專利名稱：化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)及其閥箱設(shè)計的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)(chemical supply system)及其閥箱(valve box)設(shè)計，特別是涉及一種用于制造工廠的多功式(multi-function)的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)及其閥箱設(shè)計。
背景技術(shù)：
通常，集成電路或是半導(dǎo)體元件都需要歷經(jīng)許多的制程步驟才得以完成，而這些制程步驟幾乎都需要使用化學(xué)試劑或是氣體來進(jìn)行。因此一般在半導(dǎo)體工廠中，都會裝設(shè)化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)，利用其管路的配置及操控裝置等元件，將化學(xué)試劑或氣體配送至各制程機(jī)臺，而這些制程機(jī)臺又稱為使用端(point of use，POU)。
一般在多樓層的工廠中，其化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)，是包括設(shè)置在底層樓層的一化學(xué)供應(yīng)裝置，以及分別設(shè)置在其它樓層的化學(xué)供應(yīng)裝置，且每一樓層的化學(xué)供應(yīng)裝置中都各自有其控制單元。藉由底層樓層的化學(xué)供應(yīng)裝置中的控制單元的控制，可配送化學(xué)試劑或氣體至底層樓層的使用端。而其它樓層的化學(xué)供應(yīng)裝置則會藉由其控制單元而從底層樓層的化學(xué)供應(yīng)裝置要求配送所需求的化學(xué)試劑或氣體，然后再將化學(xué)試劑或氣體配送至所在樓層的使用端。特別是，現(xiàn)有習(xí)知的連接于底層樓層的化學(xué)供應(yīng)裝置的主管路會被分支分成多個管路，以供應(yīng)化學(xué)試劑或氣體給底部樓層的使用端以及其它樓層的化學(xué)供應(yīng)裝置，因此當(dāng)需求量暴增時，經(jīng)常會有限流(flowlimitation)或是無法供應(yīng)的情況發(fā)生。而且因每一樓層的化學(xué)供應(yīng)裝置都各自有其控制單元，因此每一樓層的控制系統(tǒng)并未整合在一起，如此對于整個工廠內(nèi)化學(xué)試劑或氣體的供應(yīng)狀態(tài)并無法輕易的掌控。
為了解決上述問題，一種方式是在底層樓層額外裝設(shè)一轉(zhuǎn)換單元(transfer unit)，其中該轉(zhuǎn)換單元內(nèi)具有分別控制每一樓層的化學(xué)供應(yīng)裝置的數(shù)個控制單元，透過該轉(zhuǎn)換單元內(nèi)部的數(shù)個控制單元的操控，可將化學(xué)試劑或是氣體分別配送至各樓層的化學(xué)供應(yīng)裝置，然后每一樓層的化學(xué)供應(yīng)裝置再將化學(xué)試劑或氣體輸送至其使用端。
雖然使用轉(zhuǎn)換單元的方式可以解決限流等問題，但是轉(zhuǎn)換單元的購入?yún)s存在有會使成本大幅增加的缺陷。
另外，一般在配送化學(xué)試劑或是氣體的管路上都會裝設(shè)有閥箱，用以控制輸送至使用端的化學(xué)試劑或是氣體的流量。然而，上述化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)在長期的使用下，經(jīng)常會在管路上發(fā)現(xiàn)有滲出的化學(xué)物或是化學(xué)煙霧(chemicalfume)，特別是在閥箱附近的管路上經(jīng)常會滲出化學(xué)物或是化學(xué)煙霧，如此不但會影響管路的可透視度，而且還可能造成其它設(shè)備元件的污穢。
由此可見，上述現(xiàn)有的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)及其閥箱設(shè)計仍存在有諸多的缺陷，而亟待加以進(jìn)一步改進(jìn)。為了解決化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)及其閥箱設(shè)計存在的問題，相關(guān)廠商莫不費盡心思來謀求解決之道，但長久以來一直未見適用的設(shè)計被發(fā)展完成，而一般產(chǎn)品又沒有適切的結(jié)構(gòu)能夠解決上述問題，此顯然是相關(guān)業(yè)者急欲解決的問題。
有鑒于上述現(xiàn)有的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)及其閥箱設(shè)計存在的缺陷，本發(fā)明人基于從事此類產(chǎn)品設(shè)計制造多年豐富的實務(wù)經(jīng)驗及專業(yè)知識，積極加以研究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設(shè)一種新型的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)及其閥箱設(shè)計，能夠改進(jìn)一般現(xiàn)有的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)及其閥箱設(shè)計，使其更具有實用性。經(jīng)過不斷的研究、設(shè)計，并經(jīng)反復(fù)試作樣品及改進(jìn)后，終于創(chuàng)設(shè)出確具實用價值的本發(fā)明。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，克服現(xiàn)有的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)存在的缺陷，而提供一種新的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)，所要解決的技術(shù)問題是使其可以解決現(xiàn)有習(xí)知的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)在供應(yīng)不同樓層的使用端時，經(jīng)常會有限流或是無法供應(yīng)的問題，從而更加適于實用，且具有產(chǎn)業(yè)上的利用價值。
本發(fā)明的另一目的在于，提供一種化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)，所要解決的技術(shù)問題是使其在不需要增加成本的情況下就可以解決現(xiàn)有技術(shù)存在的問題。
本發(fā)明的再一目的在于，提供一種閥箱設(shè)計，所要解決的技術(shù)問題是使其可以解決管路上經(jīng)常會滲出化學(xué)煙霧，而影響管路可透視度的問題。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題是采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的。依據(jù)本發(fā)明提出的一種化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)，其適用于配送一化學(xué)物至多樓層的多個使用端(point of use，POU)，該化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)包括一第一化學(xué)供應(yīng)裝置，配置在一第一樓層，其中該第一化學(xué)供應(yīng)裝置內(nèi)具有一控制單元；復(fù)數(shù)個主管路，其是與該第一供應(yīng)裝置連通，且其中一該些主管路是用來配送該化學(xué)物至該第一樓層的使用端；以及一第二化學(xué)供應(yīng)裝置，配置在一第二樓層，且另一該些主管路是由該第一化學(xué)供應(yīng)裝置連通至該第二化學(xué)供應(yīng)裝置，藉由該控制單元的控制以使該化學(xué)物能送至該第二化學(xué)供應(yīng)裝置，進(jìn)而配送至該第二樓層的使用端。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實現(xiàn)。
前述的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)，其中所述的第一化學(xué)供應(yīng)裝置中更包括設(shè)計有復(fù)數(shù)個預(yù)留接口(port)，用以額外加裝主管路。
前述的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)，其更包括復(fù)數(shù)個閥箱(valve box)，配置在該第一化學(xué)供應(yīng)裝置與該第一樓層的使用端之間，以及該第二化學(xué)供應(yīng)裝置與該第二樓層的使用端之間，其中每一該些閥箱包括一閥箱主體，該閥箱主體是與對應(yīng)的該化學(xué)供應(yīng)裝置連通，并且與對應(yīng)的該些使用端連通；一排放裝置，其與該閥箱主體連通，用以排放出管路中的污染物；以及一清洗裝置，其是與該閥箱主體連通，用以通入清洗物以凈化管路。
前述的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)，其中所述的清洗裝置包括一空氣清洗裝置，用以通入空氣以凈化管路。
前述的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)，其更包括至少一化學(xué)供應(yīng)裝置，分別配置在該第二樓層以上的各樓層，其中各該些化學(xué)供應(yīng)裝置都分別以分開的主管路與該第一化學(xué)供應(yīng)裝置連通，且藉由該控制單元而從該第一化學(xué)供應(yīng)裝置配送該化學(xué)物至各該些化學(xué)供應(yīng)裝置，進(jìn)而配送該化學(xué)物至各樓層的使用端。
前述的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)，其中所述的化學(xué)物是選自一化學(xué)試劑以及一氣體其中之一。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題還采用以下的技術(shù)方案來實現(xiàn)。依據(jù)本發(fā)明提出的一種閥箱的設(shè)計，其是裝設(shè)在一供應(yīng)端以及復(fù)數(shù)個使用端之間的管路上，該閥箱包括一閥箱主體，該閥箱主體是藉由該管路而與該供應(yīng)端連通并與該些使用端連通；一排放裝置，其是與該閥箱主體連通，用以排放出管路中的污染物；以及一清洗裝置，其是與該閥箱主體連通，用以通入清洗物以凈化管路。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題還可采用以下的技術(shù)措施進(jìn)一步實現(xiàn)。前述的閥箱設(shè)計，其中所述的清洗裝置包括一空氣清洗裝置，用以通入空氣以凈化管路。
本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有明顯的優(yōu)點和有益效果。由以上的技術(shù)方案可知，為了達(dá)到前述發(fā)明目的，本發(fā)明的主要技術(shù)內(nèi)容如下本發(fā)明提出一種化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)，其適用于配送化學(xué)物至多樓層的多個使用端，該化學(xué)物例如是化學(xué)試劑或是氣體，而該化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)是包括一第一化學(xué)供應(yīng)裝置、數(shù)個主管路以及一第二化學(xué)供應(yīng)裝置。其中，第一化學(xué)供應(yīng)裝置是配置在一第一樓層，且第一化學(xué)供應(yīng)裝置內(nèi)具有一控制單元。數(shù)個主管路是與第一化學(xué)供應(yīng)裝置連通，且其中一主管路是用來配送化學(xué)物至第一樓層的使用端。而第二化學(xué)供應(yīng)裝置是配置在一第二樓層，且另一主管路是由第一化學(xué)供應(yīng)裝置連通至第二化學(xué)供應(yīng)裝置，藉由第一化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)中的控制單元的控制以使化學(xué)物能輸送至第二化學(xué)供應(yīng)裝置，進(jìn)而配送至第二樓層的使用端。
本發(fā)明又提出一種閥箱的設(shè)計，其裝設(shè)在一供應(yīng)端以及數(shù)個使用端之間的管路上，該閥箱包括一閥箱主體、一排放裝置以及一清洗裝置。其中，閥箱主體是藉由管路而與供應(yīng)端連通并且與數(shù)個使用端連通。另外，排放裝置是與閥箱主體連通，用以排放出管路及閥箱主體中的污染物。而清洗裝置是與閥箱主體連通，用以通入清洗物以凈化管路及閥箱主體。
由于本發(fā)明的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)是使用多個主管路而分別使各樓層的化學(xué)供應(yīng)裝置與底層樓層的化學(xué)供應(yīng)裝置總相連通，因此可以解決當(dāng)使用量暴增時，會發(fā)生管路限流或是無法供應(yīng)的問題。
本發(fā)明由于僅在底部樓層的化學(xué)供應(yīng)裝置中設(shè)置控制單元，以控制所有樓層的化學(xué)供應(yīng)裝置的供應(yīng)，因此本發(fā)明將所有化學(xué)供應(yīng)裝置的控制系統(tǒng)整合起來，可以易于掌控廠內(nèi)的化學(xué)試劑以及氣體的供應(yīng)狀態(tài)。
本發(fā)明由于在閥箱設(shè)置有排出裝置以及清洗裝置，因此可以使?jié)B出管路的化學(xué)煙霧被排出或清洗掉，進(jìn)而可恢復(fù)管路的可透視度。
經(jīng)由上述可知，借由上述技術(shù)方案，本發(fā)明至少具有下列優(yōu)點1、本發(fā)明的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)可以解決當(dāng)使用量暴增時，會發(fā)生管路限流或是無法供應(yīng)的問題。
2、本發(fā)明將所有化學(xué)供應(yīng)裝置的控制系統(tǒng)整合起來，可以易于掌控廠內(nèi)的化學(xué)試劑以及氣體的供應(yīng)狀態(tài)。
3、本發(fā)明在閥箱設(shè)計有排出裝置以及清洗裝置，而可以使?jié)B出管路的化學(xué)煙霧被排出或清洗掉，進(jìn)而可恢復(fù)管路的可透視度。
綜上所述，本發(fā)明特殊結(jié)構(gòu)的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)及其閥箱設(shè)計，可以解決現(xiàn)有習(xí)知的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)在供應(yīng)不同樓層的使用端時，經(jīng)常會有限流或是無法供應(yīng)的問題，從而更加適于實用，且具有產(chǎn)業(yè)上的利用價值；其在不需要增加成本的情況下就可以解決現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，且可以解決管路上經(jīng)常會滲出化學(xué)煙霧，而影響管路可透視度的問題。其具有上述諸多的優(yōu)點及實用價值，并在同類產(chǎn)品中未見有類似結(jié)構(gòu)設(shè)計公開發(fā)表或使用而確屬創(chuàng)新，其不論在結(jié)構(gòu)上或功能上皆有較大改進(jìn)，在技術(shù)上有較大進(jìn)步，并產(chǎn)生了好用及實用的效果，且較現(xiàn)有的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)及其閥箱設(shè)計具有增進(jìn)的多項功效，從而更加適于實用，而具有產(chǎn)業(yè)的廣泛利用價值，誠為一新穎、進(jìn)步、實用的新設(shè)計。
上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，并可依照說明書的內(nèi)容予以實施，以下以本發(fā)明的較佳實施例并配合附圖詳細(xì)說明如后。


圖1是依照本發(fā)明一較佳實施例的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)的示意圖。
圖2是依照本發(fā)明一較佳實例的閥箱的設(shè)計的示意圖。
100、200、300化學(xué)供應(yīng)裝置 102控制單元
104、204、304；閥箱 106a、106b使用端110a、110b、110c主管路112；預(yù)留接口206a、206b使用端 306a、306b使用端406a、406b使用端 400供應(yīng)端402管路 404閥箱主體408排出裝置 410清洗裝置具體實施方式
以下結(jié)合附圖及較佳實施例，對依據(jù)本發(fā)明提出的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)及其閥箱設(shè)計其具體實施方式
、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細(xì)說明如后。
為了解決現(xiàn)有技術(shù)中用于多樓層的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)經(jīng)常會發(fā)生限流或無法供應(yīng)的情形，因此本發(fā)明提出新型結(jié)構(gòu)的一種化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)，其是使用多個主管路來配送化學(xué)物至不同樓層，其中該化學(xué)物例如是化學(xué)試劑或氣體，以解決現(xiàn)有技術(shù)中將主管路分支成多個管路以供應(yīng)化學(xué)試劑或氣體至不同樓層時，經(jīng)常會發(fā)生限流或無法供應(yīng)的問題。
請參閱圖1所示，是依照本發(fā)明一較佳實施例的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)的示意圖。本發(fā)明的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)，是適用于配送化學(xué)物至多樓層的多個使用端(point of use，POU)，其中，該化學(xué)物例如是化學(xué)試劑或是氣體，而這些使用端包括配置在第一樓層的使用端106a、106b，配置在第二樓層的使用端206a、206b，甚至是其它樓層的使用端306a、306b。倘若本發(fā)明的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)是應(yīng)用在一半導(dǎo)體工廠中，則上述的使用端例如是蝕刻機(jī)臺或是沉積機(jī)臺等制程機(jī)臺。
本發(fā)明所提出的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)，是包括配置在第一樓層的化學(xué)供應(yīng)裝置100、配置在第二樓層的化學(xué)供應(yīng)裝置200、配置在其它樓層(例如是第N樓層)的化學(xué)供應(yīng)裝置300以及數(shù)個主管路110a、110b、110c。除此之外，本發(fā)明的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)更包括在各樓層的管路上配置有閥箱104、204、304。
其中，配置在第一樓層的化學(xué)供應(yīng)裝置100中具有一控制單元102，該控制單元系用來控制工廠中所有樓層的化學(xué)試劑或是氣體的供應(yīng)。而在化學(xué)供應(yīng)裝置100中包括了加壓單元(pump)等現(xiàn)有習(xí)知常用的裝置單元。而數(shù)個主管路110a、110b、110c都與化學(xué)供應(yīng)裝置100連通，其中該主管路110a是用來配送化學(xué)試劑或是氣體至第一樓層的使用端106a、106b，且在化學(xué)供應(yīng)裝置100與使用端106a、106b之間的主管路110a上更包括配置有閥箱104，用以控制化學(xué)試劑或是氣體配送至各使用端106a、106b的供應(yīng)量。
而另一主管路110b是連接于化學(xué)供應(yīng)裝置100以及第二樓層的化學(xué)供應(yīng)裝置200之間，藉由控制單元102的控制，化學(xué)試劑或是氣體會從化學(xué)供應(yīng)裝置100經(jīng)主管路110b配送至第二樓層的化學(xué)供應(yīng)裝置200中，之后才由化學(xué)供應(yīng)裝置200輸送化學(xué)試劑或是氣體至第二樓層的使用端206a、206b，同樣的，在化學(xué)供應(yīng)裝置200與使用端206a、206b之間的管路上更包括配置有一閥箱204，用以控制化學(xué)試劑或是氣體配送至各使用端206a、206b的供應(yīng)量。當(dāng)然，化學(xué)供應(yīng)裝置200中亦包括加壓單元等現(xiàn)有習(xí)知常用的裝置單元。
因此，本發(fā)明由于在化學(xué)供應(yīng)裝置100中就以分開的主管路110a、110b配送化學(xué)試劑或氣體至第一樓層以及第二樓層的使用端106a、106b、206a、206b，因此可以解決現(xiàn)有技術(shù)中將主管路分支成數(shù)個管路以配送化學(xué)試劑或氣體至各樓層時，經(jīng)常會發(fā)生限流或是無法供應(yīng)的情形。而且，本發(fā)明將每一樓層的化學(xué)供應(yīng)裝置的控制系統(tǒng)整合在一起，由單一控制單元102來控制每一樓層的化學(xué)試劑或氣體的供應(yīng)狀態(tài)，而可以使整個工廠內(nèi)的化學(xué)試劑或氣體的供應(yīng)狀態(tài)較易于掌控。
倘若本發(fā)明的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)是應(yīng)用在兩層樓以上的工廠時，則在第一樓層的化學(xué)供應(yīng)裝置100上更連接有另一主管路110c，用以與第N樓層的化學(xué)供應(yīng)裝置300連通。同樣的，藉由控制單元102的控制，化學(xué)試劑或是氣體會從化學(xué)供應(yīng)裝置100經(jīng)由主管路110c配送至第N樓層的化學(xué)供應(yīng)裝置300中，之后才由化學(xué)供應(yīng)裝置300輸送化學(xué)試劑或是氣體至第N樓層的使用端306a、306b。而且，在化學(xué)供應(yīng)裝置300與使用端306a、306b之間的管路上亦包括配置有一閥箱304，用以控制化學(xué)試劑或是氣體配送至各使用端306a、306b的供應(yīng)量。當(dāng)然，化學(xué)供應(yīng)裝置300中亦包括加壓單元等現(xiàn)有習(xí)知常用的裝置單元。
特別值得一提的是，在化學(xué)供應(yīng)裝置100上更包括配置有數(shù)個預(yù)留接口112，其是提供額外的主管路接口，以因應(yīng)當(dāng)某一樓層化學(xué)試劑或是氣體使用量增加時可額外加裝主管路，以滿足該樓層的需求。當(dāng)然，該預(yù)留接口112亦可以預(yù)留于工廠增建樓層時，可提供給供應(yīng)給連接至其它樓層的主管路使用。
除此之外，在本發(fā)明的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)中，每一樓層的化學(xué)供應(yīng)裝置以及使用端之間的管路上都會配置有閥箱(如圖1所標(biāo)示的104、204、206)，用以控制配送至各使用端的化學(xué)試劑或是氣體的量。由于化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)在長期的使用下，經(jīng)常會在管路上發(fā)現(xiàn)有滲出的化學(xué)物或是化學(xué)煙霧(chemicalfume)，特別是在閥箱附近的管路上經(jīng)常會滲出化學(xué)物或是化學(xué)煙霧，其不但會影響管路的可透視度，而且還可能造成其它設(shè)備元件的污穢。因此本發(fā)明又特別提出一種閥箱的設(shè)計，以解決上述的問題。
請參閱圖2所示，本發(fā)明的閥箱是裝設(shè)在一供應(yīng)端400以及數(shù)個使用端406a、406b之間的管路402上，在該供應(yīng)端400例如是圖1的化學(xué)供應(yīng)裝置100、200或300，而使用端406a、406b例如是各制程機(jī)臺。該閥箱包括一閥箱主體404、一排放裝置408以及一清洗裝置410。其中閥箱主體404是藉由管路402而與供應(yīng)端400連通并且與使用端連通406a、406b。而排放裝置408是與閥箱主體連通，用以排放出閥箱主體404與管路402中的污染物。而清洗裝置410是與閥箱主體404連通，用以通入清洗物以凈化閥箱主體404與管路402，當(dāng)然通入的清洗物亦會從排放裝置408排放出。在一較佳實施例中，清洗裝置410例如是一空氣清洗(air purge)裝置，藉由通入干凈的空氣至閥箱主體404以及管路402內(nèi)，以清除滲出的化學(xué)物或化學(xué)煙霧，進(jìn)而改善管路的可透視度并避免設(shè)備元件污穢。
上述的閥箱設(shè)計并非限定只能在用本發(fā)明的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)中其它種類的供應(yīng)系統(tǒng)或是配送系統(tǒng)，只要會使用到閥箱的系統(tǒng)，皆可以使用本發(fā)明的閥箱。
以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實施例而已，并非對本發(fā)明作任何形式上的限制，雖然本發(fā)明已以較佳實施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動或修飾為等同變化的等效實施例，但凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)，其是適用于配送一化學(xué)物至多樓層的多個使用端(point of use，POU)，其特征在于該化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)包括一第一化學(xué)供應(yīng)裝置，配置在一第一樓層，其中該第一化學(xué)供應(yīng)裝置內(nèi)具有一控制單元；復(fù)數(shù)個主管路，其是與該第一供應(yīng)裝置連通，且其中一該些主管路是用來配送該化學(xué)物至該第一樓層的使用端；以及一第二化學(xué)供應(yīng)裝置，配置在一第二樓層，且另一該些主管路是由該第一化學(xué)供應(yīng)裝置連通至該第二化學(xué)供應(yīng)裝置，藉由該控制單元的控制以使該化學(xué)物能送至該第二化學(xué)供應(yīng)裝置，進(jìn)而配送至該第二樓層的使用端。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于其中所述的第一化學(xué)供應(yīng)裝置中更包括設(shè)計有復(fù)數(shù)個預(yù)留接口(port)，用以額外加裝主管路。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于其更包括復(fù)數(shù)個閥箱(valve box)，配置在該第一化學(xué)供應(yīng)裝置與該第一樓層的使用端之間，以及該第二化學(xué)供應(yīng)裝置與該第二樓層的使用端之間，其中每一該些閥箱包括一閥箱主體，該閥箱主體是與對應(yīng)的該化學(xué)供應(yīng)裝置連通，并且與對應(yīng)的該些使用端連通；一排放裝置，其是與該閥箱主體連通，用以排放出管路中的污染物；以及一清洗裝置，其是與該閥箱主體連通，用以通入清洗物以凈化管路。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于其中所述的清洗裝置包括一空氣清洗裝置，用以通入空氣以凈化管路。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于其更包括至少一化學(xué)供應(yīng)裝置，分別配置在該第二樓層以上的各樓層，其中各該些化學(xué)供應(yīng)裝置都分別以分開的主管路與該第一化學(xué)供應(yīng)裝置連通，且藉由該控制單元而從該第一化學(xué)供應(yīng)裝置配送該化學(xué)物至各該些化學(xué)供應(yīng)裝置，進(jìn)而配送該化學(xué)物至各樓層的使用端。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于其中所述的化學(xué)物是選自一化學(xué)試劑以及一氣體其中之一。
7.一種閥箱的設(shè)計，其是裝設(shè)在一供應(yīng)端以及復(fù)數(shù)個使用端之間的管路上，其特征在于該閥箱包括一閥箱主體，該閥箱主體是藉由該管路而與該供應(yīng)端連通并與該些使用端連通；一排放裝置，其是與該閥箱主體連通，用以排放出管路中的污染物；以及一清洗裝置，其是與該閥箱主體連通，用以通入清洗物以凈化管路。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的閥箱設(shè)計，其特征在于其中所述的清洗裝置包括一空氣清洗裝置，用以通入空氣以凈化管路。
全文摘要
本發(fā)明是關(guān)于一種化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)及其閥箱設(shè)計，該化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)，包括一第一化學(xué)供應(yīng)裝置、數(shù)個主管路以及一第二化學(xué)供應(yīng)裝置。其中，第一化學(xué)供應(yīng)裝置是配置在一第一樓層，且該第一化學(xué)供應(yīng)裝置內(nèi)具有一控制單元。數(shù)個主管路是與第一供應(yīng)裝置連通，且其中一主管路是用來配送化學(xué)物至第一樓層的使用端。而第二化學(xué)供應(yīng)裝置是配置在一第二樓層，且另一主管路是由第一化學(xué)供應(yīng)裝置連通至第二化學(xué)供應(yīng)裝置，以配送化學(xué)物至第二樓層的使用端。本發(fā)明使用多個主管路以配送化學(xué)試劑或氣體，因此可以解決管路限流的問題。
文檔編號F17D1/00GK1609501SQ20031010160
公開日2005年4月27日 申請日期2003年10月21日 優(yōu)先權(quán)日2003年10月21日
發(fā)明者洪錫焜, 徐乾智 申請人:旺宏電子股份有限公司