一種工藝設(shè)備及其工藝設(shè)備管道穿板裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種工藝設(shè)備管道穿板裝置。此夕卜，本實(shí)用新型還涉及一種包括上述工藝設(shè)備管道穿板裝置的工藝設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體微電子行業(yè)，在工藝生產(chǎn)過程中會(huì)使用到大量特氣等工藝介質(zhì)，這就會(huì)有大量小直徑管道穿過工藝設(shè)備的柜體。
[0003]正常運(yùn)行時(shí)，由于工藝設(shè)備的工作腔內(nèi)會(huì)通入有毒有害氣體反應(yīng)，為了保證環(huán)境和人員的安全，工藝設(shè)備柜體內(nèi)需要保持負(fù)壓狀態(tài)。為了讓管道穿板后柜體內(nèi)、外環(huán)境隔離開，就需要有一種很好的管道穿板用密封件來實(shí)現(xiàn)。
[0004]目前，對(duì)于工藝設(shè)備柜體管道穿板的設(shè)計(jì)，主要采用直接在柜體上開通孔讓管道穿孔而過，然后，在孔隙處放置橡膠密封圈，用橡膠密封圈填補(bǔ)柜體和管道之間的縫隙進(jìn)行密封。然而，這種方法管道固定不穩(wěn)定，容易產(chǎn)生晃動(dòng)；由于上述的晃動(dòng)現(xiàn)象導(dǎo)致管道與柜體連接處密封性差，易造成泄露；而且，管道與柜體穿板間尺寸不配合，由于管道的尺寸具有多樣性，為保證管道與柜體的配合，需要對(duì)柜體進(jìn)行再加工；另外，橡膠材質(zhì)的防火性能差，且密封部分不美觀。
[0005]因此，如何保證柜體與管道的連接穩(wěn)定性，是本領(lǐng)域技術(shù)人員目前需要解決的技術(shù)問題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006]有鑒于此，本實(shí)用新型的目的是提供一種工藝設(shè)備管道穿板裝置，該工藝設(shè)備管道穿板裝置可以保證工藝管道與設(shè)備柜體的可靠固定，并有助于批量安裝。本實(shí)用新型的另一目的是提供一種包括上述工藝設(shè)備管道穿板裝置的工藝設(shè)備，該工藝設(shè)備連接性好，且安裝方便。
[0007]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:
[0008]一種工藝設(shè)備管道穿板裝置，包括:
[0009]穿板套管，所述穿板套管包括大外徑部和小外徑部，所述大外徑部用于卡接在設(shè)備柜體的安裝孔上，所述小外徑部的外側(cè)周向面上設(shè)置有第一螺紋，工藝管道套設(shè)于所述穿板套管上設(shè)置的軸向通孔中，且所述工藝管道與所述軸向通孔在徑向上間隙貼合；
[0010]用于與所述小外徑部鎖緊定位的鎖緊環(huán)，所述鎖緊環(huán)的內(nèi)壁上設(shè)置有與所述第一螺紋配合的第二螺紋，以實(shí)現(xiàn)所述鎖緊環(huán)與伸入于所述安裝孔的小外徑部緊密配合以?shī)A緊所述設(shè)備柜體。
[0011]優(yōu)選地，所述軸向通孔的端口處設(shè)置有密封裝置，用于對(duì)所述工藝管道與所述穿板套管之間的縫隙進(jìn)行密封。
[0012]優(yōu)選地，所述大外徑部與所述小外徑部的連接面上設(shè)置有密封裝置，用于對(duì)所述穿板套管與所述設(shè)備柜體之間的縫隙進(jìn)行密封。
[0013]優(yōu)選地，所述密封裝置為硅膠密封件。
[0014]優(yōu)選地，所述大外徑部的端部設(shè)置有六角盲孔，或者所述大外徑部的外壁設(shè)置有夾持面。
[0015]優(yōu)選地，所述穿板套管為不銹鋼套管，所述鎖緊環(huán)為不銹鋼鎖緊環(huán)。
[0016]優(yōu)選地，所述穿板套管為SS304套管，所述鎖緊環(huán)為SS304鎖緊環(huán)。
[0017]優(yōu)選地，所述大外徑部的軸向長(zhǎng)度為5mm，所述小外徑部的軸向長(zhǎng)度為9mm，所述鎖緊環(huán)的軸向長(zhǎng)度為5mm。
[0018]—種工藝設(shè)備，包括工藝設(shè)備管道穿板裝置，所述工藝設(shè)備管道穿板裝置為如上述任意一項(xiàng)所述的工藝設(shè)備管道穿板裝置。
[0019]本實(shí)用新型提供的一種工藝設(shè)備管道穿板裝置，用于工藝管道與設(shè)備柜體的固定，主要包括穿板套管和鎖緊環(huán)，穿板套管包括大外徑部和小外徑部，小外徑部的外側(cè)周向面上設(shè)置有第一螺紋，穿板套管上設(shè)置有用于與工藝管道套接的軸向通孔；鎖緊環(huán)的內(nèi)壁上設(shè)置有與第一螺紋配合的第二螺紋，以實(shí)現(xiàn)鎖緊環(huán)與大外徑部在軸向上對(duì)設(shè)備柜體的夾緊。本實(shí)用新型所提供的管道穿板裝置中，穿板套管上設(shè)置有用于與工藝管道進(jìn)行套接的軸向通孔，穿板套管通過大外徑部與設(shè)備柜體卡接，并通過鎖緊環(huán)在設(shè)備柜體的另一側(cè)與小徑部鎖緊，實(shí)現(xiàn)了裝置與設(shè)備柜體的固定和裝置與工藝管道的連接。上述裝置安裝簡(jiǎn)單、固定可靠，且易于標(biāo)準(zhǔn)化，可以降低工藝管道的安裝成本。本實(shí)用新型還提供了一種包括上述工藝設(shè)備管道穿板裝置的工藝設(shè)備，該工藝設(shè)備連接性好，且安裝方便。
【附圖說明】
[0020]為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。
[0021]圖1為本實(shí)用新型所提供一種工藝設(shè)備管道穿板裝置具體實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖；
[0022]圖2為本實(shí)用新型所提供具體實(shí)施例中穿板套管的上視圖；
[0023]圖3為本實(shí)用新型所提供具體實(shí)施例中穿板套管的正視圖；
[0024]圖4為本實(shí)用新型所提供具體實(shí)施例中鎖緊環(huán)的上視圖。
[0025]其中，I為穿板套管，2為鎖緊環(huán)，3為工藝管道，4為設(shè)備柜體。
【具體實(shí)施方式】
[0026]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0027]本實(shí)用新型的核心是提供一種工藝設(shè)備管道穿板裝置，該工藝設(shè)備管道穿板裝置可以保證工藝管道與設(shè)備柜體的可靠固定，并有助于批量安裝。本實(shí)用新型的另一核心是提供一種包括上述管道穿板裝置的工藝設(shè)備，該工藝設(shè)備連接性好，且安裝方便。
[0028]請(qǐng)參考圖1至圖4，圖1為本實(shí)用新型所提供一種管道穿板裝置具體實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖；圖2為本實(shí)用新型所提供具體實(shí)施例中穿板套管的上視圖；圖3為本實(shí)用新型所提供具體實(shí)施例中穿板套管的正視圖；圖4為本實(shí)用新型所提供具體實(shí)施例中鎖緊環(huán)的上視圖。
[0029]本申請(qǐng)?zhí)峁┑囊环N管道穿板裝置，主要用于工藝管道3與設(shè)備柜體4的固定，在結(jié)構(gòu)上主要包括穿板套管1、鎖緊環(huán)2和工藝管道3。
[0030]穿板套管I為普通的管件，該管件的具有階梯狀的外徑，包括大外徑部和小外徑部，大外徑部用于卡接在設(shè)備柜體4的安裝孔上，小外徑部的外側(cè)周向面上設(shè)置有第一螺紋，穿板套管I上設(shè)置有與工藝管道3套接的軸向通孔，工藝管道3套設(shè)于穿板套管I上設(shè)置的軸向通孔中，且工藝管道3與軸向通孔徑向上間隙貼合；
[0031]鎖緊環(huán)2主要用于與小外徑部鎖緊定位，在鎖緊環(huán)2的內(nèi)壁上設(shè)置有與第一螺紋配合的第二螺紋，用于實(shí)現(xiàn)鎖緊環(huán)2與