一種高效率組裝的流體控制裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型為涉及一種流體控制裝置，尤其涉及一種用于半導體工藝且具有高組裝效率的流體控制裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導體工藝中需要將流體輸送至特定的機器中，該流體必須在特定的情況下被輸送至反應器中，其中，該流體可藉由流體控制裝置來完成輸送任務。
[0003]如中國臺灣專利公告第591184號中，提出一種流體控制裝置，其基部元件上并列地配置有多個線，每一個線是由配置在上段的流體控制機器及配置在下段的多個塊狀接頭所形成，特征為至少在一條線的兩側(cè)上的線長度方向，長且連續(xù)地配置有左右?guī)罴訜崞?，該些左右?guī)罴訜崞鞅欢鄠€夾件固定在對應的接頭元件上，各夾件是由以預定間隔而成對向的一對側(cè)壁，以及連接各側(cè)壁的上下的中間部的連接壁所形成，在兩側(cè)壁的上部施加使其接近的方向的力時，使各側(cè)壁的下部隔離，并且在力量被去除的時候，使兩側(cè)壁可復歸到原來位置。
[0004]然而，上述傳統(tǒng)的流體控制裝置，其組裝結(jié)構(gòu)復雜，導致使用者組裝上的不便，而需耗費大量的時間來拆解與組裝，影響半導體制造的產(chǎn)能。
【實用新型內(nèi)容】
[0005]本實用新型的主要目的，在于解決現(xiàn)有流體控制裝置的組裝結(jié)構(gòu)過于復雜，而造成維護上耗時及不便的問題。
[0006]為達上述目的，本實用新型提供一種高效率組裝的流體控制裝置，該裝置包含有:
[0007]一壓力監(jiān)控組件，包括一第一基座、一設(shè)置于該第一基座上的第一壓力監(jiān)控單元以及一供該第一壓力監(jiān)控單元能夠拆卸地耦接于該第一基座的第一耦接件；
[0008]—第一開關(guān)組件，該第一開關(guān)組件與該壓力監(jiān)控組件相鄰設(shè)置并包括一第二基座以及一設(shè)置于該第二基座上并和該第二基座一體成型的第一開關(guān)；
[0009]—流量控制組件，該流量控制組件與該第一開關(guān)組件相鄰設(shè)置并包括一第三基座、一設(shè)置于該第三基座上的流量控制器以及一供該流量控制器能夠拆卸地耦接于該第三基座的第二耦接件；以及
[0010]一第二開關(guān)組件，該第二開關(guān)組件與該流量控制組件相鄰設(shè)置并包括一第四基座以及一設(shè)置于該第四基座上并和該第四基座一體成型的第二開關(guān)。
[0011]上述的高效率組裝的流體控制裝置，其中該壓力監(jiān)控組件更包括一設(shè)置于該第一基座和該第二基座之間的第五基座、一設(shè)置于該第五基座上的第二壓力監(jiān)控單元及一供該第二壓力監(jiān)控單元能夠拆卸地耦接于該第五基座的第三耦接件。
[0012]上述的高效率組裝的流體控制裝置，其中更包括一設(shè)置于該壓力監(jiān)控組件與該第一開關(guān)組件之間的第三開關(guān)組件，該第三開關(guān)組件包括一第六基座及一設(shè)置于該第六基座上并和該第三基座一體成型的第三開關(guān)。
[0013]上述的高效率組裝的流體控制裝置，其中該第一壓力監(jiān)控單元與該第二壓力監(jiān)控單元為一壓力控制閥或一壓力監(jiān)測器。
[0014]上述的高效率組裝的流體控制裝置，其中該第一壓力監(jiān)控單元、該第二壓力監(jiān)控單元和該流量控制器分別具有一上流體通道，該第一基座、該第三基座和該第五基座分別具有一下流體通道，該上流體通道與該下流體通道彼此相通。
[0015]上述的高效率組裝的流體控制裝置，其中該第一基座、該第二基座、該第三基座、該第四基座、該第五基座和該第六基座是通過一橫向設(shè)置的連接單元能夠拆卸地彼此耦接。
[0016]上述的高效率組裝的流體控制裝置，其中該第三基座包括一入口承載部及一出口承載部，該入口承載部及該出口承載部相隔設(shè)置且用于支撐該流量控制器。
[0017]上述的高效率組裝的流體控制裝置，其中該第一基座具有一用于導入一處理氣體的第一接頭，該第二基座具有一用于導入一清洗氣體的第二接頭，該第四基座具有一用于導出該處理氣體及該清洗氣體的第三接頭。
[0018]為達上述目的，本實用新型還提供一種高效率組裝的流體控制裝置，該裝置包含有:
[0019]一壓力監(jiān)控組件，包括一第一基座、一設(shè)置于該第一基座上的第一壓力監(jiān)控單元以及一供該第一壓力監(jiān)控單元能夠拆卸地耦接于該第一基座的第一耦接件；
[0020]—第一開關(guān)組件，該第一開關(guān)組件與該壓力監(jiān)控組件相鄰設(shè)置并包括一第二基座以及一設(shè)置于該第二基座上并和該第二基座一體成型的第一開關(guān)，該第二基座包括一第一本體以及一自該第一本體橫向突出的第一延伸部；
[0021]—第二開關(guān)組件，該第二開關(guān)組件與該第一開關(guān)組件相隔設(shè)置并包括一第四基座以及一設(shè)置于該第四基座上并和該第四基座一體成型的第二開關(guān)，該第四基座包括一第二本體以及一自該第二本體橫向突出并和該第一延伸部相隔的第二延伸部；以及
[0022]—流量控制組件，該流量控制組件設(shè)置于該第一開關(guān)和該第二開關(guān)之間，包括一設(shè)置于該第一延伸部和該第二延伸部上的流量控制器以及一供該流量控制器能夠拆卸地耦接于該第一延伸部和該第二延伸部上的第二耦接件。
[0023]上述的高效率組裝的流體控制裝置，其中該壓力監(jiān)控組件更包括一設(shè)置于該第一基座和該第二基座之間的第五基座、一設(shè)置于該第五基座上的第二壓力監(jiān)控單元及一供該第二壓力監(jiān)控單元能夠拆卸地耦接于該第五基座的第三耦接件，該第五基座包括一第三本體以及一自該第三本體橫向突出的第三延伸部，該第一壓力監(jiān)控單元通過該第一耦接件能夠拆卸地耦接于該第三延伸部。
[0024]上述的高效率組裝的流體控制裝置，其中更包括一設(shè)置于該壓力監(jiān)控組件與該第一開關(guān)組件之間的第三開關(guān)組件，該第三開關(guān)組件包括一第六基座、一設(shè)置于該第六基座上并和該第六基座一體成型的第三開關(guān)，該第六基座包括一第四本體以及一自該第四本體橫向突出的第四延伸部，該第二壓力監(jiān)控單元通過該第三耦接件能夠拆卸地耦接于該第四延伸部。
[0025]上述的高效率組裝的流體控制裝置，其中該第一壓力監(jiān)控單元與該第二壓力監(jiān)控單元為一壓力控制閥或一壓力監(jiān)測器。
[0026]上述的高效率組裝的流體控制裝置，其中該第一壓力監(jiān)控單元及該第二壓力監(jiān)控單元分別具有一上流體通道，該第一基座和該第五基座分別具有一下流體通道，該上流體通道與該下流體通道彼此相通。
[0027]上述的高效率組裝的流體控制裝置，其中該第一基座、該第二基座、該第五基座和該第六基座是通過一橫向設(shè)置的連接單元能夠拆卸地耦接彼此。
[0028]上述的高效率組裝的流體控制裝置，其中該第一基座具有一用于導入一處理氣體的第一接頭，該第二基座具有一用于導入一清洗氣體的第二接頭，該第四基座具有一用于導出該處理氣體及該清洗氣體的第三接頭。
[0029]由以上可知，本實用新型相較于現(xiàn)有技術(shù)可達到的功效在于，利用本實用新型得到的該流體控制裝置，其中該壓力監(jiān)控組件、該開關(guān)組件及該流量控制組件所相對應的該基座為單一層設(shè)置，當較容易損壞的該壓力監(jiān)控單元及該流量控制器需要更換時，只需將由上方設(shè)置的該耦接件取出即可單獨更換，而較不容易損壞的該開關(guān)只需在維護或更換該壓力監(jiān)控單元及該流量控制器時一并維護或更換即可，綜合前述的組裝結(jié)構(gòu)，在維護時可減少維護時間及簡單化組裝方式。
[0030]以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型進行詳細描述，但不作為對本實用新型的限定。
【附圖說明】
[0031]圖1，為本實用新型第一實施例的剖視示意圖。
[0032]圖2，為本實用新型第一實施例的俯視示意圖；
[0033]圖3，為本實用新型第二實施例的剖視示意圖。
【具體實施方式】
[0034]涉及本實用新型的詳細說明及技術(shù)內(nèi)容，現(xiàn)就配合【附圖說明】如下:
[0035]請搭配參閱圖1及圖2所示，分別為本實用新型第一實施例的剖視示意圖以及俯視示意圖，本實用新型為一種高效率組裝的流體控制裝置1，包含一壓力監(jiān)控組件10、一第一開關(guān)組件20、一流量控制組件30及一第二開關(guān)組件40，該壓力監(jiān)控組件10包括一第一基座
11、一第一壓力監(jiān)控單元12及一第一耦接