專利名稱：低蒸汽壓力的高純度氣體輸送系統(tǒng)的制作方法
低蒸汽壓力的高純度氣體輸送系統(tǒng)
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明通常涉及從輸送容器內(nèi)有效地輸送低蒸汽壓力的高純度氣
體。更具體地說，本發(fā)明涉及用于從若干加熱的供給容器內(nèi)高效地輸送低蒸 汽壓力的高純度氣體的方法和設(shè)備。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體、LCD、 LED和太陽能電池的制造廠通常要求供給汽相的、 高純度或超高純度且高流量的非空氣氣體，同時(shí)具備以不連續(xù)的氣流型態(tài)供 給汽相氣體的能力。在這些氣體中低揮發(fā)性污染物的存在(即比非空氣氣體 更不易揮發(fā)的污染物)是特別不可取的，因?yàn)樗鼈兛梢猿练e在產(chǎn)品的基板上 并且使產(chǎn)品性能退化，或者以其它方式對產(chǎn)品性能產(chǎn)生不利影響。例如，水， 它是一種常見的低揮發(fā)性的氨污染物，它可以沉積在LED藍(lán)寶石基板上，從 而導(dǎo)致LED的亮度降低以及良率損失。對于此類應(yīng)用，氨中的汽相水分超過 lppb(十億分之一)就可能對制造過程不利，由此損害所制造的產(chǎn)品。 許多非空氣氣體以液體或蒸汽/液體混合物的形式運(yùn)輸及存儲(chǔ)。這 些氣體被稱為低蒸汽壓力氣體并且包括，例如，氨、氯化氬、二氣化碳和二 氯硅烷。低蒸汽壓力氣體通常具有小于約1500磅/平方英寸的蒸汽壓力，溫度約為70。F。根據(jù)已知的方法，因?yàn)榈驼羝麎毫怏w以液體或蒸汽/液體混合 物的形式供給，于是需要一種用于加熱/煮沸這些氣體的裝置以使汽相產(chǎn)物可 供給到理想的最終用途，例如，半導(dǎo)體、LED、 LCD或太陽能電池的制造工 藝。這種煮沸一般通過將熱供給供給容器的外壁而實(shí)現(xiàn)，如美國專利 6,025,576或6,614,412所描述的。在這樣的系統(tǒng)中，汽相的低蒸汽壓力氣體 從供給容器退出。充足的熱量用于煮沸液相的低蒸汽壓力氣體，同時(shí)汽相的 低蒸汽壓力氣體從供給容器退出，由此在理論上保持了供給容器的壓力。 美國專利6,614,009揭露了一種系統(tǒng)構(gòu)造，依靠此系統(tǒng)構(gòu)造汽相的、 低蒸汽壓力氣體從大型加熱的輸送容器(如重箱)退出，所迷輸送容器包括 永久設(shè)置的加熱器。優(yōu)選設(shè)置這些加熱器以便盡量減少在最低預(yù)期液位上的 直接加熱而使純度最大化。然而，'009專利并沒有描述通過讓供給容器保持 在使用中直到水分含量超過一定數(shù)值而使低蒸汽壓力氣體的利用達(dá)到最大化 的裝置。 美國專利6,581，412描述了一種系統(tǒng)，依靠此系統(tǒng)使汽相的、低蒸 汽壓力氣體自加熱的輸送容器退出，所述輸送容器使用與其相連的加熱器。 該專利描述了 一種用于控制供給容器內(nèi)液化壓縮氣體的溫度的方法，該方法 包括將溫度測量裝置設(shè)置在所迷壓縮氣體供給容器的壁上，監(jiān)測所述供給 容器的溫度并控制加熱裝置加熱所述供給容器內(nèi)的液化氣體。然而，'412專 利并沒有描述一種識(shí)別適當(dāng)時(shí)間的裝置以使供給容器退出使用。 根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，本發(fā)明提供一種用于獎(jiǎng)汽相流體輸送給期望的 最終用途的方法和設(shè)備，其中監(jiān)測所述系統(tǒng)的狀況以確定何時(shí)水含量或供給 容器的表面溫度超過給定值，或何時(shí)低蒸汽壓力流體壓力降至給定值之下， 以便通過中止來自第一供給容器的蒸汽流和開啟來自第二供給容器的蒸汽流 而使所述第 一供給容器退出使用。此現(xiàn)象發(fā)生的液位優(yōu)選靠近由所述加熱器 的上邊緣確定的平面。 在另一個(gè)實(shí)施例中，本發(fā)明提供一種用以從容器輸送在壓力下的 汽相流體的方法，所述方法包括下列步驟提供至少第一和第二容器，每個(gè)
容器具有容器壁，所述第一和第二容器內(nèi)舍有一定數(shù)量的流體，并且提供至 少一個(gè)與所述笫一容器壁相連的加熱器和至少一個(gè)與所述第二容器壁相連的
加熱器。每個(gè)容器在投入使用前視需要被加熱以達(dá)到預(yù)定壓力。提供至少一 個(gè)與所述加熱器相連的加熱控制器，其用以控制傳給所述第一和第二容器壁 及包含在所述第 一和第二容器內(nèi)的液相流體的熱量。提供一個(gè)用以監(jiān)測所述第一和第二容器內(nèi)的選自汽相流體壓力、容器壁溫和汽相流體水含量的一個(gè) 狀況的裝置來監(jiān)測所述第一和第二容器內(nèi)的選自汽相流體壓力、容器壁溫和 汽相流體水含量的狀況，以確定所迷第一和第二容器內(nèi)的關(guān)鍵液位。提供與 所述裝置相連的第二控制器和至少一個(gè)具有開/關(guān)位置的閥門。所述閥門把來 自所述容器的流體用于最終用途，當(dāng)所述關(guān)鍵液位到達(dá)容器內(nèi)的預(yù)定水平并 打開閥門使汽相流體從第二容器流到最終用途時(shí)，所述第二控制器激活所述 閥門的開/關(guān)位置并且激活所述閥門到關(guān)閉位置。 在又一個(gè)實(shí)施例中，本發(fā)明提供一種用以有效地輸送汽相流體到 最終用途的設(shè)備和系統(tǒng)。所述設(shè)備包括至少一個(gè)第一和第二容器，每個(gè)容器 具有容器壁，且每個(gè)容器包含一定數(shù)量的液相流體。 一個(gè)加熱器與所述笫一 和笫二容器相連。 一個(gè)加熱控制器與所述加熱器相連，所述加熱控制器控制 傳給所述第一和第二容器以及包含在所述第一和第二容器內(nèi)的液相流體的熱 量。 一個(gè)用以監(jiān)測選自所述第一和第二容器內(nèi)的汽相流體壓力、容器壁溫、 汽相流體水含量的 一個(gè)狀況的裝置與所述汽相流體相連。 一個(gè)第二控制器與 所述裝置相連，還有一個(gè)具有開/關(guān)位置的閥門。所述閥門把來自所迷容器的 流體用于最終用途，當(dāng)所述關(guān)鍵液位到達(dá)預(yù)定水平并打開閥門使汽相流體從 第二容器流到最終用途時(shí)，所述第二控制器激活所述閥門的開/關(guān)位置到關(guān)閉 位置。


本領(lǐng)域的一般技術(shù)人員將從下述優(yōu)選實(shí)施例的說明和所附圖示中 了解到其它目的、特征、實(shí)施例和益處，其中 圖la和lb是傳統(tǒng)供給容器系統(tǒng)的橫截面圖，所述傳統(tǒng)供給容器 系統(tǒng)的加熱功能設(shè)置在鄰近容器外壁的位置。
圖2是描繪蒸汽壓力隨容器內(nèi)液位相對于加熱元件變化的圖表。
圖3是描繪容器壁溫隨液位相對于加熱元件變化的圖表。
圖5是傳統(tǒng)的低蒸汽壓力流體供給系統(tǒng)的示意圖。
圖6-8是本發(fā)明低蒸汽壓力流體供給系統(tǒng)的優(yōu)選實(shí)施例的示意圖。具體實(shí)施例
于2006年6月28日提交的共同待決和轉(zhuǎn)讓的美國專利申請 11/476,042，根據(jù)其某些實(shí)施例，描述了一種用于將加熱器連接到含有低蒸 汽壓力氣體的供給容器的較低部分的裝置。該申請敘述了已知的低蒸汽壓力 氣體供給系統(tǒng)可產(chǎn)生"熱點(diǎn)"和劇烈的低蒸汽壓力氣體沸騰，這可導(dǎo)致污染 物輸送給客戶。該申請還一步描述了由于筒單的汽相/液相平衡的水分積聚， 以及，由于這種基于水分積聚的平衡，部分低蒸汽壓力氣體必須被丟棄(通 常是10%-20% ) 所述共同待決和轉(zhuǎn)讓的美國專利申請的內(nèi)容全部納入此處 以作參考，就象成為本申請的一部分一樣。 因此，在已知的系統(tǒng)中，供給容器可能過早(即在上述挑戰(zhàn)開始 之前)或過晚(在供給容器壁溫、水位已超過允許界限之后)退出使用。如 果所述供給容器過早退出使用， 一些可利用的低蒸汽壓力氣體將被浪費(fèi)。如 果所述供給容器過晚退出使用，其中一個(gè)關(guān)鍵參數(shù)可能超過允許界限。例如， 水位可能變得過高，這將對半導(dǎo)體、LED、 LCD或太陽能電池的制造過程產(chǎn) 生不利影響，從而導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量差或產(chǎn)品損失。允許水位超過允許界限也將 增加供給容器下游氨凈化的成本，在那些下游位置氨凈化系統(tǒng)被使用。 根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，本發(fā)明的系統(tǒng)和儀器認(rèn)識(shí)并利用這些 變化以最大限度地提高低蒸汽壓力產(chǎn)物的利用，而不會(huì)對半導(dǎo)體、LCD、 LED 或太陽能電池的制造過程造成不利影響。
對于傳統(tǒng)的低蒸汽壓力氣體供給系統(tǒng)而言，很難始終如一地滿足 半導(dǎo)體、LED、 LCD和太陽能電池制造廠的要求。例如，當(dāng)相當(dāng)一部分熱量 施于供給容器壁不與液相低蒸汽壓力氣體接觸的那部分時(shí)，傳熱變得無效。 實(shí)驗(yàn)的進(jìn)行用以確定當(dāng)液位下降導(dǎo)致供給容器壁與液相氨接觸的部分下降時(shí) 傳熱給液相氨的能力。雖然為說明目的選擇氨，但本發(fā)明的方法和儀器還在 各種氣體的處理方面具有顯著優(yōu)勢，這些氣體包括但并不限于三氯化硼、二 氧化碳、氯、二氯硅烷、面烴、溴化氫、氯化氫、氟化氫、甲基硅烷、氧化 亞氮、三氟化氮、三氯硅烷和它們的混合物。如圖l所示，汽相氨以恒定的 速率通過管道4和13從供給容器內(nèi)取出。為補(bǔ)充取出的蒸汽和維持供給容器 的壓力，熱通過表面安裝的加熱器3和12施于供給容器的外部、底部表面。 傳熱給液相氨的能力通過使用壓力測量裝置6和15監(jiān)測容器壓力而確定。如 果傳熱是無效的，供給容器的壓力將下降。 圖2顯示的是測量的壓力和液位(x軸正值表示液位高于加熱器， 反之亦然)的關(guān)系。請注意，當(dāng)液位高于加熱器，供給容器的壓力通常是持 續(xù)不變的(傳熱有效)。當(dāng)液位接近加熱器，供給容器的壓力不是持續(xù)不變的 (傳熱無效)。因此，在一些被稱為"關(guān)鍵壓力液位"的液位，供給容器的壓 力將不再是可持續(xù)的。這一關(guān)鍵壓力液位將隨系統(tǒng)不同而不同并且取決于許 多變數(shù)，如出氣率、加熱器構(gòu)造、加熱器溫度及加熱器和供給容器壁之間接 觸的密切度。所述關(guān)鍵壓力液位可能低于液位達(dá)到加熱器水平的那一點(diǎn)，雖 然如圖2所示，它也可能超出加熱器水平。
所述關(guān)鍵液位也將隨所基于的系統(tǒng)不同而不同，例如，出氣率、 加熱器構(gòu)造、加熱器溫度及加熱器和供給容器壁之間接觸的密切度。例如， 在低出氣率時(shí)，所述關(guān)鍵壓力液位將低于高出氣率時(shí)的，因?yàn)楸３止┙o容器 壓力必須的加熱器面積在低出氣率時(shí)較小。 當(dāng)熱量的相當(dāng)一部分施于供給容器壁不與液相低蒸汽壓力氣體接 觸的那部分時(shí)，供給容器的壁溫可能局部高出設(shè)計(jì)極限。實(shí)驗(yàn)的進(jìn)行用以確 定液位對供給容器壁溫的影響。結(jié)果顯示在圖3(x軸正值表明液位高于加熱 器> 反之亦然)中。確定的是，當(dāng)液位降至關(guān)鍵溫度液位之下，在供給容器壁不與液相低蒸汽壓力氣體接觸的那部分，供給容器的壁溫開始增加。供給 容器的設(shè)計(jì)使其接近環(huán)境溫度運(yùn)作，并且供給容器通常具有一個(gè)非常低的最
大允許工作溫度。 一個(gè)典型的最大允許工作溫度約為125°F。在超出最大允 許工作溫度的溫度下運(yùn)作是一個(gè)安全問題，并可能導(dǎo)致容器故障。如圖3所 示，當(dāng)液位降至關(guān)鍵溫度液位之下時(shí)溫度接近這個(gè)溫度極限。關(guān)鍵溫度液位 (-0.7英寸，液位低于加熱器)不同于關(guān)鍵壓力液位(0.35英寸，液位高于 加熱器)。 當(dāng)熱量的相當(dāng) 一部分施于供給容器壁不與液相低蒸汽壓力氣體接 觸的那部分時(shí)，汽相的低揮發(fā)性污染物舍量基本超過平均值。因?yàn)樗麄儾蝗?易蒸發(fā)，當(dāng)汽相低蒸汽壓力氣體退出供給容器時(shí)，低揮發(fā)性污染物優(yōu)先以液 相狀態(tài)保留。因此，正如上文所述，氣液相中的低揮發(fā)性污染物的含量隨時(shí) 間推移而增大。 由這一現(xiàn)象引起的低揮發(fā)性污染物含量被稱為污染物平均值。實(shí) 驗(yàn)的進(jìn)行用以確定在液位下降導(dǎo)致與液相氨接觸的供給容器部分下降時(shí)自供 給容器退出的氨蒸汽中觀測到的低揮發(fā)性污染物含量。在這些實(shí)驗(yàn)中，低揮 發(fā)性污染物是水。相關(guān)結(jié)果顯示在圖4中。請注意，當(dāng)液位下降時(shí)觀測到的 水含量反映預(yù)計(jì)的平均含量，直到達(dá)到關(guān)鍵水液位。在那個(gè)關(guān)鍵水液位，水 含量基本超過預(yù)測的平衡值。對于這些實(shí)驗(yàn)，當(dāng)液位約降至基本相當(dāng)于加熱 器水平的位置時(shí)關(guān)鍵水液位就會(huì)出現(xiàn)。 此外，日前已知的方法和系統(tǒng)未能描述一種通過保持供給容器在 使用中直到水分含量、壁溫或壓力超過一定數(shù)值從而最大限度地提高低蒸汽 壓力氣體的利用的裝置，也未能進(jìn)一步提供進(jìn)一種確定適當(dāng)?shù)臅r(shí)間以使供給
11容器退出使用的裝置。 當(dāng)水含量或供給容器表面溫度超過給定值時(shí)，或當(dāng)?shù)驼羝麎毫α?體壓力降至給定值之下時(shí)，通過中止來自第一供給容器的蒸汽流和開啟來自 第二供給容器的蒸汽流使供給容器退出使用。此現(xiàn)象發(fā)生的液位靠近由加熱 器的上邊緣確定的平面。 根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，本發(fā)明提供一種最大限度地提高低蒸汽壓力氣 體的利用而又不會(huì)將供給容器壓力降低、供給容器過熱或高水位產(chǎn)物輸送給 半導(dǎo)體、LCD、 LED或太陽能電池制造廠的裝置。供給容器過熱是一個(gè)關(guān)于 安全操作的問題。壓力降低和高水位是一個(gè)關(guān)于半導(dǎo)體、LCD、 LED或太陽 能電池產(chǎn)量的問題。 圖5描述的是傳統(tǒng)的低蒸汽壓力流體供給的構(gòu)造。 一般而言，該 系統(tǒng)的目的在于將包含在供給容器內(nèi)的液相或兩相低蒸汽壓力流體輸送給半 導(dǎo)體、LED、 LCD或太陽能電池的制造設(shè)備，并將其轉(zhuǎn)換成汽相低蒸汽壓力 流體。包含例如汽相和液相氨的供給容器20和30平行安裝以便當(dāng)一個(gè)容器 耗盡時(shí)，其它容器可投入使用而不會(huì)中斷對半導(dǎo)體、LED、 LCD或太陽能電 池制造廠的供給。汽相氨通過管道21或31從任何一個(gè)使用中的容器退出。 然后汽相氨被轉(zhuǎn)移到氣體操控板40,該氣體操控板在汽相氨通過管道41輸 送給半導(dǎo)體、LED、 LCD或太陽能電池制造設(shè)備之前控制氨的壓力和溫度。 當(dāng)汽相氨從供給容器20或30退出時(shí)，通過使用一個(gè)或多個(gè)加熱 器系統(tǒng)22和32及一個(gè)封閉循環(huán)加熱器控制裝置來保持供給容器壓力。通常， 壓力傳感器23或33監(jiān)測供給容器壓力并把信號(hào)發(fā)送給可編程邏輯控制器24 或34，在可編程邏輯控制器處信號(hào)與設(shè)定值對比?；谶@些數(shù)值之間的差異， 對從加熱器系統(tǒng)22或32輸送給供給容器20或30的能量進(jìn)行調(diào)整。這有利 于氨的蒸發(fā)以維持所需的供給容器壓力。 盡管許多加熱器類型可以采用，4旦是一個(gè)普遍的加熱器類型是一 種硅橡膠毯式加熱器。這種硅橡膠毯式加熱器可以各種不同的方式貼在容器 上。 一個(gè)典型的硅橡膠加熱器可從華特隆電氣制造公司(St. Louis,MO)獲得。優(yōu)選安裝加熱器以便其熱量均勻分布到容器的底部，從而容器上的加熱器不 會(huì)上升到過高的溫度。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，采用了一種用以中止來自 容器的流體的方法。如果容器上的加熱器上升到過高的溫度，相當(dāng)一部分氨
將被浪費(fèi)掉。加熱器通常覆蓋容器圓周的約5%到約50%,優(yōu)選覆蓋容器圓 周的約10%到約40%且最好是容器圓周的約20%到約35%。硅橡膠加熱器 通常運(yùn)行于約100到約500。F的溫度范圍，優(yōu)選約120到約300。F的溫度范 圍且最好是約130到約200。F的溫度范圍。這樣一種加熱構(gòu)造優(yōu)選與許多供 給容器類型一起使用。例如，可以使用一種水平安裝的Y型氣缸，其最初包 含大約500磅的氨。 氨從供給容器20或30中退出，直到質(zhì)量保持下降到初始含量的 約10%到約30%。當(dāng)達(dá)到這個(gè)含量時(shí)，供給容器退出使用，并且被稱為后跟 的剩余液體被丟棄。后跟在具有比氨更低的蒸汽壓力的污染物中富集化，例 如水。 本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例在圖6、 7和8中加以描述。正如前面所述， 根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，本系統(tǒng)和設(shè)備確定供給容器20或30應(yīng)該退出使用的 時(shí)刻。更具體地說，圖6描述了一種根據(jù)壓力確定供給容器20或30應(yīng)該退 出使用的時(shí)刻的裝置。每個(gè)供給容器20和30的出口處的壓力分別通過壓力 傳感器23和33來監(jiān)測。該壓力通常保持在從約50到約250磅/平方英寸的 范圍內(nèi)，優(yōu)選從約100到約200磅/平方英寸的范圍內(nèi)，且最好是從約120到 約180磅/平方英寸的范圍內(nèi)。當(dāng)供給容器20或30的液體含量降至不能保持 預(yù)期壓力的水平并且降至一些預(yù)定值之下時(shí)，控制器64將通過關(guān)閉閥門25 或閥門35促使來自使用中的供給容器的蒸汽流停止，關(guān)閉閥門25還是閥門 35取決于在使用的是哪個(gè)供給容器。壓力轉(zhuǎn)換通常發(fā)生在壓力下降了從約1 到約100磅/平方英寸的一個(gè)數(shù)值時(shí)，優(yōu)選在壓力下降了從約5到約50磅/平 方英寸的一個(gè)數(shù)值時(shí)，且最好是在壓力下降了從約5到約20磅/平方英寸的 一個(gè)數(shù)值時(shí)。然后通過打開閥門25或35開啟來自不在使用中的供給容器的 流體。 圖8描述的是一種根據(jù)水含量確定供給容器20或30應(yīng)該退出使 用的時(shí)刻的裝置。每個(gè)供給容器20和30的出口處的水含量通過濕度分析器 80來監(jiān)測。水含量通常是在約0.001到約10 ppm的范圍內(nèi)，優(yōu)選在約0.01 到約5ppm的范圍內(nèi)，且最好是在約0.1到約2 ppm的范圍內(nèi)。當(dāng)供給容器 20或30的液體含量降至水含量增加超過由氣/液平衡預(yù)測的數(shù)值的水平時(shí)，
停止，關(guān)閉閥門25還是閥門35取決于在使用的是哪個(gè)供給容器。然后通過 打開閥門25或35開啟來自不在使用中的供給容器的流體。 所提及的控制裝置可適用于任何大小的容器，如T型氣缸、Y型 氣缸(噸集裝箱)或ISO集裝箱、管道拖車或罐車，所述容器包含有任何期 望的液體或兩相低蒸汽壓力氣體，如氨，由此產(chǎn)生汽相的低蒸汽壓力氣體流。 例如，噸集裝箱通常呈水平設(shè)置并由4130X合金鋼制成且可包含，例如，最 大容量510磅的氨。容器可以是預(yù)填和自足的，或者可以裝滿氣體輸送系統(tǒng) 領(lǐng)域的一般技術(shù)人員所容易理解的來源 許多加熱器類型可用于傳熱給較大的容器。最常見的是電阻加熱 器，包括毯式加熱器、加熱爐、電纜和線圖、帶式加熱器和電熱絲。加熱器 優(yōu)選安裝在容器的較低部分且加熱器控制器優(yōu)選控制傳給低蒸汽壓力氣體的 熱量以保持蒸汽輸出。其它可能有用的熱水器類型包括，例如，浴室加熱器、 感應(yīng)加熱器、包含傳熱介質(zhì)(例如，硅油)的熱交換器等。
離開第二容器的汽相低蒸汽壓力非空氣氣體可通過，如吸附、過 濾或蒸餾方式進(jìn)一步凈化，從而進(jìn)一步提高純度度?？蛇M(jìn)一步預(yù)想的是氣流 可能會(huì)被送到除霧器以去除任何由于劇烈沸騰從供給容器轉(zhuǎn)入的液相低蒸汽 壓力氣體液滴。這些液滴將由除霧器收集，并可能通過適當(dāng)?shù)妮斔凸ぞ叻祷?到供給容器，例如，通過重力。 盡管已對本發(fā)明的具體實(shí)施例作了詳細(xì)說明，但對本領(lǐng)域的一般 技術(shù)人員而言各種變型、修改和替換將是顯而易見的，并且這些等同物未離 開且意圖包含在本發(fā)明的權(quán)利要求范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1、一種用以從容器輸送在壓力下的汽相流體的方法，所述方法包括下列步驟提供至少第一和第二容器，所述第一和第二容器內(nèi)含有流體，每個(gè)容器具有容器壁；提供與所述第一和第二容器的每一個(gè)相連的加熱器；加熱所述容器以使所述第一和第二容器達(dá)到預(yù)定壓力；提供與所述加熱器相連的控制器；從所述第一或第二容器取出一定數(shù)量的汽相流體；提供傳感器以監(jiān)測所述第一和第二容器內(nèi)的至少一個(gè)狀況，所述狀況選自由汽相流體壓力、容器壁溫、汽相流體的低蒸汽壓力的污染物含量和它們的組合組成的組，以確定所述第一和第二容器內(nèi)的關(guān)鍵液位；監(jiān)測所述第一和第二容器內(nèi)的狀況以確定所述第一和第二容器內(nèi)的關(guān)鍵液位；提供與所述傳感器相連的控制器和具有開/關(guān)位置的閥門，所述閥門把來自所述第一或第二容器的流體用于最終用途，所述傳感器選擇性地激活所述閥門的開/關(guān)位置。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所迷方法進(jìn)一步包括下列步驟激活與所述第一容器相連的第一閥門到關(guān)閉位置，當(dāng)所述狀況達(dá)到預(yù)定 水平時(shí)，所述閥門減小汽相流體從所述第一容器到最終用途的流量；和激活與所述第二容器相連的第二閥門到打開位置，當(dāng)所述狀況達(dá)到預(yù)定 水平時(shí)，所迷閥門增大汽相流體從所迷第二容器到最終用途的流量，
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述汽相流體是非空氣氣體，其選自由氨、三氯化硼、二氧化碳、氯、二氯硅烷、鹵烴、溴化氫、氯化氫、氟 化氫、甲基硅烷、氧化亞氳、三氟化氮、三氯硅烷和它們的混合物組成的組。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述低蒸汽壓力的污染物是水。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述第一和第二容器是以選自由 304不銹鋼、316不銹鋼、哈氏合金、碳鋼和它們的混合物組成的組的材料制 成。
6、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述加熱器是電阻加熱器，其選自 由硅毯式加熱器、帶式加熱器、加熱爐、加熱帶和它們的組合組成的組。
7、 一種用以輸送汽相流體的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括至少第一和笫二容器，每個(gè)容器具有容器壁，每個(gè)容器包含一定數(shù)量的 液相流體；與所述第一和第二容器相連的加熱器；與所述加熱器相連的控制器，所述控制器控制傳給所迷第一和第二容器 的熱量以及傳給包含在所述第一和第二容器內(nèi)的液相流體的熱量；用以監(jiān)測至少一個(gè)狀況的傳感器，所迷狀況選自由所述第一和第二容器 內(nèi)的汽相流體壓力、容器壁溫、汽相流體的低蒸汽壓力的污染物含量和它們 的丟且合組成的組；和與所迷傳感器相連的控制器和至少一個(gè)具有開/關(guān)位置的閥門，所述閥門 把來自所述第一或第二容器的流體用于最終用途，當(dāng)所述狀況達(dá)到預(yù)定水平 時(shí)所述傳感器激活所述閥門的開/關(guān)位置到關(guān)閉位置。
8、 根據(jù)權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，其中所述系統(tǒng)進(jìn)一步包括與所述第一和第二容器及最終用途相連的汽相流體輸送控制回路，以便 當(dāng)來自第一容器的流量減少時(shí)，來自第二容器的流量增加。
9、 根椐權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，其中所述第一和第二容器是以選自由304不銹鋼、316不銹鋼、哈氏合金、碳鋼和它們的混合物組成的組的材料制 成。
10、根據(jù)權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，其中所述第一和第二容器選自由ISO 集裝箱、噸集裝箱和桶集裝箱組成的組。
全文摘要
本發(fā)明提供一種用于輸送汽相流體給期望的最終用途的系統(tǒng)、設(shè)備和方法，其中監(jiān)測所述系統(tǒng)的狀況以確定何時(shí)水含量或供給容器的表面溫度超過給定值，或何時(shí)低蒸汽壓力流體壓力降至給定值之下，以便通過中止來自第一供給容器的蒸汽流和開啟來自第二供給容器的蒸汽流而使所述第一供給容器退出使用。
文檔編號(hào)F17C7/04GK101542186SQ200780043941
公開日2009年9月23日 申請日期2007年9月27日 優(yōu)先權(quán)日2006年9月29日
發(fā)明者C·薩里加尼迪斯, M·C·約翰遜, S·查克拉瓦蒂, T·J·伯格曼 申請人:普萊克斯技術(shù)有限公司