一種直驅閥用超磁致伸縮驅動及位移放大裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種直驅閥用超磁致伸縮驅動及位移放大裝置，其包括驅動機構和液壓放大機構等；驅動機構包括圓管形殼體、右、左端蓋、第一級輸出頂桿、超磁致伸縮棒、勵磁線圈、永磁體等；液壓放大機構包括方形油腔腔體、圓形大膜片、方形大膜片蓋、圓形小膜片、圓形小膜片蓋和油腔調節(jié)螺栓等；本發(fā)明可將超磁致伸縮棒輸出的位移放大5~10倍，可以直接驅動電液伺服閥工作，實現(xiàn)整個電液伺服閥的小型化；采用基于大、小膜片的柔性活塞結構，避免了傳統(tǒng)液壓式放大機構油液泄露問題，油腔采用的錐形結構避免了放大機構工作中的“困油”、“縮流”現(xiàn)象所帶來的壓力損失。
【專利說明】
一種直驅閥用超磁致伸縮驅動及位移放大裝置
技術領域
[0001] 本發(fā)明屬于直接驅動式電液伺服閥微驅動技術領域，涉及一種直驅閥用超磁致伸 縮驅動及位移放大裝置。
【背景技術】
[0002] 電液伺服系統(tǒng)具有單位功率質量小、力一質量比大、工作頻帶寬、魯棒性好和抗過 載能力強等優(yōu)良特性，在現(xiàn)代航空工業(yè)、汽車工業(yè)等領域中得到了廣泛地應用。電液伺服閥 (Electro Hydraulic Servo Valve, EHSV)是電液伺服系統(tǒng)中最重要的部件，它是溝通電 子器件和液壓器件的橋梁，對整個系統(tǒng)的動態(tài)性能起著決定性的作用。目前常用的EHSV大 多是噴嘴擋板閥，這種閥具有很高的性能，但其缺點是加工困難，造成價格昂貴;對油液清 潔度要求很高，否則很容易造成先導級的堵塞故障;先導級的存在提高了系統(tǒng)的階次，增加 了系統(tǒng)的設計難度。目前，這種多級式EHSV正在被可靠性更高的直接驅動電液伺服閥所取 代。
[0003] 直接驅動式電液伺服閥(Direct Drive Valve, DDV)采用驅動機構直接驅動功率 滑閥閥芯，通過閥芯位移傳感器反饋閥芯位置，閉環(huán)控制閥芯開口，保證伺服閥頻響和控制 精度的同時改善了伺服閥的抗污染能力，使其可靠性大大提高。
[0004] 超磁致伸縮材料(Giant Magnetostrictive Material，GMM)是一種新型功能材 料，在磁場激勵下能夠產(chǎn)生較大的應變，具有響應速度快，能量密度大，居里溫度高等一系 列優(yōu)良的特性，在DDV驅動機構的研發(fā)中具有非常大的應用前景。但是，基于GMM的驅動機構 在帶動DDV工作時仍存在一些問題:一方面是溫升問題，由于GMM棒的驅動電流較大發(fā)熱現(xiàn) 象比較嚴重，由GMM棒熱膨脹導致的驅動機構輸出位移精度大大下降，通常需要對其熱變形 進行抑制；另一方面是位移放大問題，由于GMM棒產(chǎn)生的軸向變形量不足以驅動閥芯工作， 所以必須采用合適的微位移放大機構對GMM棒的輸出位移進行放大。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 本發(fā)明所要解決的技術問題是提供一種能夠放大微位移且具有自動熱補償功能 的直驅閥用超磁致伸縮驅動及位移放大裝置。
[0006] 為解決上述技術問題所采用的技術方案是:一種直驅閥用超磁致伸縮驅動及位移 放大裝置，其包括驅動機構、液壓放大機構和方形固定板； 所述驅動機構包括圓管形殼體、與所述圓管形殼體螺紋連接的右端蓋及左端蓋、第一 級輸出頂桿、超磁致伸縮棒、具有熱補償功能的線圈骨架、勵磁線圈、圓管形永磁體和碟簧； 在所述左端蓋的中心設有頂桿孔;所述頂桿孔的直徑大于所述超磁致伸縮棒的直徑； 所述線圈骨架為設有線圈槽和右擋板的圓筒形骨架;在所述右擋板右側面中心設有與 所述碟簧相適配的圓形凸臺；所述超磁致伸縮棒位于所述線圈骨架的筒體內(nèi)，并與其間隙 配合;所述勵磁線圈位于所述線圈槽內(nèi)； 所述圓管形永磁體位于圓管形殼體內(nèi)，并分別與圓管形殼體、右端蓋及左端蓋間隙配 合;所述線圈骨架位于圓管形永磁體內(nèi)，并與其間隙配合;所述線圈骨架左端面與左端蓋相 接觸;所述碟簧位于所述右擋板與右端蓋之間； 在所述第一級輸出頂桿的左端面上設有圓筒式頂桿頭;所述第一級輸出頂桿的右端穿 過所述左端蓋的頂桿孔與所述超磁致伸縮棒的左端面相接觸； 所述液壓放大機構包括方形油腔腔體、油腔、圓形大膜片、設有第一中心孔的方形大膜 片蓋、圓形小膜片、設有第二中心孔的圓形小膜片蓋和油腔調節(jié)螺栓； 在所述圓形大膜片兩側面上對稱設有第一圓環(huán)形凹槽，在所述第一圓環(huán)形凹槽外側均 布有安裝孔； 所述第一中心孔的直徑大于圓筒式頂桿頭的外徑;所述圓筒式頂桿頭的左端面與所述 第一圓環(huán)形凹槽相接觸； 在所述圓形小膜片兩側面上對稱設有第二圓環(huán)形凹槽;所述油腔的中部為"丄"形，其 左端為小膜片腔室，右端為大膜片腔室;所述小膜片腔室與大膜片腔室通過水平油路連通； 在豎直油路的上口處設有內(nèi)螺紋，并與所述油腔調節(jié)螺栓螺紋連接； 所述圓形小膜片位于小膜片腔室內(nèi)，并通過小膜片蓋由螺栓壓緊;所述圓形大膜片位 于大膜片腔室內(nèi)，并通過方形大膜片蓋由螺栓壓緊； 在所述方形固定板的左側面上設有與圓管形殼體相適配的盲孔，在所述盲孔的外圍設 有第一螺桿孔;在所述方形油腔腔體及方形大膜片蓋上分別設有與所述第一螺桿孔相對應 的螺桿孔； 所述方形固定板通過螺桿將所述驅動機構和液壓放大機構固定在一起； 所述水平油路的軸線為圓形大膜片和圓形小膜片的中心連線;水平油路的軸線在所述 超磁致伸縮棒的軸線延長線上。
[0007]所述線圈骨架的材質為高強度結構材料25Cr2M〇VA。
[0008] 所述超磁致伸縮棒的最大截面半徑不大于8mm。
[0009] 所述第一圓環(huán)形凹槽的中心圓盤直徑為第二圓環(huán)形凹槽的中心圓盤直徑的1.7 倍。
[0010]所述圓形大膜片和圓形小膜片的材質均為鈹青銅。
[0011] 所述第二圓環(huán)形凹槽的內(nèi)圓直徑小于第二中心孔的直徑。
[0012] 所述大膜片腔室為錐形結構。
[0013] 在所述圓形大膜片與方形油腔腔體之間設有與第一圓環(huán)形凹槽外邊緣相接觸的 密封膠圈；在所述圓形小膜片與方形油腔腔體之間設有與第二圓環(huán)形凹槽外邊緣相接觸的 密封膠圈。
[0014] 本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明采用了機械杠桿式和液壓式兩級放大，可將超磁致 伸縮棒輸出的位移放大5~10倍，可以直接驅動電液伺服閥工作;本發(fā)明采用帶有熱補償功 能的線圈骨架，抑制了線圈發(fā)熱對超磁致伸縮棒輸出精度的影響，從而實現(xiàn)了整個電液伺 服閥的小型化，拓寬了電液伺服閥的工作頻帶，適合應用于高精度、速度快的電液伺服系統(tǒng) 之中；本發(fā)明采用基于大、小膜片的柔性活塞結構，避免了傳統(tǒng)液壓式放大機構油液泄露問 題，也避免了傳統(tǒng)液壓式放大機構活塞與油腔摩擦的問題;本發(fā)明的密閉油腔采用錐形結 構，避免了放大機構工作中的"困油"、"縮流"現(xiàn)象所帶來的壓力損失。
【附圖說明】
[0015] 圖1為本發(fā)明的結構示意圖。
[0016] 圖2為驅動機構與液壓放大機構連接示意圖。
[0017] 圖3為圖1的左視圖。
[0018]圖4為方形大膜片蓋的主視圖。
[0019] 在圖 1-4 中， 1、圓形小膜片蓋，1-1、第二中心孔，2、方形油腔腔體，3、油腔調節(jié)螺栓，4、方形大膜片 蓋，4-1、第一中心孔，5、圓管形殼體，5-1、右端蓋，5-2、左端蓋，6、圓管形永磁體，7、線圈骨 架，7-1、右擋板，7-2、圓形凸臺，8、方形固定板，9、螺桿，10、碟簧，11、勵磁線圈，12、超磁致 伸縮棒，13、第一級輸出頂桿，13-1、圓筒式頂桿頭，14、圓形大膜片，14-1、第一圓環(huán)形凹 槽，15、圓形小膜片，15-1、第二圓環(huán)形凹槽，16、油腔，17、密封膠圈。
【具體實施方式】
[0020] 由圖1-4所示的實施例可知，它包括驅動機構、液壓放大機構和方形固定板8; 驅動機構包括圓管形殼體5、與圓管形殼體5螺紋連接的右端蓋5-1及左端蓋5-2、第一 級輸出頂桿13、超磁致伸縮棒12、具有熱補償功能的線圈骨架7、勵磁線圈11、圓管形永磁體 6和碟簧10; 在左端蓋5-2的中心設有頂桿孔;頂桿孔的直徑大于超磁致伸縮棒12的直徑； 線圈骨架7為設有線圈槽和右擋板7-1的圓筒形骨架;在右擋板7-1右側面中心設有與 碟簧10相適配的圓形凸臺7-2;超磁致伸縮棒12位于線圈骨架7的筒體內(nèi)，并與其間隙配合； 勵磁線圈11位于線圈槽內(nèi)；勵磁線圈11纏繞于線圈骨架7,置于圓管形殼體5內(nèi)部實現(xiàn)周向 固定;超磁致伸縮棒12置于線圈骨架7內(nèi)部，一端與骨架后端面接觸，另一端與位移傳遞機 構接觸。
[0021] 圓管形永磁體6位于圓管形殼體5內(nèi)，并與其間隙配合;線圈骨架7位于圓管形永磁 體6內(nèi)，并與其間隙配合;線圈骨架7左端面與左端蓋5-2相接觸;碟簧10位于右擋板7-1與右 端蓋5_1之間； 在第一級輸出頂桿13的左端面上設有圓筒式頂桿頭13-1;第一級輸出頂桿13的右端穿 過頂桿孔5-2-1與超磁致伸縮棒12的左端面相接觸； 液壓放大機構包括方形油腔腔體2、油腔16、圓形大膜片14、設有第一中心孔4-1的方形 大膜片蓋4、圓形小膜片15、設有第二中心孔1-1的圓形小膜片蓋1和油腔調節(jié)螺栓3; 在圓形大膜片14兩側面上對稱設有第一圓環(huán)形凹槽14-1，在第一圓環(huán)形凹槽14-1外側 均布有安裝孔； 第一中心孔4-1的直徑大于圓筒式頂桿頭13-1的外徑；圓筒式頂桿頭13-1的左端面與 第一圓環(huán)形凹槽14-1相接觸； 在圓形小膜片15兩側面上對稱設有第二圓環(huán)形凹槽15-1;第二圓環(huán)形凹槽15-1的內(nèi)圓 直徑小于第二中心孔1-1的直徑； 油腔16的中部為"丄"形，其左端為小膜片腔室，右端為大膜片腔室;小膜片腔室與大膜 片腔室通過水平油路連通;在豎直油路的上口處設有內(nèi)螺紋，并與油腔調節(jié)螺栓3螺紋連 接； 圓形小膜片15位于小膜片腔室內(nèi)，并通過小膜片蓋1由螺栓壓緊;圓形大膜片14位于大 膜片腔室內(nèi)，并通過大膜片蓋4由螺栓壓緊； 在方形固定板8的左側面上設有與圓管形殼體5的右端蓋5-1相適配的盲孔，在盲孔的 外圍設有第一螺桿孔;在方形油腔腔體2及大膜片蓋4上分別設有與第一螺桿孔相對應的螺 桿孔； 方形固定板8通過螺桿9將驅動機構和液壓放大機構固定在一起； 水平油路的軸線為圓形大膜片14和圓形小膜片15的中心連線;水平油路的軸線在超磁 致伸縮棒12的軸線延長線上。
[0022]線圈骨架7由高強度結構材料25Cr2M〇VA構成。
[0023] 超磁致伸縮棒12的最大截面半徑不大于8mm。
[0024] 第一圓環(huán)形凹槽14-1的中心圓盤直徑為第二圓環(huán)形凹槽15-1的中心圓盤直徑的 1.7倍;根據(jù)帕斯卡原理，圓形小膜片15輸出位移約為圓形大膜片14輸出位移的3倍。
[0025]圓形大膜片14和圓形小膜片15的材質均為鈹青銅（QBe2)，加工方法為電化學腐 蝕，圓形大膜片14和圓形小膜片15為柔性活塞結構，圓形大膜片14和圓形小膜片15的環(huán)形 槽為柔性鉸鏈結構。
[0026] 在圓形大膜片14與油腔腔體2之間設有密封膠圈17;密封膠圈17與第一圓環(huán)形凹 槽14-1外邊緣相接觸;在小膜片15與油腔腔體2之間設有密封膠圈17;密封膠圈17與第二圓 環(huán)形凹槽15-1外邊緣相接觸。本發(fā)明采用基于大、小膜片的柔性活塞結構，避免了傳統(tǒng)液壓 式放大機構油液泄露問題，也避免了傳統(tǒng)液壓式放大機構活塞與油腔摩擦的問題。
[0027] 本發(fā)明提供一種用于驅動直接驅動式電液伺服閥工作的驅動及位移放大裝置，其 采用機械一一液壓聯(lián)合放大的方式將超磁致伸縮棒輸出的微位移放大五倍以上，進而可以 直接帶動閥芯產(chǎn)生位移。針對超磁致伸縮棒的熱膨脹現(xiàn)象，本發(fā)明還設置了具有自動熱補 償功能的線圈骨架7,線圈骨架7具有與超磁致伸縮材料相近的熱膨脹系數(shù)，其底端與圓管 形殼體5的右端蓋5-1之間留有2-3mm的間隙，當線圈溫度較高時，線圈骨架7、超磁致伸縮棒 12同時向外殼底部延伸，且延伸量近似相等，實現(xiàn)了溫度變化時對超磁致伸縮棒位移進行 熱補償。線圈骨架7置于圓管形永磁體6內(nèi)，超磁致伸縮棒12置于線圈骨架7內(nèi)，兩端分別頂 住圓管形殼體5和碟簧10;第一級輸出頂桿13頂住圓形大膜片14,油腔腔體2內(nèi)部油液油壓 由油腔調節(jié)螺栓3進行調節(jié)，油腔調節(jié)螺栓3可以方便地調節(jié)油腔內(nèi)的油液壓力，進而調節(jié) 大、小膜片的預變形。
[0028] 第一級輸出頂桿13的圓筒式輸出頂桿頭13-1與大膜片14的環(huán)形凹槽14-1配合，通 過杠桿原理將超磁致伸縮棒輸出位移進行放大，達到第一級位移放大效果。第一級輸出頂 桿13與大膜片環(huán)形槽外圈接觸，當線圈通電產(chǎn)生磁場，超磁致伸縮棒12產(chǎn)生軸向變形，通過 第一級輸出頂桿13推動大膜片的第一圓環(huán)形凹槽14-1的中心圓盤產(chǎn)生軸向位移。對于圓形 大膜片而言，由于推動力的作用點作用在第一圓環(huán)形凹槽14-1的中心圓盤位置，會產(chǎn)生位 移放大的效果，這是第一級位移放大的原理。第一圓環(huán)形凹槽14-1的中心圓盤產(chǎn)生的軸向 位移推動密閉油腔內(nèi)的油液，推動圓形小膜片的第二圓環(huán)形凹槽15-1的中心圓盤產(chǎn)生位 移，進而帶動小膜片15產(chǎn)生位移，通過帕斯卡原理將位移進一步放大。在具有一定初始油壓 且密封良好的條件下，可認為圓形大膜片推動的油液體積與推動圓形小膜片的油液體積相 等，故位移傳遞機構與位移輸出頂桿的位移之比為圓形大、小膜片接觸油液部分面積之比， 這是第二級位移放大的原理。放大后的位移通過圓形小膜片15輸出。
[0029]線圈骨架采用高強度將結構材料25Cr2M〇VA，其熱膨脹系數(shù)為11 一 13ppm/°C，與超 磁致伸縮材料(11 一12ppm/ °C )相近，當線圈發(fā)出熱量較大時，線圈骨架7同超磁致伸縮棒12 產(chǎn)生的軸向熱變形近似相等，熱變形方向均為背離輸出頂桿的方向，這是高溫條件下對超 磁致伸縮棒的熱補償原理。
[0030]在驅動磁場的作用下，超磁致伸縮棒12輸出的位移被第一級輸出頂桿13傳遞到第 一圓環(huán)形凹槽14-1，根據(jù)杜桿原理，圓形大膜片14的輸出位移約為超磁致伸縮棒12輸出位 移的2倍。
[0031 ]第一級輸出頂桿13推動圓形大膜片14產(chǎn)生軸向位移，進而通過密閉的油腔16內(nèi)油 液推動圓形小膜片15產(chǎn)生位移。
[0032] 在驅動機構中，超磁致伸縮棒在高頻激勵下會產(chǎn)生趨膚效應，所以在保證超磁致 伸縮棒輸出力的前提下要盡量減小超磁致伸縮棒的截面半徑。計算超磁致伸縮棒最大截面 半徑R max的經(jīng)驗公式為：
其中&為超磁致伸縮材料電導率，決為超磁致伸縮材料相對磁導率。以國產(chǎn)超磁致伸 縮材料為例，巧，#=扣xlf。若最大激勵頻率/maX不小于500Hz，超磁致伸縮 棒12截面半徑應不大于8mm。
[0033] 密閉的油腔16內(nèi)充滿硅油，硅油具有耐高壓、溫粘系數(shù)低、對金屬無腐蝕的特點。 大膜片腔室為錐形過渡結構，避免了放大機構工作中的"困油"、"縮流"現(xiàn)象所帶來的壓力 損失。
[0034]為了減小工作時圓形大、小膜片對油液的壓縮，密閉腔內(nèi)要保持一定的初始油壓 戶〇，同時液壓放大機構的初始油壓還可以為超磁致伸縮棒12提供預壓力，使其磁-機轉換效 率和位移輸出的線性程度得到進一步提高。根據(jù)國產(chǎn)超磁致伸縮棒的預壓特性和對圓形 大、小膜片進行強度校核的結果，最終確定?。= %??。
[0035] 本發(fā)明采用了機械杠桿式和液壓式兩級放大，可將超磁致伸縮棒輸出的位移放大 5~10倍，可以直接驅動電液伺服閥EHSV工作;采用帶有熱補償功能的線圈骨架，抑制了線圈 發(fā)熱對超磁致伸縮棒輸出精度的影響，從而實現(xiàn)了整個電液伺服閥EHSV的小型化，拓寬了 電液伺服閥EHSV的工作頻帶，適合應用于高精度、速度快的電液伺服系統(tǒng)之中。
[0036] 以上所述實施方式僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施例，而并非本發(fā)明可行實施例的窮舉。 對于本領域一般技術人員而言，在不背離本發(fā)明原理和精神的前提下對其所作出的任何顯 而易見的改動，都應當被認為包含在本發(fā)明的權利要求保護范圍之內(nèi)。
【主權項】
1. 一種直驅閥用超磁致伸縮驅動及位移放大裝置，其特征在于:包括驅動機構、液壓放 大機構和方形固定板(8); 所述驅動機構包括圓管形殼體(5)、與所述圓管形殼體(5)螺紋連接的右端蓋(5-1)及 左端蓋(5-2 )、第一級輸出頂桿（13 )、超磁致伸縮棒（12 )、具有熱補償功能的線圈骨架(7 )、 勵磁線圈（11)、圓管形永磁體(6)和碟簧(10); 在所述左端蓋（5-2)的中心設有頂桿孔；所述頂桿孔的直徑大于所述超磁致伸縮棒 (12)的直徑； 所述線圈骨架(7)為設有線圈槽和右擋板(7-1)的圓筒形骨架;在所述右擋板(7-1)右 側面中心設有與所述碟簧（10)相適配的圓形凸臺（7-2);所述超磁致伸縮棒（12)位于所述 線圈骨架(7)的筒體內(nèi)，并與其間隙配合;所述勵磁線圈（11)位于所述線圈槽內(nèi)； 所述圓管形永磁體(6)位于圓管形殼體(5)內(nèi)，并分別與圓管形殼體(5)、右端蓋(5-1) 及左端蓋(5-2)間隙配合;所述線圈骨架(7)位于圓管形永磁體(6)內(nèi)，并與其間隙配合;所 述線圈骨架(7)左端面與左端蓋(5-2)相接觸;所述碟簧（10)位于所述右擋板(7-1)與右端 蓋(5-1)之間； 在所述第一級輸出頂桿（13)的左端面上設有圓筒式頂桿頭（13-1);所述第一級輸出頂 桿（13)的右端穿過所述左端蓋(5-2)上的頂桿孔與所述超磁致伸縮棒（12)的左端面相接 觸； 所述液壓放大機構包括方形油腔腔體(2)、油腔（16)、圓形大膜片（14)、設有第一中心 孔(4-1)的方形大膜片蓋(4)、圓形小膜片（15)、設有第二中心孔（1-1)的圓形小膜片蓋（1) 和油腔調節(jié)螺栓(3); 在所述圓形大膜片（14)兩側面上對稱設有第一圓環(huán)形凹槽（14-1)，在所述第一圓環(huán)形 凹槽(14-1)外側均布有安裝孔； 所述第一中心孔（4-1)的直徑大于圓筒式頂桿頭（13-1)的外徑；所述圓筒式頂桿頭 (13-1)的左端面與所述第一圓環(huán)形凹槽(14-1)相接觸； 在所述圓形小膜片（15)兩側面上對稱設有第二圓環(huán)形凹槽（15-1);所述油腔（16)的中 部為丄形，其左端為小膜片腔室，右端為大膜片腔室;所述小膜片腔室與大膜片腔室通過水 平油路連通;在豎直油路的上口處設有內(nèi)螺紋，并與所述油腔調節(jié)螺栓(3)螺紋連接； 所述圓形小膜片（15)位于小膜片腔室內(nèi)，并通過小膜片蓋（1)由螺栓壓緊;所述圓形大 膜片（14)位于大膜片腔室內(nèi)，并通過方形大膜片蓋(4)由螺栓壓緊； 在所述方形固定板(8)的左側面上設有與圓管形殼體(5)相適配的盲孔，在所述盲孔的 外圍設有第一螺桿孔;在所述方形油腔腔體(2)及方形大膜片蓋(4)上分別設有與所述第一 螺桿孔相對應的螺桿孔； 所述方形固定板(8)通過螺桿(9)將所述驅動機構和液壓放大機構固定在一起； 所述水平油路的軸線為圓形大膜片（14)和圓形小膜片（15)的中心連線;水平油路的軸 線在所述超磁致伸縮棒(12)的軸線延長線上。2. 根據(jù)權利要求1所述的一種直驅閥用超磁致伸縮驅動及位移放大裝置，其特征在于： 所述線圈骨架(7)的材質為高強度結構材料25Cr2M 〇VA。3. 根據(jù)權利要求1所述的一種直驅閥用超磁致伸縮驅動及位移放大裝置，其特征在于： 所述超磁致伸縮棒(12)的最大截面半徑不大于8mm。4. 根據(jù)權利要求1所述的一種直驅閥用超磁致伸縮驅動及位移放大裝置，其特征在于： 所述第一圓環(huán)形凹槽（14-1)的中心圓盤直徑為第二圓環(huán)形凹槽（15-1)的中心圓盤直徑的 1.7倍。5. 根據(jù)權利要求1所述的一種直驅閥用超磁致伸縮驅動及位移放大裝置，其特征在于： 所述圓形大膜片（14)和圓形小膜片（15)的材質均為鈹青銅。6. 根據(jù)權利要求1所述的一種直驅閥用超磁致伸縮驅動及位移放大裝置，其特征在于： 所述第二圓環(huán)形凹槽(15-1)的內(nèi)圓直徑小于第二中心孔(1-1)的直徑。7. 根據(jù)權利要求1所述的一種直驅閥用超磁致伸縮驅動及位移放大裝置，其特征在于： 所述大膜片腔室為錐形結構。8. 根據(jù)權利要求1-7任何一項所述的一種直驅閥用超磁致伸縮驅動及位移放大裝置， 其特征在于:在所述圓形大膜片（14)與方形油腔腔體(2)之間設有與第一圓環(huán)形凹槽（14- 1)外邊緣相接觸的密封膠圈（17);在所述圓形小膜片（15)與方形油腔腔體(2)之間設有與 第二圓環(huán)形凹槽(15-1)外邊緣相接觸的密封膠圈（17 )。
【文檔編號】F16K31/10GK105864491SQ201610303393
【公開日】2016年8月17日
【申請日】2016年5月10日
【發(fā)明人】何忠波, 楊朝舒, 李冬偉, 薛光明, 趙正龍, 周景濤, 榮策
【申請人】中國人民解放軍軍械工程學院