本發(fā)明涉及真空壓力控制裝置，該真空壓力控制裝置具有閥座形成為環(huán)狀的彈性密封部件、和與閥座抵接或離開的雙偏心蝶閥閥芯，該真空壓力控制裝置位于連接真空容器與真空泵的配管上，并通過使蝶閥閥芯向第一方向旋轉(zhuǎn)來使真空容器內(nèi)的真空壓力變化。

背景技術(shù)：

作為以往使用的真空壓力控制裝置，例如有本申請人所申請的專利文獻(xiàn)1。該真空壓力控制裝置的提升閥雖然適于真空壓力控制，但是存在流導(dǎo)小、無法緊湊化的問題。

因此，為了使流導(dǎo)增大并進(jìn)一步在大氣壓附近進(jìn)行控制，考慮采用雙偏心蝶閥。在真空下進(jìn)行壓力控制時，需要通過閥關(guān)斷位置附近的微妙的開度來進(jìn)行控制，閥的上游與下游的壓力差越大越有問題。

此處，采用雙偏心蝶閥是為了：在閥關(guān)斷位置附近，能夠使閥的開度相對于閥芯的旋轉(zhuǎn)角度慢慢地變化，從而容易進(jìn)行關(guān)斷位置附近的壓力控制。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2000-148254號公報

技術(shù)實現(xiàn)要素：

發(fā)明所要解決的課題

然而，通常會為了防止雜質(zhì)附著于閥座而對閥體加熱，但是在蝶閥中，存在形成有閥座的彈性密封部件劣化而發(fā)生內(nèi)部泄漏的擔(dān)心。當(dāng)真空壓力控制裝置被使用在半導(dǎo)體制造工序中的情況下，由于存在使用毒性氣體的情況，所以在異常停止時，為了確保安全，不得存在泄漏。

本發(fā)明正是為了解決上述問題點，其目的在于提供即使彈性密封部件劣化也不會發(fā)生內(nèi)部泄漏的真空壓力控制裝置。

用于解決課題的手段

為了解決上述課題，本發(fā)明一方式的真空壓力控制裝置具有：形成有閥座的環(huán)狀彈性密封部件；和與閥座抵接或離開的雙偏心蝶閥閥芯，該真空壓力控制裝置位于連接真空容器與真空泵的配管上，并通過使蝶閥閥芯從作為初始狀態(tài)的第一閉閥位置沿第一方向旋轉(zhuǎn)來使真空容器內(nèi)的真空壓力變化，該真空壓力控制裝置的特征在于，具有控制裝置，該控制裝置使蝶閥閥芯沿第一方向的反方向旋轉(zhuǎn)，使蝶閥閥芯位于與第一閉閥位置不同的第二閉閥位置。

此處，所謂第一方向，是指使雙重偏心了的蝶閥閥芯的外周的具有一半以上的部分從閥座離開的方向。因此，蝶閥閥芯的外周的較短部分成為與閥座抵接的方向。

發(fā)明效果

根據(jù)上述方式，真空壓力控制裝置即使彈性密封部件劣化，也能夠通過將蝶閥閥芯設(shè)定于第二閉閥位置而形成閉閥狀態(tài)，因此沒有發(fā)生內(nèi)部泄漏的擔(dān)心。即使是真空壓力控制裝置被使用在半導(dǎo)體制造工序中的情況下，也能夠在異常停止時確保安全。

附圖說明

圖1示出蝶閥閥芯位于第一閉閥位置的狀態(tài)，是圖5的aa剖視圖。

圖2示出蝶閥閥芯位于第二閉閥位置的狀態(tài)，是圖5的aa剖視圖。

圖3示出蝶閥閥芯位于第一開閥位置的狀態(tài)，是圖5的aa剖視圖。

圖4示出蝶閥閥芯位于第二開閥位置的狀態(tài)，是圖5的aa剖視圖。

圖5是第一實施方式的真空壓力控制裝置的剖視圖。

圖6是第一實施方式的真空壓力控制裝置的右視圖。

圖7是圖1的b部放大圖。

圖8是圖2的c部放大圖。

圖9是示出拆除彈性密封部件的構(gòu)造的圖。

圖10是示出真空壓力控制裝置的構(gòu)成的框圖。

圖11是示出蝶閥閥芯的旋轉(zhuǎn)角度與cv值之間的關(guān)系的圖。

圖12是示出蝶閥閥芯的旋轉(zhuǎn)角度與第一閥芯部的開度之間的關(guān)系的圖。

圖13是示出蝶閥閥芯的旋轉(zhuǎn)角度與第二閥芯部的開度之間的關(guān)系的圖。

圖14是示出蝶閥閥芯的旋轉(zhuǎn)角度與第一閥芯部和第二閥芯部的平均開度之間的關(guān)系的圖。

圖15是示出第二實施方式的真空壓力控制裝置的蝶閥閥芯位于第一閉閥位置的狀態(tài)的剖視圖。

圖16是示出第二實施方式的真空壓力控制裝置的蝶閥閥芯位于第二閉閥位置的狀態(tài)的剖視圖。

圖17是示出第二實施方式的真空壓力控制裝置的蝶閥閥芯位于第一開閥位置的狀態(tài)的剖視圖。

圖18是示出第二實施方式的真空壓力控制裝置的蝶閥閥芯位于第二開閥位置的狀態(tài)的剖視圖。

圖19是示出其他實施方式的真空壓力控制裝置的剖視圖。

附圖標(biāo)記說明

1真空壓力控制裝置

4閥體

5、6接頭

7彈性密封部件

7a閥座

7b環(huán)形槽

8引導(dǎo)部件

9蝶閥閥芯

71薄壁部

72、73厚壁部

具體實施方式

以下，關(guān)于本發(fā)明的真空壓力控制裝置，一邊參照圖面一邊在以下詳細(xì)地說明。

＜第一實施方式＞

首先，利用圖1至圖8對第一實施方式的真空壓力控制裝置1的構(gòu)成進(jìn)行說明。圖5是第一實施方式的真空壓力控制裝置1的剖視圖。圖1至圖4是圖5的aa剖視圖。圖1示出蝶閥閥芯9的第一閉閥位置，圖2示出第二閉閥位置。圖3示出蝶閥閥芯9的第一開閥位置，圖4示出第二開閥位置。此處，所謂第一閉閥位置，是指處于初始(通常)的閉閥狀態(tài)的時候；所謂第二閉閥位置，是指處于閥沿第一方向e的反方向f旋轉(zhuǎn)了的狀態(tài)的時候。此外，所謂第一開閥位置，是指沿第一方向e旋轉(zhuǎn)而處于只有第一閥芯部91開閥的狀態(tài)的時候；所謂第二開閥位置，是指沿第一方向e進(jìn)一步旋轉(zhuǎn)而處于第一閥芯部91和第二閥芯部92雙方都完全開閥的狀態(tài)的時候。圖6是真空壓力控制裝置1的右視圖。圖7是圖1的b部放大圖，圖8是圖2的c部放大圖。圖9是示出拆除彈性密封部件7的構(gòu)造的圖。圖10是示出真空壓力控制裝置1的構(gòu)成的框圖。

真空壓力控制裝置1如圖5所示具有驅(qū)動部2和閥本體3。

驅(qū)動部2具有電動機(jī)11、減速機(jī)12、編碼器26和控制基板13。如圖10所示，控制基板13上具有存儲裝置131。存儲裝置131存儲有后述的蝶閥閥芯9的規(guī)定的第一閉閥位置和第二閉閥位置的固定值。另外，控制基板13是本發(fā)明中的“控制裝置”的一個例子。

如圖10所示，閥本體3位于連接真空容器27與真空泵28的配管30上。如圖5所示，閥本體3具有蝶閥閥芯9、安裝了蝶閥閥芯9的圓筒形狀的閥體4、以及在閥體4兩側(cè)的不銹鋼制的接頭5、6。接頭5形成有流路5a，且具有凸緣部5b。接頭6形成有流路6a，且具有凸緣部6b。接頭5連接于真空泵28，接頭6連接于真空容器27。如圖6所示，在凸緣部5b、6b上分別以形成圓形的方式配置有用于與閥體4固定的8個螺釘24，并且在凸緣部5b、6b上形成有用于將閥體4與接頭5、6拆分開的螺紋孔16、17。另外，在圖6中，只圖示出了接頭6，由于接頭5也具有同樣的結(jié)構(gòu)，所以省略接頭5的圖示。另外，在本實施方式中，接頭5與真空泵28連接，接頭6與真空容器27連接，但是也可以接頭5與真空容器27連接、接頭6與真空泵28連接。

如圖5所示，在閥體4上形成有閥孔4d，該閥孔4d由剖視呈圓弧狀的內(nèi)壁構(gòu)成，在閥孔4d的軸向上的一端部(在圖5中，與接頭5相接觸側(cè))，在閥孔4d的徑向外側(cè)形成有凹部4a。在凹部4a中卡合有橡膠制的環(huán)形彈性密封部件7，彈性密封部件7由閥體4與接頭5夾持著。

在彈性密封部件7上形成有閥座7a。如圖7所示，彈性密封部件7的截面形成為具有在一邊(外周面)開口的環(huán)形槽7b的u字形。彈性密封部件7具有：形成有環(huán)形槽7b的薄壁部71；和在薄壁部71兩側(cè)的厚壁部72、73。厚壁部73的軸向距離z1、引導(dǎo)部件8(或是薄壁部71)的軸向距離z2和厚壁部72的軸向距離z3具有相同的距離(z1:z2:z3＝1:1:1)在環(huán)形槽7b中嵌合有向徑向外側(cè)以環(huán)狀突出的引導(dǎo)部件8。在半導(dǎo)體制造裝置中，對于與氣體接觸的部件，需要使用具有耐腐蝕性的材料。但是，引導(dǎo)部件8由于彈性密封部件7而被與氣體所接觸的部分隔離開，因此不限材質(zhì)。此外，彈性密封部件7與引導(dǎo)部件8之間的接合方法也不限于使用粘結(jié)劑等的一體成型等方法。在維修等進(jìn)行閥分解時，引導(dǎo)部件8成為支撐，即使彈性密封部件7固著于閥體4，也能夠確實地拆分開。若沒有引導(dǎo)部件8，則彈性密封部件7在上述分解時有時會被拉脫、有時會損傷表面。此外，通過改變引導(dǎo)部件8的厚度，能夠容易地改變彈性密封部件7的密封性、反力等密封特性。

如圖6所示，在閥體4上設(shè)有用于固定加熱器14、15的孔4b、4c。由此，由于加熱器14、15位于閥體4內(nèi)，所以能夠直接對閥體4進(jìn)行加溫。加熱器14、15能夠從閥體4的外側(cè)表面通過固定螺釘22、23等而被固定、拆卸。進(jìn)一步，通過用隔熱材料(未圖示)卷繞在閥體4的外裝部件上，能夠提高加熱效率，同時，熱電偶、恒溫器也能夠固定于閥體4或隔熱材料的任一方上。

由于能夠?qū)椥悦芊獠考?固定于閥體4側(cè)，并通過加熱器14、15直接對閥體4進(jìn)行加溫，所以連彈性密封部件7自身也不會冷卻。因此，由于使之密封，所以產(chǎn)物不容易附著于彈性密封部件7。由此能夠保持密封性。

如圖5所示，蝶閥閥芯9通過與驅(qū)動部2位于同一軸上的旋轉(zhuǎn)軸10旋轉(zhuǎn)而與閥座7a抵接或離開。旋轉(zhuǎn)軸10通過編碼器26而掌握旋轉(zhuǎn)角度，并通過帶減速機(jī)12的電動機(jī)11而旋轉(zhuǎn)。由此，能夠使電動機(jī)11小型化，并且即使電動機(jī)11的電源切斷也能夠掌握閥的開度。此外，在雙偏心閥中，若沒有保持力，則存在蝶閥閥芯9由于壓力差而旋轉(zhuǎn)的擔(dān)心。因此，選定下述這樣的減速機(jī)12，即：使得即使在電源切斷的狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)軸10也不在該閥因壓力差而產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)矩的作用下旋轉(zhuǎn)。此外，電動機(jī)11中還存在定位轉(zhuǎn)矩(detenttorque)等電動機(jī)11自身的保持轉(zhuǎn)矩(holdingtorque)，因此，減速機(jī)與電動機(jī)并用，能夠在電源切斷時使得閥不動。在旋轉(zhuǎn)軸10與閥體4之間配置有用于密封的o型環(huán)18、29、20、21。

如圖1所示，旋轉(zhuǎn)軸10的中心軸p相對于蝶閥閥芯9的中心點q在流路5a、6a的軸心方向上以距離x偏心，且相對于蝶閥閥芯9的中心點q在與流路5a、6a的軸心正交的方向上以距離y偏心，由此形成雙重偏心。蝶閥閥芯9包括設(shè)置有旋轉(zhuǎn)軸10的第一面9b、包括與閥座7a抵接的周緣部9c的第二面9a，周緣部9c形成為具有規(guī)定曲率的曲面。通過取大的規(guī)定曲率，能夠使彈性密封部件7與蝶閥閥芯9的接觸面s擴(kuò)大，因此在使用氦氣等透過性氣體時，氣體不容易透過。如圖1及圖6所示，蝶閥閥芯9包括：相對于中心軸p，具有蝶閥閥芯9的外周一半以上的第一閥芯部91；和與該第一閥芯部91相比，外周較短的第二閥芯部92。

接下來，利用圖11至圖14對真空壓力控制裝置1的作用效果進(jìn)行說明。圖11是示出蝶閥閥芯9的旋轉(zhuǎn)角度與cv值之間的關(guān)系的圖。橫軸表示閥的旋轉(zhuǎn)角度，縱軸表示cv值。此外，用線g示出現(xiàn)有技術(shù)的數(shù)據(jù)，用線h示出本實施方式的數(shù)據(jù)。圖12是示出蝶閥閥芯9的旋轉(zhuǎn)角度與圖1的第一閥芯部91的開度(由圖3的箭頭t示出。)之間的關(guān)系的圖。用線j示出現(xiàn)有技術(shù)的數(shù)據(jù)，用線k示出本實施方式的數(shù)據(jù)。圖13是示出與現(xiàn)有技術(shù)相比較的蝶閥閥芯9的旋轉(zhuǎn)角度與圖1的第二閥芯部92的開度之間的關(guān)系的圖。用線l示出現(xiàn)有技術(shù)的數(shù)據(jù)，用線m示出本實施方式的數(shù)據(jù)。圖14是示出蝶閥閥芯9的旋轉(zhuǎn)角度與圖1的第一閥芯部91和第二閥芯部92的平均開度之間的關(guān)系的圖。用線n示出現(xiàn)有技術(shù)的數(shù)據(jù)，用線o示出本實施方式的數(shù)據(jù)。另外，在圖12至圖14中，橫軸表示閥的旋轉(zhuǎn)角度，縱軸表示閥的開度。閥的開度在正側(cè)表示閥打開的狀態(tài)，在負(fù)側(cè)表示閥關(guān)閉且彈性密封部件7被壓變形的狀態(tài)。

在初始的閉閥狀態(tài)下，蝶閥閥芯9位于圖1所示的第一閉閥位置。當(dāng)在大氣壓附近開閥時，使蝶閥閥芯9沿第一方向e旋轉(zhuǎn)，成為圖3所示的第一開閥位置。此時，是只有第一閥芯部91從閥座7a離開的開閥狀態(tài)，而第二閥芯部92是與閥座7a抵接的閉閥狀態(tài)。此處，所謂第一方向e，是指使雙重偏心了的第一閥芯部91從閥座7a離開的方向。因此，第二閥芯部92成為與閥座7a抵接的方向。蝶閥閥芯9沿著閥體4的閥孔4d的圓弧狀內(nèi)壁而動作。當(dāng)開度t較小時，如圖3所示，蝶閥閥芯9的周緣部9c的曲面的頂點w與流路5a、6a的高度(線v所示)相比位于上方(外側(cè))，因此能夠?qū)α髀?a、6a進(jìn)行節(jié)流。因此，在開度t較小的時候，不會有氣體急劇流過的情況，控制性提高。

若使蝶閥閥芯9進(jìn)一步沿第一方向e旋轉(zhuǎn)，則如圖4所示，成為使第一閥芯部91和第二閥芯部92都開閥的完全開閥狀態(tài)。在通常的真空壓力控制裝置1的運(yùn)轉(zhuǎn)中，蝶閥閥芯9的開度在第一閉閥位置、第一開閥位置、第二開閥位置、或是其間的位置使用。

關(guān)于第一、第二閉閥位置的確定方法，首先，利用編碼器26來掌握旋轉(zhuǎn)軸10的旋轉(zhuǎn)角度，并以該角度為基準(zhǔn)來掌握閉閥位置。接著，利用作為電動機(jī)11的步進(jìn)電動機(jī)等，將機(jī)械停止位置(步進(jìn)電動機(jī)的失步位置)設(shè)于第二閉閥位置，以停止的地點為基準(zhǔn)并通過用編碼器26測得的角度信號來管理、掌握閉閥位置。另外，也可以不采用編碼器26，而是采用電位計。

當(dāng)在大氣壓下閉閥時，在閥關(guān)斷位置附近，若使用不是雙重偏心的閥，則閥芯會急劇地關(guān)閉，控制性差。但是，通過采用雙偏心蝶閥9，則能夠如圖12的線k、圖13的線m、圖14的線o所示那樣，分別與現(xiàn)有技術(shù)的線j、線l、線n相比，閥的開度的變化量均變緩，對于在閥關(guān)斷位置附近進(jìn)行的大氣壓附近的壓力控制，由于只對第一閥芯部91的開度進(jìn)行調(diào)整就能夠控制壓力，因此，與通過第一閥芯部91和第二閥芯部92雙方的開度控制壓力相比，能夠進(jìn)行更微妙的壓力控制。

此處，通常為了防止雜質(zhì)附著于閥座7a上而對閥體4進(jìn)行加熱，但是在蝶閥閥芯9中，存在形成有閥座7a的彈性密封部件7經(jīng)長時間變化而劣化從而發(fā)生內(nèi)部泄漏的擔(dān)心。當(dāng)在半導(dǎo)體制造工序中使用真空壓力控制裝置的情況下，存在使用毒性氣體的情況，因此在異常停止時，為了確保安全，不得發(fā)生泄漏。

如圖7所示，在第一閉閥位置，配置成：彈性密封部件7與蝶閥閥芯9實施密封的、彈性密封部件7與蝶閥閥芯9的接觸面s2的大部分位于彈性密封部件7的厚壁部72上，僅少部分在薄壁部71上。此時，接觸面s2位于離彈性密封部件7的厚壁部72的端面s(即ち、閥體4の凹部4aと接する面)有距離s1a的位置處。因壓力控制閥等的動作而彈性密封部件7隨時間變化，彈性密封部件7會磨損，密封性會降低。

如圖2所示，第二閉閥位置為：使蝶閥閥芯9從第一閉閥位置沿第一方向e的反方向f旋轉(zhuǎn)了距離d的、不同于第一閉閥位置的位置。如圖8所示，蝶閥閥芯9旋轉(zhuǎn)，從而接觸面s2從厚壁部72向薄壁部71方向移動。接觸面s2位于離彈性密封部件7的厚壁部72的端面s有距離s1b的位置。距離s1b比第一閉閥位置時的距離s1a大(s1a＜s1b)。位于第二閉閥位置時的彈性密封部件7與蝶閥閥芯9的接觸面s2的一部分(距離s1b與距離s1a的差)不作為位于第一閉閥位置時的彈性密封部件7與蝶閥閥芯9的接觸面s2來使用，是不隨時間變化的狀態(tài)。因此，即使位于第一閉閥位置時的彈性密封部件7與蝶閥閥芯9的接觸面s2經(jīng)長時間而變化，也能夠通過在第二閉閥位置進(jìn)行密封而實現(xiàn)完全密封。此外，在第二閉閥位置，由于是通過薄壁部71實現(xiàn)的密封，所以，能夠得到大的基于將彈性密封部件7壓變形(推壓)而產(chǎn)生的反力，能夠提高密封性能。

再者，如圖3所示，在第一開閥位置，由于第二閥芯部92與厚壁部73相接觸，所以即使來自厚壁部73的反力小，也能夠減小旋轉(zhuǎn)軸10的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)矩。

本實施方式的真空壓力控制裝置在維修時由于只是通過將接頭5從閥體4上拆下就能夠容易地拆下彈性密封部件7，所以能夠提高作業(yè)性。接頭5、接頭6、彈性密封部件7、蝶閥閥芯9以及旋轉(zhuǎn)軸10能夠容易地分解。由于只是通過拆下接頭5與接頭6的凸緣固定用螺釘24就能夠容易地分解，所以能夠分解、清洗產(chǎn)物等、以及進(jìn)行真空壓力控制裝置1的再利用。作為消耗品的彈性密封部件7、密封旋轉(zhuǎn)軸10的各o型環(huán)18、29、20、21也能夠容易地更換。

此外，通過熱等而固著的彈性密封部件7在維修等分解時能夠容易地從閥體4上拆分開。當(dāng)加熱閥體4時，存在彈性密封部件7在閥體4與接頭5之間固著的擔(dān)心。有時該固著力較大，無法簡單地拆分開。因此，如圖9所示，在接頭5的凸緣部5b上設(shè)置螺紋孔16，通過插入螺釘25就能夠?qū)㈤y體4和接頭5拆分開。另外，由于螺紋孔16與螺紋孔17是相同的結(jié)構(gòu)，所以在圖9中只示出了螺紋孔16。此外，對于用于此處的螺紋孔16、17，由于能夠?qū)⒔宇^5的凸緣固定用的8個螺釘24拆下來直接使用，所以無需新準(zhǔn)備專用的螺釘。也可以在接頭5與閥體4之間預(yù)先設(shè)置間隙，利用杠桿原理采用撬開的方法。

如以上所說明的那樣，根據(jù)第一實施方式的真空壓力控制裝置1，能夠獲得下述的作用效果。

(1)一種真空壓力控制裝置1，具有：形成有閥座7a的環(huán)狀彈性密封部件7；和與閥座7a抵接或離開的雙偏心蝶閥閥芯9，該真空壓力控制裝置1位于連接真空容器27與真空泵28連接的配管30上，并通過使蝶閥閥芯9從作為初始狀態(tài)的第一閉閥位置沿第一方向e旋轉(zhuǎn)來使真空容器27內(nèi)的真空壓力變化，該真空壓力控制裝置1的特征在于，具有控制基板13，該控制基板13使蝶閥閥芯9沿第一方向e的反方向f旋轉(zhuǎn)，使蝶閥閥芯9位于與初始的第一閉閥位置不同的第二閉閥位置，因此，即使彈性密封部件7經(jīng)長時間變化而劣化，也能夠通過將蝶閥閥芯9設(shè)定于第二閉閥位置而成為閉閥狀態(tài)，因而沒有發(fā)生內(nèi)部泄漏的擔(dān)心。此外，即使在初始階段異常停止時，也由于設(shè)定在第二閉閥位置而不會有泄漏，能夠強(qiáng)化安全性。

(2)在(1)所述的真空壓力控制裝置1中，彈性密封部件7的截面形成為具有一邊開口的環(huán)形槽7b的u字形，在環(huán)形槽7b中卡合有以環(huán)狀突出的引導(dǎo)部件8，因此，蝶閥閥芯9除了對彈性密封部件7在旋轉(zhuǎn)方向上施加力，還承受由具有足夠高度(整體的二分之一以上)的引導(dǎo)部件8施加的力，因而彈性密封部件7被引導(dǎo)部件8固定，不會脫落。

(3)在(2)所述的真空壓力控制裝置中，通過位于第一閉閥位置的蝶閥閥芯9，即使彈性密封部件7因隨時間變化而磨損，通過使蝶閥閥芯9配置于第二閉閥位置，蝶閥閥芯9與彈性密封部件7之間也能夠被完全密封，因此，即使彈性密封部件7劣化，由于蝶閥閥芯9的位置在第二閉閥位置，也沒有發(fā)生內(nèi)部泄漏的擔(dān)心。

(4)在(1)至(3)中任一項所述的真空壓力控制裝置1中，蝶閥閥芯9具有包括與閥座7a抵接的周緣部9c的面，該周緣部9c是曲面，因此，由于能夠增大與彈性密封部件7的接觸面積，所以能夠相應(yīng)地減少彈性密封部件7的變形量，從而能夠降低密封所需要的反力，因而能夠延遲彈性密封部件7的劣化，能夠提高耐久性。

(5)在(1)至(4)中任一項所述的真空壓力控制裝置中，由安裝有蝶閥閥芯9的閥體4與接頭5夾持著彈性密封部件7，因此，在維修時，僅通過取下接頭5就能夠容易地拆下彈性密封部件7，由此能夠提高作業(yè)性。閥體4大多被加熱使用，雖然有時蝶閥閥芯9與彈性密封部件7會固著在一起，但是由于彈性密封部件7被閥體4與接頭5夾持著，所以不會因開閉而導(dǎo)致彈性密封部件7被拉扯脫落的情況。

＜第二實施方式＞

下面，利用圖15至圖18對第二實施方式的真空壓力控制裝置1的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。圖15是示出第二實施方式的真空壓力控制裝置1的蝶閥閥芯19位于第一閉閥位置的狀態(tài)的剖視圖。圖16是示出蝶閥閥芯19位于第二閉閥位置的狀態(tài)的剖視圖；圖17是示出位于第一開閥位置的狀態(tài)的剖視圖；圖18是示出位于第二開閥位置的狀態(tài)的剖視圖。

第一實施方式與第二實施方式的主要不同點為蝶閥閥芯的形狀。另外，在以下的說明中，對于與第一實施方式的真空壓力控制裝置1相同的構(gòu)造，標(biāo)注相同的引用編號，并由此省略其說明。

如圖15所示，在第二實施方式的蝶閥閥芯19上，第二面19a包括與閥座7a抵接的曲面狀的周緣部19d，在與第二面19a相對的第一面19b、即具有旋轉(zhuǎn)軸10的第一面19b上，在第一閥芯部191形成有凹狀的切缺部19c。

此處，在第一實施方式的蝶閥閥芯9中，如圖1所示，其重心的位置位于蝶閥閥芯9的中心點q。在該情況下，慣性力矩變大。若慣性力矩變大，則在蝶閥閥芯9與彈性密封部件7抵接著的時候就會有振動，由此就存在產(chǎn)生微粒的擔(dān)心。此外，當(dāng)使蝶閥閥芯9停止時，因慣性力而過沖(overshoot)，存在停止的響應(yīng)性差的問題。

但是，在第二實施方式的蝶閥閥芯19中，由于在旋轉(zhuǎn)軸10所在的面19b上形成有切缺部19c，所以如圖15所示，能夠使蝶閥閥芯19的重心位置為旋轉(zhuǎn)軸10的軸上的點r。由此，能夠減小蝶閥閥芯19的慣性力矩。一旦慣性力矩變小，在蝶閥閥芯19開閉時，由慣性力矩引起的振動就會變小，因此能夠抑制微粒的產(chǎn)生。此外，當(dāng)使蝶閥閥芯19停止時不會過沖，提高了響應(yīng)性。

以上，如所說明的那樣，根據(jù)第二實施方式的真空壓力控制裝置1，在蝶閥閥芯19的與閥座7a抵接的面19a的相對面19b上形成有切缺部19c，因此，能夠使蝶閥閥芯19的重心位置為旋轉(zhuǎn)軸上的點r，能夠縮小旋轉(zhuǎn)半徑(旋轉(zhuǎn)軸與蝶閥閥芯的重心之間的距離)。由此能夠減小慣性力矩。

另外，上述各實施方式只是例示而已，并不對本發(fā)明構(gòu)成任何限定。因此，本發(fā)明當(dāng)然能夠在不脫離其主旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各種改進(jìn)、變形。

例如，在上述實施方式中，彈性密封部件7的抵接面在本實施方式中為直線狀，但也可以是曲面形狀。

例如，在上述實施方式中，在彈性密封部件7上嵌合引導(dǎo)部件8，厚壁部73的軸向距離z1、引導(dǎo)部件8的軸向距離z2和厚壁部72的軸向距離z3具有相同的距離(z1:z2:z3＝1:1:1)，但是，引導(dǎo)部件8和厚壁部72、73的厚度，只要能夠確保密封性，可以是任意的厚度。根據(jù)情況，如圖19所示，沒有引導(dǎo)部件8也可以。在該情況下，由于能夠通過選擇彈性密封部件7的材質(zhì)，例如通過選擇硬度高的彈性密封部件7來提高反力，所以能夠確保密封性。關(guān)于彈性密封部件7的材質(zhì)，例如可以采用fkm(氟橡膠)、ffkm(全氟橡膠)、nbr(丁腈橡膠)。