可自動補(bǔ)充mo源的裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型提供一種可自動補(bǔ)充MO源的裝置，包括MO源鋼瓶，所述MO源鋼瓶上設(shè)置有進(jìn)氣管和出氣管，MO源鋼瓶的左側(cè)設(shè)置有MO源儲罐，所述進(jìn)氣管分支路連接在MO源儲罐上，所述MO源儲罐通過氣管連接在惰性氣體儲存罐上，所述MO源儲罐與惰性氣體儲存罐之間設(shè)置有真空泵，所述MO源鋼瓶內(nèi)部設(shè)置有液位探頭，通過液位探頭控制MO源儲罐的開啟，所述出氣管分支路連接在MO源儲罐上。通過MO源儲罐對MO源鋼瓶進(jìn)行補(bǔ)料，并且通過液位探頭對MO源鋼瓶內(nèi)部的MO源殘留量，并自動進(jìn)行補(bǔ)料，解決了MO源連續(xù)供應(yīng)難的問題。
【專利說明】可自動補(bǔ)充MO源的裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實用新型涉及一種充裝裝置，尤其涉及一種可自動對M0源鋼瓶進(jìn)行充M0源的 裝直。

【背景技術(shù)】
[0002] Μ0源在M0CVD設(shè)備中使用非常特殊，物料在使用時需要保持恒溫（±0. 1 °C )，恒壓 (± ltorr)，穩(wěn)定氣體流量（± lsccm)。M0源存儲在鋼瓶(一般稱為M0源鋼瓶沖，惰性氣體 (一般用氫氣或者氮氣）通過深入鋼瓶內(nèi)部的管道進(jìn)入M0源鋼瓶中，經(jīng)過M0源時產(chǎn)生鼓泡 效應(yīng)，M0源在鼓泡過程中大量蒸發(fā)，形成M0源的飽和蒸汽與惰性氣體混合輸送出來。M0源 鋼瓶中M0源消耗完后，需要將M0源鋼瓶拆卸并更換1個新的M0源鋼瓶。
[0003] 現(xiàn)有使用方法缺點：
[0004] 1.由于M0源具有可燃性和遇空氣自燃的特性，因此M0源鋼瓶拆裝過程需要對管 道系統(tǒng)進(jìn)行充分置換，并且需要對管道接頭進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏。操作過程繁瑣，持續(xù)時間較 長，且操作不當(dāng)會有著火等風(fēng)險。
[0005] 2.更換新的M0源鋼瓶后，需要在恒溫水浴槽中進(jìn)行充分的熱交換，需要較長時間 才能夠使M0源鋼瓶的溫度達(dá)到恒定。隨著M0CVD (金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積技術(shù)）外延技術(shù) 發(fā)展，設(shè)備大型化已經(jīng)成為必然趨勢，隨之而來的原材料供應(yīng)問題越來越突出。M0源(金屬 有機(jī)化合物）作為其中最重要的原材料，持續(xù)穩(wěn)定的M0供應(yīng)是提高M(jìn)0CVD設(shè)備使用效率的 重要手段。
[0006] 目前，能夠檢索到的文獻(xiàn)資料均沒有關(guān)于M0源連續(xù)供應(yīng)解決方案的公開報道。 實用新型內(nèi)容
[0007] 本實用新型的目的是提供一種可自動對M0源鋼瓶進(jìn)行充M0源的裝置，通過M0源 儲罐對M0源鋼瓶進(jìn)行補(bǔ)料，并且通過液位探頭對M0源鋼瓶內(nèi)部的M0源殘留量，并自動進(jìn) 行補(bǔ)料，解決了 M0源連續(xù)供應(yīng)難的問題。
[0008] 本實用新型提供一種可自動補(bǔ)充M0源的裝置，包括M0源鋼瓶，所述M0源鋼瓶上 設(shè)置有進(jìn)氣管和出氣管，M0源鋼瓶的左側(cè)設(shè)置有M0源儲罐，所述進(jìn)氣管分支路連接在M0源 儲罐上，所述M0源儲罐通過氣管連接在惰性氣體儲存罐上，所述M0源儲罐與惰性氣體儲存 罐之間設(shè)置有真空泵，所述M0源鋼瓶內(nèi)部設(shè)置有液位探頭，通過液位探頭控制M0源儲罐的 開啟，所述出氣管分支路連接在M0源儲罐上。
[0009] 進(jìn)一步改進(jìn)在于：所述M0源儲罐與進(jìn)氣管、出氣管通過三通接頭進(jìn)行連接。
[0010] 進(jìn)一步改進(jìn)在于：所述惰性氣體儲存罐與真空泵之間設(shè)置有氣體純化器，將惰性 氣體儲存罐純化后使用。
[0011] 進(jìn)一步改進(jìn)在于：所述惰性氣體儲存罐罐口處設(shè)置有流量監(jiān)測器，防止惰性氣體 儲存罐中的氣體用完無法工作。
[0012] 進(jìn)一步改進(jìn)在于：所述惰性氣體儲存罐中的氣體也供氣動裝置使用。
[0013] 所述M0源儲罐可同時對三組M0源鋼瓶進(jìn)行充裝，在對三組M0源鋼瓶進(jìn)行充裝 時，需設(shè)置一備用M0源儲罐，防止因充裝量過大造成的M0源不足。
[0014] 本實用新型的有益效果：1、通過增加液位探頭，滿足了 M0源監(jiān)控計量問題，客戶 可以直觀的了解到M0源的使用現(xiàn)狀。
[0015] 2、三通管接頭的設(shè)計，可以在不需要改造現(xiàn)有M0源鋼瓶，同時能夠解決M0源補(bǔ)充 接口問題。
[0016] 3、將充裝系統(tǒng)與M0CVD設(shè)備聯(lián)動，通過監(jiān)控M0CVD設(shè)備狀態(tài)及液位探頭狀態(tài)，自動 判定是否能夠補(bǔ)源并自動補(bǔ)源。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0017] 圖1是本實用新型的示意圖。
[0018] 其中：1-M0源鋼瓶，2-進(jìn)氣管，3-出氣管，4-M0源儲罐，5-惰性氣體儲存罐，6-真 空泵，7-液位探頭，8-三通接頭，9-氣體純化器，10-流量監(jiān)測器。

【具體實施方式】
[0019] 為了加深對本實用新型的理解，下面將結(jié)合實施例對本實用新型作進(jìn)一步詳述， 該實施例僅用于解釋本實用新型，并不構(gòu)成對本實用新型保護(hù)范圍的限定。
[0020] 如圖1所示，本實施例提供了一種可自動補(bǔ)充M0源的裝置，包括M0源鋼瓶1，所 述M0源鋼瓶1上設(shè)置有進(jìn)氣管2和出氣管3，M0源鋼瓶1的左側(cè)設(shè)置有M0源儲罐4,所述 進(jìn)氣管2分支路連接在M0源儲罐4上，所述M0源儲罐4通過氣管連接在惰性氣體儲存罐 5上，所述M0源儲罐4與惰性氣體儲存罐5之間設(shè)置有真空泵6,所述M0源鋼瓶1內(nèi)部設(shè) 置有液位探頭7,通過液位探頭7控制M0源儲罐4的開啟，所述出氣管3分支路連接在M0 源儲罐4上。所述M0源儲罐4與進(jìn)氣管2、出氣管3通過三通接頭8進(jìn)行連接。所述惰性 氣體儲存罐5與真空泵6之間設(shè)置有氣體純化器9,將惰性氣體儲存罐5純化后使用。所述 惰性氣體儲存罐5罐口處設(shè)置有流量監(jiān)測器10,防止惰性氣體儲存罐5中的氣體用完無法 工作。所述惰性氣體儲存罐5中的氣體也供氣動裝置使用。所述M0源儲罐4可同時對三 組M0源鋼瓶1進(jìn)行充裝。
【權(quán)利要求】
1. 一種可自動補(bǔ)充MO源的裝置，包括MO源鋼瓶（1)，所述MO源鋼瓶（1)上設(shè)置有進(jìn) 氣管（2)和出氣管（3)，其特征在于：M0源鋼瓶（1)的左側(cè)設(shè)置有M0源儲罐（4)，所述進(jìn)氣 管（2)分支路連接在M0源儲罐（4)上，所述M0源儲罐（4)通過氣管連接在惰性氣體儲存 罐（5)上，所述M0源儲罐（4)與惰性氣體儲存罐（5)之間設(shè)置有真空泵（6)，所述M0源鋼 瓶（1)內(nèi)部設(shè)置有液位探頭（7)，通過液位探頭（7)控制M0源儲罐（4)的開啟，所述出氣管 (3)分支路連接在M0源儲罐（4)上。
2. 如權(quán)利要求1所述的可自動補(bǔ)充M0源的裝置，其特征在于：所述M0源儲罐（4)與進(jìn) 氣管（2)、出氣管（3)通過三通接頭（8)進(jìn)行連接。
3. 如權(quán)利要求1所述的可自動補(bǔ)充M0源的裝置，其特征在于：所述惰性氣體儲存罐 (5)與真空泵（6)之間設(shè)置有氣體純化器（9)，將惰性氣體儲存罐（5)純化后使用。
4. 如權(quán)利要求1或3所述的可自動補(bǔ)充M0源的裝置，其特征在于：所述惰性氣體儲存 罐（5)罐口處設(shè)置有流量監(jiān)測器（10)，防止惰性氣體儲存罐（5)中的氣體用完無法工作。
5. 如權(quán)利要求1或3所述的可自動補(bǔ)充M0源的裝置，其特征在于：所述惰性氣體儲存 罐（5)中的氣體也供氣動裝置使用。
【文檔編號】F17C5/00GK203847995SQ201420204405
【公開日】2014年9月24日 申請日期:2014年4月25日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月25日
【發(fā)明者】俞冬雷, 武利曙, 徐昕 申請人:安徽亞格盛電子新材料有限公司