專(zhuān)利名稱(chēng)：一種低壓三氟化硼儲(chǔ)氣罐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種低壓三氟化硼儲(chǔ)氣罐，特別是涉及一種用在硅和鍺外 延、擴(kuò)散和離子注入過(guò)程的P型摻雜源三氟化硼氣體的儲(chǔ)氣罐。
背景技術(shù)：
高純度三氟化硼(BF3)氣體是硅和鍺外延、擴(kuò)散和離子注入過(guò)程的P型摻雜 源，在半導(dǎo)體工業(yè)有著極其重要的應(yīng)用。
通常，高純度三氟化硼氣體是用高壓鋼瓶?jī)?chǔ)存，氣壓高達(dá)10-100MPa，在 工業(yè)應(yīng)用中存在著潛在的危險(xiǎn)。因而，半導(dǎo)體工業(yè)界對(duì)于能夠在低壓條件下儲(chǔ) 存高純度三氟化硼氣體的儲(chǔ)氣罐有著一定的需求。
近年來(lái)，隨著碳納米管儲(chǔ)氣研究的不斷深入，碳納米管在高純度三氟化硼 氣體儲(chǔ)存應(yīng)用的廣闊前景正日益顯示出來(lái)。碳納米管極高的比表面積和特殊的 化學(xué)結(jié)構(gòu)，使其能夠在低壓(〈lMPa)條件下對(duì)高純度三氟化硼氣體進(jìn)行大量的 物理吸附。因而，設(shè)計(jì)一種適用于碳納米管的高純度三氟化硼氣體儲(chǔ)氣罐有著 很強(qiáng)的實(shí)際應(yīng)用背景。 發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是針對(duì)以碳納米管為三氟化硼氣體的物理吸附材料，設(shè) 計(jì)一種三氟化硼氣體儲(chǔ)氣罐，該儲(chǔ)氣罐可方便地實(shí)現(xiàn)三氟化硼氣體的低壓 (〈1MPa)儲(chǔ)存。
本實(shí)用新型的低壓三氟化硼儲(chǔ)氣罐，包括具有上蓋和下蓋的罐體，上蓋的 中心設(shè)有進(jìn)出氣口，進(jìn)出氣口連接三通管路，其中，第一管路通過(guò)第一手動(dòng)閥 門(mén)與真空表相連，第二管路通過(guò)第二手動(dòng)閥門(mén)與三氟化硼氣源的壓力流量調(diào)節(jié) 器相連，第三管路通過(guò)第三手動(dòng)閥門(mén)與真空泵或儲(chǔ)氣罐應(yīng)用系統(tǒng)相連，進(jìn)出氣 口內(nèi)側(cè)焊有防止碳納米管外漏的過(guò)濾網(wǎng)，下蓋有中心孔，環(huán)繞中心孔有帶內(nèi)螺 紋的環(huán)形圈，帶外螺紋的孔塞通過(guò)螺紋擰接在環(huán)形圈上，在環(huán)形圈與孔塞之間 有O型橡膠密封圈，罐體內(nèi)填充有碳納米管吸附材料。
本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)
低壓三氟化硼儲(chǔ)氣罐可以在低于一個(gè)大氣壓(〈lMPa)的條件下，通過(guò)罐體 內(nèi)充填的碳納米管吸附材料大量吸附高純度三氟化硼氣體，從而改變了目前半 導(dǎo)體工業(yè)界通常采用的高壓瓶?jī)?chǔ)三氟化硼氣體的方式，可有效地避免采用高壓 瓶?jī)?chǔ)三氟化硼氣體時(shí)潛在的危險(xiǎn)。本實(shí)用新型具有制造工藝簡(jiǎn)單、儲(chǔ)氣過(guò)程
3易于控制、設(shè)備投資少，成本低和安裝使用方便，可廣泛應(yīng)用于三氟化硼氣體
的低壓儲(chǔ)存。


圖1是低壓三氟化硼儲(chǔ)氣罐結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2是下蓋放大圖。
具體實(shí)施方式

參照?qǐng)D1、圖2，低壓三氟化硼儲(chǔ)氣罐包括具有上蓋3和下蓋15的罐體 1，上蓋3的中心設(shè)有進(jìn)出氣口 2，進(jìn)出氣口 2連接三通管路4、 5、 6，其中， 第一管路4通過(guò)第一手動(dòng)閥門(mén)7與真空表8相連，第二管路5通過(guò)第二手動(dòng)閥 門(mén)9與三氟化硼氣源10的壓力流量調(diào)節(jié)器11相連，第三管路6通過(guò)第三手動(dòng) 閥門(mén)12與真空泵或儲(chǔ)氣罐應(yīng)用系統(tǒng)13相連，進(jìn)出氣口 2內(nèi)側(cè)焊有防止碳納米 管外漏的過(guò)濾網(wǎng)14，下蓋15有中心孔16，環(huán)繞中心孔有帶內(nèi)螺紋18的環(huán)形圈 17，帶外螺紋的孔塞19通過(guò)螺紋擰接在環(huán)形圈17上，在環(huán)形圈17與孔塞19 之間有O型橡膠密封圈20，罐體1內(nèi)填充有碳納米管吸附材料21，用于吸附 三氟化硼氣體。
低壓三氟化硼儲(chǔ)氣罐的罐體呈圓柱體狀。上蓋和下蓋可為半球體或平板狀。
低壓三氟化硼儲(chǔ)氣罐的罐體、上蓋和下蓋的材質(zhì)可為硬質(zhì)鋁合金或不銹 鋼。過(guò)濾網(wǎng)的材質(zhì)可為硬質(zhì)鋁合金或不銹鋼。過(guò)濾網(wǎng)的孔徑為400-600目。 低壓三氟化硼儲(chǔ)氣罐儲(chǔ)三氟化硼氣體時(shí)的使用操作過(guò)程如下
(1) 填充碳納米管:擰下下蓋孔塞，將碳納米管填充入罐體內(nèi)，碳納米管 的最大填充量為罐體體積的95%，然后擰上孔塞。
(2) 儲(chǔ)氣罐抽真空關(guān)閉第二手動(dòng)閥門(mén)9，打開(kāi)第一手動(dòng)閥門(mén)7，將第三 手動(dòng)閥門(mén)12與真空泵13相連接，打開(kāi)第三手動(dòng)閥門(mén)12，啟動(dòng)真空泵13，對(duì)儲(chǔ) 氣罐罐體1和三通管路4， 5， 6抽真空，直至真空表8顯示的真空度<0.01托 (torr)，關(guān)閉第一手動(dòng)閥門(mén)7和第三手動(dòng)闊門(mén)12，再關(guān)閉真空泵，將與第三手動(dòng) 閥門(mén)12相連的真空泵13分離；
(3) 儲(chǔ)氣罐儲(chǔ)三氟化硼氣體將接在高純度三氟化硼氣源10上的壓力流 量調(diào)節(jié)器11與第二手動(dòng)閥門(mén)9相連，通過(guò)調(diào)節(jié)壓力流量調(diào)節(jié)器11，設(shè)定好三 氟化硼氣源10的輸出氣壓為750托(torr)，打開(kāi)第一手動(dòng)閥門(mén)7和第二手動(dòng)閥 門(mén)9，連續(xù)向儲(chǔ)氣罐供氣3h，使儲(chǔ)氣罐體內(nèi)的碳納米管吸附材料21充分吸附 高純度三氟化硼氣體，之后，關(guān)閉第一手動(dòng)閥門(mén)7和第二手動(dòng)閥門(mén)9，完成全 部?jī)?chǔ)氣操作。
4(4)將高純度三氟化硼氣源IO與連接第二手動(dòng)閥門(mén)9分離，即可將儲(chǔ)氣 罐的第三手動(dòng)閥門(mén)12與儲(chǔ)氣罐應(yīng)用系統(tǒng)連接后使用。
權(quán)利要求1.一種低壓三氟化硼儲(chǔ)氣罐，其特征是包括具有上蓋(3)和下蓋(15)的罐體(1)，上蓋(3)的中心設(shè)有進(jìn)出氣口(2)，進(jìn)出氣口(2)連接三通管路(4、5、6)，其中，第一管路(4)通過(guò)第一手動(dòng)閥門(mén)(7)與真空表(8)相連，第二管路(5)通過(guò)第二手動(dòng)閥門(mén)(9)與三氟化硼氣源(10)的壓力流量調(diào)節(jié)器(11)相連，第三管路(6)通過(guò)第三手動(dòng)閥門(mén)(12)與真空泵或儲(chǔ)氣罐應(yīng)用系統(tǒng)(13)相連，進(jìn)出氣口(2)內(nèi)側(cè)焊有防止碳納米管外漏的過(guò)濾網(wǎng)(14)，下蓋(15)有中心孔(16)，環(huán)繞中心孔有帶內(nèi)螺紋(18)的環(huán)形圈(17)，帶外螺紋的孔塞(19)通過(guò)螺紋擰接在環(huán)形圈(17)上，在環(huán)形圈(17)與孔塞(19)之間有O型橡膠密封圈(20)，罐體(1)內(nèi)填充有碳納米管吸附材料(21)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的低壓三氟化硼儲(chǔ)氣罐，其特征是罐體(1)呈圓 柱體狀。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的低壓三氟化硼儲(chǔ)氣罐，其特征是上蓋(3)和下 蓋(15)呈半球體或平板狀。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的低壓三氟化硼儲(chǔ)氣罐，其特征是罐體、上蓋和下 蓋的材質(zhì)為硬質(zhì)鋁合金或不銹鋼。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的低壓三氟化硼儲(chǔ)氣罐，其特征是過(guò)濾網(wǎng)為硬質(zhì)鋁 合金或不銹鋼。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的低壓三氟化硼儲(chǔ)氣罐，其特征是過(guò)濾網(wǎng)的孔徑為 400-600目。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型的低壓三氟化硼儲(chǔ)氣罐，包括具有上蓋和下蓋的罐體，上蓋的中心設(shè)有進(jìn)出氣口，進(jìn)出氣口連接三通管路，其中，第一管路通過(guò)第一手動(dòng)閥門(mén)與真空表相連，第二管路通過(guò)第二手動(dòng)閥門(mén)與三氟化硼氣源的壓力流量調(diào)節(jié)器相連，第三管路通過(guò)第三手動(dòng)閥門(mén)與真空泵或儲(chǔ)氣罐應(yīng)用系統(tǒng)相連，進(jìn)出氣口內(nèi)側(cè)焊有防止碳納米管外漏的過(guò)濾網(wǎng)，下蓋有中心孔，環(huán)繞中心孔有帶內(nèi)螺紋的環(huán)形圈，帶外螺紋的孔塞通過(guò)螺紋擰接在環(huán)形圈上，在環(huán)形圈與孔塞之間有O型橡膠密封圈，罐體內(nèi)填充有碳納米管吸附材料。本實(shí)用新型具有制造工藝簡(jiǎn)單、儲(chǔ)氣過(guò)程易于控制、設(shè)備投資少，成本低和安裝使用方便，可廣泛應(yīng)用于三氟化硼氣體的低壓儲(chǔ)存。
文檔編號(hào)F17C11/00GK201407481SQ20092012010
公開(kāi)日2010年2月17日 申請(qǐng)日期2009年5月18日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月18日
發(fā)明者炯 陳, 黃德歡 申請(qǐng)人:黃德歡;陳 炯