真空閥的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種真空閥，其包括:帶有第一殼體件和第二殼體件的閥殼體，在殼體件之間布置有環(huán)狀的殼體密封件；和封閉元件(Verschlussglied)，其可在真空閥被打開的打開位置與真空閥被關(guān)閉的關(guān)閉位置之間調(diào)節(jié)。
【背景技術(shù)】
[0002]多件式地構(gòu)造真空閥的閥殼體且通過彈性密封圈(其也被稱為“靜態(tài)密封件”)將各個殼體件相對彼此密封是已知且常見的。在此，閥殼體的殼體蓋大多被構(gòu)造為單獨(dú)的部分，其經(jīng)由密封件與閥殼體的基體相連接，以便使真空閥的裝配和必要時(shí)服務(wù)的執(zhí)行成為可能或容易。
[0003]例如，這樣的真空閥可以以角閥的形式構(gòu)造，如其此外由文件US 6,669, 170 B2、US 6, 289,932 BUDE 40 23 845 CUUS 2009/0194728 AUDE 10 2005 004 987 AUDE 102008 003 725 Al和DE 31 25 034 Al已知的那樣。但是例如滑閥或L形閥也以該形式來構(gòu)造。在滑閥中，封閉元件被直線地從其打開位置推到其關(guān)閉位置中或承載封閉元件的支架件被直線地從起始位置推到最終位置中，其中，在最終位置中或靠近最終位置作用有桿元件或分叉元件，其將封閉元件相對于支架件的運(yùn)動方向有角度地按壓到閥座處。這樣的滑閥大多數(shù)僅具有單個的移動支架件的促動器或也可通過手動驅(qū)動器來操縱。尤其板狀構(gòu)造的封閉元件的L形運(yùn)動也可通過單獨(dú)的在閥桿的縱向和橫向上起作用的促動器來實(shí)施或者閥桿可首先被直線地推動且然后例如通過滑塊引導(dǎo)(Kulissenfuehrung)被翻傾，以便將封閉元件靠放到閥座處。
[0004]由文件DE 37 17 724 Al得悉一種真空閥，在其中閥殼體“沿縱向”被兩分，使得這兩個殼體半部中的每個具有閥開口中的一個，其中，這兩個殼體半部經(jīng)由密封圈相互連接。
[0005]也已知將閥殼體的至少一個法蘭(其具有閥開口)構(gòu)造為單獨(dú)的部件且與閥殼體的基體經(jīng)由彈性的密封圈相連接。這樣的構(gòu)造例如由文件GB 990，624得悉。在此，相對基體借助于密封圈密封的法蘭中的一個也具有密封面，在真空閥的關(guān)閉狀態(tài)中封閉元件以布置在其處的彈性密封圈(=真空閥的“動態(tài)密封件”)被按壓到該密封面處。
[0006]在傳統(tǒng)的真空閥中，動態(tài)密封件大多數(shù)被安裝在封閉元件處且閥座由密封面來形成，封閉元件以布置在其處的密封件在真空閥的關(guān)閉狀態(tài)中貼靠在該密封面處。但是還已知在密封座處設(shè)置彈性的密封件，封閉元件在關(guān)閉位置中以封閉元件的密封面貼靠在其處。
[0007]由文件WO 2012/162051 Al已知經(jīng)由薄的接片連接兩個或更多個O形圈，接片與O形圈材料一體地來構(gòu)造。O形圈由此可彼此如此靠近地來布置，從而未留有足夠空間用于構(gòu)造用于所有O形圈的燕尾槽。在此，插入燕尾槽中的O形圈可保持至少另一被插入矩形槽中的O形圈。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明的目的是提供一種開頭所提及的類型的可成本有利地構(gòu)造的且可簡單地裝配的真空閥。根據(jù)本發(fā)明，這通過一種帶有權(quán)利要求1的特征的真空閥來實(shí)現(xiàn)。
[0009]在根據(jù)本發(fā)明的真空閥中，殼體密封件(其布置在第一與第二殼體件之間的殼體密封件且將它們相對彼此密封)被安裝在環(huán)狀的支架處。此外，在支架處徑向上在殼體密封件內(nèi)安裝有環(huán)狀的閥座密封件，封閉元件在其關(guān)閉位置中被按壓在該閥座密封件處。在此，閥座密封件貼靠在閥殼體的密封面處。尤其地，這兩個由殼體密封件密封的殼體件中的一個具有密封面。在封閉元件的關(guān)閉位置中，封閉元件通過閥座密封件相對閥殼體來密封。
[0010]在根據(jù)本發(fā)明的真空閥中，因此設(shè)置有接下來也被稱為密封單元的構(gòu)件，其一方面具有殼體密封件(其形成在閥殼體的兩個殼體件之間的靜態(tài)密封件)、另一方面具有閥座密封件(其形成在真空閥的關(guān)閉狀態(tài)中密封通過真空閥的通道的動態(tài)密封件)。閥座密封件與殼體件的密封面(閥座密封件置于其上)共同形成真空閥的閥座。
[0011]在根據(jù)本發(fā)明的真空閥中可使簡單的裝配過程成為可能，其中，殼體密封件和閥座密封件是共同的構(gòu)件的部件，由此實(shí)現(xiàn)簡單的操作。此外，閥殼體可在密封座的區(qū)域中非常簡單地來構(gòu)造、尤其具有平的密封面(閥座密封件貼靠在其處)。
[0012]在一可能的構(gòu)造形式中，殼體密封件和閥座密封件被固化到支架(其在該實(shí)施形式中優(yōu)選地由金屬構(gòu)成)處。在此，支架具有大于殼體密封件和閥座密封件的彈性模量。在另一可能的實(shí)施形式中，殼體密封件和閥座密封件被噴注到支架處，其中，支架由必要時(shí)包含添加劑(如強(qiáng)化纖維)的塑料構(gòu)成，其具有比構(gòu)成殼體密封件和閥座密封件的材料更大的彈性模量。在兩個實(shí)施形式中，如果殼體密封件在支架的整個外周緣上徑向向外伸出超過支架而閥座密封件在支架的整個內(nèi)周緣上徑向向內(nèi)伸出超過支架，是有利的。
[0013]在本發(fā)明的一有利的實(shí)施形式中，真空閥以角閥的形式來構(gòu)造且第一和第二殼體件(殼體密封件處于它們之間)由閥殼體的基體和閥殼體的具有閥開口的部分形成。閥殼體的具有閥開口的該部分設(shè)有用于將真空閥與另外的真空構(gòu)件、例如腔室或真空管連接的法蘭。在此，密封面(閥座密封件貼靠在其處)有利地布置在具有閥開口的第二殼體件處且圍繞閥開口的軸線。
【附圖說明】
[0014]接下來根據(jù)附圖來闡述本發(fā)明的另外的優(yōu)點(diǎn)和細(xì)節(jié)。其中:
圖1顯示了根據(jù)本發(fā)明的真空閥的一實(shí)施例的斜視圖；
圖2顯示了圖1的真空閥的側(cè)視圖；
圖3顯示了在封閉元件的打開位置中沿著圖2的線AA的剖面；
圖4顯示了在封閉元件的關(guān)閉位置中沿著圖2的線AA的剖面；
圖5顯示了密封單元的斜視圖；
圖6和圖7顯示了密封單元的視圖和側(cè)視圖；
圖8顯示了沿著圖6的線BB的剖面；
圖9顯示了沿著圖6的線CC的剖面；
圖10顯示了根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例的真空閥的斜視圖；
圖11顯示了圖10的真空閥的側(cè)視圖；
圖12顯示了在封閉元件的打開位置中沿著圖11的線DD的剖面； 圖13顯示了在封閉元件的關(guān)閉位置中沿著圖11的線DD的剖面； 圖14顯不了對圖10的真空閥的俯視圖；
圖15顯示了在封閉元件的關(guān)閉位置中沿著圖14的線EE的剖面； 圖16顯示了分解圖示。
[0015]附圖標(biāo)記清單 I閥殼體 Ia殼體件 Ib殼體件 2螺栓 3密封單元 3a支架 3b殼體密封件 3c閥座密封件 3d軸線 4閥座 5閥開口 6閥開口 7軸線 8軸線 9封閉元件 10關(guān)閉方向 11聯(lián)接法蘭 12連接法蘭
13聯(lián)接法蘭 14缸體 14a底部 15促動器 17凹部 18活塞 19活塞桿 20閥桿 21導(dǎo)向套 22閉合彈簧 23缸體室 24穿通孔 25盒管 26密封圈 27旋轉(zhuǎn)件 28旋轉(zhuǎn)軸線 29第一驅(qū)動件 30第二驅(qū)動件 31止擋 32殼體蓋 33標(biāo)記環(huán) 34環(huán)形凸緣 35止擋 36螺母。
【具體實(shí)施方式】
[0016]根據(jù)本發(fā)明的真空閥的第一實(shí)施例在圖1至9中示出。
[0017]真空閥具有閥殼體I ο其在該實(shí)施例中包括第一殼體件Ia (其構(gòu)造真空閥的基體)和第二殼體件Ib (其具有帶有軸線7的閥開口 5)。第一和第二殼體件la、Ib借助于環(huán)狀的殼體密封件3b (其在下面進(jìn)一步更精確地來說明)相互密封。
[0018]具有閥開口 5的第二殼體件Ib具有聯(lián)接法蘭11。真空閥可經(jīng)由該聯(lián)接法蘭與另外的真空構(gòu)件、例如真空腔或真空管相連接。聯(lián)接法蘭11布置在殼體件Ib的管狀的截段處。在它的面向殼體件Ia的端部處，殼體件Ib具有用于與殼體件Ia連接的連接法蘭12。殼體件Ib也可被稱為閥接管(Ventilstutzen)。
[0019]形成閥殼體的基體的殼體件Ia設(shè)有與閥殼體的基體一件式地構(gòu)造的或設(shè)有被焊接到基體處的閥接管。該閥接管具有帶有軸線8的真空閥的另一閥開口 6且包括管狀的截段和布置在管狀的截段的自由端處的用于將真空閥與另外的真空構(gòu)件連接的聯(lián)接法蘭13。
[0020]殼體件la、lb例如由鋁構(gòu)成。例如，由優(yōu)質(zhì)鋼構(gòu)造也是可能的。
[0021]在該實(shí)施例中，氣動的活塞缸體單元的缸體14被安放到殼體件Ia的敞開側(cè)上。該活塞缸體單元是用于自動地(機(jī)械地)調(diào)節(jié)封閉元件9的促動器15。因此，缸體14的封閉殼體件Ia的敞開側(cè)的底部14a同樣可被視為以殼體蓋的形式的閥殼體I的殼體件。缸體14的該底部14a然而在該實(shí)施例中處于真空閥的真空區(qū)域之外，如下面進(jìn)一步更精確地來闡述的那樣。
[0022]真空閥的所示的實(shí)施例以角閥的形式來構(gòu)造。因此，第一和第二閥開口 5、6的軸線7、8彼此成角度、尤其成直角。
[0023]使用螺栓2用于連接殼體件la、lb。其貫穿在殼體件Ia中的鉆孔(其在圖1至4中不可見、但是以與在第二實(shí)施例中類似的方式來構(gòu)造，參見圖15)。
[0024]螺栓2的頭部和/或被置入其下的墊圈搭接連接法蘭12且因此將殼體件Ib拉向殼體件la。殼體件Ia具有凹部17，連接法蘭12被插入其中。凹部17的底部有利地成階梯形地構(gòu)造且具有第一截段(連接法蘭12置于其上)和相對于此凹入的第二截段(殼體密封件3d置于其上)。在殼體件la、lb的相連接的狀態(tài)中，連接法蘭12的外表面(至少在由螺栓2和墊圈(倘若存在)所搭接的區(qū)域中)優(yōu)選地與殼體件Ia的外表面的聯(lián)接到連接法蘭12處的、被由螺栓2和墊圈(倘若存在)遮蓋的截段齊平。
[0025]螺栓2被擰入缸體14的內(nèi)螺紋中。作為替代，其也可貫穿通過缸體14的鉆孔且被擰入抵靠缸體14支撐的螺母中。
[0026]通過所說明的構(gòu)造來實(shí)現(xiàn)殼體件Ia與殼體件Ib且還與缸體14的非常簡單的連接。
[0027]殼體件Ib的管狀的截段也可取消且聯(lián)接法蘭11可直接布置在連接法蘭12處。
[0028]殼體件Ia的連接接管同樣可由單獨(dú)的部件來形成，其經(jīng)由旋擰與殼體件Ia相連接。管狀的截段(聯(lián)接法蘭13布置在其處)也可取消而聯(lián)接法蘭13可直接布置在閥殼體I的基體處。
[0029]在閥殼體I中布置有尤其板狀構(gòu)造的封閉元件9。在真空閥的關(guān)閉的(密封的)狀態(tài)中，封閉元件9占據(jù)其關(guān)閉位置且被按壓到閥座4處，參見圖4。閥座4由在該實(shí)施例中布置在第二殼體件Ib處的密封面和置于該密封面上的環(huán)狀的閥座密封件3c形成。鎖閉連桿9具有優(yōu)選地平面地構(gòu)造的密封面，封閉元件以該密封面貼靠在閥座密封件3c處。閥座密封件3c是在下面進(jìn)一步更精確地來闡述的密封單元3的部分。
[0030]殼體件Ib的密封面(閥座密封件3c貼靠在其處)有利地平面地來構(gòu)造且優(yōu)選地處在垂直于第二殼體件