機(jī)械真空閥密封裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型為一種真空閥密封裝置，尤指一種機(jī)械真空閥密封裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]一般的真空閥密封裝置主要用于電子產(chǎn)品的生產(chǎn)制程，可確保電子產(chǎn)品在生產(chǎn)過(guò)程中保持真空狀態(tài)，其中，現(xiàn)有的真空閥密封裝置包括一腔體、一可相對(duì)該腔體開(kāi)闔的閥門以及一驅(qū)動(dòng)該閥門的驅(qū)動(dòng)單元，現(xiàn)有真空閥密封裝置的驅(qū)動(dòng)單元的連動(dòng)方式，主要是通過(guò)多個(gè)齒輪相嚙合而產(chǎn)生連動(dòng)，然而，齒輪需要定期加入潤(rùn)滑油，以保持嚙合的連動(dòng)過(guò)程能順暢進(jìn)行，但潤(rùn)滑油在操作過(guò)程中容易產(chǎn)生揮發(fā)現(xiàn)象，進(jìn)而產(chǎn)生油氣，一旦油氣進(jìn)入無(wú)塵室的空氣中，會(huì)直接影響無(wú)塵室的潔凈程度，故現(xiàn)有的真空閥密封裝置誠(chéng)有改良的必要。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]為解決現(xiàn)有真空閥密封裝置的驅(qū)動(dòng)單元通過(guò)齒輪驅(qū)動(dòng)，使得齒輪中的潤(rùn)滑油容易揮發(fā)而影響無(wú)塵室中空氣的缺失，本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種機(jī)械真空閥密封裝置，本實(shí)用新型利用該連動(dòng)單元為連桿結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)，而無(wú)需加入潤(rùn)滑油，進(jìn)一步，通過(guò)各微調(diào)桿的V形卡溝的設(shè)計(jì)，而各帶動(dòng)件保持有與該兩微調(diào)桿相卡制的力量，且該兩微調(diào)桿的位置能夠通過(guò)兩固定螺栓與該調(diào)整凸部的各穿孔細(xì)部調(diào)整，進(jìn)而提供一無(wú)污染且密合性佳的機(jī)械真空閥密封裝置。
[0004]本實(shí)用新型所運(yùn)用的技術(shù)手段在于提供一種機(jī)械真空閥密封裝置，其中，該機(jī)械真空閥密封裝置與一腔體相結(jié)合，該腔體設(shè)有一開(kāi)口，所述機(jī)械真空閥密封裝置包括:
[0005]一固定單元，該固定單元包括一限位架以及兩微調(diào)桿，該限位架的內(nèi)頂面間隔直立貫穿設(shè)有兩限位孔，該限位架在該兩內(nèi)側(cè)面分別向內(nèi)凸設(shè)有一調(diào)整凸部，各微調(diào)桿與該限位架的其中一調(diào)整凸部相固接，且各微調(diào)桿的內(nèi)側(cè)面頂端向內(nèi)凹設(shè)有一 V形卡溝；
[0006]一連動(dòng)單元，該連動(dòng)單元與該固定單元相連結(jié)，該連動(dòng)單元包括一驅(qū)動(dòng)件、兩連動(dòng)件以及兩帶動(dòng)件，該驅(qū)動(dòng)件為一水平設(shè)置的桿體且設(shè)有兩端，該兩連動(dòng)件分別樞設(shè)在該驅(qū)動(dòng)件的兩端，各帶動(dòng)件與其中一連動(dòng)件相樞接，各帶動(dòng)件的底部卡設(shè)在其中一微調(diào)桿的V形卡溝中；以及
[0007]—門板單元，該門板單元包括兩移動(dòng)軸以及一閥門，各移動(dòng)軸穿設(shè)在其中一限位孔，各移動(dòng)軸的底端與其中一帶動(dòng)件的頂端相樞接，該閥門的底端與該兩移動(dòng)軸的頂端相固接，該閥門蓋闔在該腔體的開(kāi)口。
[0008]前述的機(jī)械真空閥密封裝置，其中，該固定單元包括兩固定螺栓以及兩微調(diào)螺栓，各調(diào)整凸部橫向貫穿設(shè)有兩穿孔，各穿孔皆為一階級(jí)狀的長(zhǎng)孔，該限位架的內(nèi)底面凸設(shè)有兩間隔設(shè)置的微調(diào)凸部，各微調(diào)凸部直立貫穿有一微調(diào)孔，該微調(diào)孔為一螺紋孔，該兩固定螺栓穿過(guò)結(jié)合在各調(diào)整凸部與其中一微調(diào)桿，各微調(diào)螺栓穿過(guò)其中一微調(diào)凸部，且其頂端抵靠在各微調(diào)桿的底端。
[0009]前述的機(jī)械真空閥密封裝置，其中，各連動(dòng)件包括一下連動(dòng)樞軸、一上連動(dòng)樞軸以及兩連動(dòng)片，該下連動(dòng)樞軸與該驅(qū)動(dòng)件橫向穿設(shè)在該驅(qū)動(dòng)件的一端，各連動(dòng)片均設(shè)有一結(jié)合端以及一連結(jié)端，該下連動(dòng)樞軸依序穿設(shè)其中一連動(dòng)片的結(jié)合端、該驅(qū)動(dòng)件的其中一端以及另一連動(dòng)片的結(jié)合端。
[0010]前述的機(jī)械真空閥密封裝置，其中，各帶動(dòng)件包括一下帶動(dòng)樞軸、一上帶動(dòng)樞軸以及兩帶動(dòng)片，各帶動(dòng)片均設(shè)有一套設(shè)端以及一接和端，且各連動(dòng)件的上連動(dòng)樞軸依序穿設(shè)其中一連動(dòng)片的連結(jié)端、該兩帶動(dòng)片的中央處以及另一連動(dòng)片的連結(jié)端，各下帶動(dòng)樞軸依序穿設(shè)兩帶動(dòng)片的套設(shè)端，且該兩帶動(dòng)片夾合在該微調(diào)桿的頂端，且穿設(shè)在該兩帶動(dòng)片的下帶動(dòng)樞軸卡設(shè)在該微調(diào)桿的V形卡溝中，各上帶動(dòng)樞軸依序穿設(shè)兩帶動(dòng)片的接和端。
[0011]本實(shí)用新型利用所提供的機(jī)械真空閥密封裝置，可以獲得的功效包括:
[0012]1.通過(guò)該連動(dòng)單元為連桿結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)，使得本實(shí)用新型無(wú)需添加潤(rùn)滑油，使得本實(shí)用新型在操作過(guò)程中沒(méi)有污染無(wú)塵室的疑慮，進(jìn)而提升本實(shí)用新型在操作過(guò)程中的潔凈程度。
[0013]2.各微調(diào)桿的V形卡溝的設(shè)計(jì)，確保各帶動(dòng)件下方的帶動(dòng)樞軸卡設(shè)在各微調(diào)桿的V形卡溝中，而各帶動(dòng)件保持有與該兩微調(diào)桿相卡制的力量，使得該閥門能夠蓋闔在該腔體的開(kāi)口，以確保該腔體內(nèi)部的的真空度。
[0014]3.該兩微調(diào)桿的位置能夠通過(guò)兩固定螺栓與該調(diào)整凸部的各穿孔細(xì)部調(diào)整，使得該門板單元的閥門高度能夠細(xì)部調(diào)整。
【附圖說(shuō)明】
[0015]圖1是本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例的主視圖。
[0016]圖2是本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例的局部外觀立體圖。
[0017]圖3是本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例的局部外觀立體分解圖。
[0018]圖4是本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例的局部剖面主視圖。
[0019]圖5是本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例的操作主視圖。
[0020]圖6是本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例的局部操作剖面主視圖。
[0021]附圖標(biāo)號(hào)說(shuō)明
[0022]10 固定單元11 限位架
[0023]110限位孔
[0024]111調(diào)整凸部112穿孔
[0025]113微調(diào)凸部114微調(diào)孔
[0026]12 微調(diào)桿121 V形卡溝
[0027]13 固定螺栓14 微調(diào)螺栓
[0028]20 連動(dòng)單元21 驅(qū)動(dòng)件
[0029]22 連動(dòng)件221下連動(dòng)樞軸
[0030]222上連動(dòng)樞軸223連動(dòng)片
[0031]224結(jié)合端225連結(jié)端
[0032]23 帶動(dòng)件231下帶動(dòng)樞軸
[0033]232上帶動(dòng)樞軸233帶動(dòng)片
[0034]234套設(shè)端235接和端
[0035]30門板單元31移動(dòng)軸
[0036]32閥門40氣壓缸
[0037]41活塞桿50腔體
[0038]51開(kāi)口
【具體實(shí)施方式】
[0039]以下配合附圖及本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型為達(dá)成預(yù)定實(shí)用新型目的所采取的技術(shù)手段。
[0040]本實(shí)用新型所提供的機(jī)械真空閥密封裝置的優(yōu)選實(shí)施例如圖1及圖2所示，該機(jī)械真空閥密封裝置與一腔體50相結(jié)合，該腔體50設(shè)有一開(kāi)口 51 (如圖5所示)，該機(jī)械真空閥密封裝置包括一固定單元10、一連動(dòng)單元20以及一門板單元30，其中:
[0041]該固定單元10包括一限位架11、兩微調(diào)桿12、四固定螺栓13以及兩微調(diào)螺栓14，該限位架11為一矩形盒體，該限位架11的內(nèi)頂面間隔直立貫穿設(shè)有兩限位孔110，該限位架11的內(nèi)頂面設(shè)有一氣壓缸40，該氣壓缸40位于該兩限位孔之間，該氣壓缸向下伸設(shè)有一活塞桿41，該限位架11設(shè)有兩相面對(duì)的內(nèi)側(cè)面，該限位架11在該兩內(nèi)側(cè)面分別向內(nèi)凸設(shè)有一調(diào)整凸部111，請(qǐng)參看如圖2所示，各調(diào)整凸部111橫向貫穿兩間隔設(shè)置的穿孔112，各穿孔112為一階級(jí)狀的長(zhǎng)孔，該限位架11的內(nèi)底面凸設(shè)有兩間隔設(shè)置的微調(diào)凸部113，各微調(diào)凸部113與其中一調(diào)整凸部111 一體成型而呈一 L字形結(jié)構(gòu)，各微調(diào)凸部113直立貫穿有一微調(diào)孔114，該微調(diào)孔114為一螺紋孔，各微調(diào)桿12與該限位架11的其中一調(diào)整凸部111相固接，各微調(diào)桿12呈一方形長(zhǎng)桿狀，且各微調(diào)桿12的內(nèi)側(cè)面頂端向內(nèi)凹設(shè)有一 V形卡溝121，其中兩固定螺栓13穿過(guò)結(jié)合在各調(diào)整凸部111的穿孔112與其中一微調(diào)桿12，因各穿孔112為一階級(jí)狀的縱向長(zhǎng)孔，使得各微調(diào)桿12可相對(duì)其中一調(diào)整凸部111微調(diào)，各微調(diào)螺栓14穿過(guò)其中一微調(diào)凸部113，且其頂端抵靠在各微調(diào)桿12的底端，使得各