本技術(shù)涉及硅烷廢氣處理，具體涉及一種硅烷廢氣凈化提純設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、硅烷是指硅與氫的化合物，主要化合物種類有甲硅烷和乙硅烷等，硅烷可以為硅組分提供氣體源用于制作高純度的多晶硅、單晶硅和微晶硅等金屬硅化物，硅烷的主要特點是控制精細(xì)化和高純度，是其他硅源材料無法替代的，主要應(yīng)用于微電和光電等技術(shù)領(lǐng)域。

2、硅烷廢氣凈化提純裝置在長時間使用后，排出氣體的管道內(nèi)容易堆積較多的粉塵和顆粒物，降低了裝置的利用效率，需要不定時對裝置進(jìn)行停機清理，現(xiàn)有的硅烷廢氣凈化提純裝置的排氣管道一般為多段拼接組成，管道之間通過螺栓連接固定，工作人員在排氣管道清理前后進(jìn)行管道拆、裝操作時，拆解、安裝操作繁瑣，工作量較大，需要耗費較多的時間，十分不便。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、基于上述表述，本實用新型提供了一種硅烷廢氣凈化提純設(shè)備，以解決現(xiàn)有硅烷廢氣凈化提純設(shè)備的排氣管道拆、裝操作不便，不方便進(jìn)行管道清理的問題。

2、本實用新型解決上述技術(shù)問題的技術(shù)方案如下：一種硅烷廢氣凈化提純設(shè)備，包括凈化提純設(shè)備和設(shè)置在凈化提純設(shè)備外側(cè)的管道接口，所述管道接口的一端安裝有彎管件，所述彎管件遠(yuǎn)離所述凈化提純設(shè)備的一端安裝有直管件，所述管道接口、彎管件和直管件外側(cè)遠(yuǎn)離所述凈化提純設(shè)備的一端設(shè)置有定位件，所述彎管件和直管件外側(cè)靠近所述凈化提純設(shè)備的一端設(shè)置有旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)的扣接件，所述扣接件與定位件連接并加固相鄰兩個管件。

3、在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本實用新型還可以做如下改進(jìn)。

4、進(jìn)一步的，所述管道接口遠(yuǎn)離所述凈化提純設(shè)備的一端開設(shè)有第一螺紋槽，所述彎管件的一端設(shè)置有第一螺紋環(huán)，并安裝在所述第一螺紋槽內(nèi)。

5、進(jìn)一步的，所述彎管件遠(yuǎn)離所述凈化提純設(shè)備的一端開設(shè)有第二螺紋槽，所述直管件的一端設(shè)置有第二螺紋環(huán)，并安裝在所述第二螺紋槽內(nèi)，所述直管件遠(yuǎn)離所述凈化提純設(shè)備的一端開設(shè)有第三螺紋槽。

6、進(jìn)一步的，所述定位件由定位環(huán)和定位槽構(gòu)成，所述定位環(huán)安裝在所述管道接口、彎管件和直管件外側(cè)遠(yuǎn)離所述凈化提純設(shè)備的一端，所述定位槽開設(shè)在所述定位環(huán)的外側(cè)，并以所述定位環(huán)的中心為圓點呈環(huán)形等距離分布，所述定位槽呈c字形。

7、進(jìn)一步的，所述扣接件由安裝環(huán)和萬向活動桿構(gòu)成，所述安裝環(huán)安裝在所述彎管件和直管件外側(cè)靠近所述凈化提純設(shè)備的一端，所述安裝環(huán)靠近所述凈化提純設(shè)備一側(cè)的邊緣處開設(shè)有球形槽，所述球形槽以所述安裝環(huán)的中心為圓點呈環(huán)形等距離分布，并與所述定位槽的位置相對應(yīng)。

8、進(jìn)一步的，所述萬向活動桿的一端安裝在所述球形槽，所述萬向活動桿的另一端安裝在與所述球形槽延伸對應(yīng)的所述定位槽內(nèi)。

9、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本申請的技術(shù)方案具有以下有益技術(shù)效果：

10、本實用新型通過螺紋連接的彎管件和直管件，配合球形槽、萬向活動和定位槽，螺紋連接的方式方便了彎管件和直管件拆、裝操作進(jìn)行排氣管道的組成和拆解，當(dāng)彎管件、直管件通過螺紋連接的方式依次安裝在管道接口的外側(cè)進(jìn)行排氣引導(dǎo)時，設(shè)置在彎管件、直管件外側(cè)的萬向活動管可以通過扣接的方式，與前一管道外側(cè)的定位環(huán)連接形成固定，加固管道間連接的強度，在受萬向活動桿與管道接口連接固定的限制下，管道在進(jìn)行旋轉(zhuǎn)拆卸時，只有取消萬向活動桿的連接后才能拆除，可以避免管道多根同轉(zhuǎn)進(jìn)行拆除時，工作人員無法穩(wěn)定控制而產(chǎn)生的安全隱患，整體拆、裝操作過程簡單、便捷，大大節(jié)省了時間和人力，方便了工作人員進(jìn)行管道維護(hù)清理。

技術(shù)特征：

1.一種硅烷廢氣凈化提純設(shè)備，包括凈化提純設(shè)備(1)和設(shè)置在凈化提純設(shè)備(1)外側(cè)的管道接口(2)，其特征在于：所述管道接口(2)的一端安裝有彎管件(3)，所述彎管件(3)遠(yuǎn)離所述凈化提純設(shè)備(1)的一端安裝有直管件(4)，所述管道接口(2)、彎管件(3)和直管件(4)外側(cè)遠(yuǎn)離所述凈化提純設(shè)備(1)的一端設(shè)置有定位件，所述彎管件(3)和直管件(4)外側(cè)靠近所述凈化提純設(shè)備(1)的一端設(shè)置有旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)的扣接件，所述扣接件與定位件連接并加固相鄰兩個管件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅烷廢氣凈化提純設(shè)備，其特征在于：所述管道接口(2)遠(yuǎn)離所述凈化提純設(shè)備(1)的一端開設(shè)有第一螺紋槽(21)，所述彎管件(3)的一端設(shè)置有第一螺紋環(huán)(31)，并安裝在所述第一螺紋槽(21)內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅烷廢氣凈化提純設(shè)備，其特征在于：所述彎管件(3)遠(yuǎn)離所述凈化提純設(shè)備(1)的一端開設(shè)有第二螺紋槽(32)，所述直管件(4)的一端設(shè)置有第二螺紋環(huán)(41)，并安裝在所述第二螺紋槽(32)內(nèi)，所述直管件(4)遠(yuǎn)離所述凈化提純設(shè)備(1)的一端開設(shè)有第三螺紋槽(42)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅烷廢氣凈化提純設(shè)備，其特征在于：所述定位件由定位環(huán)(6)和定位槽(61)構(gòu)成，所述定位環(huán)(6)安裝在所述管道接口(2)、彎管件(3)和直管件(4)外側(cè)遠(yuǎn)離所述凈化提純設(shè)備(1)的一端，所述定位槽(61)開設(shè)在所述定位環(huán)(6)的外側(cè)，并以所述定位環(huán)(6)的中心為圓點呈環(huán)形等距離分布，所述定位槽(61)呈c字形。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的硅烷廢氣凈化提純設(shè)備，其特征在于：所述扣接件由安裝環(huán)(5)和萬向活動桿(7)構(gòu)成，所述安裝環(huán)(5)安裝在所述彎管件(3)和直管件(4)外側(cè)靠近所述凈化提純設(shè)備(1)的一端，所述安裝環(huán)(5)靠近所述凈化提純設(shè)備(1)一側(cè)的邊緣處開設(shè)有球形槽(51)，所述球形槽(51)以所述安裝環(huán)(5)的中心為圓點呈環(huán)形等距離分布，并與所述定位槽(61)的位置相對應(yīng)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的硅烷廢氣凈化提純設(shè)備，其特征在于：所述萬向活動桿(7)的一端安裝在所述球形槽(51)，所述萬向活動桿(7)的另一端安裝在與所述球形槽(51)延伸對應(yīng)的所述定位槽(61)內(nèi)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及一種硅烷廢氣凈化提純設(shè)備，包括凈化提純設(shè)備和設(shè)置在凈化提純設(shè)備外側(cè)的管道接口，管道接口的一端安裝有彎管件，彎管件遠(yuǎn)離凈化提純設(shè)備的一端安裝有直管件，管道接口、彎管件和直管件外側(cè)遠(yuǎn)離凈化提純設(shè)備的一端設(shè)置有定位件，本技術(shù)通過螺紋連接的彎管件和直管件，配合球形槽、萬向活動和定位槽，當(dāng)彎管件、直管件通過螺紋連接的方式依次安裝在管道接口的外側(cè)進(jìn)行排氣引導(dǎo)時，設(shè)置在彎管件、直管件外側(cè)的萬向活動管可以通過扣接的方式，與前一管道外側(cè)的定位環(huán)連接形成固定，加固管道間連接的強度，整體拆、裝操作過程簡單、便捷，大大節(jié)省了時間和人力，方便了工作人員進(jìn)行管道維護(hù)清理。

技術(shù)研發(fā)人員：李晨曦,何啟紅,曹鋒
受保護(hù)的技術(shù)使用者：湖北隆橋硅材料有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240603
技術(shù)公布日：2025/1/6