本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造，尤其涉及一種管路連接裝置。

背景技術(shù)：

1、在微電子制造領(lǐng)域中，刻蝕工藝一直被認(rèn)為是微電子制造中最關(guān)鍵的步驟，在整個(gè)刻蝕工藝過(guò)程中，需使用半導(dǎo)體濕法設(shè)備對(duì)晶圓進(jìn)行多次的濕法處理，如對(duì)晶圓進(jìn)行濕法刻蝕、清洗等。

2、在半導(dǎo)體濕法設(shè)備中，常配置有用于廢液收集的排放管路，以實(shí)現(xiàn)廢棄化學(xué)溶液的分類(lèi)排放和處理。排放管路往往是由多段光滑的pfa(polyfluoroalkoxy，可溶性聚四氟乙烯)管通過(guò)管路連接裝置進(jìn)行連接，管路連接裝置要求連接牢固、耐腐蝕、密封性好以及節(jié)省空間等。

3、然而，在現(xiàn)有的半導(dǎo)體濕法設(shè)備的排放管路連接中，常采用的連接方案有兩種，一種方案是將待接的相鄰兩個(gè)pfa管以焊接的方式連接。雖然可以滿足連接牢固、耐腐蝕、密封性好以及節(jié)省空間的要求，但是安裝工序復(fù)雜、技術(shù)含量高，且不易維護(hù)，不利于排放管路快速拆裝。另一種方案是將待接pfa管的一端與管路連接裝置的接頭主體連接，管路連接裝置的接頭螺母套設(shè)在pfa管外周并與該接頭主體的外壁螺紋連接，以此將pfa管連接于管路連接裝置。雖然可以滿足連接牢固、耐腐蝕、密封性好的要求，但是安裝工序復(fù)雜，且占空間，不利于排放管路快速拆裝。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于解決現(xiàn)有技術(shù)中待接管路不能快速拆裝的問(wèn)題。

2、為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明的一實(shí)施方式提出一種管路連接裝置，包括接頭主體、至少一個(gè)徑向密封件和至少一個(gè)壓緊件，接頭主體包括：至少一個(gè)管接部，每個(gè)管接部具有用于與一個(gè)待接管路連通的通孔，以使流體通過(guò)；以及至少一個(gè)限位部，限位部與管接部一一對(duì)應(yīng)，每個(gè)限位部圍設(shè)在對(duì)應(yīng)的管接部的外周，限位部的內(nèi)壁與管接部的外周之間具有凹槽，凹槽用于容納所對(duì)應(yīng)的徑向密封件；其中，當(dāng)管路連接裝置連接至少一個(gè)待接管路時(shí)，至少一個(gè)待接管路的第一端套設(shè)于所對(duì)應(yīng)的管接部的外周，對(duì)應(yīng)的徑向密封件位于限位部的內(nèi)壁和待接管路的外周之間，對(duì)應(yīng)的壓緊件鎖緊在限位部朝向待接管路的端部，并沿待接管路的軸向壓緊徑向密封件，以使徑向密封件的內(nèi)壁與待接管路的外周過(guò)盈配合進(jìn)行徑向密封。

3、本發(fā)明提供的管路連接裝置，包括接頭主體、至少一個(gè)徑向密封件和至少一個(gè)壓緊件。當(dāng)一個(gè)待接管路與接頭主體的對(duì)應(yīng)的管接部連接后，該待接管路的一端套設(shè)于對(duì)應(yīng)的管接部的外周，通過(guò)對(duì)應(yīng)的壓緊件將對(duì)應(yīng)的徑向密封件壓緊，以使徑向密封件的內(nèi)壁與待接管路的外周過(guò)盈配合進(jìn)行徑向密封。當(dāng)需要拆卸待接管路時(shí)，先拆下對(duì)應(yīng)的壓緊件，再施力往外拉待接管路，待接管路將對(duì)應(yīng)的徑向密封件一起帶出，完成拆卸。因此，該管路連接裝置不僅安裝工序簡(jiǎn)便，而且有利于待接管路快速拆裝。

4、本發(fā)明其他特征和相應(yīng)的有益效果在說(shuō)明書(shū)的后面部分進(jìn)行闡述說(shuō)明，且應(yīng)當(dāng)理解，至少部分有益效果從本發(fā)明說(shuō)明書(shū)中的記載變的顯而易見(jiàn)。

技術(shù)特征：

1.一種管路連接裝置，其特征在于，包括接頭主體、至少一個(gè)徑向密封件和至少一個(gè)壓緊件，所述接頭主體包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的管路連接裝置，其特征在于，所述至少一個(gè)徑向密封件具有彈性。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的管路連接裝置，其特征在于，每個(gè)徑向密封件的內(nèi)壁設(shè)置有凸環(huán)，當(dāng)一個(gè)待接管路的第一端套設(shè)于對(duì)應(yīng)的管接部的外周時(shí)，所述待接管路的第一端的外徑擴(kuò)大為第一外徑，所述第一外徑大于所述凸環(huán)的內(nèi)徑。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的管路連接裝置，其特征在于，每個(gè)所述待接管路包括所述第一端、中間段和遠(yuǎn)離所述管路連接裝置的第二端，其中，所述中間段位于所述第一端和所述第二端之間，當(dāng)一個(gè)待接管路的第一端套設(shè)于對(duì)應(yīng)的管接部的外周時(shí)，所述凸環(huán)的內(nèi)徑大于所述待接管路的中間段的外徑。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的管路連接裝置，其特征在于，所述至少一個(gè)壓緊件與對(duì)應(yīng)的所述限位部卡接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的管路連接裝置，其特征在于，每個(gè)壓緊件的外壁設(shè)置有凸塊，對(duì)應(yīng)的所述限位部的內(nèi)壁設(shè)置有卡槽，所述凸塊與所述卡槽相適配。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的管路連接裝置，其特征在于，所述卡槽包括第一槽和第二槽，所述第一槽沿所述限位部的周向延伸，所述第二槽沿所述限位部的軸向從所述限位部朝向所述待接管路的端部延伸至所述第一槽；

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的管路連接裝置，其特征在于，每個(gè)壓緊件包括壓緊部和端面密封部，所述端面密封部的外徑大于所述壓緊部的外徑，所述壓緊件通過(guò)所述端面密封部與對(duì)應(yīng)的所述限位部朝向所述待接管路的端部抵接。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的管路連接裝置，其特征在于，所述接頭主體還包括安裝端，所述安裝端設(shè)置有npt螺紋孔或法蘭，用于將所述管路連接裝置安裝至其他接口。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的管路連接裝置，其特征在于，所述管路連接裝置的材質(zhì)是pfa或者ptfe。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種管路連接裝置，包括接頭主體、至少一個(gè)徑向密封件和至少一個(gè)壓緊件，接頭主體包括至少一個(gè)管接部和至少一個(gè)限位部，每個(gè)管接部具有用于與一個(gè)待接管路連通的通孔，每個(gè)限位部圍設(shè)在對(duì)應(yīng)的管接部的外周，限位部的內(nèi)壁與管接部的外周之間具有凹槽，凹槽用于容納對(duì)應(yīng)的徑向密封件；當(dāng)管路連接裝置連接至少一個(gè)待接管路時(shí)，待接管路的第一端套設(shè)于所對(duì)應(yīng)的管接部的外周，對(duì)應(yīng)的徑向密封件位于限位部的內(nèi)壁和待接管路的外周之間，對(duì)應(yīng)的壓緊件鎖緊在限位部朝向待接管路的端部，并沿待接管路的軸向壓緊徑向密封件，使徑向密封件的內(nèi)壁與待接管路的外周過(guò)盈配合進(jìn)行徑向密封。本發(fā)明不僅安裝工序簡(jiǎn)便，而且有利于待接管路快速拆裝。

技術(shù)研發(fā)人員：理奇,戴錦釗,賈社娜
受保護(hù)的技術(shù)使用者：盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/30