儲(chǔ)液槽的液體導(dǎo)入管的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備中的液體輸送技術(shù)，更具體地說，涉及一種儲(chǔ)液槽的液體導(dǎo)入管。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體工藝中，需要使用到很多種的液體，因此半導(dǎo)體設(shè)備中的液體輸送技術(shù)是半導(dǎo)體工藝中重要的一環(huán)。圖1a和圖1b揭示了現(xiàn)有技術(shù)中使用的儲(chǔ)液槽和液體導(dǎo)入管的結(jié)構(gòu)。圖1a揭示了儲(chǔ)液槽和液體導(dǎo)入管的外觀結(jié)構(gòu)圖，圖1b揭示了儲(chǔ)液槽和液體導(dǎo)入管的剖面結(jié)構(gòu)圖。如圖1a和圖1b所示，現(xiàn)有技術(shù)中的結(jié)構(gòu)如下:儲(chǔ)液槽和液體導(dǎo)入管的連接主要通過導(dǎo)管102和轉(zhuǎn)接口 104實(shí)現(xiàn)。導(dǎo)管102呈彎折型，通常包括一水平部分121、一豎直部分122以及連接水平部分和豎直部分弧形部分123。轉(zhuǎn)接口 104包括兩個(gè)部分，一上端結(jié)構(gòu)141和一下端結(jié)構(gòu)142。下端結(jié)構(gòu)142用于與儲(chǔ)液槽106連接。儲(chǔ)液槽106上開有接口 161，下端結(jié)構(gòu)142的底部形成連接管，連接管具有外螺紋，接口 161具有內(nèi)螺紋，內(nèi)螺紋和外螺紋匹配，下端結(jié)構(gòu)142被固定到儲(chǔ)液槽106上。連接管和接口的螺紋都是符合NPT標(biāo)準(zhǔn)的螺紋。NPT (Nat1nal Pipe Thread)是一種密封螺紋,通過NPT連接,下端結(jié)構(gòu)142與接口 161之間同時(shí)實(shí)現(xiàn)了密封。下端結(jié)構(gòu)142的中心開有通孔144。上端結(jié)構(gòu)141與下端結(jié)構(gòu)142是一體的，上端結(jié)構(gòu)141用于與導(dǎo)管102連接。上端結(jié)構(gòu)141的中心開有連接孔143，連接孔143的內(nèi)徑與導(dǎo)管102的豎直部分122的外徑匹配，由于導(dǎo)管102通常具有統(tǒng)一的直徑，因此實(shí)際上也可以認(rèn)為連接孔143的內(nèi)徑與導(dǎo)管102的直徑匹配。上端結(jié)構(gòu)141是一個(gè)旋轉(zhuǎn)緊固結(jié)構(gòu)，通過旋轉(zhuǎn)可以使得上端結(jié)構(gòu)141夾緊導(dǎo)管102。參考圖1b所示，現(xiàn)有技術(shù)中，通孔144的直徑是小于導(dǎo)管102的直徑(豎直部分122的直徑)，因此，導(dǎo)管102的豎直部分122只能夠延伸到通孔144的頂端，即上端結(jié)構(gòu)141和下端結(jié)構(gòu)142的交界處，這個(gè)位置距離儲(chǔ)液槽內(nèi)的液面108還有相當(dāng)長的距離。在進(jìn)行液體導(dǎo)入時(shí),液體在離開導(dǎo)管102之后會(huì)沖入液面108，從而形成大量的氣泡110。眾所周知的是，氣泡110在半導(dǎo)體處理工藝中是十分不利的，為了減小氣泡的影響，就必須將液體流量減小，或者在導(dǎo)入液體后等待足夠的時(shí)間等氣泡消除。但這些做法無疑都是會(huì)影響處理效率的。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明旨在提出一種儲(chǔ)液槽的液體導(dǎo)入管，能在不影響處理效率的情況下減少導(dǎo)入液體時(shí)產(chǎn)生的氣泡。
[0004]根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，提出一種儲(chǔ)液槽的液體導(dǎo)入管，包括:基座、導(dǎo)管和緊固件?；闹行拈_有通孔，基座頂部外周形成法蘭環(huán)，基座的底部安裝在儲(chǔ)液槽的接口上。導(dǎo)管呈彎折型，導(dǎo)管包括豎直部分，豎直部分的外徑與通孔的內(nèi)徑匹配，豎直部分插入到通孔中，豎直部分延伸至儲(chǔ)液槽中的液面以下。緊固件與導(dǎo)管的豎直部分以及法蘭環(huán)緊固連接，緊固件固定導(dǎo)管的位置并密封導(dǎo)管的豎直部分與基座。
[0005]在一個(gè)實(shí)施例中，接口上具有內(nèi)螺紋，基座的底部具有外螺紋，內(nèi)螺紋和外螺紋匹配，基座的底部固定于接口上且密封。
[0006]在一個(gè)實(shí)施例中，內(nèi)螺紋和外螺紋符合NPT標(biāo)準(zhǔn)。
[0007]在一個(gè)實(shí)施例中，緊固件由兩個(gè)半圓環(huán)型部件構(gòu)成，兩個(gè)半圓環(huán)型部件從兩側(cè)抱緊導(dǎo)管的豎直部分并連接在一起，兩個(gè)半圓環(huán)型部件的底部固定在所述法蘭環(huán)上。
[0008]在一個(gè)實(shí)施例中，兩個(gè)半圓環(huán)型部件上開有橫向的螺栓孔且互相對(duì)齊，兩個(gè)半圓環(huán)形部件由螺栓連接。兩個(gè)半圓環(huán)型部件和法蘭環(huán)上開有縱向的螺栓孔且互相對(duì)齊，兩個(gè)半圓環(huán)形部件由螺栓連接至法蘭環(huán)。
[0009]在一個(gè)實(shí)施例中，導(dǎo)管的豎直部分的外徑為I英寸，通孔的內(nèi)徑為I英寸，導(dǎo)管的豎直部分的外壁和通孔的內(nèi)壁均光滑。
[0010]在一個(gè)實(shí)施例中，導(dǎo)管還包括水平部分，水平部分與豎直部分呈垂直角度并通過弧形部分連接。
[0011]在一個(gè)實(shí)施例中，導(dǎo)管的豎直部分、弧形部分和水平部分為等直徑。
[0012]本發(fā)明的儲(chǔ)液槽的液體導(dǎo)入管將導(dǎo)管延伸至儲(chǔ)液槽的液面之下，在進(jìn)行液體導(dǎo)入時(shí)可以避免液體直接沖擊液面，從而減少氣泡的產(chǎn)生。本發(fā)明的儲(chǔ)液槽的液體導(dǎo)入管能在維持一定的液體流量和保持較高的生產(chǎn)效率的情況下減少氣泡生成。
【附圖說明】
[0013]本發(fā)明上述的以及其他的特征、性質(zhì)和優(yōu)勢將通過下面結(jié)合附圖和實(shí)施例的描述而變的更加明顯，在附圖中相同的附圖標(biāo)記始終表示相同的特征，其中:
[0014]圖1a和圖1b揭示了現(xiàn)有技術(shù)中使用的儲(chǔ)液槽和液體導(dǎo)入管的結(jié)構(gòu)。
[0015]圖2a、圖2b和圖2c揭示了根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的儲(chǔ)液槽和液體導(dǎo)入管的結(jié)構(gòu)。
[0016]圖3a、圖3b和圖3c揭示了根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的基座和緊固件的結(jié)構(gòu)。
【具體實(shí)施方式】
[0017]本發(fā)明提出一種儲(chǔ)液槽的液體導(dǎo)入管，將導(dǎo)管延伸到儲(chǔ)液槽的液面以下，這樣在導(dǎo)入液體時(shí)液體直接進(jìn)入到液面之下，避免液體從高處下落沖入液面而產(chǎn)生氣泡的情況。
[0018]參考圖2a、圖2b和圖2c，該儲(chǔ)液槽的液體導(dǎo)入管包括基座204、導(dǎo)管202和緊固件206。圖2a是該儲(chǔ)液槽的液體導(dǎo)入管的剖面圖，圖2b是該儲(chǔ)液槽的液體導(dǎo)入管的零件分解立體圖，圖2c是該儲(chǔ)液槽的液體導(dǎo)入管的組裝立體圖。
[0019]基座204的中心開有通孔241，基座204頂部外周形成法蘭環(huán)242，基座204的底部243安裝在儲(chǔ)液槽208的接口 281上。儲(chǔ)液槽208的接口 281與現(xiàn)有技術(shù)中的接口 161是相同的，沒有變化。接口 281上具有內(nèi)螺紋，基座的底部243具有外螺紋，內(nèi)螺紋和外螺紋匹配，基座的底部243固定于接口 281上且密封。在一個(gè)實(shí)施例中，接口 281的內(nèi)螺紋和基座的底部243上的外螺紋符合NPT標(biāo)準(zhǔn)。NPT是密封螺紋，因此通過螺紋咬合，基座被固定并且密封地連接到儲(chǔ)液槽208的接口 281上。
[0020]導(dǎo)管202呈彎折型，導(dǎo)管202包括豎直部分222。在圖示的實(shí)施例中，導(dǎo)管202還包括水平部分221，水平部分221與豎直部分222呈垂直角度并通過弧形部分223連接。在不同的應(yīng)用中，也可以用呈其它角度的傾斜部分來替代水平部分221，以適應(yīng)不同的液體導(dǎo)入需求。如果采用其它角度的傾斜部分，可以相應(yīng)調(diào)節(jié)弧形部分2