專利名稱：致動(dòng)器及其控制裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在移動(dòng)體的位移作用下，例如，能夠運(yùn)送工件等的致動(dòng)器及其控制裝置。
背景技術(shù)：
以往，在工件的運(yùn)送等中使用著致動(dòng)器。如
圖18中所示，此一致動(dòng)器200，具有截面為矩形的細(xì)長的導(dǎo)向座201，其兩端旋轉(zhuǎn)自如地軸支承于未畫出的軸承塊并傳遞未畫出的驅(qū)動(dòng)源的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)力的絲杠202，以及貫通形成與前述絲杠202相配合的螺紋孔、在前述絲杠202的旋轉(zhuǎn)作用下沿著導(dǎo)向座201的縱長方向往復(fù)動(dòng)作的移動(dòng)體203。
再者，構(gòu)成為，在前述導(dǎo)向座201與移動(dòng)體203之間設(shè)置滾珠204，借此在前述滾珠204的滾動(dòng)作用下移動(dòng)體203順利地往復(fù)動(dòng)作。
可是，在前述根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的致動(dòng)器200中，例如，在移動(dòng)體203的直線精度由于絲杠202的螺紋牙磨損而惡化的場合，或者在把前述絲杠202更換成直徑不同的另一個(gè)絲杠或更換成滾珠絲杠等其他驅(qū)動(dòng)力傳遞構(gòu)件的場合，不得不把單元化了的絲杠202和移動(dòng)體203等整體地更換，前述更換作業(yè)變得繁雜。此外，因?yàn)椴粌H是絲杠202，而且移動(dòng)體203也不得不更換，故存在著成本增加這樣的問題。
此外，在根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的致動(dòng)器200中，如果用戶打算根據(jù)使用環(huán)境按照與通常的規(guī)格不同的規(guī)格來使用致動(dòng)器200，則在把該致動(dòng)器200拆開之后，重新組裝成想要的構(gòu)成是困難的，此外，因?yàn)橹匦陆M裝成想要的構(gòu)成的作業(yè)是非常繁雜的，所以存在著成本昂貴這樣的問題。
此外，在現(xiàn)有技術(shù)中，例如，圖19中所示的電動(dòng)致動(dòng)器300是公知的。圖19中所示的電動(dòng)致動(dòng)器300，沿著縱長方向細(xì)長地形成，而且具有配備了幾乎平行的1組導(dǎo)軌318a、318b的基座320，以及在導(dǎo)軌318a、318b的導(dǎo)向下沿著基座320的縱長方向位移的移動(dòng)體330。
在前述基座320上形成的凹部321內(nèi)，沿著縱長方向支承著滾珠絲杠316，在移動(dòng)體330上，固定著形成與滾珠絲杠316螺紋嚙合的未畫出的螺紋孔的軸承塊341。此外，前述電動(dòng)致動(dòng)器300，具有固定在基座320的一端并且轉(zhuǎn)動(dòng)自如地軸支承著滾珠絲杠316的支撐塊342，以及固定在基座320的另一端并且構(gòu)成沿規(guī)定方向旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)滾珠絲杠316的驅(qū)動(dòng)部的無刷電動(dòng)機(jī)322。
在如上所述構(gòu)成的電動(dòng)致動(dòng)器300中，如果通過把電源供給到無刷電動(dòng)機(jī)322來驅(qū)動(dòng)無刷電動(dòng)機(jī)322，則無刷電動(dòng)機(jī)322的轉(zhuǎn)子(未畫出)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)力傳遞到滾珠絲杠316，滾珠絲杠316沿規(guī)定方向被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。
根據(jù)滾珠絲杠316的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，移動(dòng)體330經(jīng)由與滾珠絲杠316螺紋嚙合的軸承塊341沿著導(dǎo)軌318a、318b順利地直線形地位移起來，可以運(yùn)送搭載在移動(dòng)體330上的未畫出的工件。
再者，標(biāo)號310a和310b是分別固定在基座320的一端和另一端的限制器，限制著移動(dòng)體330的移動(dòng)范圍。
可是，在上述這種現(xiàn)有技術(shù)的電動(dòng)致動(dòng)器300中，當(dāng)沿著基座320運(yùn)送搭載在移動(dòng)體330上的工件時(shí)，在移動(dòng)體330與基座320端部的限制器310a、310b之間夾住異物的場合或者在移動(dòng)體330碰到基座320的端部的限制器310a、310b的場合等，最好是進(jìn)行使移動(dòng)體330的移動(dòng)慢下來等，驅(qū)動(dòng)源的轉(zhuǎn)矩限制。
這些，在立式設(shè)置電動(dòng)致動(dòng)器300以便移動(dòng)體330的位移方向?yàn)樨Q直方向的狀態(tài)下設(shè)置的場合也是同樣的，當(dāng)使移動(dòng)體330沿下降方向位移時(shí)，因?yàn)轵?qū)動(dòng)源的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)力和工件的自重使下降速度增加，故使移動(dòng)體330與限制器310a、310b之間不能夾住異物是必要的。
為此作為現(xiàn)有技術(shù)的電動(dòng)致動(dòng)器300的控制裝置，在驅(qū)動(dòng)源與滾珠絲杠316之間作為轉(zhuǎn)矩限制器設(shè)置未畫出的摩擦板等，使得當(dāng)成為過大負(fù)載時(shí)摩擦板打滑，以便過大的驅(qū)動(dòng)力不加到移動(dòng)體330上，借此進(jìn)行驅(qū)動(dòng)源的轉(zhuǎn)矩控制。
可是，采用上述現(xiàn)有技術(shù)的方法，當(dāng)組裝驅(qū)動(dòng)源時(shí)，必須預(yù)先把轉(zhuǎn)矩限制器的箍緊力設(shè)定成想要的值，在工件的自重由于所搭載的工件的變更等而變更這樣的場合，變更轉(zhuǎn)矩限制器的轉(zhuǎn)矩限制值并不容易，存在著在轉(zhuǎn)矩限制值的變更上沒有自由度這樣的問題。
本發(fā)明的目的在于，提供一種可以簡便且廉價(jià)地僅更換驅(qū)動(dòng)力傳遞軸，同時(shí)可以根據(jù)使用環(huán)境簡便地重新組裝，而且，能夠很容易地設(shè)定變更旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源的轉(zhuǎn)矩限制值的致動(dòng)器及其控制裝置。
發(fā)明的公開采用根據(jù)本發(fā)明的致動(dòng)器，在移動(dòng)塊上形成驅(qū)動(dòng)力傳遞軸能夠從與其軸線垂直的方向穿過的敞口部，借此可以簡便地進(jìn)行驅(qū)動(dòng)力傳遞軸的組裝和維修。
此外，采用根據(jù)本發(fā)明的致動(dòng)器的控制裝置的話，把旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源的旋轉(zhuǎn)速度控制成基于所生成的速度圖形的速度的操作量控制信號的電平，被限制于轉(zhuǎn)矩限制信號的電平，根據(jù)電平受了限制的操作量控制信號來控制對致動(dòng)器的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源的通電量，借此把前述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源的轉(zhuǎn)矩控制在轉(zhuǎn)矩極限限制值信號的電平。
因而，因?yàn)楦鶕?jù)轉(zhuǎn)矩限制值信號來控制旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源的轉(zhuǎn)矩，而且可以很容易地設(shè)定轉(zhuǎn)矩限制值信號，故可以根據(jù)使用條件很容易地變更旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源的轉(zhuǎn)矩的設(shè)定變更，可以根據(jù)工件的條件設(shè)定成最佳的轉(zhuǎn)矩。
附圖的簡要說明圖1是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的致動(dòng)器的透視圖。
圖2是沿圖1中所示的II-II線截取的縱剖視圖。
圖3是表示構(gòu)成圖2的致動(dòng)器的移動(dòng)塊的變型例的透視圖。
圖4是表示構(gòu)成圖2的致動(dòng)器的軸承塊的變型例的分解透視圖。
圖5A是表示對構(gòu)成導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的滾動(dòng)槽進(jìn)行了硬化處理的狀態(tài)的局部省略剖視圖，圖5B是表示形成了連通到前述滾動(dòng)槽的貯油器用孔部的狀態(tài)的局部省略剖視圖。
圖6是表示把圖1的致動(dòng)器裝入半導(dǎo)體晶片運(yùn)送系統(tǒng)的狀態(tài)的概略透視圖。
圖7是表示圖1的致動(dòng)器的變型例的局部省略透視圖。
圖8是表示圖1的致動(dòng)器的變型例的局部省略透視圖。
圖9是表示圖1的致動(dòng)器的變型例的局部省略透視圖。
圖10是表示圖1的致動(dòng)器的變型例的局部省略分解透視圖。
圖11是表示圖1的致動(dòng)器的變型例的局部省略透視圖。
圖12是表示根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的致動(dòng)器的控制裝置的構(gòu)成的方框圖。
圖13A和圖13B是用來說明在圖12中所示的致動(dòng)器的控制裝置中所生成的移動(dòng)速度圖形的示意圖。
圖14A和圖14B是表示在致動(dòng)器沿水平方向配置的狀態(tài)下，移動(dòng)體沿規(guī)定方向移動(dòng)的狀態(tài)的概略構(gòu)成圖，圖14C是表示前述移動(dòng)體移動(dòng)之際的速度圖形的說明圖。
圖15A和圖15B是表示在致動(dòng)器沿水平方向配置的狀態(tài)下，移動(dòng)體沿與前述相反的方向移動(dòng)的狀態(tài)的概略構(gòu)成圖，圖15C是表示前述移動(dòng)體移動(dòng)之際的速度圖形的說明圖。
圖16A是表示在致動(dòng)器沿豎直方向配置的狀態(tài)下，移動(dòng)體下降的狀態(tài)的概略構(gòu)成圖，圖16B是表示前述移動(dòng)體下降之際的速度圖形的說明圖。
圖17A和圖17B是表示在致動(dòng)器沿豎直方向配置的狀態(tài)下，移動(dòng)體上升的狀態(tài)的概略構(gòu)成圖，圖17C是表示前述移動(dòng)體上升之際的速度圖形的說明圖。
圖18是根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的致動(dòng)器的透視圖。
圖19是表示另一種根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的電動(dòng)致動(dòng)器的構(gòu)成的局部剖視主視圖。
實(shí)施發(fā)明的最佳形式下面舉出最佳實(shí)施例，參照附圖，就根據(jù)本發(fā)明的致動(dòng)器及其控制裝置來詳細(xì)說明。
在圖1和圖2中，標(biāo)號10表示根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的致動(dòng)器。
此一致動(dòng)器10，具有截面呈字形并形成細(xì)長狀的基座12，固定設(shè)置在前述基座12的凹部14內(nèi)或者連接于該基座12的一端的驅(qū)動(dòng)部，作為傳遞前述驅(qū)動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)力的驅(qū)動(dòng)力傳遞構(gòu)件發(fā)揮功能的絲杠16，在經(jīng)由前述絲杠16所傳遞的驅(qū)動(dòng)力的作用下沿著基座12的縱長方向位移的移動(dòng)體18，以及沿著基座12的縱長方向給前述移動(dòng)體18導(dǎo)向的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)20。前述基座12的表面，施行有硬質(zhì)防蝕鋁處理。
再者，前述驅(qū)動(dòng)部，例如，包括圖2中所示的這種電動(dòng)機(jī)等的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21，或者收裝在缸腔室中的活塞在壓力流體的作用下往復(fù)動(dòng)作的未畫出的流體壓缸等，或者也可以組合使用前述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21和流體壓缸。
進(jìn)而在前述致動(dòng)器10上，安裝著分別封閉沿著基座12的縱長方向的兩端的敞口部，同時(shí)作為限制移動(dòng)體18的移動(dòng)范圍的限制器發(fā)揮功能的一組端板22a、22b，前述端板22a、22b，支撐著封閉基座12的上表面的敞口部24的頂蓋26。在前述頂蓋26的兩側(cè)面上，如圖2中所示，沿著縱長方向分別形成截面T字形的長槽，沿著前述長槽安裝著密封構(gòu)件28a。此外，在基座12一側(cè)也形成有與前述同樣的長槽，在前述長槽中設(shè)有與頂蓋26一側(cè)的密封構(gòu)件28a對峙的密封構(gòu)件28b。
此一密封構(gòu)件28a、28b，由保持在基座12的長槽內(nèi)具有與該長槽的截面形狀相對應(yīng)的形狀的保持部30，和與前述保持部30整體地形成并具有撓性的唇部32構(gòu)成。前述一組密封構(gòu)件28a、28b，設(shè)置成沿著基座12的縱長方向使其一部分重疊，借此封閉基座12與頂蓋26之間的間隙，同時(shí)當(dāng)移動(dòng)體18移動(dòng)時(shí)密封構(gòu)件28a、28b的唇部32與下文述及的連接板相接觸地向下方一側(cè)撓曲，借此可以阻止在基座12內(nèi)所發(fā)生的塵埃等流出到基座12的外部。
因而，根據(jù)本實(shí)施例的致動(dòng)器10可以在像超凈間等那樣要求清潔性的環(huán)境中合適地使用。此外，也可以形成使前述唇部32的前端分支為二，使該分支的一方的唇部(未畫出)向上方一側(cè)撓曲，使另一方的唇部(未畫出)向下方一側(cè)撓曲。
基座12，由構(gòu)成下部一側(cè)的第1塊體34，和與從前述第1塊體34的兩端向上突出的側(cè)部相連接的一組第2塊體36整體地形成。在此一場合，前述第1塊體34和第2塊體36，通過例如焊接、螺紋連接，或者下文述及的連接構(gòu)件等結(jié)合構(gòu)件來整體地組裝。
這樣一來，用分別由單獨(dú)體組成的第1塊體34和一組第2塊體36來分割構(gòu)成基座12，分別用由同一材質(zhì)或不同材質(zhì)組成的金屬制材料或磁性體來形成前述第1塊體34和第2塊體36，借此能夠根據(jù)所承受的載荷整體地形成具有強(qiáng)度分別不同的部分的基座12。
在此一場合，例如，最好是用鋼鐵材料，或者SUS440等來形成前述第1塊體34，用不銹鋼，鋁，或者鎂等來形成前述第2塊體36。
在基座12的下表面和相互對峙的外壁面上，形成截面呈T字形并沿著縱長方向延伸的長槽38，例如，在前述長槽38的規(guī)定部位安裝著未畫出的傳感器等。此外，在構(gòu)成基座12的第1塊體34的內(nèi)壁面上，形成截面圓弧形的滾動(dòng)槽40，沿著前述滾動(dòng)槽40滾動(dòng)自如地設(shè)有多個(gè)滾珠42。進(jìn)而，在前述第1塊體34的內(nèi)壁面上，形成沿著縱長方向延伸的多個(gè)流體通路44，例如，在用未畫出的流體壓缸作為驅(qū)動(dòng)部的場合，可以經(jīng)由插入前述流體通路44內(nèi)的配管構(gòu)件(未畫出)對前述流體壓缸供給壓力流體，或者從該流體壓缸排出壓力流體。
在第2塊體36的外壁面上，形成具有與第1塊體34同樣的形狀的長槽38，在與前述外壁對峙一側(cè)的內(nèi)壁面上，形成用來保持下文述及的密封構(gòu)件的密封保持用長槽。
移動(dòng)體18，由平板狀地形成的平板部46，連接于前述平板部46的下表面并形成了以非接觸狀態(tài)圍繞絲杠16的截面圓弧形的敞口部48的移動(dòng)塊50，連接于前述平板部46與移動(dòng)塊50之間并離開規(guī)定間隔的一組連接板52，以及借助于例如螺紋連接等裝拆自如地連接于前述移動(dòng)塊50的一側(cè)表面(沿著移動(dòng)體18的移動(dòng)方向的一側(cè)表面)，與絲杠16螺紋嚙合的螺紋孔54貫通形成的軸承塊56構(gòu)成(參照圖2)。
在此一場合，把連接板52的端部像船頭形狀那樣制成尖細(xì)的，借此來減輕移動(dòng)體18移動(dòng)之際對密封構(gòu)件28的滑動(dòng)阻力(參照圖1)。此外，在移動(dòng)塊50上所形成的敞口部48的寬度，設(shè)定成大于絲杠16的直徑。再者，前述移動(dòng)塊50的形狀不限定于圖2的例子，例如，如圖3中所示，也可以使用具有截面矩形的敞口部58的移動(dòng)塊60。
前述軸承塊56，例如，由圖2中所示的長方形板材來形成，或者也可以如圖4中所示，把前述長方形板材與圓筒體整體地連接來形成。在前述一組連接板52之間，形成頂蓋26所穿過的空間部。在前述平板部46的上表面上，大體上平行地形成2條截面呈T字形并用來安裝未畫出的工件的安裝用槽部62。
導(dǎo)向機(jī)構(gòu)20，借助于在構(gòu)成基座12的第1塊體34的內(nèi)壁面上所形成的截面圓弧形的滾動(dòng)槽40和在移動(dòng)塊50的外壁面上所形成的截面圓弧形的滾動(dòng)槽64來形成多個(gè)滾珠42滾動(dòng)的循環(huán)軌道，前述循環(huán)軌道被形成為經(jīng)由未畫出的返回通路連通到移動(dòng)塊50的循環(huán)孔66。
根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的致動(dòng)器10基本上像以上這樣形成，下面就其動(dòng)作和作用效果進(jìn)行說明。
通過對驅(qū)動(dòng)部，例如旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21施加能量，前述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)力傳遞到絲杠16，前述絲杠16沿規(guī)定方向轉(zhuǎn)動(dòng)。前述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)力經(jīng)由與絲杠16螺紋嚙合的軸承塊56傳遞到移動(dòng)體18，前述移動(dòng)體18沿著基座12的縱長方向位移。
在此一場合，多個(gè)滾珠42沿著借助于構(gòu)成基座12的第1塊體34的滾動(dòng)槽40與構(gòu)成移動(dòng)體18的移動(dòng)塊50的滾動(dòng)槽64所形成的循環(huán)軌道和循環(huán)孔66滾動(dòng)，借此可以使該移動(dòng)體18順利地位移。
此外，例如，在因?yàn)榍笆鼋z杠16的螺紋牙磨損使移動(dòng)體18的直線精度劣化而更換成另一個(gè)新的絲杠的場合，或者在把前述絲杠16更換成直徑不同的另一個(gè)絲杠(未畫出)的場合，或者在把前述絲杠16更換成另一個(gè)滾珠絲杠等另一種驅(qū)動(dòng)力傳遞構(gòu)件(未畫出)的場合，從基座12的上表面拆下頂蓋26之后，把螺紋連接于構(gòu)成移動(dòng)體18的移動(dòng)塊50的一側(cè)表面的軸承塊56與絲杠16整體地從該移動(dòng)塊50拆下，借此可以簡便地更換前述絲杠16。也就是說，在移動(dòng)塊50的上表面上形成敞口部48，通過前述敞口部48可以從移動(dòng)塊50的上方簡便地拆下絲杠16。
此外，如圖5A中所示，對構(gòu)成導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的滾動(dòng)槽40、64分別進(jìn)行淬火之后，施行磨削加工，進(jìn)而，通過進(jìn)行精密噴丸硬化等超精密加工，可以使前述滾動(dòng)槽40、64的滾動(dòng)面硬化從而防止磨損。再者，如圖5B中所示，設(shè)置單個(gè)或多個(gè)連通到前述滾動(dòng)槽40、64的滾動(dòng)面的貯油器用孔部68，借此可以提高滾珠42的潤滑性。在此一場合，用鋁，或聚酰亞胺樹脂，或者超高分子聚乙烯等材料來形成滾珠42，另一方面，也可以用鋁材料來形成第1塊體34，進(jìn)而對滾動(dòng)槽40、64進(jìn)行鍍Kanigen(注冊商標(biāo))的表面處理。在此一場合，如果在前述貯油器用孔部68內(nèi)，設(shè)置吸附潤滑油中所含有的塵埃的無紡布，則更加可取。
接下來，本實(shí)施例的致動(dòng)器10裝入設(shè)置在超凈間內(nèi)的半導(dǎo)體晶片的運(yùn)送系統(tǒng)70的狀態(tài)示于圖6。
此一運(yùn)送系統(tǒng)70包括經(jīng)由未畫出的固定機(jī)構(gòu)沿著大體上豎直方向直立設(shè)置的4根柱狀構(gòu)件72a～72d；分別橫架在一組前述柱狀構(gòu)件72a、72b上，分別具有能夠沿著X軸方向移動(dòng)的未畫出的移動(dòng)體的第1致動(dòng)器10a和第2致動(dòng)器10b；以及連接于前述第1致動(dòng)器10a和第2致動(dòng)器10b的各自的移動(dòng)體，沿著X軸方向移動(dòng)自如地設(shè)置的第3致動(dòng)器10c。
前述第3致動(dòng)器10c的移動(dòng)體18沿著Y軸方向移動(dòng)自如地設(shè)置，在前述移動(dòng)體18上，經(jīng)由位移機(jī)構(gòu)74附設(shè)沿著Z軸方向移動(dòng)自如的真空吸盤76。通過驅(qū)動(dòng)前述真空吸盤76，可以使一組半導(dǎo)體晶片80以軸部78為支點(diǎn)沿箭頭方向轉(zhuǎn)動(dòng)規(guī)定角度。
此外，前述運(yùn)送系統(tǒng)70，具有設(shè)置了沿著Y軸方向位移的移動(dòng)體18的第4致動(dòng)器10d。在前述移動(dòng)體18的上表面上，搭載著用來收容半導(dǎo)體晶片80的盒子82，借助于前述真空吸盤76所保持的半導(dǎo)體晶片80依次收容在盒子82內(nèi)之后，該盒子82在第4致動(dòng)器10d的驅(qū)動(dòng)作用下被運(yùn)送到規(guī)定的場所。
接下來，本實(shí)施例的致動(dòng)器的變型例示于圖7～圖11。
在圖7中所示的致動(dòng)器90中，把根據(jù)本實(shí)施例的致動(dòng)器10的第1塊體34單獨(dú)地用作基座12。此外，滾珠42滾動(dòng)的循環(huán)軌道在一側(cè)配置多個(gè)。
在圖8中所示的致動(dòng)器100中，把前述第1塊體34進(jìn)一步分割成3個(gè)。也就是說，前述第1塊體34，由平板形的平板102，以及相互對峙地離開規(guī)定距離地連接于前述平板102的上表面的一組側(cè)板104a、104b構(gòu)成，在前述平板102和側(cè)板104a、104b的接合面上分別形成的截面T字形的槽部106中，配合連接構(gòu)件108，借此組裝自如地設(shè)置。
在圖9中所示的致動(dòng)器110中，把第1塊體34和第2塊體36整體地?cái)D出或拉制成形而形成基座112，同時(shí)把圖2中所示的移動(dòng)塊50和連接板52整體地?cái)D出或拉制成形而形成移動(dòng)體114。
在圖10中所示的致動(dòng)器120中，為了容易地進(jìn)行滾動(dòng)面的加工，構(gòu)成為把形成了滾動(dòng)槽40的構(gòu)件126對基座122的內(nèi)壁面的凹部124整體地裝入。
也就是說，預(yù)先整體地?cái)D出或拉制成形基座122以便在內(nèi)壁面上形成矩形的凹凸面128之后，把在一邊的側(cè)面上形成配合于前述凹凸面128的凸凹面129而在另一邊的側(cè)面上形成截面圓弧形的滾動(dòng)槽40的構(gòu)件126裝入前述基座122的凹部124。在此一場合，不對基座122的內(nèi)壁面直接加工滾動(dòng)槽40，而是在與前述基座122分體形成的構(gòu)件126上加工滾動(dòng)槽40，借此可以簡便而且高效地進(jìn)行前述滾動(dòng)槽40的加工。
圖11中所示的致動(dòng)器130，示出在移動(dòng)塊132一側(cè)也同樣裝入預(yù)先形成了滾動(dòng)槽64的單獨(dú)的構(gòu)件134的狀態(tài)。
再者，在本實(shí)施例中，除了密封構(gòu)件28之外，也可以用鋁材料來形成構(gòu)成致動(dòng)器10，10a～10d，90，100，110，120，130的所有構(gòu)件。
接下來，本發(fā)明的實(shí)施例的致動(dòng)器的控制裝置的構(gòu)成示于圖12。再者，與圖1和圖2中所示的致動(dòng)器10相同的構(gòu)成要素，具有相同的標(biāo)號而在以下進(jìn)行說明。
此一致動(dòng)器的控制裝置400，設(shè)定移動(dòng)體18的移動(dòng)速度的加速/減速信號a、b經(jīng)由開關(guān)S1、S2來供給，而且供給有移動(dòng)體18的移動(dòng)方向指示信號r，由速度曲線發(fā)生器401與下文述及的速度限制器402共同來設(shè)定移動(dòng)體18的移動(dòng)速度圖形。另一方面，在收到經(jīng)由開關(guān)S3、S4所供給的速度限制信號c、d而來自速度曲線發(fā)生器401的輸出信號達(dá)到速度限制信號c、d時(shí)由速度限制器402來限制移動(dòng)速度，設(shè)定移動(dòng)體18的移動(dòng)速度圖形。
更詳細(xì)地說，把由未畫出的例如占空比設(shè)定器A、B根據(jù)想要的斜率來設(shè)定的占空比的信號作為加速/減速信號a、b輸出。與使開關(guān)S1或S2成為通狀態(tài)或斷狀態(tài)的開關(guān)相對應(yīng)的加速/減速信號a或b供給到速度曲線發(fā)生器401。這里，加速/減速信號a、b供給到速度曲線發(fā)生器401進(jìn)行加速或減速處理。此外，根據(jù)供給到速度曲線發(fā)生器401的移動(dòng)方向指示信號r的極性，例如，無刷電動(dòng)機(jī)等旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21的旋轉(zhuǎn)方向被切換。
例如，當(dāng)移動(dòng)方向指示信號r為正極性時(shí)，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21的轉(zhuǎn)子沿逆時(shí)針方向被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，來自占空比設(shè)定器A的占空比的信號被定作加速，來自占空比設(shè)定器B的占空比的信號被定作加速。此外，當(dāng)移動(dòng)方向指示信號r為負(fù)極性時(shí)，沿相反方向被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。
另一方面，在速度限制器402的場合也是同樣，速度限制信號c、d是由未畫出的例如電壓設(shè)定器C、D根據(jù)移動(dòng)體18的移動(dòng)速度來設(shè)定的信號，當(dāng)開關(guān)S3為通時(shí)選擇速度限制信號c，當(dāng)開關(guān)S4為通時(shí)選擇速度限制信號d。
因而，當(dāng)開關(guān)S1和開關(guān)S3被選擇，而且移動(dòng)方向指示信號r為正極性時(shí)，如圖13A的實(shí)線所示，由基于加速/減速信號a的斜率把速度加速，如果移動(dòng)速度達(dá)到速度限制信號c的電平，則在基于所限制的速度限制信號c的速度下開關(guān)S3為通狀態(tài)期間，被限制于速度限制信號c的電平。接著如果選擇了開關(guān)S2和開關(guān)S4，則由基于加速/減速信號b的斜率把速度加速，如果移動(dòng)速度達(dá)到速度限制信號d則在基于所限制的速度限制信號d的電平的速度下開關(guān)S4為通狀態(tài)期間，被限制。這樣一來速度曲線被設(shè)定。
在為通狀態(tài)的開關(guān)S1或開關(guān)S2，開關(guān)S3或開關(guān)S4被變更的場合也是同樣。
此外，當(dāng)移動(dòng)方向指示信號r的極性為負(fù)極性時(shí)，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21的未畫出的轉(zhuǎn)子沿順時(shí)針方向被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，根據(jù)加速/減速信號a、b被加速/減速，如圖13A的虛線所示，速度曲線被設(shè)定。同樣，如圖13B中所示，也可以設(shè)定成連續(xù)的多個(gè)梯形的速度曲線。
另一方面，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21的轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)速，由霍耳元件等的傳感器403來進(jìn)行該旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21的磁極位置的檢測，對來自傳感器403的輸出進(jìn)行波形整形，生成與波形整形輸出的升沿和降沿同步的脈沖，而且由速度檢測機(jī)構(gòu)404來檢測該脈沖的頻率，由偏差檢測機(jī)構(gòu)406來求出此一速度檢測輸出與基于從速度限制器402所輸出的速度曲線的速度信號之差。
從偏差檢測機(jī)構(gòu)406所輸出的偏差信號，供給到比例、積分、微分動(dòng)作的控制器407，進(jìn)行比例運(yùn)算407a、積分運(yùn)算407b和微分運(yùn)算407c，作為來自控制器407的輸出的操作量控制信號供給到轉(zhuǎn)矩限制器408，當(dāng)從控制器407所輸出的操作量控制信號的電平超過供給到轉(zhuǎn)矩限制器408的轉(zhuǎn)矩限制值信號e、f的電平時(shí)，所超過的部分被限制于轉(zhuǎn)矩限制值信號e、f的電平。供給到轉(zhuǎn)矩限制器408的從控制器407所輸出的操作量控制信號是轉(zhuǎn)矩信息的信號，轉(zhuǎn)矩限制值信號e、f經(jīng)由開關(guān)S5、S6供給到轉(zhuǎn)矩限制器408，從控制器407所輸出的操作量控制信號的電平由轉(zhuǎn)矩限制器408來限制于供給到前述開關(guān)S5、S6中的某一個(gè)為通狀態(tài)的開關(guān)的轉(zhuǎn)矩限制值信號e、f的電平。
轉(zhuǎn)矩限制值信號e和f也與速度限制信號c、d的場合同樣，由未畫出的例如電壓設(shè)定器E、F來設(shè)定。
來自轉(zhuǎn)矩限制器408的輸出信號供給到過負(fù)載檢測電路409，當(dāng)過負(fù)載時(shí)送出警報(bào)信號。
另一方面，檢測旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21的負(fù)載電流，由轉(zhuǎn)矩變換機(jī)構(gòu)410把旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21的負(fù)載電流變換成基于負(fù)載電流的轉(zhuǎn)矩信號，在運(yùn)算器411中檢測由轉(zhuǎn)矩變換機(jī)構(gòu)410所變換的轉(zhuǎn)矩信號與從過負(fù)載檢測電路409所輸出的轉(zhuǎn)矩信號之差，基于在運(yùn)算器411中所求出的差的差信號供給到PWM調(diào)制電路412，根據(jù)由運(yùn)算器411所求出的差信號與從傳感器403檢測的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21的表示定子線圈的相序號的線圈信息信號，把PWM調(diào)制輸出供給到逆變器電路413，根據(jù)PWM調(diào)制輸出來控制基于線圈信息信號的定子線圈的通電比，控制旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21的旋轉(zhuǎn)。再者，PWM調(diào)制電路412和逆變器電路413構(gòu)成通電量控制部。此外，因?yàn)榍袚Q旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21的旋轉(zhuǎn)方向，故把輸入到速度曲線發(fā)生器401的移動(dòng)方向指示信號r供給到逆變器電路413。
這里，當(dāng)從控制器407所輸出的操作量控制信號的電平低于供給到轉(zhuǎn)矩限制器408的轉(zhuǎn)矩限制值信號電平時(shí)，從控制器407所輸出的操作量控制信號，電平未受限制地通過轉(zhuǎn)矩限制器408和過負(fù)載檢測電路409，根據(jù)從控制器407所輸出的操作量控制信號與來自轉(zhuǎn)矩變換機(jī)構(gòu)410的輸出之差來旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21。
從控制器407所輸出的操作量控制信號的電平超過供給到轉(zhuǎn)矩限制器408的轉(zhuǎn)矩限制值信號電平的部分，被限制于轉(zhuǎn)矩限制值信號電平，通過過負(fù)載檢測電路409，根據(jù)經(jīng)由過負(fù)載檢測電路409所送出的來自轉(zhuǎn)矩限制器408的輸出信號與從轉(zhuǎn)矩變換機(jī)構(gòu)410所輸出的轉(zhuǎn)矩信號的電平差來進(jìn)行PWM調(diào)制，PWM調(diào)制的電流由逆變器電路413通電到基于由傳感器403所檢測的表示定子線圈相序號的線圈信息信號的定子線圈，進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21的旋轉(zhuǎn)控制。
因而，當(dāng)通過轉(zhuǎn)矩限制器408的操作量控制信號的電平超過從轉(zhuǎn)矩變換機(jī)構(gòu)410所輸出的信號電平時(shí)，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21的線圈電流加大，轉(zhuǎn)矩加大，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21的轉(zhuǎn)子以高速被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。相反，當(dāng)通過轉(zhuǎn)矩限制器408的操作量控制信號的電平低于從轉(zhuǎn)矩變換機(jī)構(gòu)410所輸出的信號電平時(shí)，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21的線圈電流減小，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21的轉(zhuǎn)子實(shí)際上被制動(dòng)，轉(zhuǎn)矩減小，以低速被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。
另一方面，供給到速度檢測機(jī)構(gòu)404的來自傳感器403的輸出信號還供給到位置檢測機(jī)構(gòu)405，在位置檢測機(jī)構(gòu)405中，根據(jù)從傳感器403所輸出的信號的相旋轉(zhuǎn)方向生成U/D信號，同時(shí)對來自傳感器403的輸出進(jìn)行波形整形，生成與波形整形輸出的升沿和降沿同步的脈沖，沿基于U/D信號的方向來計(jì)數(shù)該脈沖。因而，在位置檢測機(jī)構(gòu)405中移動(dòng)體18的位置實(shí)際上被檢測。
把位置檢測機(jī)構(gòu)405中的計(jì)數(shù)值作為移動(dòng)體18的位置信息供給到旋轉(zhuǎn)位置判別電路415。預(yù)先供給到旋轉(zhuǎn)位置判別電路415的逆時(shí)針方向末端確認(rèn)位置信息，順時(shí)針方向末端確認(rèn)位置信息，預(yù)先確定的規(guī)定范圍(圖12中記為窗口模式范圍)下端位置信息和上端位置信息，逆時(shí)針方向范圍外確認(rèn)位置信息，順時(shí)針方向范圍外確認(rèn)位置信息與位置檢測機(jī)構(gòu)405中的計(jì)數(shù)值，在旋轉(zhuǎn)位置判別電路415中進(jìn)行比較，根據(jù)基于位置檢測機(jī)構(gòu)405中的計(jì)數(shù)值的移動(dòng)體18的位置，送出逆時(shí)針方向末端確認(rèn)輸出，順時(shí)針方向末端確認(rèn)輸出，預(yù)先確定的規(guī)定范圍內(nèi)確認(rèn)輸出，或者警報(bào)確認(rèn)輸出。
因而，當(dāng)采用像以上這樣構(gòu)成的根據(jù)本發(fā)明的致動(dòng)器的控制裝置400時(shí)，將根據(jù)按照從速度限制器402所輸出的移動(dòng)速度圖形的移動(dòng)速度，使旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21的轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，基于移動(dòng)速度圖形的速度與由速度檢測機(jī)構(gòu)404所檢測的速度的偏差，由控制器407來進(jìn)行比例、積分、微分控制，從控制器407所輸出的操作量控制信號的電平，在轉(zhuǎn)矩限制器408中僅超過轉(zhuǎn)矩限制值信號電平的部分被限制于轉(zhuǎn)矩限制值信號電平e、f，由轉(zhuǎn)矩變換機(jī)構(gòu)410所變換的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21的轉(zhuǎn)矩與從轉(zhuǎn)矩限制器408所輸出的信號之差在運(yùn)算器411中運(yùn)算并進(jìn)行PWM調(diào)制，由逆變器電路413根據(jù)PWM調(diào)制輸出來控制旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21的定子電流，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)或制動(dòng)，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21的轉(zhuǎn)矩被控制于供給到轉(zhuǎn)矩限制器408的轉(zhuǎn)矩限制值信號電平。
另一方面，在位置檢測機(jī)構(gòu)405中所檢測的移動(dòng)體18的位置，在旋轉(zhuǎn)位置判別電路415中與逆時(shí)針方向末端確認(rèn)位置信息，順時(shí)針方向末端確認(rèn)位置信息，預(yù)先確定的規(guī)定范圍下端位置信息和上端位置信息，逆時(shí)針方向末端范圍外確認(rèn)信息，順時(shí)針方向末端范圍外確認(rèn)信息進(jìn)行比較，送出基于移動(dòng)體18的位置的確認(rèn)輸出。
再者在上述中，雖然舉例示出了由未畫出的占空比設(shè)定器A，B生成加速/減速信號a、b，由未畫出的電壓設(shè)定器C、D生成速度限制信號c、d，由未畫出的電壓設(shè)定器E、F生成轉(zhuǎn)矩限制值信號e、f，速度限制信號c、d的情況，但是也可以由例如微型計(jì)算機(jī)組成的未畫出的控制器，根據(jù)所輸入的模式指示來控制這些信號a～f和開關(guān)S1、S2、S3、S4、S5及S6的通時(shí)期和時(shí)間。此一場合的例子說明于下。
例如，如圖14A中所示，致動(dòng)器10沿水平方向配置，在動(dòng)作模式1和移動(dòng)方向指示信號r為正極性也就是向控制器指示沿逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21的轉(zhuǎn)子的場合，移動(dòng)體18朝圖14A中的右側(cè)被驅(qū)動(dòng)。在此一場合，開關(guān)S1、S2、S3、S4和S5如圖14C中所示被驅(qū)動(dòng)到通狀態(tài)(參照圖14C中的“1”)，形成圖14C的速度圖形P，移動(dòng)體18以基于此一速度圖形P的速度向右移動(dòng)，在右端成為推靠狀態(tài)，接著轉(zhuǎn)矩切換成由轉(zhuǎn)矩限制值信號e、f設(shè)定的，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21的額定轉(zhuǎn)矩的例如50％，被控制于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21的額定轉(zhuǎn)矩的50％的轉(zhuǎn)矩。
因而如圖14B中所示在作為限制器發(fā)揮功能的端板22b處成為推靠狀態(tài)，此時(shí)的轉(zhuǎn)矩被控制于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21的額定轉(zhuǎn)矩的50％的轉(zhuǎn)矩。
此外，例如如圖15A中所示致動(dòng)器10沿水平方向配置，在動(dòng)作模式2和移動(dòng)方向指示信號r為負(fù)極性也就是向控制器指示沿順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21的轉(zhuǎn)子的場合，移動(dòng)體18朝圖15A中的左側(cè)被驅(qū)動(dòng)。在此一場合，開關(guān)S1、S2、S3、S4和S5如圖15C中所示被驅(qū)動(dòng)到通狀態(tài)，形成圖15C的速度圖形P’，移動(dòng)體18以基于此一速度圖形P’的速度向左移動(dòng)，在左端成為推靠狀態(tài)，接著轉(zhuǎn)矩切換成由轉(zhuǎn)矩限制值信號e、f設(shè)定的，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21的額定轉(zhuǎn)矩的例如50％，被控制于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21的額定轉(zhuǎn)矩的50％的轉(zhuǎn)矩。
因而如圖15B中所示在作為限制器發(fā)揮功能的端板22a處成為推靠狀態(tài)，此時(shí)的轉(zhuǎn)矩被控制于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21的額定轉(zhuǎn)矩的50％的轉(zhuǎn)矩。雖然在此一場合，成為如圖13A中虛線所示可以對時(shí)間軸上下對稱地表示，但是在圖15C中用P’簡略地表示。
此外，例如如圖16A中所示致動(dòng)器10沿豎直方向配置，在動(dòng)作模式2和移動(dòng)方向指示信號r為正極性也就是在速度曲線發(fā)生器401中指示沿逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21的轉(zhuǎn)子的場合，移動(dòng)體18在圖16A中沿下降方向被驅(qū)動(dòng)。在此一場合，開關(guān)S1、S2、S3、S4和S5如圖16B中所示被驅(qū)動(dòng)到通狀態(tài)，形成圖16B的速度圖形P，移動(dòng)體18以基于此一速度圖形P的速度沿下降方向移動(dòng)，在下端成為推靠端板22b狀態(tài)。
另一方面，從移動(dòng)體18接觸端板22a的位置稍微下降的位置開始，開關(guān)S5就成為通狀態(tài)，接著轉(zhuǎn)矩切換成由轉(zhuǎn)矩限制值信號e、f設(shè)定的，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21的額定轉(zhuǎn)矩的例如0％，被控制于轉(zhuǎn)矩0。因而如圖16A中所示移動(dòng)體18的下降中為轉(zhuǎn)矩0的狀態(tài)，在該狀態(tài)下成為推靠狀態(tài)。因而，在移動(dòng)體18與端板22b之間，例如，即使夾住異物，由旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21所驅(qū)動(dòng)的移動(dòng)體18也不對前述異物施加推壓力。
此外，例如如圖17A中所示致動(dòng)器10沿豎直方向配置，在動(dòng)作模式2和移動(dòng)方向指示信號r為負(fù)極性也就是在速度曲線發(fā)生器401中指示沿順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21的轉(zhuǎn)子的場合，移動(dòng)體18在圖17A中沿上升方向被驅(qū)動(dòng)。在此一場合，開關(guān)S1、S2、S3、S4和S5如圖17C中所示被驅(qū)動(dòng)到通狀態(tài)，形成圖17C的速度圖形P’，移動(dòng)體18以基于此一速度圖形P’的速度沿上升方向移動(dòng)，在上端成為推靠狀態(tài)，接著轉(zhuǎn)矩切換成由轉(zhuǎn)矩限制值信號e、f設(shè)定的，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21的額定轉(zhuǎn)矩的例如50％，被控制于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21的額定轉(zhuǎn)矩的50％的轉(zhuǎn)矩。
因而如圖17B中所示在端板22a處成為推靠狀態(tài)，此時(shí)的轉(zhuǎn)矩被控制于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源21的額定轉(zhuǎn)矩的例如50％的轉(zhuǎn)矩。雖然在此一場合，成為如圖13A中虛線所示可以對時(shí)間軸上下對稱地表示，但是在圖17C中用P’簡略地表示。
工業(yè)實(shí)用性采用根據(jù)本發(fā)明的致動(dòng)器，在移動(dòng)塊上形成驅(qū)動(dòng)力傳遞軸能夠從與其軸線垂直的方向穿過的敞口部，借此可以簡便而且廉價(jià)地進(jìn)行驅(qū)動(dòng)力傳遞軸的更換。因而可以很容易地進(jìn)行前述驅(qū)動(dòng)力傳遞軸的組裝作業(yè)和維修作業(yè)。
此外，基座因?yàn)槭前逊指畛啥鄠€(gè)的塊體經(jīng)由結(jié)合機(jī)構(gòu)整體地形成，故可以根據(jù)使用環(huán)境簡便地重新組裝該基座。
此外，采用根據(jù)本發(fā)明的致動(dòng)器的控制裝置，因?yàn)楦鶕?jù)轉(zhuǎn)矩限制值信號來控制驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源的轉(zhuǎn)矩，而且由轉(zhuǎn)矩限制值信號很容易地設(shè)定旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源的轉(zhuǎn)矩，故旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源的轉(zhuǎn)矩的設(shè)定變更可以根據(jù)使用條件很容易地變更，可以根據(jù)工件的條件設(shè)定成最佳的轉(zhuǎn)矩。
權(quán)利要求
1.一種致動(dòng)器，其特征在于，備有構(gòu)成外框架的基座(12、112、122)，連接于前述基座(12、112、122)的驅(qū)動(dòng)部(21)，傳遞前述驅(qū)動(dòng)部(21)的驅(qū)動(dòng)力的驅(qū)動(dòng)力傳遞軸(16)，以及在前述驅(qū)動(dòng)部(21)的驅(qū)動(dòng)作用下靠經(jīng)由驅(qū)動(dòng)力傳遞軸(16)所傳遞的驅(qū)動(dòng)力沿著基座(12、112、122)的縱長方向位移的移動(dòng)體(18)，前述移動(dòng)體(18、114)具有形成了前述驅(qū)動(dòng)力傳遞軸(16)能夠從與其軸線垂直的方向穿過的敞口部(48)的移動(dòng)塊(50、132)。
2.權(quán)利要求1中所述的致動(dòng)器，其特征在于，在基座(12、112、122)與移動(dòng)體(18)之間設(shè)置導(dǎo)向機(jī)構(gòu)(20)，前述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)(20)，具有在基座(12、112、122)的內(nèi)壁面上整體地形成的滾動(dòng)槽(40)，和沿著前述滾動(dòng)槽(40)滾動(dòng)的多個(gè)滾動(dòng)構(gòu)件(42)。
3.權(quán)利要求1中所述的致動(dòng)器，其特征在于，基座由分割成多個(gè)的塊體(102、104a、104b)經(jīng)由結(jié)合構(gòu)件(108)整體地結(jié)合而成。
4.權(quán)利要求1中所述的致動(dòng)器，其特征在于，設(shè)置有阻止在基座(12、112、122)的內(nèi)部所發(fā)生的塵埃等向基座(12、112、122)的外部流出的一組密封構(gòu)件(28a、28b)。
5.權(quán)利要求4中所述的致動(dòng)器，其特征在于，所述一組密封構(gòu)件具有保持于基座(12)的第1密封構(gòu)件(28b)，和保持于基座(12)的敞口部中所安裝的頂蓋(26)的第2密封構(gòu)件(28a)，前述第1密封構(gòu)件(28b)和第2密封構(gòu)件(28a)由撓性構(gòu)件來形成，設(shè)置成沿著縱長方向的一部分重疊，借此封閉基座(12)與頂蓋(26)之間的間隙。
6.權(quán)利要求3中所述的致動(dòng)器，其特征在于，基座(12)，經(jīng)由結(jié)合構(gòu)件(108)能自由地重新組裝。
7.權(quán)利要求2中所述的致動(dòng)器，其特征在于，連通到滾動(dòng)槽(40)上形成有貯油器用孔部(68)。
8.權(quán)利要求2中所述的致動(dòng)器，其特征在于，與基座(122)分體構(gòu)成并在一側(cè)表面上預(yù)先形成了滾動(dòng)槽(40)的構(gòu)件(126)，整體地組裝于該基座(122)的凹部(124)。
9.權(quán)利要求2中所述的致動(dòng)器，其特征在于，與移動(dòng)塊(132)分體構(gòu)成并在一側(cè)表面上預(yù)先形成了滾動(dòng)槽(40)的構(gòu)件(134)，整體地組裝于該移動(dòng)塊(132)的凹部。
10.一種致動(dòng)器的控制裝置，其特征在于，備有檢測驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器(10)的移動(dòng)體(18)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源(21)的旋轉(zhuǎn)速度的旋轉(zhuǎn)速度檢測部(403、404)，生成速度圖形的速度圖形生成部(401、402)，把由前述旋轉(zhuǎn)速度檢測部(403、404)所檢測的旋轉(zhuǎn)速度控制成基于由前述速度圖形生成部(401、402)所生成的速度圖形的速度的控制部(407)，把從前述控制部(407)所輸出的操作量控制信號的電平限制于所供給的轉(zhuǎn)矩限制值信號的電平并輸出之的轉(zhuǎn)矩限制部(408)，檢測前述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源(21)的轉(zhuǎn)矩的轉(zhuǎn)矩檢測部(410)，以及根據(jù)經(jīng)由轉(zhuǎn)矩限制部(408)所輸出的操作量控制信號來控制對前述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源(21)的通電量，從而把由前述轉(zhuǎn)矩檢測部(410)所檢測的轉(zhuǎn)矩控制于轉(zhuǎn)矩極限限制值信號的電平的通電量控制部(412、413)。
11.權(quán)利要求10中所述的致動(dòng)器的控制裝置，其特征在于，前述速度圖形生成部具有根據(jù)所供給的加速/減速信號使旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源(21)的速度加速或者減速，同時(shí)根據(jù)所供給的移動(dòng)方向指示信號的極性來切換前述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源(21)的旋轉(zhuǎn)方向的速度曲線發(fā)生器(401)，和由所供給的速度限制信號對來自前述速度曲線發(fā)生器(401)的輸出信號進(jìn)行電平限制的速度限制器(402)，速度圖形在前述速度曲線發(fā)生器(401)和速度限制器(402)的共同作用下被設(shè)定。
全文摘要
致動(dòng)器(10)的移動(dòng)體(18),具有形成了絲杠(16)能夠從與其軸線垂直的方向穿過的敞口部(48)的移動(dòng)塊(50)。此外,致動(dòng)器的控制裝置(400),根據(jù)經(jīng)由轉(zhuǎn)矩限制器(8)所輸出的操作量控制信號來控制對旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源(21)的通電量,把由轉(zhuǎn)矩變換機(jī)構(gòu)(10)所檢測的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源(21)的轉(zhuǎn)矩控制于轉(zhuǎn)矩極限限制值信號的電平。
文檔編號F16C29/00GK1249863SQ98803146
公開日2000年4月5日 申請日期1998年1月30日 優(yōu)先權(quán)日1997年2月5日
發(fā)明者永井茂和, 森川文夫, 鹽見裕幸 申請人:Smc株式會社