專利名稱：超純氨大流量汽化恒壓供氣系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種大宗氣體的供氣系統(tǒng)，特別涉及一種超純氨大流量汽化恒壓供氣系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
電子級(jí)的超純氨作為一種重要的工業(yè)基礎(chǔ)原材料，在半導(dǎo)體發(fā)光器件(LED)、太陽(yáng)能電池、半導(dǎo)體集成電路(IC)及液晶顯示器(LCD)等行業(yè)得到越來(lái)越多的應(yīng)用。在全球關(guān)注低碳經(jīng)濟(jì)模式的背景下，我國(guó)的LED及太陽(yáng)能行業(yè)有了爆發(fā)式的增長(zhǎng)，行業(yè)中的單體工廠設(shè)計(jì)產(chǎn)能都遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)當(dāng)前世界已有的規(guī)模。像LED行業(yè)中全球的單體工廠的對(duì)超純氨的當(dāng)前用量規(guī)模，供應(yīng)最大的流量不超過(guò)100Nm3/h。而僅在中國(guó)大陸當(dāng)前在建的對(duì)超純氨的流量需求超過(guò)400 NmVh的LED單體工廠已有多個(gè)。當(dāng)前應(yīng)用的大宗氣體供應(yīng)技術(shù)(BSGS系統(tǒng))中，對(duì)超純氨的三種液氨罐(Y瓶、T瓶、ISO槽車)現(xiàn)場(chǎng)汽化供氣的模式如下
權(quán)利要求1.一種超純氨大流量汽化恒壓供氣系統(tǒng)，其特征是該系統(tǒng)包括了液氨源、空溫式汽化器、水浴式汽化器、熱泵熱水系統(tǒng)、調(diào)壓系統(tǒng)和自動(dòng)控制系統(tǒng)，其中液氨源的液相管路接入空溫式汽化器，空溫式汽化器設(shè)有一路回氣管線接至原料源的氣相管線上，空溫式汽化器的主管線接入后續(xù)的水浴式汽化器，水浴式汽化器的進(jìn)水口接有為其提供熱源的空氣源熱泵熱水裝置，水浴式汽化器的出口管線接入調(diào)壓系統(tǒng)，調(diào)壓系統(tǒng)的壓力和流量由自動(dòng)控制系統(tǒng)控制調(diào)整，由調(diào)壓系統(tǒng)輸出經(jīng)氣化的恒壓的氨。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超純氨大流量汽化恒壓供氣系統(tǒng)，其特征是所述的調(diào)壓系統(tǒng)包括恒壓調(diào)節(jié)閥組以及溫度、壓力、流量?jī)x表，該恒壓調(diào)節(jié)閥組內(nèi)設(shè)置有自動(dòng)調(diào)節(jié)閥，溫度、壓力、流量?jī)x表的信號(hào)輸入至自動(dòng)控制系統(tǒng)，自動(dòng)控制系統(tǒng)根據(jù)輸入的溫度、壓力、流量信號(hào)控制調(diào)節(jié)恒壓調(diào)節(jié)閥組。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的超純氨大流量汽化恒壓供氣系統(tǒng)，其特征是所述的自動(dòng)控制系統(tǒng)為PLC控制器。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種超純氨大流量汽化恒壓供氣系統(tǒng)，其整體結(jié)構(gòu)是液氨源的液相管路接入空溫式汽化器，空溫式汽化器設(shè)有一路回氣管線接至原料源的氣相管線上，空溫式汽化器的主管線接入后續(xù)的水浴式汽化器，水浴式汽化器的進(jìn)水口接有為其提供熱源的空氣源熱泵熱水裝置，水浴式汽化器的出口管線接入調(diào)壓系統(tǒng)，調(diào)壓系統(tǒng)的壓力和流量由自動(dòng)控制系統(tǒng)控制調(diào)整，由調(diào)壓系統(tǒng)輸出經(jīng)氣化的恒壓的氨。使用本實(shí)用新型在較大流量狀態(tài)下對(duì)超純液氨汽化，可以達(dá)到供氣壓力穩(wěn)定，汽化過(guò)程所需能耗低等優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)F17C5/02GK202032286SQ20112009300
公開日2011年11月9日 申請(qǐng)日期2011年4月1日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月1日
發(fā)明者劉斌, 金向華 申請(qǐng)人:蘇州金宏氣體股份有限公司