真空閥體的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種閥體，尤其是涉及一種真空閥體。
【背景技術】
[0002]在半導體、新能源裝備【如太陽能】等領域中需大量采用真空閥體，這些真空閥體包括上側板、下側板、左封板、右封板和若干與左右封板平行的筋板，筋板間隔設置在左、右封板之間，左、右封板和各筋板的上、下端分別和上、下側板焊連，左、右封板和各筋板的前、后端分別和上、下側板的前、后端齊平；上、下側板在相鄰的兩個筋板之間、最左側的筋板和左封板之間及最右側的筋板和右封板之間設有矩形通孔，上、下側板和左、右封板圍成的空間通過所述矩形通孔和第一真空室、第二真空室連通。其中第一真空室、第二真空室設有可以密封或打開上、下側板上的矩形通孔的通孔閥板組件，通孔閥板組件包括通孔閥板本體和固定在通孔閥板本體上的密封圈；真空閥體的前端、后端或前后端同時設有可以密封或打開上、下側板和左、右封板圍成的空間而使該空間和大氣相隔離或連通的閥體閥板組件，所述閥體閥板組件包括閥體閥板本體和固定在閥體閥板本體上的密封圈:
[0003]I】當前、后閥體閥板組件閉合，而第一、第二真空室內(nèi)的通孔閥板組件開啟時，第一真空室和第二真空室相通，第一真空室、第二真空室與上、下側板和左、右封板圍成的空間三者保持相同狀態(tài)。依此可以在第一真空室和第二真空室之間實現(xiàn)物料輸送等功能；
[0004]2】當全部閥板組件閉合時，第一真空室和第二真空室處于相互獨立的工作狀態(tài)。
[0005]這些真空閥體的體積大、精度要求高，并大多采用不銹鋼材料制成。由于不銹鋼材料昂貴、焊接及機械加工難度和加工費用高；對不銹鋼作為閥體材料的真空閥體來說，減少材料的加工預留量也具有重要的經(jīng)濟價值。由于目前廣泛采用的真空閥體的上、下側板與左、右封板及各筋板都是采用焊接結構相連，而焊接容易產(chǎn)生大量的形變，因此必須留有相當大的加工預留量以利焊接后的進一步精加工來保證高精度要求。因此這些真空閥體存在加工制造難度大、材料消耗大，從而加工制造成本高的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本實用新型的主要發(fā)明目的是提供一種加工制造難度低、材料消耗少，從而加工制造成本低的真空閥體。
[0007]本實用新型所用的技術方案是:一種真空閥體，包括上側板、下側板、左封板、右封板和若干與左、右封板平行的筋板，筋板間隔設置在左、右封板之間，左、右封板和各筋板的上、下端分別和上、下側板固連，左、右封板及各筋板的前、后端分別和上、下側板的前、后端齊平；上、下側板在相鄰的兩個筋板之間、最左側的筋板和左封板之間及最右側的封板和右封板之間設有矩形通孔，上、下側板和左、右封板圍成的空間通過所述矩形通孔分別和第一真空室、第二真空室連通，各筋板上設有若干上下走向的矩形槽孔，筋板的上、下端通過穿過矩形槽孔的上、下槽面的螺釘和上、下側板螺釘連接。
[0008]本實用新型，所述筋板和上下側板之間采用螺釘連接，可以大大減少真空閥體的加工制造難度和加工預留量，從而減少制造真空閥體的難度和材料消耗，進而降低真空閥體的加工制造成本。
[0009]作為優(yōu)選，筋板的上、下端的前、后端的矩形槽孔通過一顆螺釘和上、下側板螺釘連接，筋板的上、下端的前、后端之間的其它槽孔通過兩顆螺釘和上、下側板螺釘連接。在改變上下側板和左右封板圍成的空間狀態(tài)時，筋板的中部受力比較大，同時由于側板的厚度問題，又不能采用過大直徑的螺釘。本優(yōu)選方案，可以增加筋板和上下側板連接的可靠性，同時減少加工量。
[0010]作為優(yōu)選，上、下側板的左端伸在左封板的左側面之外或上、下側板的右端伸在右封板的右側面之外；相應地左封板的左側面或右封板的右側面設有兩根、三根或四根用于吊裝所述真空閥體的螺桿。本優(yōu)選方案，其中螺桿與左、右封板采用焊接結構相連，要吊裝真空閥體時，只要把真空閥體側立起來，把吊具上的螺母旋入螺桿上就可以，其中采用三根或四根螺桿的結構，可以提高吊裝結構的可靠性，防止采用兩根螺桿結構時因一根螺桿和封板的焊接出現(xiàn)松脫而無法進行吊裝的問題。
[0011]作為優(yōu)選，上、下側板的左端伸在左封板的左側面之外，同時上、下側板的右端伸在右封板的右側面之外；相應地左封板的左側面和右封板的右側面設有兩根、三根或四根用于吊裝所述真空閥體的螺桿。本優(yōu)選方案，在把左右封板和上下側板焊接起來時，上下側板的左右端伸出的部分可以用支撐架支撐開來，焊接好后再把支撐架拆掉，這樣可以防止或減小焊接變形，同時焊接后還可以不用把伸出部分切割掉，有利于減少加工量。而左右封板同時設置有用于吊裝真空閥體的螺桿的結構，在需要吊裝真空閥體時可以依據(jù)需要把真空閥體側立起來吊裝，也可以不用側立起來進行吊裝，真空閥體的吊裝容易進行。
[0012]作為優(yōu)選，上、下側板的左端伸在左封板的左側面之外，且在上、下側板的伸出部分各設有兩個用于吊裝所述真空閥體的吊孔；或上、下側板的右端伸在右封板的右側面之夕卜，且在上、下側板的伸出部分各設有兩個用于吊裝所述真空閥體的吊孔。本優(yōu)選方案，要吊裝真空閥體時，只要把真空閥體側立起來，然后利用吊孔和吊具相連即可。
[0013]作為優(yōu)選，上、下側板的左端伸在左封板的左側面之外，同時上、下側板的右端伸在右封板的右側面之外；相應地上、下側板的左、右端的伸出部分上各設有兩個用于吊裝所述真空閥體的吊孔。本優(yōu)選方案，在把左右封板和上下側板焊接起來時，上下側板的左右端伸出的部分可以用支撐架支撐開來，焊接好后再把支撐架拆掉，這樣可以防止或減小焊接變形，同時焊接后還可以不用把伸出部分切割掉，有利于減少加工量。而上下側板的伸出端同時設置用于吊裝真空閥體的吊孔的結構，在需要吊裝真空閥體時可以依據(jù)需要把真空閥體側立起來吊裝，也可以不用側立起來進行吊裝，真空閥體的吊裝容易進行。
[0014]作為優(yōu)選，所述矩形通孔均為沉孔。本優(yōu)選方案，第一真空室、第二真空室內(nèi)的通孔閥板組件沉入矩形通孔的沉孔內(nèi)，可以減少上、下側板外側面的精加工工作量，提高通孔閥板組件對矩形通孔的密封效果。
[0015]綜上所述，本實用新型帶來的有益效果是:真空閥體的加工制造難度低、材料消耗少，因此加工制造成本低。同時，本實用新型還具有使用方便的優(yōu)點。
【附圖說明】
[0016]圖1是本實用新型的一種結構示意圖【系圖2的A-A剖視圖，未畫出閥體閥板組件】；
[0017]圖2是圖1的俯視圖【未畫出真空室、通孔閥板組件】；
[0018]圖3是圖2的B-B剖視圖【未畫出閥體閥板組件】。
【具體實施方式】
[0019]下面通過實施例，并結合附圖，對本實用新型的技術方案作進一步具體的說明。
[0020]實施例一:
[0021]如圖1、圖2和圖3所示，本實用新型包括上側板1、下側板2、左封板3、右封板4和若干與左、右封板3、4平行的筋板5【筋板的個數(shù)依據(jù)真空閥體的大小確定，本實施例，筋板的個數(shù)為四個】，這些筋板5等距、間隔地設置在左、右封板3、4之間，左、右封板3、4和各筋板5的上、下端分別和上、下側板1、2固連，左、右封板3、4及各筋板5的前、后端分別和上、下側板1、2的前、后端齊平；上、下側板1、2在相鄰的兩個筋板3之間、最左側的筋板5和左封板3之間及最右側的封板5和右封板4之間設有矩形通孔1.1、2.1，上、下側板1、2和左、右封板3、4圍成的空間通過所述矩形通孔1.1,2.1分別和第一真空室10、第二真