本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體，具體涉及一種電動(dòng)工具。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)，光刻工藝尤為關(guān)鍵，要想作業(yè)生產(chǎn)的產(chǎn)品達(dá)到高水準(zhǔn)的良率要求，就需要對(duì)光刻機(jī)進(jìn)行持續(xù)的定期的維護(hù)保養(yǎng)，以保證光刻機(jī)這一重要光學(xué)設(shè)備的精度。

2、日常維護(hù)保養(yǎng)時(shí)，需要對(duì)光刻機(jī)絲杠潤(rùn)滑上油。當(dāng)前的現(xiàn)實(shí)情況是，當(dāng)給光刻機(jī)stage單元絲杠潤(rùn)滑的時(shí)候，需要手動(dòng)移動(dòng)絲杠軌道，清理廢舊的潤(rùn)滑油脂，在狹小的空間內(nèi)作業(yè)時(shí)，不利于作業(yè)人員操作，有損壞配件parts和宕機(jī)的風(fēng)險(xiǎn)；并且復(fù)機(jī)完成效率低下，作業(yè)耗時(shí)長(zhǎng)久，影響生產(chǎn)作業(yè)up?t?ime；同理在絲杠新上潤(rùn)滑油脂也存在如上缺點(diǎn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本申請(qǐng)實(shí)施例的目的在于提供一種電動(dòng)工具，能夠采用自動(dòng)的方式對(duì)光刻機(jī)的絲杠進(jìn)行潤(rùn)滑上油，提高作業(yè)效率，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化操作。

2、本申請(qǐng)實(shí)施例的一方面，提供了一種電動(dòng)工具，包括本體，所述本體上可拆卸連接有用于和光刻機(jī)的絲杠的移動(dòng)軸承對(duì)接的鎖口部，所述本體內(nèi)設(shè)置有電源、與所述電源連接的電源開關(guān)、調(diào)速模塊、與所述調(diào)速模塊連接的馬達(dá)，所述調(diào)速模塊和所述馬達(dá)還分別與所述電源開關(guān)連接；所述馬達(dá)和所述鎖口部連接，所述電源開關(guān)驅(qū)動(dòng)所述馬達(dá)帶動(dòng)所述鎖口部正反轉(zhuǎn)，并通過(guò)所述調(diào)速模塊調(diào)整所述鎖口部的轉(zhuǎn)速，以用于驅(qū)動(dòng)所述光刻機(jī)的絲杠運(yùn)動(dòng)對(duì)所述絲杠進(jìn)行潤(rùn)滑上油。

3、可選地，所述鎖口部包括與所述馬達(dá)連接的第一套筒和設(shè)置在所述第一套筒內(nèi)的第二套筒，所述第二套筒內(nèi)設(shè)置有多個(gè)卡爪，多個(gè)所述卡爪之間形成夾持區(qū)域，以用于夾持所述絲杠連接的移動(dòng)軸承。

4、可選地，多個(gè)所述卡爪通過(guò)彈簧和所述第二套筒連接，所述第一套筒和所述第二套筒螺紋連接，以通過(guò)所述第一套筒和所述第二套筒的相對(duì)移動(dòng)，驅(qū)動(dòng)多個(gè)所述卡爪相對(duì)靠近或遠(yuǎn)離，以調(diào)節(jié)所述夾持區(qū)域的夾持面積。

5、可選地，所述第一套筒的內(nèi)壁和所述第二套筒的外壁分別設(shè)置匹配的螺紋。

6、可選地，所述本體上還設(shè)置有指示燈，所述本體內(nèi)設(shè)置有與所述指示燈連接的電阻，所述指示燈、所述電阻分別和所述電源開關(guān)連接，所述指示燈用于所述馬達(dá)正反轉(zhuǎn)的指示。

7、可選地，所述指示燈為發(fā)光二極管。

8、可選地，所述本體設(shè)置有充電接口，所述充電接口和所述電源連通，用于向所述電源充電。

9、可選地，所述電源開關(guān)和所述調(diào)速模塊分別具有露出于所述本體的操作按鈕。

10、可選地，所述調(diào)速模塊的操作按鈕沿順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)速。

11、可選地，所述電源開關(guān)為六角船型開關(guān)。

12、本申請(qǐng)實(shí)施例提供的電動(dòng)工具，電源向電動(dòng)工具供電，通過(guò)電源開關(guān)啟動(dòng)帶動(dòng)馬達(dá)正反轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)鎖口部的正反轉(zhuǎn)，鎖口部和光刻機(jī)絲杠的移動(dòng)軸承對(duì)接，以帶動(dòng)絲杠前進(jìn)或后退，暴露更多的絲杠和絲杠軌道，以便進(jìn)行清理絲杠軌道上的廢棄油脂或?qū)z杠上新的潤(rùn)滑油脂，完成絲杠的潤(rùn)滑上油。調(diào)速模塊可調(diào)整馬達(dá)的轉(zhuǎn)速，進(jìn)而調(diào)整鎖口部的轉(zhuǎn)速、絲杠的前進(jìn)或后退速度，可根據(jù)設(shè)備工程師的作業(yè)習(xí)慣實(shí)時(shí)調(diào)整轉(zhuǎn)速，適應(yīng)新手或者資深設(shè)備工程師的使用需求，固定小空間作業(yè)，無(wú)需多余動(dòng)作，節(jié)省空間和時(shí)間，提高效率，極大減少損壞parts和設(shè)備宕機(jī)的風(fēng)險(xiǎn)。

技術(shù)特征：

1.一種電動(dòng)工具，其特征在于，包括：本體，所述本體上可拆卸連接有用于和光刻機(jī)的絲杠的移動(dòng)軸承對(duì)接的鎖口部，所述本體內(nèi)設(shè)置有電源、與所述電源連接的電源開關(guān)、調(diào)速模塊、與所述調(diào)速模塊連接的馬達(dá)，所述調(diào)速模塊和所述馬達(dá)還分別與所述電源開關(guān)連接；所述馬達(dá)和所述鎖口部連接，所述電源開關(guān)驅(qū)動(dòng)所述馬達(dá)帶動(dòng)所述鎖口部正反轉(zhuǎn)，并通過(guò)所述調(diào)速模塊調(diào)整所述鎖口部的轉(zhuǎn)速，以用于驅(qū)動(dòng)所述光刻機(jī)的絲杠運(yùn)動(dòng)對(duì)所述絲杠進(jìn)行潤(rùn)滑上油。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電動(dòng)工具，其特征在于，所述鎖口部包括與所述馬達(dá)連接的第一套筒和設(shè)置在所述第一套筒內(nèi)的第二套筒，所述第二套筒內(nèi)設(shè)置有多個(gè)卡爪，多個(gè)所述卡爪之間形成夾持區(qū)域，以用于夾持所述絲杠連接的移動(dòng)軸承。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電動(dòng)工具，其特征在于，多個(gè)所述卡爪通過(guò)彈簧和所述第二套筒連接，所述第一套筒和所述第二套筒螺紋連接，以通過(guò)所述第一套筒和所述第二套筒的相對(duì)移動(dòng)，驅(qū)動(dòng)多個(gè)所述卡爪相對(duì)靠近或遠(yuǎn)離，以調(diào)節(jié)所述夾持區(qū)域的夾持面積。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電動(dòng)工具，其特征在于，所述第一套筒的內(nèi)壁和所述第二套筒的外壁分別設(shè)置匹配的螺紋。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的電動(dòng)工具，其特征在于，所述本體上還設(shè)置有指示燈，所述本體內(nèi)設(shè)置有與所述指示燈連接的電阻，所述指示燈、所述電阻分別和所述電源開關(guān)連接，所述指示燈用于所述馬達(dá)正反轉(zhuǎn)的指示。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的電動(dòng)工具，其特征在于，所述指示燈為發(fā)光二極管。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的電動(dòng)工具，其特征在于，所述本體設(shè)置有充電接口，所述充電接口和所述電源連通，用于向所述電源充電。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的電動(dòng)工具，其特征在于，所述電源開關(guān)和所述調(diào)速模塊分別具有露出于所述本體的操作按鈕。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的電動(dòng)工具，其特征在于，所述調(diào)速模塊的操作按鈕沿順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)速。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的電動(dòng)工具，其特征在于，所述電源開關(guān)為六角船型開關(guān)。

技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N電動(dòng)工具，涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，包括本體，本體上可拆卸連接有用于和光刻機(jī)的絲杠的移動(dòng)軸承對(duì)接的鎖口部，本體內(nèi)設(shè)置有電源、與電源連接的電源開關(guān)、調(diào)速模塊、與調(diào)速模塊連接的馬達(dá)，調(diào)速模塊和馬達(dá)還分別與電源開關(guān)連接；馬達(dá)和鎖口部連接，電源開關(guān)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)帶動(dòng)鎖口部正反轉(zhuǎn)，并通過(guò)調(diào)速模塊調(diào)整鎖口部的轉(zhuǎn)速，以用于驅(qū)動(dòng)光刻機(jī)的絲杠運(yùn)動(dòng)對(duì)絲杠進(jìn)行潤(rùn)滑上油。對(duì)小空間作業(yè)有優(yōu)勢(shì)，實(shí)時(shí)調(diào)整轉(zhuǎn)速和旋轉(zhuǎn)正反方向，節(jié)省了大量的人為操作時(shí)間，進(jìn)而高效的完成光刻機(jī)絲杠上油的保養(yǎng)復(fù)機(jī)動(dòng)作；實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化作業(yè)動(dòng)作替代手動(dòng)操作，實(shí)現(xiàn)效率與操作安全性的巨大提升，降低了對(duì)作業(yè)人員的經(jīng)驗(yàn)要求；能夠適用不同規(guī)格的絲杠潤(rùn)滑上油作業(yè)。

技術(shù)研發(fā)人員：魏永海,吳勝榮,李一華,葉凱
受保護(hù)的技術(shù)使用者：捷捷微電(南通)科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240607
技術(shù)公布日：2025/1/2