1.一種基于柔性運(yùn)動(dòng)副的高精度定位平臺(tái)，其包括：基座、動(dòng)平臺(tái)和剛性框架，其特征在于，其還包括：四個(gè)柔性運(yùn)動(dòng)副、一個(gè)第二柔性支鏈、壓電陶瓷促動(dòng)器和電磁驅(qū)動(dòng)器；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種基于柔性運(yùn)動(dòng)副的高精度定位平臺(tái)，其特征在于：所述柔性運(yùn)動(dòng)副包括：十個(gè)互相平行的柔性桿、兩個(gè)剛性連接件一、兩個(gè)剛性連接件二、一個(gè)剛性連接件三和一個(gè)運(yùn)動(dòng)副框架；
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種基于柔性運(yùn)動(dòng)副的高精度定位平臺(tái)，其特征在于：所述剛性連接件一為板狀連接件，所述剛性連接件二與所述剛性連接件三為長方體結(jié)構(gòu)；所述剛性連接件二與所述剛性連接件三呈三字型布置，且所述剛性連接件二與所述剛性連接件三之間留有間隙，所述剛性連接件二的頂面高于所述剛性連接件三的頂面。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種基于柔性運(yùn)動(dòng)副的高精度定位平臺(tái)，其特征在于：所述壓電陶瓷促動(dòng)器固定在所述運(yùn)動(dòng)副框架上，x向壓電陶瓷促動(dòng)器和y向壓電陶瓷促動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)端分別與x向、y向的運(yùn)動(dòng)副中的所述剛性連接件三連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種基于柔性運(yùn)動(dòng)副的高精度定位平臺(tái)，其特征在于：所述剛性連接件四為方塊形結(jié)構(gòu)，四個(gè)所述剛性連接件四分別固接在基座的回型底板上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種基于柔性運(yùn)動(dòng)副的高精度定位平臺(tái)，其特征在于：所述第二柔性支鏈包括：雙四桿型柔性模塊、連接模塊和四個(gè)四桿型柔性模塊；四個(gè)所述四桿型柔性模塊構(gòu)成第二柔性支鏈的驅(qū)動(dòng)副；所述雙四桿型柔性模塊構(gòu)成第二柔性支鏈的被動(dòng)副；
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述一種基于柔性運(yùn)動(dòng)副的高精度定位平臺(tái)，其特征在于：所述連接模塊包括：方形模塊和十字形模塊；
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種基于柔性運(yùn)動(dòng)副的高精度定位平臺(tái)，其特征在于：所述柔性運(yùn)動(dòng)副中，10個(gè)所述柔性桿、所述剛性連接件一、所述剛性連接件二和所述剛性連接件三為一體制成。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種基于柔性運(yùn)動(dòng)副的高精度定位平臺(tái)，其特征在于：所述基座包括：呈水平設(shè)置的回型底板和四個(gè)呈縱向設(shè)置的支柱；所述支柱與所述回型底板一體制成；
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種基于柔性運(yùn)動(dòng)副的高精度定位平臺(tái)，其特征在于：所述壓電陶瓷促動(dòng)器包括：2個(gè)x軸方向壓電陶瓷促動(dòng)器和2個(gè)y軸方向壓電陶瓷促動(dòng)器；設(shè)置在同一個(gè)坐標(biāo)軸方向的2個(gè)壓電陶瓷促動(dòng)器，為同方向驅(qū)動(dòng)器。