中的那個。

導管部25經(jīng)由彎頭26與導管部27流體流動連通，且導管部27與閥塊12的、和開口14相對的側(cè)面上的開口28流體流動連通。開口28經(jīng)由連接29與容器30流體流動連通。位于圓柱形凹陷20的表面21上的開口23與導管部31流體流動連通，導管部31經(jīng)由彎頭32與導管部33流體流動連通。導管部33與位于閥塊12的側(cè)面上的開口34流體流動連通，且開口34經(jīng)由連接35與泄放口36流體流動連通。在此實施方案中，t型接頭16和彎頭26、32使相應的相連導管部以90度角定向。

閥塊42(再填充歧管)包含終止于閥塊42的側(cè)面上并經(jīng)由連接40流體流動連通地連接到閥塊12(主容器歧管)的開口44。開口44連接到導管部45，導管部45流體流動連通地連接到t型接頭46。t型接頭46也與導管部47流體流動連通地相連接。

在閥塊42的一個側(cè)面上為包含圓柱形凹陷50的閥座67，圓柱形凹陷50適應于在其中安置閥控制機構(gòu)(未示出)。圓柱形凹陷50包括表面51，開口52、53終止于表面51處。開口52與導管部47的第一端流體流動連通。閥控制機構(gòu)包含可與開口52接合的隔膜并因此允許開口52的選擇性打開和關閉。在閥塊42的相對側(cè)面上為包含圓柱形凹陷54的閥座68，圓柱形凹陷54適應于在其中安置第二閥控制機構(gòu)(未示出)。同圓柱形凹陷50一樣，圓柱形凹陷54具有表面和終止于所述表面處的兩個開口(圖1中未示出所述表面和開口)。兩個開口中居中的那個與導管部47的一端流體流動連通，兩個開口中偏置的那個與導管部55流體流動連通。第二閥控制機構(gòu)用來選擇性地打開和關閉圓柱形凹陷54的表面上兩個開口中居中的那個。

導管部55經(jīng)由彎頭56與導管部57流體流動連通，且導管部57與閥塊42的、和開口44相對的側(cè)面上的開口58流體流動連通。開口58經(jīng)由連接59與填充(cg)系統(tǒng)60流體流動連通。位于圓柱形凹陷50的表面51上的開口53與導管部61流體流動連通，導管部61經(jīng)由彎頭62與導管部63流體流動連通。導管部63與位于閥塊42的側(cè)面上的開口64流體流動連通，且開口64經(jīng)由連接65與吹掃氣體源66流體流動連通。t型接頭46和彎頭56、62使相應的相連導管部以90度角定向。

在系統(tǒng)10的再填充步驟過程中，化學品從填充(cg)系統(tǒng)60遞送，穿過閥塊42，行進通過連接40，經(jīng)由開口14進入閥塊12，移動通過導管部15、17、25、27，經(jīng)由開口28離開閥塊12，并經(jīng)由連接29遞送到容器30。在此步驟過程中，開口22是關閉的，且對應于閥座38的中心開口是打開的，因而液體化學品將不可避免地潤濕導管部17的第一部分18和第二部分19二者的表面。

在系統(tǒng)10的吹掃步驟過程中，兩個開口中對應于閥塊(主容器歧管)12的圓柱形凹陷20的居中的開口是關閉的，而開口22是打開的，以便吹掃氣體可行進通過開口22、23，穿過導管部31、33，通過開口34離開閥塊12，行進通過連接35，并到達泄放口36。吹掃氣體經(jīng)由開口14進入閥塊12并行進到導管部15中，導管部15相對于第二部分19成直角定向。由于導管部15與第二部分19之間的90度彎折，當圖1的系統(tǒng)10正在經(jīng)歷吹掃步驟時，導管部17的第二部分19為非沖擊的死角，因為行進通過導管部15的吹掃氣體不直接噴射到第二部分19(其已在先前潤濕)中，而是僅微弱地且部分地分布到第二部分19中。因此，必須使用高的吹掃氣體量并且必須進行長的吹掃周期以完全干燥系統(tǒng)10的潤濕表面，包括第二部分19的潤濕表面。

圖2為包含主容器歧管72的現(xiàn)有技術(shù)系統(tǒng)70的示意圖。在此系統(tǒng)70中，主容器歧管72與圖1中所示的現(xiàn)有技術(shù)閥塊12、42相同。

閥塊72(主容器歧管)包含終止于閥塊72的側(cè)面上并經(jīng)由連接97流體流動連通地連接到再填充(cg)系統(tǒng)98和吹掃氣體源101二者的開口74。開口74連接到導管部75，導管部75流體流動連通地連接到t型接頭76。t型接頭76也與包含第一部分78和第二部分79的導管部77流體流動連通地相連接。

在閥塊72的一個側(cè)面上為包含圓柱形凹陷80的閥座99，圓柱形凹陷80適應于在其中安置閥控制機構(gòu)(未示出)。圓柱形凹陷80包括表面81，開口82、83終止于表面81上。開口82與導管部77的第一部分78流體流動連通。閥控制機構(gòu)允許開口82的選擇性打開和關閉。在閥塊72的相對側(cè)面上為包含圓柱形凹陷84的閥座100，圓柱形凹陷84適應于在其中安置第二閥控制機構(gòu)(未示出)。同圓柱形凹陷80一樣，圓柱形凹陷84具有表面和終止于所述表面處的兩個開口(圖2中未示出所述表面和開口)。兩個開口中居中的那個與導管部77的第二部分79流體流動連通，兩個開口中偏置的那個與導管部85流體流動連通。第二閥控制機構(gòu)用來選擇性地打開和關閉圓柱形凹陷84的表面上的開口中居中的那個。

導管部85經(jīng)由彎頭86與導管部87流體流動連通，且導管部87與閥塊72的、和開口74相對的側(cè)面上的開口88流體流動連通。開口88經(jīng)由連接89與容器90流體流動連通。位于圓柱形凹陷80的表面81上的開口83與導管部91流體流動連通，導管部91經(jīng)由彎頭92與導管部93流體流動連通。導管部93與位于閥塊72的側(cè)面上的開口94流體流動連通，且開口94經(jīng)由連接95與泄放口96流體流動連通。t型接頭76和彎頭86、92使相應的相連導管部以90度角定向。

同圖1中示出的現(xiàn)有技術(shù)系統(tǒng)一樣，由于導管部75與第二部分79之間的90度彎折，當圖2的系統(tǒng)70正在經(jīng)歷吹掃步驟時，導管部77的第二部分79為非沖擊的死角，因為行進通過導管部75的吹掃氣體不直接噴射到第二部分79(其已在先前潤濕)中，而是僅微弱地且部分地分布到第二部分79中。因此，必須使用高的吹掃氣體量并且必須進行長的吹掃周期以完全干燥系統(tǒng)70的全部潤濕表面，包括第二部分79的潤濕表面。

現(xiàn)在參考圖3，下面將詳細描述包含根據(jù)本發(fā)明的改進閥塊112的再填充歧管到主容器歧管系統(tǒng)110。

根據(jù)本發(fā)明的閥塊112包含大致呈長方體形狀的殼體114，但在本發(fā)明的范圍內(nèi)其他殼體形狀也是可能的，包括大致立方體、球形或卵形形狀或不規(guī)則形狀。在此實施方案中，殼體114包含第一側(cè)面116和與第一側(cè)面116相對的第二側(cè)面126，第一側(cè)面116包含閥座117，閥座117包含圓柱形凹陷118。圓柱形凹陷118包含開口122、124終止于其處的表面120。圓柱形凹陷118適應于在其中安置閥控制機構(gòu)(未示出)。閥控制機構(gòu)允許經(jīng)由可與開口122完全接合的隔膜選擇性打開和關閉開口122。

開口122流體流動連通地連接到導管部144，導管部144流體流動連通地連接到t型接頭146。t型接頭146也與包含第一部分150和第二部分152的導管部148流體流動連通地相連接。閥塊112還包含第三側(cè)面128、與第三側(cè)面128相對的第四側(cè)面138、第五側(cè)面140和與第五側(cè)面140相對的第六側(cè)面142，第三側(cè)面128包含閥座129，閥座129包含圓柱形凹陷130。圓柱形凹陷130包含開口134、136終止于其處的表面132。圓柱形凹陷130適應于在其中安置第二閥控制機構(gòu)(未示出)。第二閥控制機構(gòu)用于經(jīng)由可與開口134完全接合的隔膜來選擇性地打開和關閉開口134。開口134與導管部148的第一部分150流體流動連通，且開口136與導管部160流體流動連通。在此實施方案中，閥座117、129的適應于閥控制機構(gòu)的連接的圓柱形凹陷118、130位于殼體114的相鄰側(cè)面(即，第一側(cè)面116和第三側(cè)面128)上，而不是如圖1和2中的現(xiàn)有技術(shù)實施方案中所示位于閥塊的殼體的相對側(cè)面上。在此實施方案中，開口134、154軸向?qū)R，即開口134、154的中心點沿相同的線性軸(經(jīng)由可通過導管部148的體積中心繪制的線)對齊。

導管部148的第二部分152與位于閥塊112的第四側(cè)面138上的開口154流體流動連通，且開口154經(jīng)由連接156與再填充歧管158和吹掃氣體源159二者流體流動連通。導管部160經(jīng)由彎頭162與導管部164流體流動連通，且導管部164與位于殼體114的第二側(cè)面126上的開口166流體流動連通。開口166經(jīng)由連接168與容器170流體流動連通。位于圓柱形凹陷118的表面120上的開口124與導管部172流體流動連通，導管部172經(jīng)由彎頭174與導管部176流體流動連通。導管部176與位于殼體114的第五側(cè)面140上的開口178流體流動連通，且開口178經(jīng)由連接180與泄放口182流體流動連通。在此實施方案中，t型接頭146和彎頭162、174使相應的相連導管部以90度角定向。應理解，在替代的實施方案中，t型接頭146和/或彎頭162、174不必使相應的相連導管部以90度角定向，而是可使相應的相連導管部以45-135度之間的任何角度定向。

在圖3的系統(tǒng)110中，當容器170正通過閥塊112從再填充歧管158再填充時，開口134是打開的而開口122是關閉的。在此步驟中，液體化學品經(jīng)由開口154進入閥塊112，行進通過導管部148，從開口134離開，進入開口136，行進通過導管部160、164，經(jīng)由開口166離開閥塊112，并通過接頭168被遞送到容器170。在系統(tǒng)110中開口136物理地位于開口134下方使得液體在重力作用下自然地從開口134流入開口136中且然后向下流入容器170中，這是優(yōu)于現(xiàn)有技術(shù)的改進。這與圖1和2中所示現(xiàn)有技術(shù)裝置中各個相應閥座內(nèi)開口對的方向形成對比，在所示現(xiàn)有技術(shù)裝置中，這些開口位于同一水平面中而不會促進液體從閥塊自然流出。

此外，與圖1和2中所示的現(xiàn)有技術(shù)系統(tǒng)10、70不同，當圖3的根據(jù)本發(fā)明的系統(tǒng)110進行吹掃步驟(其中來自吹掃氣體源159的吹掃氣體通過連接156被遞送到導管部148中)時，導管部148的兩個部分150、152(其已在先前潤濕)均將被完全沖擊，即，不存在非沖擊的死角。在吹掃步驟過程中，開口134將是關閉的而開口122將是打開的，使得吹掃氣體可進入導管部144，行進通過開口122、124，穿過導管部172、176，通過開口178離開閥塊112，行進通過連接180，并到達泄放口182。吹掃氣體經(jīng)由開口154進入閥塊112并首先進入導管部148的第二部分152。在此實施方案中，因為導管部148的第二部分152與第一部分150線性(軸向)對齊，故當圖3的系統(tǒng)110在經(jīng)歷吹掃步驟時，導管部148的第一部分150被正經(jīng)由開口154進入閥塊112的吹掃氣體完全沖擊。吹掃氣體將直接噴射而與密封開口154的閥控制機構(gòu)隔膜相接觸，且吹掃氣體然后必然沿相反的方向彈回通過導管部148的第一部分150，之后其才可進入導管部144。因為第一部分150在本發(fā)明的系統(tǒng)110中被完全沖擊，故可使用少得多的吹掃氣體量并且可進行短得多的吹掃周期來完全干燥所有潤濕表面，包括第一部分150的潤濕表面。

圖4為現(xiàn)有技術(shù)歧管系統(tǒng)210的部分的示意圖。系統(tǒng)210在位于歧管內(nèi)的兩個閥塊212、252之間包含連接250，所述歧管位于與散裝化學品容器接合的散裝化學品柜中。如本領域普通技術(shù)人員應領會的，使用散裝化學品柜來向主容器歧管提供化學品以在設備用完主容器中可得的化學品之后再填充主容器。

閥塊212包含閥座213，閥座213具有圓柱形凹陷214，其適應于在其中安置閥控制機構(gòu)(未示出)。圓柱形凹陷214包含表面216，開口218、220終止于表面216處。閥控制機構(gòu)用于經(jīng)由可與開口218完全接合的隔膜來選擇性地打開和關閉開口218。開口218流體流動連通地連接到導管部234，導管部234經(jīng)由彎頭236流體流動連通地連接到導管部238。導管部238通過位于閥塊212的側(cè)面中的通孔240延伸，使得導管部238經(jīng)由連接250與閥塊252的導管部276流體流動連通地相連接。開口220流體流動連通地連接到導管部222，導管部222經(jīng)由彎頭224流體流動連通地連接到導管部226。導管部226與開口228流體流動連通地相連接，開口228經(jīng)由連接230與真空泄放口232流體流動連通地相連接。

閥塊252包含閥座253，閥座253具有圓柱形凹陷254，其適應于在其中安置第二閥控制機構(gòu)(未示出)。圓柱形凹陷254包含表面256，兩個開口(包括開口258；另一個開口在圖4中未示出)終止于表面256處。第二閥控制機構(gòu)用來選擇性地打開和關閉開口258。開口258流體流動連通地連接到導管部272，導管部272流體流動連通地連接到t型接頭274。t型接頭274也與導管部276和導管部280流體流動連通地相連接。導管部276通過位于閥塊252的側(cè)面中的通孔278延伸并如上所述經(jīng)由連接250與閥塊212的導管部238流體流動連通地相連接。

導管部280與開口282流體流動連通地相連接，開口282經(jīng)由連接284與容器286流體流動連通。圓柱形凹陷254的表面256上偏置的開口(未示出)流體流動連通地連接到導管部260，導管部260經(jīng)由彎頭262流體流動連通地連接到導管部264。導管部264與開口266流體流動連通地相連接，開口266經(jīng)由連接268與出口歧管270流體流動連通地相連接。在此實施方案中，t型接頭274和彎頭224、236、262使相應的相連導管部以90度角定向。

如圖4中所示，在現(xiàn)有技術(shù)系統(tǒng)210的運行過程中被化學品潤濕的泄放口路徑的部分的長度a與b之和是相當長的。為清楚起見，長度a對應于閥塊252的導管部272的長度(在開口258的區(qū)域中心與導管部276的橫截面區(qū)域中心之間測量)，且長度b對應于閥塊212的導管部238與閥塊252的導管部276的合并長度(在開口218的區(qū)域中心與開口258的區(qū)域中心之間測量)。

圖5為位于散裝化學品柜內(nèi)的歧管系統(tǒng)310的部分的示意圖，系統(tǒng)310包含根據(jù)本發(fā)明的改進閥塊112(參見圖3)。當在本系統(tǒng)310中投入使用時，終止于閥塊112的第四側(cè)面138上的開口154經(jīng)由連接312與容器歧管314流體流動連通地相連接，終止于閥塊112的第二側(cè)面126上的開口166經(jīng)由連接316與出口歧管318流體流動連通地相連接，且終止于閥塊112的第五側(cè)面140上的開口178經(jīng)由連接320與泄放口322流體流動連通地相連接。

如圖5中所示，在根據(jù)本發(fā)明的歧管系統(tǒng)310的運行過程中被化學品潤濕的泄放口路徑的部分的長度a'與b'之和比圖4中所示現(xiàn)有技術(shù)系統(tǒng)210的泄放口路徑的部分的長度a與b之和要短得多。為清楚起見，長度a'對應于閥塊112的導管部148的長度(在開口134的區(qū)域的中心與導管部144的橫截面區(qū)域的中心之間測量)，且長度b'對應于閥塊112的導管部144的長度(在開口122的區(qū)域的中心與開口134的區(qū)域的中心之間測量)。根據(jù)本發(fā)明的閥塊112的幾何形狀允許總體泄放口路徑長度(即，長度a'與b'之和)大大減小。在此實施方案中，長度a'與b'之和的值大約為長度a與b之和的值的10％。通過本發(fā)明的改進閥塊112使得可能減小泄放口路徑的長度，與如上文詳細討論的所有死角被完全沖擊的事實相結(jié)合，將大大減小吹掃步驟過程中必須干燥的潤濕表面的總表面積并因此大大提高吹掃過程的效率。

本發(fā)明的第一個另外的方面為使用高速吹掃氣體來在上文所述系統(tǒng)或沒有在本申請中公開的其他系統(tǒng)中最大限度地縮短所有潤濕表面的吹掃時間的方法。通過使用高速吹掃——其中吹掃氣體以至少100升每分鐘的速率遞送到系統(tǒng)，申請人已確定，進行吹掃過程所需的時間長度可大大縮短。高速吹掃步驟優(yōu)選以在100-1,000升每分鐘之間、更優(yōu)選200-750升每分鐘之間、甚至更優(yōu)選250-500升每分鐘之間、最優(yōu)選300升每分鐘的流率進行。

實施例#1

在采用了根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的閥塊12的現(xiàn)有技術(shù)系統(tǒng)中，吹掃步驟使用以大約10升每分鐘的標準速率引入的吹掃氣體進行。申請人已確定，根據(jù)這些參數(shù)，為完全干燥系統(tǒng)的所有潤濕表面，通常需要大約3-7天的持續(xù)時間。相反，在根據(jù)本發(fā)明的系統(tǒng)70(即，采用了閥塊72)進行吹掃步驟(其中吹掃氣體以大約300升每分鐘引入)時，干燥系統(tǒng)70內(nèi)的所有潤濕表面所需的持續(xù)時間縮短至2-4小時之間。

本發(fā)明的第二個另外的方面為其中氮氣(n2)被加熱并然后在上文所述系統(tǒng)或沒有在本申請中公開的其他系統(tǒng)中用作吹掃氣體的一種方法。在一些實施方案中，在吹掃步驟之前，氮氣被加熱到至少50攝氏度。已被加熱到至少50攝氏度的氮氣可在低速下單獨使用或如上所述與高速吹掃結(jié)合使用。申請人已發(fā)現(xiàn)，理想的是將吹掃氣體加熱至與被吹掃的介質(zhì)的溫度相似的溫度，以將所述介質(zhì)的蒸氣壓提高至更易于從系統(tǒng)移除的點。

實施例#2

在采用了根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的閥塊12的現(xiàn)有技術(shù)系統(tǒng)中，吹掃步驟使用以大約10升每分鐘的標準速率引入的在環(huán)境溫度(大約20攝氏度)下的吹掃氣體進行。申請人已確定，根據(jù)這些參數(shù)，為完全干燥系統(tǒng)的所有潤濕表面，通常需要大約3-7天的持續(xù)時間。相反，在根據(jù)本發(fā)明的系統(tǒng)70(即，采用了閥塊72)進行吹掃步驟(其中吹掃氣體已被加熱至50攝氏度并以大約200升每分鐘引入)時，干燥系統(tǒng)70內(nèi)的所有潤濕表面所需的持續(xù)時間縮短至2-4小時之間。

雖然上文已結(jié)合優(yōu)選的實施方案描述了本發(fā)明的原理，但應清楚地理解，本描述僅以實例的方式作出而非作為本發(fā)明的范圍的限制。

權(quán)利要求書(按照條約第19條的修改)

1.一種閥塊，所述閥塊包含：

具有第一側(cè)面、第二側(cè)面和第三側(cè)面的殼體，其中所述第一側(cè)面與所述第二側(cè)面相對，并且所述第三側(cè)面與所述第一側(cè)面和所述第二側(cè)面二者都鄰近；

位于所述第一側(cè)面上的第一閥座；

第一導管，所述第一導管具有終止于所述第一側(cè)面上且在所述第一閥座內(nèi)的第一開口和終止于所述第二側(cè)面上的第二開口，所述第一導管在所述第一開口和第二開口之間完全是線性的，所述第一開口可選擇性地打開和關閉；

位于所述第三側(cè)面上的第二閥座；和

以一定角度從所述第一導管延伸的第二導管，所述第二導管與所述第一導管流體流動連通，所述第二導管具有終止于所述第三側(cè)面上在所述第二閥座內(nèi)的開口，所述第二導管的所述開口可選擇性地打開和關閉。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的閥塊，其中所述第二導管以90度角流體流動連通地連接到所述第一導管。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的閥塊，其中所述殼體呈長方體的形狀。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的閥塊，其中所述第一閥座和所述第二閥座中的至少之一呈圓柱形凹陷的形狀。

5.一種系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包含：

液體再填充源；

吹掃氣體源；和

閥塊，所述閥塊具有

流體流動連通地連接到所述液體再填充源和所述吹掃氣體源二者的第一端口開口，所述第一端口開口位于所述閥塊的第一側(cè)面上，

第二端口開口，所述第二端口開口位于所述閥塊的第二側(cè)面上，所述第二側(cè)面與所述第一側(cè)面相對，

流體流動連通地連接在所述第一端口開口和所述第二端口開口之間的第一導管部，所述第二端口開口可選擇性地打開和關閉，所述第一端口開口和所述第二端口開口軸向?qū)R，和

以非平行于所述第一導管部的角度從所述第一導管部延伸的第二導管部，所述第二導管部與所述第一導管部流體流動連通，所述第二導管部終止于位于所述閥塊的第三側(cè)面上的第三端口開口處，所述第三端口開口可選擇性地打開和關閉。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其中所述閥塊的所述第三側(cè)面與所述閥塊的所述第一側(cè)面和所述第二側(cè)面二者都鄰近。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其中所述第二導管部以90度角從所述第一導管部延伸。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)還包含：

位于所述閥塊的所述第二側(cè)面上的第四端口開口；

位于所述閥塊的第四側(cè)面上的第五端口開口，所述第四側(cè)面與所述第三側(cè)面相對；和

流體流動連通地連接在所述第四端口開口和所述第五端口開口之間的第三導管部。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其中所述第三導管部在其中具有彎頭。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其中所述彎頭呈90度角。

11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)還包含容器，其中所述第五端口開口流體流動連通地連接到所述容器。

12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)還包含：

位于所述閥塊的所述第三側(cè)面上的第六端口開口；

位于所述閥塊的第五側(cè)面上的第七端口開口，所述第五側(cè)面與所述第一、第二和第三側(cè)面中的每一個鄰近；和

流體流動連通地連接在所述第五端口開口和所述第六端口開口之間的第四導管部。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的系統(tǒng)，其中所述第四導管部在其中具有彎頭。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的系統(tǒng)，其中所述第四導管部的所述彎頭呈90度角。

15.根據(jù)權(quán)利要求12所述的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)還包含泄放口，其中所述第七端口開口流體流動連通地連接到所述泄放口。

16.根據(jù)權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其中所述第一端口開口和所述第二端口開口的中心點位于第一水平面中，所述第三端口開口位于第二水平面中，并且所述第二水平面位于所述第一水平面上方。

17.根據(jù)權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其中所述第一端口開口和所述第二端口開口的中心點位于第一水平面中，所述第四端口開口的中心點位于第二水平面中，并且所述第一水平面位于所述第二水平面上方。

18.一種在閥塊已經(jīng)歷填充步驟后在所述閥塊中進行吹掃步驟的方法，所述方法包括：

通過位于所述閥塊的第一側(cè)表面上的第一端口開口向所述閥塊中遞送吹掃氣體，使得所述吹掃氣體直接噴射通過第一導管部而與在第二端口開口之上暫時產(chǎn)生的密封相接觸，所述第一導管部是線性的，所述第二端口開口位于所述閥塊的第二側(cè)表面上，所述第二側(cè)表面位于所述閥塊的與所述第一側(cè)表面相對的側(cè)上，從而使得所述吹掃氣體彈離所述密封、沿相反的方向行進通過所述第一導管部并進入以一定角度從所述第一導管部延伸的第二導管部，所述第二導管部終止于所述閥塊的頂表面處。

19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法，其中所述遞送步驟還包括以至少100升每分鐘的速率向所述閥塊中遞送所述吹掃氣體。

20.根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法，其中所述遞送步驟還包括以大約300升每分鐘的速率向所述閥塊中遞送所述吹掃氣體。

21.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，所述方法還包括在所述遞送步驟之前將所述吹掃氣體加熱到至少50攝氏度。

22.根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法，所述方法還包括在所述遞送步驟之前將所述吹掃氣體加熱到至少50攝氏度。