本實(shí)用新型涉及單晶硅生產(chǎn)設(shè)備，尤其涉及一種單晶爐連續(xù)加料的旋轉(zhuǎn)閥。

背景技術(shù)：

在單晶硅的拉制過(guò)程中，為達(dá)到產(chǎn)能的最大化，需要進(jìn)行多次加料。外接加料裝置都具備良好的密封性，為了確保真空無(wú)泄漏，當(dāng)需要外部向爐內(nèi)加料時(shí)，需要打開閥門，顆粒狀的硅材料和粉塵會(huì)污染密封圈，導(dǎo)致關(guān)閉閥門時(shí)，真空密封不良，造成真空泄漏，爐內(nèi)氧化，影響產(chǎn)品質(zhì)量，甚至無(wú)法正常維持生產(chǎn)工藝而進(jìn)行報(bào)廢處理。因此，有必要對(duì)其進(jìn)行改進(jìn)，以克服上述缺陷。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是提供一種單晶爐連續(xù)加料的旋轉(zhuǎn)閥，以避免加料過(guò)程對(duì)密封裝置造成污染。

本實(shí)用新型為解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是，

一種單晶爐連續(xù)加料的旋轉(zhuǎn)閥，包括閥體，其中：

閥體中設(shè)有轉(zhuǎn)軸，該轉(zhuǎn)軸向閥體外部伸出，其末端設(shè)有驅(qū)動(dòng)桿，閥體兩端分別具有進(jìn)料口與出料口，閥體內(nèi)設(shè)有閥板，閥板的形狀與出料口適配，轉(zhuǎn)軸上具有支承件，閥板固定于該支承件上，轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)可帶動(dòng)支承件與閥板移動(dòng)，由閥板將出料口開啟或關(guān)閉；

閥體外設(shè)有送料管，該送料管一端與加料裝置連通，其另一端伸入進(jìn)料口，閥體上裝設(shè)有密封波紋管，密封波紋管罩覆于送料管外部，密封波紋管底部具有定位環(huán)，定位環(huán)沿進(jìn)料口邊緣設(shè)置，并與閥體固定連接，密封波紋管頂部具有法蘭環(huán)，法蘭環(huán)內(nèi)圈固定于送料管外壁；

閥體上設(shè)有頂升氣缸與導(dǎo)柱，頂升氣缸的缸體固定于閥體外壁，其活塞桿與法蘭環(huán)相接，導(dǎo)柱與送料管及頂升氣缸的活塞桿相互平行，其底端固定于閥體外壁，法蘭環(huán)中具有滑孔，導(dǎo)柱從該滑孔中穿過(guò)，由頂升氣缸帶動(dòng)送料管沿導(dǎo)柱移動(dòng)。

閥體的橫截面為圓形，轉(zhuǎn)軸沿閥體的軸線設(shè)置，進(jìn)料口及出料口位于軸線一側(cè)。

出料口內(nèi)側(cè)具有嵌槽，嵌槽內(nèi)固定有密封圈。

轉(zhuǎn)軸與閥體連接處設(shè)有密封墊。

出料口處設(shè)有接管，該接管向閥體外側(cè)伸出，其末端具有定位環(huán)，定位環(huán)向接管外側(cè)卷折。

旋轉(zhuǎn)閥接入加料系統(tǒng)中，閥板關(guān)閉狀態(tài)時(shí)，閥板下部可處于真空狀態(tài)，其真空度主要依靠密封圈和閥板無(wú)縫隙的緊密接觸來(lái)實(shí)現(xiàn)；送料管的上部連接喂料系統(tǒng)，旋轉(zhuǎn)閥的轉(zhuǎn)軸與閥體上部的驅(qū)動(dòng)桿相連，驅(qū)動(dòng)桿可用手扳動(dòng)或采用氣缸推動(dòng)，達(dá)到開啟的位置；當(dāng)閥體內(nèi)的閥板以轉(zhuǎn)軸為中心，移動(dòng)至開啟位置后，送料管的頂升氣缸由高位變低位，送料管的下沿口移位至密封圈的下方，進(jìn)行加料。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于，送料管在高位時(shí)，可以自由開關(guān)旋轉(zhuǎn)閥，阻斷真空環(huán)境與大氣的通道，閥板打開后，送料管下探至密封圈下方，確保硅料經(jīng)過(guò)的路徑不會(huì)對(duì)密封面產(chǎn)生污染，加料結(jié)束后，送料管再回至高位，關(guān)閉閥門，可確保真空度。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型提出的單晶爐連續(xù)加料的旋轉(zhuǎn)閥的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是該旋轉(zhuǎn)閥開啟狀態(tài)示意圖。

具體實(shí)施方式

為了使本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合圖示與具體實(shí)施例，進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。

如圖1、圖2所示，本實(shí)用新型提出的單晶爐連續(xù)加料的旋轉(zhuǎn)閥，包括閥體1，閥體中設(shè)有轉(zhuǎn)軸2，該轉(zhuǎn)軸向閥體外部伸出，其末端設(shè)有驅(qū)動(dòng)桿3，閥體兩端分別具有進(jìn)料口與出料口，閥體內(nèi)設(shè)有閥板4，閥板的形狀與出料口適配，轉(zhuǎn)軸上具有支承件5，本實(shí)施例中，該支承件為圓形托盤，其邊緣通過(guò)連接桿固定于轉(zhuǎn)軸上，閥板固定于該支承件上，轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)可帶動(dòng)支承件與閥板移動(dòng)，由閥板將出料口開啟或關(guān)閉；閥體外設(shè)有送料管6，該送料管一端與加料裝置連通，其另一端伸入進(jìn)料口，閥體上裝設(shè)有密封波紋管7，密封波紋管罩覆于送料管外部，密封波紋管底部具有定位環(huán)，定位環(huán)沿進(jìn)料口邊緣設(shè)置，并與閥體固定連接，密封波紋管頂部具有法蘭環(huán)8，法蘭環(huán)內(nèi)圈固定于送料管外壁；閥體上設(shè)有頂升氣缸與導(dǎo)柱，頂升氣缸的缸體10固定于閥體外壁，其活塞桿11與法蘭環(huán)相接，導(dǎo)柱12與送料管及頂升氣缸的活塞桿相互平行，其底端固定于閥體外壁，法蘭環(huán)中具有滑孔，導(dǎo)柱從該滑孔中穿過(guò)，由頂升氣缸帶動(dòng)送料管沿導(dǎo)柱移動(dòng)。閥體的橫截面為圓形，轉(zhuǎn)軸沿閥體的軸線設(shè)置，進(jìn)料口及出料口位于軸線一側(cè)。出料口內(nèi)側(cè)具有嵌槽，嵌槽內(nèi)固定有密封圈13。轉(zhuǎn)軸與閥體連接處設(shè)有密封墊14。出料口處設(shè)有接管15，該接管向閥體外側(cè)伸出，其末端具有定位環(huán)，定位環(huán)向接管外側(cè)卷折。旋轉(zhuǎn)閥接入加料系統(tǒng)中，閥板關(guān)閉狀態(tài)時(shí)，閥板下部可處于真空狀態(tài)，其真空度主要依靠密封圈和閥板無(wú)縫隙的緊密接觸來(lái)實(shí)現(xiàn)；送料管的上部連接喂料系統(tǒng)，旋轉(zhuǎn)閥的轉(zhuǎn)軸與閥體上部的驅(qū)動(dòng)桿相連，驅(qū)動(dòng)桿可用手扳動(dòng)或采用氣缸推動(dòng)，達(dá)到開啟的位置；當(dāng)閥體內(nèi)的閥板以轉(zhuǎn)軸為中心，移動(dòng)至開啟位置后，送料管的頂升氣缸由高位變低位，送料管的下沿口移位至密封圈的下方，進(jìn)行加料。

以上實(shí)施方式只為說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn)，其目的在于讓本領(lǐng)域的技術(shù)人員了解本實(shí)用新型的內(nèi)容并加以實(shí)施，并不能以此限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍，凡根據(jù)本實(shí)用新型精神實(shí)質(zhì)所做的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。