專利名稱：多重調(diào)整器真空傳送閥組件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于貯存和分配流體的閥組件，更具體的，本發(fā)明涉及一種用于貯存和分配加壓氣體的多重調(diào)整器真空傳送閥組件，其防止加壓氣體從容器無(wú)控制流出。
背景技術(shù)：
提供一種安全、有效的方法，在低于大氣壓的條件下操作有毒、易燃、有腐蝕性的氣體是工業(yè)的目標(biāo)。尤其，這些氣體包括摻雜劑氣體。一般，摻雜劑氣體貯存在壓縮氣體瓶里，根據(jù)特殊氣體的特性，壓力等于在特定壓力下或在比壓下的單個(gè)氣體的蒸汽壓力。這些氣體作為用于生產(chǎn)半導(dǎo)體器件的摻雜劑原料的來(lái)源。這些摻雜劑氣體在一種稱為離子注入器的工具里使用。離子注入器定位于半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置的生產(chǎn)區(qū)域里，那里有成百、甚至成千的人員從事半導(dǎo)體的生產(chǎn)加工。這些工具在很高的電壓下運(yùn)轉(zhuǎn)，通常，達(dá)到幾千千伏。由于這些高電壓，摻雜劑源氣體必須定位于該工具上或在該工具自身的內(nèi)部(大部分其他半導(dǎo)體工具將源氣體設(shè)置在人員或者主要生產(chǎn)區(qū)域以外)。離子注入工具的一個(gè)獨(dú)特特征是他們?cè)诘陀诖髿鈮旱膲毫\(yùn)轉(zhuǎn)。利用工具里現(xiàn)有的真空從瓶傳送產(chǎn)品創(chuàng)造了更安全的封閉，使得產(chǎn)品不能從瓶封閉中去除，直到使用真空。該真空傳送想法防止從加壓氣體意外暴露。
現(xiàn)在，人們相信有三種獨(dú)特的方法解決與摻雜劑氣體的低于大氣壓傳送相關(guān)的問(wèn)題。第一種包括將壓縮氣體瓶裝滿物理吸附劑物質(zhì)(粒狀活性碳)，并可逆地將摻雜劑氣體吸收到該物質(zhì)上。該想法通常被稱作SDSTM技術(shù)。解吸過(guò)程包括給吸附劑物質(zhì)/瓶施加真空或熱。實(shí)踐中，來(lái)自離子注入器的真空用于從固態(tài)相的吸附劑釋放氣體。有與SDS技術(shù)問(wèn)題相關(guān)的某些局限，他們包括1)吸附劑物質(zhì)有有限的裝載量，因此限定了在給定尺寸的瓶中可利用的產(chǎn)品的數(shù)量；2)解吸過(guò)程能夠通過(guò)將瓶封閉暴露于熱而起動(dòng)，因此當(dāng)瓶暴露于在許多瓶倉(cāng)庫(kù)地點(diǎn)都普遍的高于70華氏度的溫度時(shí)，在大氣壓和超大氣壓的壓力下，導(dǎo)致瓶到達(dá)和傳送氣體；3)由于在吸附劑物質(zhì)上的其他物質(zhì)/氣體的吸附/解吸，破壞從瓶傳送的氣體的純度；以及4)吸附劑磨損能夠?qū)е職怏w傳送系統(tǒng)中的微粒污染。
第二種解決與摻雜劑氣體的低于大氣壓傳送相關(guān)的問(wèn)題的方法，包括在低于大氣壓的條件下使用機(jī)械調(diào)整器或者止回閥以控制/傳送產(chǎn)品。這些調(diào)整裝置被設(shè)置為當(dāng)對(duì)該裝置施加低于大氣壓或者真空條件時(shí)傳送或打開(kāi)。調(diào)整裝置定位于傳統(tǒng)開(kāi)/關(guān)瓶閥座機(jī)構(gòu)的上游。這些上游調(diào)整裝置的確切位置可以在閥主體內(nèi)，在頸腔內(nèi)，在瓶自身內(nèi)部，或者所有三種位置的組合。在每種情形里，相對(duì)于從瓶?jī)?nèi)部到傳送端口的氣流，調(diào)整裝置定位于瓶閥座的上游。
美國(guó)專利No.5937895披露一種采用分配止回閥和流動(dòng)限制結(jié)構(gòu)的形式的調(diào)整器，以提供一種事實(shí)上失效保險(xiǎn)系統(tǒng)，以防止流體從加壓瓶或者箱危險(xiǎn)的流出。美國(guó)專利No.6045115披露一種流動(dòng)限制器，以提供毛細(xì)管大小的開(kāi)端，其在不太可能的控制閥或者調(diào)整器失靈的情形下，將任何從壓縮氣體瓶流出的有毒氣體最少化。這兩個(gè)披露都提供了低于大氣壓的傳送調(diào)整裝置，其相對(duì)于通過(guò)閥的氣流定位于閥座的上游。相信這些披露提供了一種對(duì)最大入口壓力(或者瓶貯存壓力)有重要限制的調(diào)整裝置，其必須為或低于約600磅/平方英寸，而且調(diào)整裝置預(yù)先設(shè)置為特定的壓力(其是不可調(diào)節(jié)的)。
美國(guó)專利No.6089027和No.6101806都與一種包含用于維持需要壓力的容器的流體貯藏和分配系統(tǒng)有關(guān)。該容器有與容器的端口有關(guān)并且設(shè)置為預(yù)定壓力的壓力調(diào)整器，例如單級(jí)或多級(jí)調(diào)整器。分配組件被安排為與調(diào)整器氣體/蒸汽流相連通，由此閥的開(kāi)啟影響來(lái)自容器的氣體/蒸汽的分配，該分配組件例如包括如閥的流動(dòng)控制裝置。容器中的流體可以由一種液體組成，其在超過(guò)其在例如周圍環(huán)境的溫度(室溫)的當(dāng)前溫度條件下的液化壓力的壓力下被限制在容器內(nèi)?！?27專利披露一種在閥控制裝置的上游側(cè)上的多級(jí)調(diào)整器。
以上專利披露了相對(duì)于由瓶?jī)?nèi)部至傳送端口的氣流將調(diào)整裝置定位在閥座的上游。然而，調(diào)整裝置能夠定位在閥主體內(nèi)，在頸腔內(nèi)，在瓶自身內(nèi)部，或者所有三種位置的組合。
第三種解決與摻雜劑氣體的低于大氣壓下傳送相關(guān)的問(wèn)題的方法，包括使用定位在機(jī)械調(diào)整器或止回閥下游的單一調(diào)整器，以在低于大氣壓下控制/傳送產(chǎn)品。美國(guó)專利No.6314986披露一種與壓縮氣體瓶一起使用的模塊化的氣體控制裝置，其包含主要模塊和安裝在主要模塊上的次要模塊。該專利披露了定位在主要的瓶截止閥的下游的單一調(diào)整器的使用。該調(diào)整器被定位在閥主體內(nèi)，并調(diào)節(jié)為從低于大氣壓至超大氣壓傳送任何要求的出口壓力。截止閥具有定位在調(diào)整器上游的內(nèi)部和座機(jī)構(gòu)。一種單一調(diào)整器被披露。有與這種方法相關(guān)的某些潛在的問(wèn)題。例如，調(diào)整器失靈時(shí)，潛在的高泄漏率及壓力的升高可能發(fā)生。同樣，單一調(diào)整器可能難以在大的進(jìn)口壓力范圍內(nèi)的控制流動(dòng)。
本發(fā)明的目的是在閥或管道失靈的情形下限制或防止有毒氣體的釋放。
本發(fā)明的另一個(gè)目的是能夠在氣體瓶?jī)?nèi)儲(chǔ)存較高的壓力。較高的壓力使較大量的產(chǎn)品容納在該瓶?jī)?nèi)，因此，提供了較強(qiáng)的生產(chǎn)能力和對(duì)消費(fèi)者的較低成本。
另一目的是通過(guò)附加的調(diào)整器提供更大的保護(hù)，以使瓶閥座不會(huì)暴露在空氣污染物中。
另一目的是由于專門的毛細(xì)管的受限制的流動(dòng)能力而為加壓的氣體瓶提供更大的保護(hù)，以不會(huì)使加壓氣體暴露在大氣中。
另一目的是為閥座的下游的調(diào)整裝置提供可選擇的控制，以從低于大氣壓至任何小于或等于定位在閥座的上游的調(diào)整器的出口壓力的需要壓力調(diào)節(jié)出口壓力。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明涉及一種用于控制加壓流體從加壓容器出口流出的設(shè)備，該設(shè)備包括a)端口主體，其與加壓箱的出口連通，限定流體流出通道；b)閥元件，其固定在端口主體里或上游，適合于在阻止流體流過(guò)流體流出通道的密封位置和允許流體沿流體流出通道流動(dòng)的開(kāi)放位置之間運(yùn)動(dòng)；c)上游隔膜，其限定內(nèi)部體積，該內(nèi)部體積與閥元件上游的壓力條件隔離，且與閥元件接合，來(lái)以保持閥元件在密封位置的方式來(lái)控制閥元件的運(yùn)動(dòng)，直至隔膜的內(nèi)部體積與端口主體的內(nèi)部之間的壓力差移動(dòng)閥元件至開(kāi)放位置；以及d)下游隔膜，其限定內(nèi)部體積，該內(nèi)部體積與閥元件下游的壓力條件隔離，且與閥元件接合，來(lái)以保持閥元件在密封位置的方式來(lái)控制閥元件的運(yùn)動(dòng)，直至隔膜的內(nèi)部體積與端口主體的內(nèi)部之間的壓力差移動(dòng)閥元件至開(kāi)放位置。
在另一個(gè)實(shí)施例中，本發(fā)明涉及瓶和閥組件，其用來(lái)保存加壓的流體以及控制加壓流體從瓶流出，該瓶和閥組件包括a)限定瓶開(kāi)口的瓶；b)適合于與瓶開(kāi)口封閉接合的端口主體；c)流體入口端口，其由端口主體限定且定位于瓶外面；d)流體流出通道，其由流體入口端口與流體出口端口之間的閥主體限定；e)手動(dòng)操作的截止閥，其用于控制流體沿流體流出通道流動(dòng)；以及f)自動(dòng)閥，其包含偏置到阻止流體沿流體流出通道流動(dòng)的定標(biāo)位置的閥元件以及多個(gè)密封波紋管，至少一個(gè)密封波紋管沿流體流出通道定位于閥元件的上游，且至少一個(gè)密封波紋管沿流體流出通道定位于閥元件的下游，密封波紋管有可操作地連于閥元件的一部分，當(dāng)波紋管內(nèi)部與外部之間的相對(duì)壓力使波紋管膨脹時(shí)，移動(dòng)閥元件至開(kāi)放的位置，其中，該開(kāi)放位置允許流體沿流體流出途徑流動(dòng)。
在另一種實(shí)施例中，本發(fā)明涉及一種用于控制加壓流體從包含有毒氫化(hydridic)或者鹵化(halidic)化合物的加壓箱出口流出的設(shè)備，該設(shè)備包括a)容器，其用于保持加壓流體至少部分在氣態(tài)；b)出口端口，其用于從容器釋放加壓氣體；c)氣體流動(dòng)通道，其至少部分由出口端口限定，以傳送來(lái)自容器的加壓氣體；以及d)多個(gè)獨(dú)立的調(diào)整裝置，至少一個(gè)在閥的上游且至少一個(gè)在閥的下游，其采用沿氣體流動(dòng)通道的至少一部分的受限制的流動(dòng)通道的形式，限制包含在容器里的氣體在大氣壓條件下的流動(dòng)在10至20sccm之間。
在本發(fā)明中，除了閥元件以外，容器或者端口主體還保持了手動(dòng)啟動(dòng)的閥。管道中的由受限制的流動(dòng)通道的填塞限定了流體流出通道的一部分。該管道包括毛細(xì)管，其具有不超過(guò)0.2毫米的內(nèi)部直徑。隔膜包括波紋管。
殼體限定了容納波紋管的波紋管腔，波紋管腔與位于閥元件下游的流體流出通道的一部分連通，以及波紋管被足夠的內(nèi)部壓力密封，以在與流出通道的連通在波紋管腔內(nèi)產(chǎn)生足夠的壓力條件時(shí)移動(dòng)閥元件至開(kāi)放位置。閥元件包括提升閥，波紋管的膨脹導(dǎo)致栓移動(dòng)提升閥至開(kāi)放位置。一個(gè)密封的波紋管定位于閥元件的上游，一個(gè)波紋管定位于閥元件的下游，每個(gè)波紋管都適于響應(yīng)于波紋管腔里的壓力條件移動(dòng)閥元件至開(kāi)放位置。受限制的通道是毛細(xì)管，其包括限定流體入口端口的堵塞，且沿著流體流出通道的長(zhǎng)度大約沿著瓶的長(zhǎng)度的中間定位流體入口端口。
本發(fā)明的附加的目的，實(shí)施例，優(yōu)勢(shì)以及細(xì)節(jié)在以下的優(yōu)選實(shí)施例的詳細(xì)描述中描述。


圖1是包括本發(fā)明的雙調(diào)整器真空傳送閥組件的瓶和頭閥組件的截面示意圖。
圖2是本發(fā)明的上游調(diào)整器和毛細(xì)管流動(dòng)限制器的可選擇的位置的示意圖。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明涉及一種在真空傳送封閉系統(tǒng)內(nèi)的多重調(diào)整/轉(zhuǎn)換裝置(即調(diào)整器)。第一個(gè)調(diào)整裝置被設(shè)置在流動(dòng)控制元件(即閥座)的上游。第一個(gè)裝置在減低的壓力下從瓶?jī)?nèi)部傳送氣體。例如，瓶壓力可能在大約0到大約1800磅/平方英寸的范圍內(nèi)，而來(lái)自這個(gè)第一個(gè)調(diào)整裝置的出口壓力可能在大約0到大約200磅/平方英寸的范圍內(nèi)，最好接近大約0磅/平方英寸的范圍。
本發(fā)明的主要方面是使用設(shè)置在瓶閥下游但在閥主體內(nèi)的第二個(gè)調(diào)整/轉(zhuǎn)換裝置(調(diào)整器/止回閥)。這個(gè)第二個(gè)調(diào)整裝置被設(shè)計(jì)成在低于大氣壓的條件下開(kāi)放(或者傳送氣體)，即調(diào)整裝置的進(jìn)口處于等于或大于大氣壓，而第二個(gè)調(diào)整裝置的出口則處于低于大氣壓。
第二個(gè)調(diào)整裝置被放置在這樣的位置，使得其僅在瓶閥(或閥座)打開(kāi)的時(shí)候可以經(jīng)歷瓶的壓力，因此限制調(diào)整裝置暴露在高壓氣體中。另一優(yōu)點(diǎn)是該調(diào)整裝置足夠小可安裝在傳統(tǒng)瓶開(kāi)口內(nèi)。另一優(yōu)點(diǎn)是瓶外部的第二個(gè)調(diào)整器/轉(zhuǎn)換裝置的位置允許調(diào)整裝置應(yīng)該是可調(diào)節(jié)的(即傳送或驅(qū)動(dòng)壓力是可調(diào)節(jié)的)。調(diào)整裝置的這個(gè)當(dāng)前位置，特別地，調(diào)整裝置中的一個(gè)被設(shè)置在瓶閥座的上游而第二個(gè)調(diào)整裝置被設(shè)置在瓶閥座的下游，導(dǎo)致本發(fā)明的有利的實(shí)施例。更特別地，瓶閥下游的第二個(gè)調(diào)整裝置的位置集成到瓶閥，使得該調(diào)整裝置是永久地與瓶閥(或閥座)接附或事實(shí)上是瓶閥(或閥座)本身的一部分。
在這里，多重調(diào)整器系統(tǒng)最好與毛細(xì)管流動(dòng)限制器組件結(jié)合設(shè)置。這個(gè)組件最好設(shè)置在1)第一個(gè)調(diào)整裝置與瓶閥座之間或2)第一個(gè)調(diào)整裝置的上游。該特別的應(yīng)用可確定限制器組件的確切位置。限制器組件被設(shè)計(jì)成在任意機(jī)械裝置失靈的情況下限制來(lái)自瓶的氣流。
圖1提供了本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施例，其用多重調(diào)整器/開(kāi)關(guān)，至少一個(gè)在截止閥(或者瓶閥座)的上游，達(dá)到了在低于大氣壓下傳送的目的。該結(jié)構(gòu)提供了這樣一種系統(tǒng)，即，其排除閥座(瓶閥)暴露于空氣，在瓶里的氣體的使用期限(廣闊的壓力范圍)傳送不變的出口壓力，以及利用毛細(xì)管限制器約束流體流動(dòng)到低的預(yù)先設(shè)置的速度。
如圖1所提供的，多重調(diào)整器真空傳送閥組件2比傳統(tǒng)出口端口主體大，或者比一般閥主體稍大。瓶閥座11定位于閥主體內(nèi)和調(diào)整器裝置7的下游。毛細(xì)管組件9定位于調(diào)整器裝置7和閥座11之間。
壓縮氣體瓶1和多重調(diào)整器裝置真空傳送閥組件2的流體貯存和分配系統(tǒng)。壓縮氣體瓶裝滿了要求的流體13(或者尤其摻雜劑氣體)，達(dá)到特定的壓力或者產(chǎn)品重量。瓶填料、調(diào)解和產(chǎn)品處理通過(guò)第二個(gè)填充端口(沒(méi)有圖示，但參考圖1時(shí)，設(shè)置于閥主體后面)發(fā)生。填充端口通過(guò)閥機(jī)構(gòu)5和單獨(dú)的填充端口6被開(kāi)放和關(guān)閉。消費(fèi)者使用的端口4通過(guò)手動(dòng)的瓶閥3被開(kāi)放/關(guān)閉。氣流通過(guò)施加真空達(dá)到出口端口4來(lái)實(shí)現(xiàn)，其使第二個(gè)調(diào)整裝置10內(nèi)的波紋管膨脹，因此使提升閥從它的底座移開(kāi)并允許來(lái)自瓶1內(nèi)部的氣體流過(guò)第一個(gè)調(diào)整裝置7，通過(guò)毛細(xì)管9和圍繞開(kāi)放的閥座11。第一個(gè)調(diào)整器裝置7被預(yù)先設(shè)置為將氣態(tài)產(chǎn)品以相對(duì)于瓶13內(nèi)部的壓力降低了的壓力傳送到第二個(gè)調(diào)整器裝置10。第二個(gè)調(diào)整裝置10將較低壓力氣體真空傳送到出口端口，以被半導(dǎo)體工具使用。8A和8B是玻璃料(frit)過(guò)濾器裝置。
圖2提供了相對(duì)于毛細(xì)管組件和瓶閥座的調(diào)整器裝置的結(jié)構(gòu)的示意圖。在一個(gè)實(shí)施例中，毛細(xì)管流動(dòng)限制器9位置在調(diào)整器7的上游。流體通過(guò)瓶閥11的下游，然后到達(dá)下游調(diào)整裝置10。在另一個(gè)實(shí)施例中，上游調(diào)整器裝置位置在毛細(xì)管流動(dòng)限制器9的上游，然后流體傳遞到瓶閥11，先于下游調(diào)整器裝置10。
沒(méi)有在這里特別討論的各種元件和他們的運(yùn)轉(zhuǎn)，包括但不限于調(diào)整裝置和毛細(xì)管流動(dòng)限制器的運(yùn)轉(zhuǎn)，可以在美國(guó)專利No.5937895；No.6045115和No.6007609中找到，而且通過(guò)參考包括于此。
本發(fā)明的主要方面是調(diào)整/轉(zhuǎn)換裝置的位置，也就是，瓶閥座上游的第一個(gè)調(diào)整器裝置和下游的第二個(gè)調(diào)整器裝置。調(diào)整器或止回閥的類型能夠根據(jù)氣體供應(yīng)，傳送壓力，流動(dòng)速度等等變化。第二個(gè)(真空)調(diào)整器/止回閥必須以這樣的方式接附在閥上，即，其提供氣體緊密密封，最好永久地接附在閥上，最好定位于閥主體自身的外殼內(nèi)部。這樣定位的原因是為了保護(hù)調(diào)整裝置并防止損害。調(diào)整裝置不應(yīng)僅僅限于真空傳送。兩個(gè)調(diào)整裝置能預(yù)先設(shè)置為在任何壓力下從瓶?jī)?nèi)部傳送氣體，包括低于大氣壓，大氣壓以及超大氣壓的壓力，直到瓶的最大貯存壓力。調(diào)整裝置最好永久接附在瓶閥主體上，但是另一個(gè)實(shí)施例會(huì)提供可以拆除的第二調(diào)整裝置，其可以以任何其它機(jī)械方式螺紋連接或者固定，其提供氣體緊密的密封。這樣一種調(diào)整裝置能被插入出口端口主體內(nèi)，類似如何使減小流動(dòng)口安裝在出口端口里。由于第二個(gè)調(diào)整器/止回閥定位于瓶的外部，能夠規(guī)定使該調(diào)整裝置得以被調(diào)節(jié)。調(diào)節(jié)將改變?cè)撜{(diào)整裝置的傳送壓力以滿足用戶的要求。例如，調(diào)整裝置可以根據(jù)用戶的需要/應(yīng)用以一定方式調(diào)節(jié)，以從低于大氣壓到大氣壓或者超大氣壓改變傳送。如上述所提，對(duì)于該應(yīng)用，兩個(gè)調(diào)整裝置的位置對(duì)于該專利是關(guān)鍵要素。
本發(fā)明中的多重獨(dú)立調(diào)整裝置方便了容器中較高壓力下氣體的貯存。較高的壓力提供了更大的機(jī)會(huì)來(lái)在相等體積下貯存更多產(chǎn)品(流體或氣體)，這為用戶提供了更低的所有權(quán)成本。多重獨(dú)立調(diào)整裝置提供了對(duì)瓶閥的更大的保護(hù)防止空氣污染，以及更安全的設(shè)計(jì)，如果調(diào)整裝置之一失靈。
在獨(dú)立的實(shí)施例中，修改可能還包括單一的調(diào)整裝置，由此調(diào)整裝置定位于閥座且用作調(diào)整裝置以及閥座。本發(fā)明的另一個(gè)修改包括單一調(diào)整/轉(zhuǎn)換裝置的使用，其定位于瓶閥座的下游。該調(diào)整裝置可以成為瓶閥主體的一部分或者適于插入出口端口，如上提及。該調(diào)整裝置的位置允許調(diào)整裝置的調(diào)節(jié)，以在廣闊壓力范圍內(nèi)傳送氣體產(chǎn)品。
通常，本發(fā)明中的真空傳送閥組件可以應(yīng)用于大量氣體產(chǎn)品。下面的表1包括，但不限于，本發(fā)明中考慮的流體。其他流體，尤其那些包括其他惰性、易燃、有毒或者半導(dǎo)體處理氣體也是本發(fā)明中考慮的。
表1

本發(fā)明還考慮某些氣體或流體被貯存或分配的特殊形狀瓶的特殊使用。尤其，本發(fā)明提供更短、更寬的瓶，當(dāng)貯存和分配三氟化硼時(shí)。
那些本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員將承認(rèn)，在這里詳細(xì)描述的過(guò)程可以進(jìn)行許多的變化，而不離開(kāi)更具體地在下面的權(quán)利要求書中限定的本
權(quán)利要求
1.一種控制加壓流體從加壓容器的出口流出的設(shè)備，該設(shè)備包括a.端口主體(4)，其用于與加壓箱(1)的出口連通，限定流體流出通道；b.閥元件(11)，其固定在端口主體里或上游，且適合于在阻止流體流過(guò)流體流出通道的密封位置和允許流體沿流體流出通道流動(dòng)的開(kāi)放位置之間運(yùn)動(dòng)；c.上游隔膜(7)，其限定內(nèi)部體積，該內(nèi)部體積與閥元件上游的壓力條件隔離，且與閥元件接合，來(lái)以保持閥元件在密封位置的方式來(lái)控制閥元件的運(yùn)動(dòng)，直至隔膜的內(nèi)部體積與端口主體的內(nèi)部之間的壓力差移動(dòng)閥元件(11)至開(kāi)放位置；以及d.下游隔膜(10)，其限定內(nèi)部體積，該內(nèi)部體積與閥元件的下游壓力條件隔離，且與閥元件接合，來(lái)以保持閥元件在密封位置的方式來(lái)控制閥元件的運(yùn)動(dòng)，直至隔膜的內(nèi)部體積與端口主體(4)的內(nèi)部之間的壓力差移動(dòng)閥元件至開(kāi)放位置。
2.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，除了閥元件以外，所述端口主體還保持手動(dòng)啟動(dòng)的閥(3)。
3.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，具有受限制的流動(dòng)通道的管道限定了流體流出通道的一部分。
4.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，殼體限定了容納上游隔膜的波紋管的波紋管腔，波紋管腔與位于閥元件下游的流體流出通道的一部分連通，以及波紋管被足夠的內(nèi)部壓力密封，以在與流出通道的連通在波紋管腔內(nèi)產(chǎn)生真空條件時(shí)移動(dòng)閥元件至開(kāi)放位置。
5.如權(quán)利要求4所述的設(shè)備，其特征在于，該閥元件包括提升閥，波紋管的膨脹導(dǎo)致栓移動(dòng)提升閥至開(kāi)放位置。
6.一種瓶(1)和閥組件(2)，其用于容納加壓流體，和控制加壓流體從瓶(1)流出，瓶(1)和閥組件(2)包括瓶(1)，其限定瓶開(kāi)口；端口主體(4)，其適于與瓶開(kāi)口的密封接合；流體入口主體(6)，其由端口主體(5)限定，且定位于瓶外部；流體流出通道，其由流體入口端口與流體出口端口之間的閥主體限定；手動(dòng)操作的截止閥(3)，其用于控制流體沿流體流出通道流動(dòng)；以及自動(dòng)閥(11)，其包含偏置到阻止流體沿流體流出通道流動(dòng)的定標(biāo)位置的閥元件以及多個(gè)密封波紋管(7，10)，其中至少一個(gè)密封波紋管沿流體流出通道定位于閥元件的上游，且至少一個(gè)密封波紋管沿流體流出通道定位于閥元件的下游，密封波紋管有可操作地連于閥元件的一部分，當(dāng)波紋管內(nèi)部與外部之間的相對(duì)壓力使波紋管膨脹時(shí)，移動(dòng)閥元件至開(kāi)放的位置，其中，該開(kāi)放位置允許流體沿流體流出途徑流動(dòng)。
7.如權(quán)力要求6所述的設(shè)備，其特征在于，波紋管(7，10)適合于響應(yīng)于波紋管腔內(nèi)的真空條件來(lái)移動(dòng)閥元件至開(kāi)放位置。
8.如權(quán)力要求6所述的設(shè)備，其特征在于，閥元件包括提升閥。
9.一種用于控制加壓流體從包含有毒氫化或者鹵化化合物的加壓箱出口流出的設(shè)備，該設(shè)備包括容器(1)，其用于保持加壓流體至少部分在氣態(tài)；出口端口(4)，其用于從容器(1)釋放加壓氣體；氣體流動(dòng)通道，其至少部分由出口端口(4)限定，以從容器(1)傳送加壓氣體；以及多個(gè)獨(dú)立的調(diào)整裝置(7，10)，至少一個(gè)在閥的上游且至少一個(gè)在閥的下游，其采用沿氣體流動(dòng)通道的至少一部分的受限制的流動(dòng)通道的形式，限制包含在容器(1)里的氣體在大氣壓條件下的流動(dòng)在10至20sccm之間。
10.如權(quán)力要求9所述的設(shè)備，其特征在于，定位于容器內(nèi)部的管道限定流動(dòng)通道的受限制的部分。
11.如權(quán)力要求10所述的設(shè)備，其特征在于，限制管道包括毛細(xì)管(9)，其具有不超過(guò)0.2毫米的內(nèi)部直徑。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于控制來(lái)自加壓容器的出口的加壓流體的流出的設(shè)備，且特別地涉及在容器(1)內(nèi)的用于儲(chǔ)藏和控制從容器(1)出來(lái)的流體或氣體的流動(dòng)的多重流體調(diào)整裝置(7，10)。
文檔編號(hào)F17C13/04GK1666061SQ03815800
公開(kāi)日2005年9月7日 申請(qǐng)日期2003年6月25日 優(yōu)先權(quán)日2002年7月1日
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