一種新型的真空鎖閥的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于真空鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種新型的真空鎖閥。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的連續(xù)真空鍍膜生產(chǎn)線中，一般在鍍膜室與進(jìn)料室之間存在一個(gè)或多個(gè)抽氣分隔室，每一個(gè)分隔室之間采用真空鎖閥將大氣與進(jìn)料室或前后兩室的氣體隔開，尤其是進(jìn)料室需要填充大氣與抽真空循環(huán)交換，如圖1所示，現(xiàn)有的真空鎖閥包括設(shè)置在進(jìn)料室壁上的密封法蘭板1、用于密封的閥板3、設(shè)置在閥板3上并與密封法蘭板I之間的密封圈3、與閥板連接的壓緊臂4、用于同時(shí)壓緊壓緊臂的轉(zhuǎn)動(dòng)軸5、提供動(dòng)力的大直徑的氣缸7和連接氣缸7與轉(zhuǎn)動(dòng)軸5的擺動(dòng)臂6，由于氣缸動(dòng)力軸與擺動(dòng)臂6的夾角較小，閥板上起主要密封作用的密封圈受到的壓緊力很小，導(dǎo)致密封圈壓縮量不足，門閥密封不可靠。
[0003]如圖1的真空鎖閥的結(jié)構(gòu)，即使不采用氣缸作為驅(qū)動(dòng)力，換用電機(jī)推桿等結(jié)構(gòu)，但由于推桿與閥閥擺臂之間的作用夾角，無法避免上述的缺點(diǎn)，此外，由于氣缸缸徑過大，整個(gè)機(jī)構(gòu)的動(dòng)作很慢，影響整個(gè)生產(chǎn)線的生產(chǎn)速度，降低生產(chǎn)效率。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]為了克服上述真空鎖閥壓力不大，密封不可靠的技術(shù)缺陷，本實(shí)用新型提供一種密封可靠、密封效率高的新型真空鎖閥。
[0005]為了解決上述問題，本實(shí)用新型按以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)的:
[0006]本實(shí)用新型所述，包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、鎖轉(zhuǎn)動(dòng)軸、壓緊臂和用于密封的鎖閥板、用于支撐所述鎖轉(zhuǎn)動(dòng)軸的固定座，所述鎖轉(zhuǎn)動(dòng)軸通過所述壓緊臂與所述鎖閥板連接，所述鎖轉(zhuǎn)動(dòng)軸的一端連接有齒輪，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上設(shè)置有與所述齒輪配合的齒條。
[0007]進(jìn)一步地，所述固定座、鎖轉(zhuǎn)動(dòng)軸、壓緊臂和鎖閥板均設(shè)置在真空室內(nèi)，真空室的壁上設(shè)置有鎖轉(zhuǎn)動(dòng)軸伸出的通孔，所述齒輪設(shè)置在真空室外。
[0008]進(jìn)一步地，所述鎖轉(zhuǎn)動(dòng)軸處于所述通孔外側(cè)外位置設(shè)置有密封座。
[0009]進(jìn)一步地，所述鎖閥板與壁體接觸的平面上設(shè)置有密封圈。
[0010]進(jìn)一步地，所述齒輪與鎖轉(zhuǎn)動(dòng)軸通過平鍵連接。
[0011]進(jìn)一步地，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為氣液增壓缸。
[0012]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是:
[0013]I)本實(shí)用新型通過齒條齒輪進(jìn)行動(dòng)力轉(zhuǎn)換，動(dòng)力無損耗，無脈動(dòng)變化。
[0014]2)采用氣液增壓缸提供動(dòng)力，鎖閥開合轉(zhuǎn)動(dòng)過程的動(dòng)力為小動(dòng)力，最后壓緊時(shí)為大動(dòng)力，動(dòng)力分配更理，轉(zhuǎn)換過程無沖擊。
[0015]3)氣缸所需的壓縮空氣量小，氣缸動(dòng)作迅速，開關(guān)閥的時(shí)間可減少一半，耗氣量為大氣缸的十分之一。
[0016]4)最終輸出的力為可調(diào)，增壓力與氣缸推力成線性關(guān)系，調(diào)整氣壓即可改變最終輸出的增壓力。
【附圖說明】
[0017]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步詳細(xì)的說明，其中:
[0018]圖1是現(xiàn)有的真空鎖閥結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖2是本實(shí)用新型所述新型的真空鎖閥的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖3是本實(shí)用新型所述新型的真空鎖閥的側(cè)視圖；
[0021]圖4是本實(shí)用新型所述新型的真空鎖閥的動(dòng)力結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]圖中:11_密封法蘭板，12-密封圈，13-閥板，14-壓緊臂，15-轉(zhuǎn)動(dòng)軸，16-擺動(dòng)臂，17-氣缸，20-氣液增壓缸，21-真空室，22-鎖閥板，23-鎖轉(zhuǎn)動(dòng)軸，24-固定座，25-壓緊臂，26-密封座，27-齒輪，28-密封圈，29-齒條。
【具體實(shí)施方式】
[0023]以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行說明，應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的優(yōu)選實(shí)施例僅用于說明和解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。
[0024]如圖2?圖4所示，本實(shí)用新型所述新型的真空鎖閥，包括設(shè)置在真空室21內(nèi)的鎖轉(zhuǎn)動(dòng)軸23、用于支撐所述鎖轉(zhuǎn)動(dòng)軸23的固定座24、用于密封真空室21出氣口的鎖閥板22和用于連接鎖轉(zhuǎn)動(dòng)軸23與鎖閥板22的壓緊臂25，所述鎖轉(zhuǎn)動(dòng)軸23 —直延伸至真空室21夕卜，所述鎖轉(zhuǎn)動(dòng)軸23向外伸出位置設(shè)置有密封座26，所述鎖轉(zhuǎn)動(dòng)軸23伸出室外的端軸位置通過平鍵連接有齒輪27，真空室21外還設(shè)置有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為氣液增壓缸20，所述氣液增壓缸20上連接有與所述齒輪27配合的齒條29。
[0025]所述鎖閥板22與真空室21壁體接觸的表面設(shè)置有密封圈28。
[0026]本實(shí)用新型所述新型的真空鎖閥的工作原理是:
[0027]氣液增壓缸驅(qū)動(dòng)齒條，從而帶動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)鎖轉(zhuǎn)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，通過壓緊臂轉(zhuǎn)動(dòng)鎖閥板，將鎖閥板壓緊在真空室的壁體上，密封真空室的入氣口，當(dāng)鎖閥板壓緊壁體時(shí)，氣液增壓缸增壓，提供大于氣缸壓力10倍的壓力，壓緊所述鎖閥板，從而達(dá)到密封的作用，需要給真空室填充空氣時(shí)，先將氣液增壓缸切換至不增壓狀態(tài)，再通過氣液增壓缸驅(qū)動(dòng)齒條、齒輪、鎖轉(zhuǎn)動(dòng)軸和壓緊臂，從而松開鎖閥板。
[0028]本實(shí)用新型采用齒條、齒輪傳動(dòng)動(dòng)力，減小動(dòng)力損耗，并且采用氣液增壓缸作為驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，在開啟和關(guān)閉鎖閥板時(shí)，氣液增壓缸處于不增壓狀態(tài)，所需要的動(dòng)力小，驅(qū)動(dòng)效率高，在需要密封時(shí)，將氣液增壓缸調(diào)到增壓狀態(tài)，提供大于10倍的氣缸壓力，使鎖閥板完全壓緊進(jìn)氣口，達(dá)到可靠密封的目的。
[0029]本實(shí)施例所述新型的真空鎖閥的其它結(jié)構(gòu)參見現(xiàn)有技術(shù)。
[0030]以上所述，僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本實(shí)用新型作任何形式上的限制，故凡是未脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案內(nèi)容，依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種新型的真空鎖閥，包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、鎖轉(zhuǎn)動(dòng)軸、壓緊臂和用于密封的鎖閥板，其特征在于:還包括用于支撐所述鎖轉(zhuǎn)動(dòng)軸的固定座，所述鎖轉(zhuǎn)動(dòng)軸通過所述壓緊臂與所述鎖閥板連接，所述鎖轉(zhuǎn)動(dòng)軸的一端連接有齒輪，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上設(shè)置有與所述齒輪配合的齒條。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述新型的真空鎖閥，其特征在于:所述固定座、鎖轉(zhuǎn)動(dòng)軸、壓緊臂和鎖閥板均設(shè)置在真空室內(nèi)，真空室的壁上設(shè)置有使鎖轉(zhuǎn)動(dòng)軸貫穿的通孔，所述齒輪設(shè)置在真空室外。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述新型的真空鎖閥，其特征在于:所述鎖轉(zhuǎn)動(dòng)軸處于所述通孔外側(cè)位置設(shè)置有密封座。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述新型的真空鎖閥，其特征在于:所述鎖閥板與壁體接觸的平面上設(shè)置有密封圈。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述新型的真空鎖閥，其特征在于:所述齒輪與鎖轉(zhuǎn)動(dòng)軸通過平鍵連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述新型的真空鎖閥，其特征在于:所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為氣液增壓缸。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種新型的真空鎖閥，包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、鎖轉(zhuǎn)動(dòng)軸、壓緊臂和用于密封的鎖閥板、用于支撐所述鎖轉(zhuǎn)動(dòng)軸的固定座，所述鎖轉(zhuǎn)動(dòng)軸通過所述壓緊臂與所述鎖閥板連接，所述鎖轉(zhuǎn)動(dòng)軸的一端連接有齒輪，所述氣缸上設(shè)置有與所述齒輪配合的齒條。本實(shí)用新型采用齒條、齒輪傳動(dòng)動(dòng)力，減小動(dòng)力損耗，并且采用氣液增壓缸作為驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，在開啟和關(guān)閉鎖閥板時(shí)，氣液增壓缸處于不增壓狀態(tài)，所需要的動(dòng)力小，驅(qū)動(dòng)效率高，在需要密封時(shí)，將氣液增壓缸調(diào)到增壓狀態(tài)，提供大于10倍的氣缸壓力，使鎖閥板完全壓緊進(jìn)氣口，達(dá)到可靠密封的目的。
【IPC分類】F16K35-00, F16K31-53
【公開號(hào)】CN204267848
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201420652363
【發(fā)明人】潘振強(qiáng), 梁凱基
【申請(qǐng)人】肇慶市振華真空機(jī)械有限公司
【公開日】2015年4月15日
【申請(qǐng)日】2014年11月4日