一種真空低溫金屬密封裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及真空密封，特別涉及一種真空低溫金屬密封裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]真空在諸多科學(xué)裝置上是必不可少的條件，如質(zhì)譜儀、加速器、探針等只有在真空達(dá)到一定條件下才能正常工作，在許多科學(xué)裝置上真空顯得尤為重要。往往科學(xué)儀器的真空運(yùn)行條件要優(yōu)于I X 10—3Pa,其密封要求高，密封配件都采用貴金屬材料構(gòu)成，且一次使用，造成很大浪費(fèi)。
[0003]傳統(tǒng)的金屬真空密封中，在密封法蘭均采用多頭螺栓緊固，在法蘭兩面對接緊固時費(fèi)時費(fèi)力，還會由于受力面受力不均勻，造成密封面不平行，影響密封真空度，具體來說，傳統(tǒng)的金屬真空密封存在以下問題:(一)真空設(shè)備要到達(dá)優(yōu)于I X 10—3Pa,必須采用金屬硬密封件。但是，密封件在緊固后會有被擠壓的痕跡，二次重合使用時不能重復(fù)在原有的痕跡上，這樣就大大影響了密封容器的密封度。(二)金屬密封件通常采用無氧銅和黃金材料，由于金屬密封件一次性使用，造成了貴金屬資源的浪費(fèi)。(三)以往密封法蘭均采用多頭螺栓緊固，在法蘭兩面對接緊固時費(fèi)時費(fèi)力，還會由于受力面受力不均勻，造成密封面不平行，影響密封真空度。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的主要目的是以下各項中的至少一項:提供一種真空低溫金屬密封裝置；提供一種密封效果好的真空低溫金屬密封裝置;提供一種使用方便的真空低溫金屬密封裝置;提供一種金屬材料可反復(fù)使用從而降低成本的真空低溫金屬密封裝置。
[0005]本發(fā)明的各實(shí)施例提出了一種真空低溫金屬密封裝置，其特征在于，包括能夠相互對接的第一真空容器(17)和第二真空容器(28)，所述第一真空容器(17)安裝在加熱固定法蘭(4)上，所述第二真空容器(28)安裝在錐度密封法蘭(10)上，所述加熱固定法蘭(4)和所述錐度密封法蘭(10)之間設(shè)有用于對對接后的所述第一真空容器(17)和所述第二真空容器(28)進(jìn)行密封的低溫密封金屬墊(11)，所述低溫密封金屬墊(11)在所述加熱固定法蘭
(4)的加熱下并在所述錐度密封法蘭(10)的施力下產(chǎn)生塑型，以使所述加熱固定法蘭(4)和所述錐度密封法蘭(10)之間實(shí)現(xiàn)緊密吻合。
[0006]根據(jù)本公開的一個實(shí)施例，所述低溫密封金屬墊(11)由低溫金屬材料制成，所述加熱固定法蘭(4)上設(shè)有用于對所述低溫密封金屬墊(11)進(jìn)行加熱的加熱裝置。
[0007]根據(jù)本公開的一個實(shí)施例，所述加熱裝置包括電爐絲(13)以及對所述電爐絲(13)的加熱溫度進(jìn)行監(jiān)測的熱電偶(6)，所述低溫密封金屬墊(11)位于所述加熱固定法蘭(4)的槽內(nèi)并被設(shè)置為在所述電爐絲(13 )的加熱下以及在所述熱電偶(6 )控制的溫度范圍內(nèi)減低強(qiáng)度。
[0008]根據(jù)本公開的一個實(shí)施例，所述加熱固定法蘭(4)上設(shè)有對所述電爐絲(13)進(jìn)行絕緣保護(hù)的第一高溫絕緣管(7)和第二高溫絕緣管(12)，以及對所述電爐絲(13)的引出導(dǎo)線進(jìn)行絕緣保護(hù)的高溫絕緣套(14);所述加熱固定法蘭(4)上還設(shè)有對所述電爐絲(13)進(jìn)行固定的環(huán)形固定壓板(15)。
[0009]根據(jù)本公開的一個實(shí)施例，所述錐度密封法蘭(10)通過導(dǎo)向套(I)與頂壓板(31)相互連接，所述導(dǎo)向套(I)內(nèi)設(shè)有用于對所述錐度密封法蘭(10)施加預(yù)緊壓力的預(yù)緊彈簧
(2)，所述頂壓板(31)通過緊固螺紋套(3)靠近所述加熱固定法蘭(4)。
[0010]根據(jù)本公開的一個實(shí)施例，所述加熱固定法蘭(4)通過頂桿(18)與第一插入式卡盤(19)相互連接，所述錐度密封法蘭(10)通過頂桿(18)與第二插入式卡盤(22)相互連接，所述第一插入式卡盤(19)和所述第二插入式卡盤(22)分別為半環(huán)形插入式卡盤對接形成的環(huán)形卡盤。
[0011]根據(jù)本公開的一個實(shí)施例，所述第一真空容器(17)和所述第二真空容器(28)分別放入呈環(huán)形卡盤狀的所述第一插入式卡盤(19)和所述第二插入式卡盤(22)內(nèi)，貫穿呈環(huán)形卡盤狀的所述第一插入式卡盤(19)和所述第二插入式卡盤(22)還設(shè)有液壓拉桿螺栓(21)，所述液壓拉桿螺栓(21)在高壓油缸(26)作用下帶動所述第一真空容器(17)和所述第二真空容器(28)進(jìn)行對接或分離。
[0012]根據(jù)本公開的一個實(shí)施例，所述高壓油缸(26)內(nèi)設(shè)有與所述液壓拉桿螺栓(21)連接的活塞(25)，所述高壓油缸(26)還連接有連通容器(50)，所述連通容器(50)內(nèi)設(shè)有與所述高壓油缸(26)在液體上相互連通的五通(30、33)，所述高壓油缸(26)和所述連通容器(50 )之間通過液體流動使得所述活塞(25)向前運(yùn)動或向后運(yùn)動以帶動所述液壓拉桿螺栓
(21)，從而使得所述第一真空容器(17)和所述第二真空容器(28)進(jìn)行對接或分離。
[0013]根據(jù)本公開的一個實(shí)施例，所述高壓油缸(26)與所述連通容器(50)之間設(shè)有內(nèi)側(cè)側(cè)向油管(40、42)和外側(cè)側(cè)向油管(41、43);其中，所述內(nèi)側(cè)側(cè)向油管(40、42)工作時推動所述活塞(25)向后運(yùn)動，以帶動所述液壓拉桿螺栓(21)使得所述第一真空容器(17)和所述第二真空容器(28)進(jìn)行對接;所述外側(cè)側(cè)向油管(41、43)工作時推動所述活塞(25)向前運(yùn)動，以帶動所述液壓拉桿螺栓(21)使得所述第一真空容器(17)和所述第二真空容器(28)進(jìn)行分咼。
[0014]根據(jù)本公開的一個實(shí)施例，所述高壓油缸(26)包括四組高壓油缸，所述五通(30、33)包括連接所述四組高壓油缸的前端通路的第一個五通(30)和連接所述四組高壓油缸的后端通路的第二個五通(33);所述高壓油缸(26)的兩側(cè)還設(shè)有分別對其前后進(jìn)行封堵的油缸前堵螺母(23)和油缸后堵螺母(29)，所述油缸后堵螺母(29)上還設(shè)有用于將其緊固在所述高壓油缸(26)內(nèi)的油缸后堵螺母扳子孔(27);所述液壓拉桿螺栓(21)通過液壓拉桿螺栓密封螺母(35)和密封圈(36)安裝到所述油缸前堵螺母(23)上。
[0015]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn):由于所述加熱固定法蘭(4)和所述錐度密封法蘭(10)之間設(shè)有用于對對接后的所述第一真空容器(17)和所述第二真空容器(28)進(jìn)行密封的低溫密封金屬墊(11)，所述低溫密封金屬墊(11)在所述加熱固定法蘭(4)的加熱(例如通過電爐絲(13)對加熱固定法蘭(4)進(jìn)行加熱)下并在所述錐度密封法蘭(10)的施力下產(chǎn)生塑型，以使所述加熱固定法蘭(4)和所述錐度密封法蘭(10)之間實(shí)現(xiàn)緊密吻合，因此與傳統(tǒng)的真空密封方式相比，本密封方式的密封效果好，使用方便，而且低溫密封金屬墊由于使用金屬材料，因此可反復(fù)使用以降低成本。
【附圖說明】
[0016]為了更清楚的說明本發(fā)明的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡單的介紹，顯而易見的，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0017]圖1為本發(fā)明實(shí)施例的真空低溫金屬密封裝置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2為本發(fā)明實(shí)施例的真