本發(fā)明涉及應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓加工制造的高端裝備制造的，尤其是涉及一種大尺寸（十二英寸或更大尺寸）晶圓化學(xué)清洗液供給閥與供給方法。

背景技術(shù)：

1、晶圓加工制造技術(shù)中，首先要對晶圓表面進(jìn)行清洗，例如清除晶圓表面的光阻殘留物或有機(jī)物雜質(zhì)，才有利于后續(xù)半導(dǎo)體芯片制造工藝的執(zhí)行。傳統(tǒng)晶圓的尺寸為六英寸或八英寸，使用的化學(xué)清洗液為sc-1、sc-2，sc-1一般為氨水與過氧化氫的混合液，處理溫度約為20℃；sc-2一般為鹽酸與過氧化氫的混合液，處理溫度約為80℃。下一代生產(chǎn)設(shè)備是處理十二英寸或更大尺寸的晶圓（以下簡稱大晶圓），傳統(tǒng)的化學(xué)清洗液將不敷使用，因?yàn)椴荒茉诙虝r(shí)間均勻地清洗更大的晶圓表面積。故，目前開發(fā)有sc-3化學(xué)清洗液，主要有兩種配比，分別是硫酸與雙氧水的混合液以及硫酸與水的混合液，處理溫度介于140～160℃。目前還在持續(xù)開發(fā)處理溫度介于180～190℃的sc-4化學(xué)清洗液。隨著對大尺寸晶圓的清洗處理溫度的大幅提高與腐蝕性的增強(qiáng)，現(xiàn)有的供給閥將不耐使用，經(jīng)常損壞閥體，導(dǎo)致漏液與無法控制供給的有效進(jìn)行，故有必要研發(fā)適配的大尺寸晶圓化學(xué)清洗液供給閥。

2、目前用于正常尺寸的晶圓化學(xué)清洗液供給閥具有以下三種結(jié)構(gòu)，一是單向閥結(jié)構(gòu)，通過單向閥控制流體的單向流動(dòng)，以防止回流，用于大尺寸則流量控制差，停止使用時(shí)，閥體內(nèi)部容易受到化學(xué)清洗液的腐蝕；二是雙活塞式結(jié)構(gòu)，采用兩個(gè)活塞分別控制主通道和反沖洗通道，通過壓力差實(shí)現(xiàn)閥門的開關(guān)；三是電磁驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，利用電磁閥控制流體的通斷，具有快速響應(yīng)和精準(zhǔn)控制的特點(diǎn)，但是異常斷電或受到電磁干擾時(shí)即失去功能，電磁閥容易損壞，耐用度相對較差。常見是采用雙活塞式結(jié)構(gòu)，其形態(tài)是逆止三通反沖洗閥。

3、發(fā)明專利公開號cn117090974a公開一種用于12英寸晶圓半導(dǎo)體制造的清洗配液閥，包括主閥體組件和安裝在主閥體組件上的n個(gè)配液閥組件，主閥體組件的主閥體設(shè)有位于軸向中央的開口向右的配液管路及設(shè)于左側(cè)且與配液管路垂直貫通的進(jìn)液管路；主閥體在配液管路側(cè)設(shè)有n組配液閥安裝孔組，配液閥安裝孔組包括開口向上的配液閥芯槽、位于配液閥芯槽正下方且與配液閥芯槽貫通的第二配液管路和位于配液閥芯槽前方且與配液閥芯槽貫通的第二進(jìn)液管路，第二進(jìn)液管路從前側(cè)與配液閥芯槽中下部貫通；第二配液管路向下與配液管路貫通。第一活塞與第一膜片控制主閥體啟閉，配液閥組件的第二活塞與第二膜片控制配液閥啟閉。相關(guān)現(xiàn)有技術(shù)確定了，主閥體組件和安裝在主閥體組件上的n個(gè)配液閥組件的組合能同時(shí)實(shí)現(xiàn)超純水輸送及多種化學(xué)品的配液。

4、發(fā)明專利公開號cn101295622a公開一種清洗晶圓的裝置及方法，清洗晶圓裝置包括：清洗室，用于容置待清洗的晶圓；閘門，用于將清洗室內(nèi)的清洗液瀉放到儲(chǔ)液池內(nèi)；儲(chǔ)液池，用于容置從清洗室內(nèi)瀉放的清洗液；第一傳輸管道，連通清洗室和三通閥門；第二傳輸管道，連通儲(chǔ)液池和三通閥門；第三傳輸管道，連通三通閥門和回流泵；第四傳輸管道，連通回流泵和過濾器；第五傳輸管道，連通過濾器和清洗室；三通閥門，用于控制循環(huán)清洗管路和回收管路的開啟或關(guān)閉；回流泵，用于抽取清洗室或儲(chǔ)液池內(nèi)清洗液傳輸?shù)竭^濾器中；過濾器，用于過濾回流泵傳輸?shù)那逑匆?，有效去除晶圓表面的微細(xì)顆粒并能循環(huán)利用清洗液。由此可確定，三通閥在清洗晶圓裝置的設(shè)備導(dǎo)入。

5、發(fā)明專利公開號cn118049512a公開一種逆止三通反沖洗閥，包括呈矩形的閥體，閥體的兩端分別設(shè)有入口和出口，閥體上設(shè)有位于入口和出口之間的反沖洗口，閥體內(nèi)設(shè)有流槽，入口內(nèi)設(shè)有進(jìn)液槽，出口內(nèi)設(shè)有的出液槽，反沖洗口內(nèi)設(shè)有沖洗液槽，閥體上設(shè)有彈性開閉機(jī)構(gòu)，閥體上還設(shè)有流量控制機(jī)構(gòu)，流量控制機(jī)構(gòu)包括活塞缸、活塞、流控塞、手柄和鎖定機(jī)構(gòu)，手柄的一端與活塞的桿端通過偏心銷相連，流控塞內(nèi)開設(shè)有彎槽，彎槽的兩端分別為進(jìn)液口和出液口。本裝置的流量控制機(jī)構(gòu)設(shè)于閥體內(nèi)，在通過手柄開啟入口的過程中實(shí)現(xiàn)對進(jìn)入閥體內(nèi)的液體量的控制。在相關(guān)技術(shù)中，使用了特殊空心軸套結(jié)構(gòu)的流控塞，在設(shè)備使用之后的設(shè)備清洗階段，利用手柄帶動(dòng)活塞下降，流控塞上的出液口被進(jìn)液槽的內(nèi)壁完全封堵，向反沖洗口內(nèi)通入高壓清洗液，彈性開閉機(jī)構(gòu)因清洗液的壓力自動(dòng)將反沖洗口打開，清洗液進(jìn)入流槽以對設(shè)備進(jìn)行清洗。當(dāng)類似結(jié)構(gòu)的逆止三通反沖洗閥應(yīng)用于大尺寸晶圓化學(xué)清洗，由于流控塞不是實(shí)心結(jié)構(gòu)且化學(xué)清洗液腐蝕性更強(qiáng)、清洗溫度也更高，閥耐用度將變得更差，且不能克服在大尺寸晶圓化學(xué)清洗過程中，因流體壓力變化或異常停電造成的化學(xué)清洗液導(dǎo)出斷續(xù)、甚至斷流。當(dāng)遭遇到不是清洗階段的使用中異常狀態(tài)，若沒有經(jīng)過外部控制手段，化學(xué)清洗液將殘留在閥內(nèi)。

6、盡管現(xiàn)有結(jié)構(gòu)在一定程度上滿足了中小尺寸晶圓的清洗需求，但在大尺寸晶圓的清洗過程中仍然存在明顯的不足。首先是耐用性問題，由于大尺寸晶圓的清洗液腐蝕性強(qiáng)且溫度高，現(xiàn)有的供給閥容易受到損壞，導(dǎo)致漏液和供給不穩(wěn)定。其次是穩(wěn)定性問題，現(xiàn)有的供給閥在流體壓力變化或異常停電的情況下，容易出現(xiàn)化學(xué)清洗液斷流的情況，這不僅會(huì)影響清洗效果，還會(huì)對晶圓造成損害。因此，亟需開發(fā)一種適用于大尺寸晶圓化學(xué)清洗的供給閥，能解決上述問題，確保清洗過程的穩(wěn)定性和可靠性。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的主要目的一是提供一種大尺寸晶圓化學(xué)清洗液供給閥，主要進(jìn)步在于化學(xué)清洗大尺寸晶圓過程中能減少對供給閥的傷害并避免使用中因異常而供給斷流，實(shí)現(xiàn)了在通斷閥座的閥關(guān)斷狀態(tài)下與閥開通狀態(tài)時(shí)化學(xué)清洗液的流體壓力異常減少下的任一條件成立時(shí)反沖洗口的自動(dòng)打開。

2、本發(fā)明的主要目的二是提供一種大尺寸晶圓化學(xué)清洗液供給方法，實(shí)現(xiàn)供給閥防斷流的自動(dòng)調(diào)整，無論是經(jīng)過供液入口的第一流體壓力還是經(jīng)過反沖洗口的第二流體壓力出現(xiàn)異常，或者是異常斷電，供給閥的供液出口始終能持續(xù)導(dǎo)出流體，有利于維持供給閥與關(guān)聯(lián)半導(dǎo)體設(shè)備的耐用度并防止化學(xué)清洗大尺寸晶圓過程中發(fā)生晶圓報(bào)廢。

3、本發(fā)明的主要目的一是通過以下技術(shù)方案得以實(shí)現(xiàn)的，提出一種大尺寸晶圓化學(xué)清洗液供給閥，包括：

4、主腔體，具有倒l形流道，所述倒l形流道的底端為供液入口，所述倒l形流道的側(cè)端為供液出口，所述倒l形流道的水平部的一部分上形成有反沖洗口；

5、通斷閥座，結(jié)合于所述主腔體的上方并對準(zhǔn)所述倒l形流道的垂直部，所述通斷閥座的活塞桿一端連接有雙錐面主閥頭，大于所述垂直部的縱向流道口徑，用于通斷所述倒l形流道的所述供液入口與所述供液出口；

6、反沖洗閥座，結(jié)合于所述主腔體的下方并對準(zhǔn)位在所述倒l形流道的水平部的所述反沖洗口，所述反沖洗閥座的浮動(dòng)子一端連接有自平衡閥頭，大于所述反沖洗口的口徑，所述自平衡閥頭具有反錐面；

7、所述反沖洗閥座被配置為：

8、以所述雙錐面主閥頭開通所述倒l形流道的第一流體壓力，作用于所述自平衡閥頭的反錐面，足以使所述自平衡閥頭自動(dòng)封閉所述反沖洗口；

9、當(dāng)所述供液入口的第一流體壓力動(dòng)態(tài)降低，所述自平衡閥頭自然浮動(dòng)于所述倒l形流道的水平部中，由所述反沖洗口補(bǔ)充流體，以穩(wěn)定供液；

10、在所述雙錐面主閥頭斷閉所述倒l形流道時(shí)，來自所述反沖洗口的第二流體壓力，作用于所述自平衡閥頭的密封面，足以使所述自平衡閥頭自動(dòng)打開所述反沖洗口。

11、此一基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)示例的實(shí)施原理是，在化學(xué)清洗液供給過程中，當(dāng)供液入口的第一流體壓力高于預(yù)設(shè)值時(shí)，自平衡閥頭能夠自動(dòng)封閉反沖洗口，確保供液路徑暢通無阻，從而保證化學(xué)清洗液的穩(wěn)定供應(yīng)。當(dāng)供液入口的第一流體壓力動(dòng)態(tài)降低時(shí)，自平衡閥頭會(huì)自然浮動(dòng)于倒l形流道的水平部中，由反沖洗口補(bǔ)充流體，從而穩(wěn)定供液，避免因壓力波動(dòng)導(dǎo)致的供液中斷，提高了大尺寸晶圓化學(xué)清洗系統(tǒng)的可靠性和穩(wěn)定性。另外，在雙錐面主閥頭斷閉倒l形流道時(shí)，反沖洗口的第二流體壓力能夠使自平衡閥頭自動(dòng)打開反沖洗口，確保即使在閥關(guān)斷狀態(tài)下也能防止供液中斷，進(jìn)一步提升了大尺寸晶圓化學(xué)清洗系統(tǒng)的安全性。綜上所述，本發(fā)明示例的供給閥能夠在不同工況下保持穩(wěn)定的供液性能，有效減少了閥體損傷，避免了因異常情況導(dǎo)致化學(xué)清洗液的供液中斷并減少化學(xué)清洗液長時(shí)間殘留于閥內(nèi)的可能，適用于高腐蝕性、高溫環(huán)境下的大尺寸晶圓化學(xué)清洗工藝。

12、本發(fā)明在較佳示例中可以進(jìn)一步配置為，所述反沖洗閥座包括自調(diào)整彈性機(jī)構(gòu)，以提供所述浮動(dòng)子的第二上浮力，所述自調(diào)整彈性機(jī)構(gòu)能隨著來自所述反沖洗口的第二流體壓力變化，動(dòng)態(tài)調(diào)整所述自平衡閥頭朝向所述反沖洗口的密封壓力。

13、通過采用上述結(jié)構(gòu)的優(yōu)選技術(shù)特點(diǎn)，自調(diào)整彈性機(jī)構(gòu)能夠根據(jù)反沖洗口處的朝下第二流體壓力變化，同步地動(dòng)態(tài)調(diào)整自平衡閥頭朝向反沖洗口的朝上密封壓力。這不僅提高了反沖洗口的密封性能，確保在第二流體壓力突增的工作條件下能保持良好的反沖洗口密封效果，還能有效防止化學(xué)清洗液由反沖洗口的泄漏，延長連接該供給閥反沖洗口的輸送管道的使用壽命。在閥清洗液壓力波動(dòng)較大時(shí)，通過自適應(yīng)調(diào)節(jié)密封壓力來維持化學(xué)清洗液的穩(wěn)定供液狀態(tài)，從而避免因閥清洗液的壓力突變導(dǎo)致化學(xué)清洗液供液異常問題。

14、本發(fā)明在較佳示例中可以進(jìn)一步配置為，所述反沖洗閥座包括：自驅(qū)閥體，結(jié)合于所述主腔體下方，以供所述浮動(dòng)子的活動(dòng)式容置；自驅(qū)彈性件，安置于所述自驅(qū)閥體內(nèi)，以提供所述浮動(dòng)子的第一上浮力。

15、通過采用上述結(jié)構(gòu)的優(yōu)選技術(shù)特點(diǎn)，利用自驅(qū)彈性件能夠提供浮動(dòng)子的第一上浮力，確保在供液入口的第一流體壓力動(dòng)態(tài)降低時(shí)，自平衡閥頭克服第二流體壓力而自然浮動(dòng)于倒l形流道的水平部中，由反沖洗口補(bǔ)充流體，從而穩(wěn)定供液。這不僅提高了供給閥的可靠性和穩(wěn)定性，還有效避免了因化學(xué)清洗液的流體壓力波動(dòng)導(dǎo)致的供給端突波與斷續(xù)的流量波動(dòng)問題。

16、本發(fā)明在較佳示例中可以進(jìn)一步配置為，所述自調(diào)整彈性機(jī)構(gòu)包括旁通管以及設(shè)置于所述旁通管中的自平衡流道壓力調(diào)整器，所述旁通管連通用于連接所述反沖洗口的輸送管道與所述反沖洗閥座的內(nèi)空間，所述旁通管通過所述自平衡流道壓力調(diào)整器提供能推動(dòng)所述浮動(dòng)子上升的第二上浮力。

17、通過采用上述結(jié)構(gòu)的優(yōu)選技術(shù)特點(diǎn)，利用自調(diào)整彈性機(jī)構(gòu)包括旁通管以及設(shè)置于旁通管中的自平衡流道壓力調(diào)整器，旁通管連通用于連接反沖洗口的輸送管道與反沖洗閥座的內(nèi)空間，旁通管通過自平衡流道壓力調(diào)整器提供能推動(dòng)浮動(dòng)子上升的第二上浮力，這種連接結(jié)構(gòu)能夠確保在反沖洗口的第二流體壓力發(fā)生變化時(shí)，自平衡閥頭能夠動(dòng)態(tài)調(diào)整密封壓力，從而更好地適應(yīng)不同的工作環(huán)境，提高閥的可靠性和耐用性。效果具體表現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：

18、1.穩(wěn)定供液：當(dāng)供液入口的第一流體壓力動(dòng)態(tài)降低時(shí)，自平衡閥頭能夠自然浮動(dòng)于倒l形流道的水平部中，由反沖洗口補(bǔ)充流體，確保供液的穩(wěn)定性；

19、2.自動(dòng)調(diào)節(jié)：自調(diào)整彈性機(jī)構(gòu)通過旁通管和自平衡流道壓力調(diào)整器，能夠隨著反沖洗口的第二流體壓力變化，動(dòng)態(tài)調(diào)整自平衡閥頭朝向反沖洗口的密封壓力，從而保持良好的密封性能；

20、3.減少閥體損傷：在化學(xué)清洗大尺寸晶圓過程中，能夠減少閥體的磨損和腐蝕，延長閥的使用壽命；

21、4.應(yīng)對異常情況：當(dāng)通斷閥座的閥關(guān)斷時(shí)，反沖洗流體壓力作用于自平衡閥頭的密封面，自動(dòng)打開反沖洗口，防止因異常情況導(dǎo)致的供液中斷。

22、本發(fā)明在較佳示例中可以進(jìn)一步配置為，所述通斷閥座包括：

23、他驅(qū)閥體，結(jié)合于所述主腔體上方，以供所述活塞桿的活塞盤活動(dòng)式容置；所述活塞桿在所述活塞盤的上方具有位于所述他驅(qū)閥體內(nèi)的套接部與穿過所述他驅(qū)閥體的桿部；

24、密合彈性件，位于所述他驅(qū)閥體內(nèi)并套合于所述活塞桿的所述套接部，以提供所述活塞桿的彈性下壓力。

25、通過采用上述結(jié)構(gòu)的優(yōu)選技術(shù)特點(diǎn)，利用通斷閥座的活塞桿在活塞盤的上方具有位于他驅(qū)閥體內(nèi)的套接部與穿過他驅(qū)閥體的桿部，密合彈性件位于他驅(qū)閥體內(nèi)并套合于活塞桿的套接部，能夠提供活塞桿的彈性下壓力。這種結(jié)構(gòu)確保了活塞桿在通斷閥座中升降活動(dòng)能夠精確控制供液入口與供液出口的通斷，提高主腔體內(nèi)的密封性能和可靠性。特別是在化學(xué)清洗液的高腐蝕性和高溫環(huán)境下，密合彈性件提供的彈性下壓力能夠有效防止泄漏，延長主腔體的使用壽命。

26、本發(fā)明在較佳示例中可以進(jìn)一步配置為，所述通斷閥座還包括：驅(qū)動(dòng)柄，設(shè)置于所述他驅(qū)閥體上方，所述驅(qū)動(dòng)柄的一端偏心樞軸連接所述活塞桿的所述桿部的突出端，所述驅(qū)動(dòng)柄具有第一側(cè)水平面與第二側(cè)水平面，所述偏心樞接點(diǎn)至所述第一側(cè)水平面的第一距離對應(yīng)所述通斷閥座的閥導(dǎo)通狀態(tài)，所述偏心樞接點(diǎn)至所述第二側(cè)水平面的第二距離對應(yīng)所述通斷閥座的閥關(guān)斷狀態(tài)，所述第一距離大于所述第二距離，所述第一距離與所述第二距離的差值大于等于所述活塞桿的升降行程。

27、通過采用上述結(jié)構(gòu)的優(yōu)選技術(shù)特點(diǎn)，利用驅(qū)動(dòng)柄的特定結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)通斷閥座的精確控制，具體表現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：

28、1.?驅(qū)動(dòng)柄的一端偏心樞軸連接活塞桿的桿部的突出端，使得驅(qū)動(dòng)柄在不同的水平姿態(tài)的操作下能夠準(zhǔn)確地控制活塞桿的高度位置，從而實(shí)現(xiàn)供給閥的導(dǎo)通狀態(tài)與關(guān)斷狀態(tài)的切換；

29、2.?由于第一距離大于第二距離，且第一距離與第二距離的差值大于等于活塞桿的升降行程，密合彈性件吸收差值潰縮，確保了驅(qū)動(dòng)柄在不同位置時(shí)能夠提供足夠的機(jī)械優(yōu)勢，保證活塞桿的運(yùn)動(dòng)范圍滿足供給閥的通斷需求；

30、3.?這種特定結(jié)構(gòu)不僅提高了供給閥的響應(yīng)速度和精度，還增強(qiáng)了大尺寸晶圓清洗系統(tǒng)的可靠性和穩(wěn)定性，減少了因機(jī)械故障導(dǎo)致的誤操作風(fēng)險(xiǎn)，特別是在大尺寸晶圓化學(xué)清洗過程中，能夠有效避免因閥體損壞或控制失效導(dǎo)致的化學(xué)清洗液斷流問題，從而保障清洗過程的連續(xù)性和安全性。

31、本發(fā)明在較佳示例中可以進(jìn)一步配置為，所述他驅(qū)閥體的頂部形成有l(wèi)形擋墻，所述驅(qū)動(dòng)柄在樞接一端的僅一側(cè)部形成有限轉(zhuǎn)擋部，在所述限轉(zhuǎn)擋部與所述l形擋墻的配合下，所述驅(qū)動(dòng)柄在水平姿勢的水平旋轉(zhuǎn)角度不大于60度，所述驅(qū)動(dòng)柄在直立姿勢的水平旋轉(zhuǎn)角度不大于120度。

32、通過采用上述結(jié)構(gòu)的優(yōu)選技術(shù)特點(diǎn)，利用所述他驅(qū)閥體的頂部形成的l形擋墻與驅(qū)動(dòng)柄在一端形成的限轉(zhuǎn)擋部兩者相互配合，若要對所述驅(qū)動(dòng)柄進(jìn)行翻面操作，限制驅(qū)動(dòng)柄在水平姿勢下的最大旋轉(zhuǎn)角度不超過60度，確保了驅(qū)動(dòng)柄在水平旋轉(zhuǎn)過程中的穩(wěn)定性，防止過度旋轉(zhuǎn)導(dǎo)致的機(jī)械損傷。同時(shí)，驅(qū)動(dòng)柄在直立姿勢下的最大旋轉(zhuǎn)角度不超過180度，保證了驅(qū)動(dòng)柄在直立位置時(shí)的精確控制，提升了通斷閥座的可靠性和使用壽命。這樣不僅提高了操作的安全性，還增強(qiáng)供給閥在不同工作狀態(tài)下的穩(wěn)定性和可靠性。

33、本發(fā)明在較佳示例中可以進(jìn)一步配置為，所述驅(qū)動(dòng)柄在所述通斷閥座的閥導(dǎo)通狀態(tài)與閥關(guān)斷狀態(tài)具有不相同的水平姿態(tài)。

34、通過采用上述結(jié)構(gòu)的優(yōu)選技術(shù)特點(diǎn)，利用驅(qū)動(dòng)柄在通斷閥座的閥導(dǎo)通狀態(tài)與閥關(guān)斷狀態(tài)具有不同的水平姿態(tài)，確保了驅(qū)動(dòng)柄在不同工作狀態(tài)下的精確位置，從而提高了通斷閥座的可靠性和穩(wěn)定性。具體表現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：

35、1.?在閥導(dǎo)通狀態(tài)，驅(qū)動(dòng)柄的第一側(cè)水平面平貼他驅(qū)閥體頂部在第一水平姿態(tài)，保證了通斷閥座的最大開度，使得化學(xué)清洗液能夠順暢流通，不會(huì)產(chǎn)生堵塞現(xiàn)象；

36、2.?在閥關(guān)斷狀態(tài)，驅(qū)動(dòng)柄的第二側(cè)水平面平貼他驅(qū)閥體頂部，確保通斷閥座對化學(xué)清洗液在供液入口的完全關(guān)閉，防止化學(xué)清洗液的泄漏，保護(hù)大尺寸晶圓化學(xué)清洗設(shè)備的安全運(yùn)行；

37、故，這種結(jié)構(gòu)設(shè)置不僅提高了閥體的使用壽命，還減少系統(tǒng)維護(hù)成本，適用于大尺寸晶圓化學(xué)清洗過程中的高精度控制需求。

38、本發(fā)明的主要目的二是通過以下技術(shù)方案得以實(shí)現(xiàn)的，提出一種大尺寸晶圓化學(xué)清洗液供給方法，包括：

39、s1、提供如上基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)示例所述的大尺寸晶圓化學(xué)清洗液供給閥，該供給閥的導(dǎo)入口連通化學(xué)清洗液的輸送管道，該供給閥的導(dǎo)出口連通半導(dǎo)體晶圓清洗腔，該供給閥的反沖洗口連通腔清洗液的輸送管道；

40、s2、以所述通斷閥座的閥導(dǎo)通狀態(tài)下，當(dāng)所述化學(xué)清洗液經(jīng)過所述供液入口的第一流體壓力高于流道壓力下閾值，所述自平衡閥頭自動(dòng)密封所述反沖洗口；此時(shí)，閥導(dǎo)通為正常使用，由導(dǎo)出口流出化學(xué)清洗液；

41、s3、以所述通斷閥座的閥導(dǎo)通狀態(tài)下，當(dāng)所述腔清洗液經(jīng)過所述反沖洗口的第二流體壓力發(fā)生動(dòng)態(tài)變化，所述自平衡閥頭仍自動(dòng)密封所述反沖洗口；故，反沖洗壓力異常下，閥導(dǎo)通仍正常使用，導(dǎo)出口流出化學(xué)清洗液；

42、s4、以所述通斷閥座的閥導(dǎo)通狀態(tài)下，當(dāng)所述化學(xué)清洗液經(jīng)過所述供液入口的第一流體壓力動(dòng)態(tài)降低而低于流道壓力下閾值，所述自平衡閥頭自然浮動(dòng)于所述倒l形流道的水平部中，由所述反沖洗口補(bǔ)充所述腔清洗液，以穩(wěn)定供液；例如斷電的導(dǎo)通壓力異常降低下，由反沖洗口補(bǔ)充流體，閥導(dǎo)通仍正常使用，防止導(dǎo)出口斷流，導(dǎo)出口流出化學(xué)清洗液與腔清洗液；

43、s6、以所述通斷閥座的閥關(guān)斷狀態(tài)下，在所述雙錐面主閥頭斷閉所述倒l形流道時(shí)，所述腔清洗液經(jīng)過所述反沖洗口的第二流體壓力足以使所述自平衡閥頭自動(dòng)打開所述反沖洗口；故在閥關(guān)斷中，反沖洗口自動(dòng)全開，防止導(dǎo)出口斷流，導(dǎo)出口流出腔清洗液。

44、此一基礎(chǔ)方法示例的實(shí)施原理是，利用以上所述的大尺寸晶圓化學(xué)清洗液供給方法能夠體現(xiàn)以下幾種技術(shù)效果：

45、1.?確保穩(wěn)定的供液：在通斷閥座的閥導(dǎo)通狀態(tài)下，當(dāng)供液入口的第一流體壓力高于流道壓力下閾值時(shí)，自平衡閥頭自動(dòng)密封反沖洗口，確?；瘜W(xué)清洗液從供液出口穩(wěn)定流出至供液出口，避免因反沖洗口漏液導(dǎo)致在供液出口處的供液不穩(wěn)定問題；

46、2.?應(yīng)對反沖洗壓力變化：即使在通斷閥座的閥導(dǎo)通狀態(tài)下，當(dāng)腔清洗液經(jīng)過反沖洗口的第二流體壓力發(fā)生動(dòng)態(tài)變化時(shí)，自平衡閥頭仍能自動(dòng)密封反沖洗口，第二流體壓力具有較寬的容許范圍，確保供液過程不受影響，提高大尺寸晶圓化學(xué)清洗系統(tǒng)的可靠性和穩(wěn)定性；

47、3.?防止供液中斷：當(dāng)供液入口的第一流體壓力動(dòng)態(tài)降低而低于流道壓力下閾值時(shí)，自平衡閥頭會(huì)自然浮動(dòng)于倒l形流道的水平部中，由反沖洗口補(bǔ)充腔清洗液，從而穩(wěn)定供液，避免了因供液壓力不足導(dǎo)致的供液中斷問題；

48、4.?自動(dòng)反沖洗：在通斷閥座的閥關(guān)斷狀態(tài)下，當(dāng)雙錐面主閥頭斷閉倒l形流道時(shí)，腔清洗液經(jīng)過反沖洗口的第二流體壓力足以使自平衡閥頭自動(dòng)打開反沖洗口，確保了閥關(guān)斷時(shí)反沖洗口的自動(dòng)打開，防止了化學(xué)清洗液在閥內(nèi)滯留，減少了對閥體的損害；

49、綜上所述，該方法通過優(yōu)化反沖洗口的自動(dòng)控制機(jī)制，顯著提高了大尺寸晶圓化學(xué)清洗液供給閥的耐用性和可靠性，確保了大尺寸晶圓化學(xué)清洗過程的連續(xù)性和穩(wěn)定性。

50、本發(fā)明在較佳示例中可以進(jìn)一步配置為，所述通斷閥座包括：

51、他驅(qū)閥體，結(jié)合于所述主腔體上方，以供所述活塞桿的活塞盤活動(dòng)式容置；所述活塞桿在所述活塞盤的上方具有位于所述他驅(qū)閥體內(nèi)的套接部與穿過所述他驅(qū)閥體的桿部；

52、密合彈性件，位于所述他驅(qū)閥體內(nèi)并套合于所述活塞桿的所述套接部，以提供所述活塞桿的彈性下壓力；

53、驅(qū)動(dòng)柄，設(shè)置于所述他驅(qū)閥體上方，所述驅(qū)動(dòng)柄的一端偏心樞軸連接所述活塞桿的所述桿部的突出端，所述驅(qū)動(dòng)柄具有第一側(cè)水平面與第二側(cè)水平面，所述偏心樞接點(diǎn)至所述第一側(cè)水平面的第一距離對應(yīng)所述通斷閥座的閥導(dǎo)通狀態(tài)，所述偏心樞接點(diǎn)至所述第二側(cè)水平面的第二距離對應(yīng)所述通斷閥座的閥關(guān)斷狀態(tài)，所述第一距離大于所述第二距離，所述第一距離與所述第二距離的差值大于等于所述活塞桿的升降行程；

54、其中，所述他驅(qū)閥體的頂部形成有l(wèi)形擋墻，所述驅(qū)動(dòng)柄在樞接一端的僅一側(cè)部形成有限轉(zhuǎn)擋部，在所述限轉(zhuǎn)擋部與所述l形擋墻的配合下，所述驅(qū)動(dòng)柄在水平姿勢的水平旋轉(zhuǎn)角度不大于60度，所述驅(qū)動(dòng)柄在直立姿勢的水平旋轉(zhuǎn)角度不大于120度；

55、所述供給方法還包括：在步驟s2、步驟s3與步驟s4中任一者與步驟s6之間的通斷切換步驟s5，包括：

56、改變所述驅(qū)動(dòng)柄的第一水平姿態(tài)，由其第一側(cè)水平面平貼所述他驅(qū)閥體頂部的第一水平姿態(tài)改變至直立姿態(tài)，使所述通斷閥座處于閥導(dǎo)通狀態(tài)；

57、旋轉(zhuǎn)在直立姿態(tài)的所述驅(qū)動(dòng)柄，使得所述限轉(zhuǎn)擋部原本鄰靠所述l形擋墻的一端改變至鄰靠所述l形擋墻的另一端，所述驅(qū)動(dòng)柄在直立姿態(tài)的旋轉(zhuǎn)角度介于60度至120度；

58、改變所述驅(qū)動(dòng)柄的直立姿態(tài)，由直立姿態(tài)改變至以其第二側(cè)水平面平貼所述他驅(qū)閥體頂部的第二水平姿態(tài)，使所述通斷閥座處于閥關(guān)斷狀態(tài)。

59、通過采用上述方法的優(yōu)選技術(shù)特點(diǎn)，利用該通斷閥座設(shè)計(jì)能夠確保供給閥的可靠性和穩(wěn)定性，他驅(qū)閥體結(jié)合于主腔體上方，為活塞桿的活塞盤提供活動(dòng)式容置，保證活塞桿的活塞盤可以在閥體內(nèi)部可控升降移動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)閥的通斷功能；密合彈性件位于他驅(qū)閥體內(nèi)并套合于活塞桿的套接部，提供活塞桿的彈性下壓力，確?；钊麠U能夠在無外界干預(yù)的情況下保持在閥關(guān)斷狀態(tài)的閥頭密封位置，防止意外泄漏；驅(qū)動(dòng)柄設(shè)置于他驅(qū)閥體上方，一端偏心樞軸連接活塞桿的桿部的突出端；驅(qū)動(dòng)柄的設(shè)計(jì)使其在不同水平面之間切換時(shí)，可以通過簡單直立與旋轉(zhuǎn)操作實(shí)現(xiàn)閥的通斷狀態(tài)轉(zhuǎn)換，具體而言表現(xiàn)如下：

60、當(dāng)驅(qū)動(dòng)柄的第一側(cè)水平面平貼他驅(qū)閥體頂部時(shí)，閥處于導(dǎo)通狀態(tài)；

61、當(dāng)驅(qū)動(dòng)柄的第二側(cè)水平面平貼他驅(qū)閥體頂部時(shí)，閥處于關(guān)斷狀態(tài)；

62、驅(qū)動(dòng)柄在水平姿態(tài)下的旋轉(zhuǎn)角度不大于60度，在直立姿態(tài)下的旋轉(zhuǎn)角度介于60度至120度，確保驅(qū)動(dòng)柄的限轉(zhuǎn)擋部能夠與l形擋墻配合，限制驅(qū)動(dòng)柄的最大旋轉(zhuǎn)角度，防止誤操作；

63、還利用l形擋墻在驅(qū)動(dòng)柄樞接一端的僅一側(cè)部形成限轉(zhuǎn)擋部，與l形擋墻配合，限制驅(qū)動(dòng)柄的水平旋轉(zhuǎn)角度，確保驅(qū)動(dòng)柄在水平姿勢的水平旋轉(zhuǎn)角度不大于60度，直立姿勢的水平旋轉(zhuǎn)角度不大于120度，進(jìn)一步提高了閥的操作精度和可靠性；

64、在供給方法中的通斷切換步驟s5有以下幾點(diǎn)技術(shù)表現(xiàn)：

65、1.改變驅(qū)動(dòng)柄的第一水平姿態(tài)，由其第一側(cè)水平面平貼他驅(qū)閥體頂部的第一水平姿態(tài)改變至直立姿態(tài)，使通斷閥座處于閥導(dǎo)通狀態(tài)；

66、2.旋轉(zhuǎn)在直立姿態(tài)的驅(qū)動(dòng)柄，使得限轉(zhuǎn)擋部原本鄰靠l形擋墻的一端改變至鄰靠l形擋墻的另一端，驅(qū)動(dòng)柄在直立姿態(tài)的旋轉(zhuǎn)角度介于60度至120度；

67、3.改變驅(qū)動(dòng)柄的直立姿態(tài)，由直立姿態(tài)改變至以其第二側(cè)水平面平貼他驅(qū)閥體頂部的第二水平姿態(tài)，使通斷閥座處于閥關(guān)斷狀態(tài)；

68、通過以上所述的幾點(diǎn)實(shí)施操作，該通斷閥座不僅能夠精確控制閥的通斷狀態(tài)，還能有效防止因意外操作或機(jī)械故障導(dǎo)致的閥失效，從而確?；瘜W(xué)清洗液的穩(wěn)定供給，減少對供給閥的傷害，避免供給斷流。

69、綜上所述，本發(fā)明示例關(guān)于結(jié)構(gòu)或方法的技術(shù)方案包括以下至少一種對現(xiàn)有技術(shù)作出貢獻(xiàn)的技術(shù)效果：

70、1.在通斷閥座的閥導(dǎo)通狀態(tài)下，通過雙錐面主閥頭和具有反錐面的自平衡閥頭的特定結(jié)構(gòu)配合，能夠在供液入口處的化學(xué)清洗液流體壓力發(fā)生異常變化時(shí)，自動(dòng)調(diào)節(jié)反沖洗口的開閉狀態(tài)，從而避免供液出口處供給斷流，保證清洗過程的連續(xù)性和穩(wěn)定性；在反沖洗口處的閥清洗液流體壓力發(fā)生異常變化時(shí)，反沖洗口不會(huì)突然開閉，具有供液出口處的流體壓力具有相對穩(wěn)定性；

71、2.?在通斷閥座的閥導(dǎo)通狀態(tài)下，當(dāng)化學(xué)清洗液的第一流體壓力動(dòng)態(tài)降低時(shí)，自平衡閥頭會(huì)自然浮動(dòng)，由反沖洗口補(bǔ)充流體，從而穩(wěn)定供液，減少因壓力波動(dòng)引起的供液中斷，保護(hù)大尺寸晶圓不受清洗參數(shù)異常的損傷；

72、3.?當(dāng)通斷閥座的閥關(guān)斷時(shí)，自平衡閥頭在反沖洗口的第二流體壓力作用下自動(dòng)打開，確保即使在異常情況下也能繼續(xù)供液，提高大尺寸晶圓清洗系統(tǒng)的可靠性和耐用性。