真空閥的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種真空閥。
【背景技術(shù)】
[0002]—般來(lái)說(shuō)，在將真空栗安裝于真空處理裝置的腔室的情況下，在腔室與真空栗之間設(shè)置著真空閥。因此，在收納閥體的閥殼體上，隔著閥體而設(shè)置著一個(gè)凸緣。作為真空閥，使用進(jìn)行開(kāi)閉的閘閥、或不僅開(kāi)閉且電導(dǎo)(conductance)可變的控制型閥等。
[0003]專利文獻(xiàn)I記載的真空閥為所述控制型閥，根據(jù)閥構(gòu)成的關(guān)系，將連接于腔室側(cè)的凸緣與閥殼體分開(kāi)設(shè)置，從而成為將凸緣螺固在閥殼體的構(gòu)成。
[0004]在使用渦輪分子栗等旋轉(zhuǎn)式真空栗來(lái)作為真空栗的情況下，當(dāng)轉(zhuǎn)子因與定子接觸等而緊急停止時(shí)，會(huì)對(duì)真空閥施加大的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)矩。結(jié)果，專利文獻(xiàn)I記載的真空閥中，有將凸緣與閥殼體加以緊固的螺栓因所述旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)矩而斷裂的擔(dān)心。
[0005]因此，要求將真空閥的本體與凸緣加以緊固的螺栓具有將閥殼體與凸緣加以緊固的功能、以及能夠經(jīng)得住旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)矩的強(qiáng)度。結(jié)果，需要使用對(duì)于緊固功能而言所需的根數(shù)以上的螺栓。如果螺栓的根數(shù)增加，則作業(yè)步驟數(shù)或所需構(gòu)件增加，而存在作業(yè)成本上升的問(wèn)題。
[0006][現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)]
[0007][專利文獻(xiàn)]
[0008][專利文獻(xiàn)I]日本專利第4630994號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009][實(shí)用新型所要解決的問(wèn)題]
[0010]如所述般，關(guān)于將分開(kāi)設(shè)置的凸緣固定在閥殼體的構(gòu)成的真空閥，期望不增加緊固用螺栓的根數(shù)而能夠經(jīng)受得住來(lái)自真空栗的轉(zhuǎn)矩的真空閥。
[0011][解決問(wèn)題的技術(shù)手段]
[0012]本實(shí)用新型的優(yōu)選形態(tài)的真空閥包括收納閥體的殼體、及螺固在殼體的凸緣，且真空閥安裝于真空腔室與真空栗之間，在殼體的緊固面形成著第I銷孔，在凸緣的緊固面中第I銷孔所相向的位置形成著第2銷孔，且包括插設(shè)在相互相向的第I銷孔及第2銷孔的銷。
[0013]本實(shí)用新型中，在所述凸緣形成著螺固用的螺栓孔，在所述殼體形成著螺固用的螺紋孔，所述螺栓孔與貫通所述螺栓孔的螺栓的間隙尺寸Db、所述銷與所述第I銷孔的間隙尺寸DpU及所述銷與所述第2銷孔的間隙尺寸Dp2滿足數(shù)式“Db彡(Dpl+Dp2) ”。
[0014]本實(shí)用新型中，所述第I銷孔包括具有第I孔徑的銷孔、及具有直徑小于所述第I孔徑的第2孔徑的至少兩個(gè)銷孔，與具有所述第2孔徑的第I銷孔相向的所述第2銷孔的直徑設(shè)定得比與具有所述第I孔徑的第I銷孔相向的所述第2銷孔的直徑小。
[0015]本實(shí)用新型中，所述銷兼?zhèn)錅p小從外部連接的裝置傳遞的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)矩的功能、及將所述凸緣定位于所述殼體的功能。
[0016][實(shí)用新型的效果]
[0017]根據(jù)本實(shí)用新型，可提供一種真空閥，所述真空閥為利用緊固用螺栓將分開(kāi)設(shè)置的凸緣固定在閥殼體的構(gòu)成，且不會(huì)因緊固以外的目的增加緊固用螺栓的根數(shù)而能夠經(jīng)受得住來(lái)自真空栗的轉(zhuǎn)矩。
[0018]上述說(shuō)明僅是本實(shí)用新型技術(shù)方案的概述，為能更清楚了解本實(shí)用新型的技術(shù)手段，而可依照說(shuō)明書(shū)的內(nèi)容予以實(shí)施，并且為讓本實(shí)用新型的上述和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實(shí)施例，并配合附圖，詳細(xì)說(shuō)明如下。
【附圖說(shuō)明】
[0019]圖1是本實(shí)用新型的一實(shí)施方式的真空閥的立體圖。
[0020]圖2是表示已從真空閥的殼體卸下凸緣的情況的立體圖。
[0021]圖3是表示已從真空閥的殼體卸下凸緣的情況的剖面示意圖。
[0022]圖4(a)是表示閥殼體與凸緣的緊固構(gòu)造中設(shè)置著螺栓的部位的剖面圖，圖4(b)是表示所述緊固構(gòu)造中設(shè)置著銷的部位的剖面圖。
[0023][符號(hào)的說(shuō)明]
[0024]1:真空閥
[0025]2:閥本體
[0026]3:凸緣
[0027]3A:筒部
[0028]3B、4A1、4A2:開(kāi)口
[0029]3C、3D、4B、4C:緊固面
[0030]4:殼體
[0031]6:閥板
[0032]7、8:電動(dòng)機(jī)
[0033]10:螺栓孔
[0034]11、20、40:螺紋孔
[0035]31、31A、31B、41、41A、41B:銷孔
[0036]52:螺栓
[0037]52A:螺栓軸
[0038]60:密封環(huán)
[0039]100:銷
[0040]Arr:箭頭
[0041]Db、Dpl、DplA、DplB、Dp2、Dp2A、Dp2B:間隙尺寸
[0042]z:方向
[0043]Θ:方向(開(kāi)度)
【具體實(shí)施方式】
[0044]為更進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型為達(dá)成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例，對(duì)依據(jù)本實(shí)用新型提出的真空閥其【具體實(shí)施方式】、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細(xì)說(shuō)明如后。
[0045]圖1表示本實(shí)用新型的一實(shí)施方式的真空閥I。真空閥I包括閥本體2、使閥板6向Θ方向擺動(dòng)驅(qū)動(dòng)的電動(dòng)機(jī)7、及將未圖示的密封環(huán)(參照?qǐng)D3)向z方向驅(qū)動(dòng)的電動(dòng)機(jī)8。閥本體2包括收納閥板6及密封環(huán)(未圖示)的殼體4、及凸緣3。凸緣3與殼體4分開(kāi)形成，且凸緣3螺固在殼體4。凸緣3用于固定于真空處理裝置的真空腔室。另外，圖1中雖未圖示，但在殼體4的固定著凸緣3的一側(cè)的相反側(cè)，形成著供真空栗固定的緊固面(參照?qǐng)D3) ο
[0046]如所述那樣，閥板6利用電動(dòng)機(jī)7而擺動(dòng)驅(qū)動(dòng)。在該驅(qū)動(dòng)下，閥板6在遮蔽凸緣開(kāi)口的位置(與開(kāi)度0%相對(duì)應(yīng))和凸緣開(kāi)口全部開(kāi)放的位置(與開(kāi)度100%相對(duì)應(yīng))之間滑動(dòng)移動(dòng)。本實(shí)施方式的真空閥I通過(guò)對(duì)閥板6的開(kāi)度Θ進(jìn)行調(diào)整，而能夠控制從凸緣3側(cè)向相反側(cè)的凸緣側(cè)流動(dòng)的氣體的流量，即，從真空腔室向真空栗流動(dòng)的氣體的流量。
[0047]圖2、圖3是表示已從殼體4卸下凸緣3的狀態(tài)的圖。圖2是立體圖。圖3是示意性地表示凸緣3及殼體4的緊固凸緣3的部分的剖面圖。如圖3所示，凸緣3上形成著筒部3A。凸緣3以筒部3A插入到形成于殼體4的開(kāi)口 4A2的方式，螺固于殼體4的緊固面4C。此外，本實(shí)施方式中，凸緣3與殼體4之間設(shè)置著至少一個(gè)(優(yōu)選多個(gè))銷100。
[0048]在凸緣3上形成著多個(gè)螺固用的螺栓孔10 (貫通孔10)。此外，凸緣3的緊固面3D上形成著供銷100插設(shè)的至少一個(gè)(優(yōu)選多個(gè))銷孔31。另一方面，在殼體4的緊固面4C(與緊固面3D相向的面)，螺固用的螺紋孔11分別形成在凸緣3的與螺栓孔10相向的位置。而且，在緊固面4C上，在凸緣3的與銷孔31相向的位置分別形成著銷孔41。
[0049]凸緣3的緊固面3C上形成著多個(gè)用以將真空腔室的凸緣緊固在凸緣3的螺紋孔20。而且，殼體4的圖示下側(cè)的緊固面4B上形成著多個(gè)螺紋孔40。形成在緊固面4B的開(kāi)口 4A1形成為直徑與形成在凸緣3的開(kāi)口 3B的直徑相同，且與開(kāi)口 3B同心。
[0050]另外，圖3表示閥板6受到驅(qū)動(dòng)而滑動(dòng)到與開(kāi)口 3B及開(kāi)口 4A1相向的位置的狀態(tài)。該狀態(tài)下，閥板6的開(kāi)度Θ與0%相對(duì)應(yīng)，開(kāi)口 3B及開(kāi)口 4A1由閥板6遮蔽。然而，如圖3所示，在閥板6的邊緣部分與殼體4之間形成著間隙，真空閥I的流路并非為完全閉合的狀態(tài)。從該狀態(tài)利用電動(dòng)機(jī)8 (圖2)使密封環(huán)60向閥板6側(cè)移動(dòng)，而形成閥板6夾持于密封環(huán)60與殼體4的狀態(tài)，由此真空閥I的流路成為完全閉合的狀態(tài)。
[0051](銷100的說(shuō)明)
[0052]圖4(a)、圖4(b)是說(shuō)明銷100的圖。圖4(a)是表示螺固部分的剖面圖，圖4(b)是設(shè)置著銷100的部分的剖面圖。
[0053]如所述般，真空栗中，在轉(zhuǎn)子因與定子接觸等而緊急停止的情況下，因該沖擊而真空栗的吸氣口凸緣會(huì)產(chǎn)生大的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)矩。而且，該旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)矩也會(huì)被傳遞到真空閥I的殼體4、凸緣3、緊固于凸緣3的真空腔室。因此，在凸緣3與殼體4的緊固部分，當(dāng)旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)矩的方向?yàn)?