專利名稱：一種化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)。隨著我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的繼續(xù)發(fā)展，芯片生產(chǎn)線在我國(guó)也已開始越來越規(guī)?；淠康氖菍?shí)現(xiàn)對(duì)芯片上的雜質(zhì)、微粒子進(jìn)行清洗等。并且，由于半導(dǎo)體制程的不斷發(fā)展，線寬越來越窄，工藝的要求也越來越高，這些因素都對(duì)化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)的無(wú)故障運(yùn)行能力提出了更高的要求。氣體、化學(xué)和純水系統(tǒng)為整條芯片生產(chǎn)線提供氣體、化學(xué)品和純水，它們與芯片直接接觸，所以這些系統(tǒng)被稱為制程相關(guān)系統(tǒng)，該制程相關(guān)系統(tǒng)即為化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，其穩(wěn)定與否直接關(guān)系到生產(chǎn)線制造是否正常。而且，該化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)為生產(chǎn)線提供一年365天無(wú)中斷的系統(tǒng)，其所供應(yīng)的化學(xué)品不僅要達(dá)到一定量(大量的機(jī)臺(tái)使用該化學(xué)品或單個(gè)機(jī)臺(tái)用量很大)，而且還要具有長(zhǎng)距離(如100m)輸送不易變質(zhì)的特點(diǎn)，其一般供應(yīng)到濕法清洗、黃光、CMP、零部件清洗等部門。然而，目前傳統(tǒng)的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)總是存在安全系數(shù)低、運(yùn)行的穩(wěn)定性不高等缺陷，給現(xiàn)場(chǎng)人員的安全帶來了威脅，且操作起來非常不方便。本實(shí)用新型的目的就是要解決上述的不足而提供一種化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，不僅結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低，而且運(yùn)行穩(wěn)定、可靠，安全系數(shù)高。為實(shí)現(xiàn)上述目的設(shè)計(jì)一種化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，包括供應(yīng)柜部分和管路部分，所述供應(yīng)柜部分通過管路部分連接化學(xué)品用戶端，所述供應(yīng)柜部分包括桶槽1、泵2和過濾器3，所述管路部分包括管路4和閥箱5，所述桶槽1、泵2、過濾器3、閥箱5通過管路4相連。所述化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)中還設(shè)有監(jiān)控部分，所述監(jiān)控部分通過PLC連接供應(yīng)柜部分和管路部分。所述監(jiān)控部分包括泄漏偵測(cè)器6，所述泄漏偵測(cè)器6安裝在閥箱5或桶槽I的底部。所述管路4設(shè)置為雙套管，所述雙套管包括內(nèi)管和外管，所述內(nèi)管與外管之間設(shè)有空隙。所述桶槽I頂部安裝有安全閥7。本實(shí)用新型同現(xiàn)有技術(shù)相比，結(jié)構(gòu)新穎、簡(jiǎn)單，運(yùn)行穩(wěn)定、可靠，操作起來也非常方便；且由于在該化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)中設(shè)有監(jiān)控部分，并在該監(jiān)控部分中設(shè)置了泄漏偵測(cè)器，從而可以盡快地發(fā)現(xiàn)問題并及時(shí)地解決問題，給現(xiàn)場(chǎng)操作人員的生命安全帶來了保障，最終最大限度地保證了現(xiàn)場(chǎng)人員的人身安全，其安全系統(tǒng)非常高；此外，本實(shí)用新型所述的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)成本低，設(shè)計(jì)合理，方便了芯片清洗等制程，值得推廣應(yīng)用。


圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖中1、桶槽2、泵3、過濾器4、管路5、閥箱6、泄漏偵測(cè)器7、安全閥。
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作以下進(jìn)一步說明如附圖所示，本實(shí)用新型包括供應(yīng)柜部分和管路部分，所述供應(yīng)柜部分通過管路部分連接化學(xué)品用戶端，所述供應(yīng)柜部分包括桶槽1、泵2和過濾器3，所述管路部分包括管路4和閥箱5，所述桶槽1、泵2、過濾器3、閥箱5通過管路4相連，所述化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)中還設(shè)有監(jiān)控部分，所述監(jiān)控部分通過PLC連接供應(yīng)柜部分和管路部分，所述監(jiān)控部分包括泄漏偵測(cè)器6，所述泄漏偵測(cè)器6安裝在閥箱5或桶槽I的底部。本實(shí)用新型中，所述管路4設(shè)置為雙套管，所述雙套管包括內(nèi)管和外管，所述內(nèi)管與外管之間設(shè)有空隙，化學(xué)品在內(nèi)管走，如果內(nèi)管發(fā)生泄漏等故障，化學(xué)品就會(huì)順著內(nèi)管與外管之間的空隙流到閥箱或供應(yīng)柜部分，然后由安裝在該處的泄漏偵測(cè)器引發(fā)警報(bào)。通過采用這些措施，可以盡快地發(fā)現(xiàn)問題并及時(shí)地解決，方便了芯片清洗等制程，且最大限度地保證了人身安全。本實(shí)用新型中，所述桶槽I頂部安裝有安全閥7，從而如果壓力過大，則自動(dòng)泄壓，
安全系數(shù)非常高。本實(shí)用新型并不受上述實(shí)施方式的限制，其他的任何未背離本實(shí)用新型的精神實(shí)質(zhì)與原理下所作的改變、修飾、替代、組合、簡(jiǎn)化，均應(yīng)為等效的置換方式，都包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，包括供應(yīng)柜部分和管路部分，所述供應(yīng)柜部分通過管路部分連接化學(xué)品用戶端，其特征在于:所述供應(yīng)柜部分包括桶槽(I)、泵(2)和過濾器(3)，所述管路部分包括管路(4)和閥箱(5)，所述桶槽(I)、泵(2)、過濾器(3)、閥箱(5)通過管路(4)相連。
2.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于:所述化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)中還設(shè)有監(jiān)控部分，所述監(jiān)控部分通過PLC連接供應(yīng)柜部分和管路部分。
3.如權(quán)利要求2所述的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于:所述監(jiān)控部分包括泄漏偵測(cè)器(6)，所述泄漏偵測(cè)器(6)安裝在閥箱(5)或桶槽(I)的底部。
4.如權(quán)利要求3所 述的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于:所述管路(4)設(shè)置為雙套管，所述雙套管包括內(nèi)管和外管，所述內(nèi)管與外管之間設(shè)有空隙。
5.如權(quán)利要求4所述的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于:所述桶槽(I)頂部安裝有安全閥(7)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，包括供應(yīng)柜部分和管路部分，所述供應(yīng)柜部分通過管路部分連接化學(xué)品用戶端，所述供應(yīng)柜部分包括桶槽(1)、泵(2)和過濾器(3)，所述管路部分包括管路(4)和閥箱(5)，所述桶槽(1)、泵(2)、過濾器(3)、閥箱(5)通過管路(4)相連；本實(shí)用新型同現(xiàn)有技術(shù)相比，不僅結(jié)構(gòu)新穎、簡(jiǎn)單，運(yùn)行穩(wěn)定、可靠，操作起來也非常方便，而且由于在該化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)中設(shè)有監(jiān)控部分，并在該監(jiān)控部分中設(shè)置了泄漏偵測(cè)器，從而可以盡快地發(fā)現(xiàn)問題并及時(shí)地解決問題,給現(xiàn)場(chǎng)操作人員的生命安全帶來了保障，最終最大限度地保證了現(xiàn)場(chǎng)人員的人身安全，其安全系統(tǒng)非常高。
文檔編號(hào)F17D1/14GK202915050SQ201220461950
公開日2013年5月1日 申請(qǐng)日期2012年9月11日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月11日
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