一種真空壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及真空技術(shù)的領(lǐng)域，尤其涉及一種真空壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]真空壓力調(diào)節(jié)器是真空設(shè)備上必不可少的部件，用來調(diào)節(jié)真空設(shè)備的壓強，其操作的可控性和穩(wěn)定性直接影響真空設(shè)備的使用性能。真空壓力調(diào)節(jié)器一般通過調(diào)節(jié)閥口流導(dǎo)大小來調(diào)節(jié)反應(yīng)室真空度，流導(dǎo)是真空管道、孔、擋板、阱及閥門等元件傳輸氣體的能力。一般閥門的最小可控流導(dǎo)越小，閥的靈敏度越高，因此真空壓力調(diào)節(jié)器設(shè)計過程中需盡可能增大閥芯厚度，同時又要顧及到閥芯在閥腔內(nèi)轉(zhuǎn)動自如，間隙不能過小，因此要求閥腔、閥芯和閥桿具有較高的精度，這就給設(shè)計和制造帶來了難度。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明主要解決的技術(shù)問題是提供一種真空壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)，整個過程快速自動實現(xiàn)對真空閥的調(diào)節(jié)，精度較高，同時采用電機作動力源，經(jīng)濟、實用。整個閥結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，適合廣泛推廣。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的一個技術(shù)方案是:提供了一種真空壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)，包括控制器、真空閥、壓力傳感器、電位器、電機以及操控面板，所述的控制器通過真空閥與壓力傳感器相通訊，所述的電機與真空閥相連接，所述的壓力傳感器分別與多個所述的電位器相通訊，所述的操控面板與控制器相連接。
[0005]在本發(fā)明一個較佳實施例中，所述的控制器采用變頻控制器。
[0006]在本發(fā)明一個較佳實施例中，所述的電位器的數(shù)量為三個。
[0007]本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明的真空壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)，整個過程快速自動實現(xiàn)對真空閥的調(diào)節(jié)，精度較高，同時采用電機作動力源，經(jīng)濟、實用。整個閥結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，適合廣泛推廣。
【附圖說明】
[0008]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其它的附圖，其中:
圖1是本發(fā)明真空壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)的一較佳實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
附圖中的標記為:1、殼體，2、濾清器，3、過濾器，4、壓力換轉(zhuǎn)器，5、真空室，6、硅片，7、電氣連接端。
【具體實施方式】
[0009]下面將對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅是本發(fā)明的一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其它實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。
[0010]如圖1所示，本發(fā)明實施例包括:
一種真空壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)，包括控制器、真空閥、壓力傳感器、電位器、電機以及操控面板，所述的控制器通過真空閥與壓力傳感器相通訊，所述的電機與真空閥相連接，所述的壓力傳感器分別與多個所述的電位器相通訊，所述的操控面板與控制器相連接。
[0011]上述中，所述的控制器采用變頻控制器。變頻器遠程控制器是一種實現(xiàn)變頻器遠程操作的智能儀表，通過RS485網(wǎng)絡(luò)遠程控制變頻器的啟動、停止、加速、減速、正反轉(zhuǎn)，并實時顯示變頻器的工作頻率、轉(zhuǎn)速等運行狀態(tài)信息。單機通訊距離可達1200M (9600bps)，有效減少變頻器的干擾。
[0012]本實施例中，所述的電位器的數(shù)量為三個。電位器(英文:Potent1meter)是可變電阻器的一種。通常是由電阻體與轉(zhuǎn)動或滑動系統(tǒng)組成，即靠一個動觸點在電阻體上移動，獲得部分電壓輸出。電位器的電阻體有兩個固定端，通過手動調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)軸或滑柄，改變動觸點在電阻體上的位置，則改變了動觸點與任一個固定端之間的電阻值，從而改變了電壓與電流的大小。
[0013]綜上所述，本發(fā)明的真空壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)，整個過程快速自動實現(xiàn)對真空閥的調(diào)節(jié)，精度較高，同時采用電機作動力源，經(jīng)濟、實用。整個閥結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，適合廣泛推廣。
[0014]以上所述僅為本發(fā)明的實施例，并非因此限制本發(fā)明的專利范圍，凡是利用本發(fā)明說明書內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運用在其它相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本發(fā)明的專利保護范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種真空壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)，其特征在于，包括控制器、真空閥、壓力傳感器、電位器、電機以及操控面板，所述的控制器通過真空閥與壓力傳感器相通訊，所述的電機與真空閥相連接，所述的壓力傳感器分別與多個所述的電位器相通訊，所述的操控面板與控制器相連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)，其特征在于，所述的控制器采用變頻控制器。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)，其特征在于，所述的電位器的數(shù)量為三個。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種真空壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)，包括控制器、真空閥、壓力傳感器、電位器、電機以及操控面板，所述的控制器通過真空閥與壓力傳感器相通訊，所述的電機與真空閥相連接，所述的壓力傳感器分別與多個所述的電位器相通訊，所述的操控面板與控制器相連接。通過上述方式，本發(fā)明提供的真空壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)，整個過程快速自動實現(xiàn)對真空閥的調(diào)節(jié)，精度較高，同時采用電機作動力源，經(jīng)濟、實用。整個閥結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，適合廣泛推廣。
【IPC分類】F16K31/04, F16K51/02
【公開號】CN105135050
【申請?zhí)枴緾N201510605585
【發(fā)明人】陳學(xué)兵, 王光輝
【申請人】蘇州普京真空技術(shù)有限公司
【公開日】2015年12月9日
【申請日】2015年9月22日