本實(shí)用新型涉及抽真空裝置技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種抽真空機(jī)組。

背景技術(shù)：

低溫絕熱氣瓶、容器的夾層真空壓力是低溫容器絕熱性能的重要指標(biāo)。因此，高效率的抽真空機(jī)組對于低溫容器的生產(chǎn)和檢驗都是非常重要的。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種抽真空機(jī)組，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種抽真空機(jī)組，包括機(jī)架，所述機(jī)架內(nèi)的底層襯板上設(shè)有前級泵和旋片泵，所述機(jī)架內(nèi)的上層襯板上設(shè)有連通于旋片泵的羅茨泵，所述羅茨泵左側(cè)設(shè)有柜體，所述柜體上設(shè)有分子泵驅(qū)動控制器和復(fù)合真空計，所述柜體背部設(shè)有連通于前級泵的分子泵，所述機(jī)架左側(cè)設(shè)有管支架，所述管支架上設(shè)有主管，所述主管上連通有真空截止閥，所述真空截止閥通過波紋管連通于真空抽拉閥，所述主管頂部設(shè)有真空規(guī)管和電離規(guī)管，所述分子泵頂部通過真空法蘭連通于主管。

優(yōu)選的，所述分子泵底部連通有進(jìn)水管。

優(yōu)選的，所述機(jī)架底部設(shè)有萬向輪。

優(yōu)選的，所述分子泵驅(qū)動控制器電性連接于分子泵。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：本實(shí)用新型通過四機(jī)組成的抽真空機(jī)組是一種高效率的抽真空裝置，羅茨泵與旋片泵組成粗抽機(jī)組，分子泵與前級泵組成精抽機(jī)組，其特點(diǎn)是抽速大，極限高，性能可靠，適合長時間連續(xù)性運(yùn)轉(zhuǎn)。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1機(jī)架、2前級泵、3旋片泵、4柜體、5分子泵驅(qū)動控制器、6復(fù)合真空計、7羅茨泵、8主管、9真空截止閥、10真空抽拉閥、11波紋管、12真空規(guī)管、13電離規(guī)管、14管支架、15萬向輪、16分子泵、17真空法蘭、18進(jìn)水管。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

請參閱圖1-2，本實(shí)用新型提供一種技術(shù)方案：一種抽真空機(jī)組，包括機(jī)架1，所述機(jī)架1內(nèi)的底層襯板上設(shè)有前級泵2和旋片泵3，所述機(jī)架1內(nèi)的上層襯板上設(shè)有連通于旋片泵3的羅茨泵7，所述羅茨泵7左側(cè)設(shè)有柜體4，所述柜體4上設(shè)有分子泵驅(qū)動控制器5和復(fù)合真空計6，所述柜體4背部設(shè)有連通于前級泵2的分子泵16，所述機(jī)架1左側(cè)設(shè)有管支架14，所述管支架14上設(shè)有主管8，所述主管8上連通有真空截止閥9，所述真空截止閥9通過波紋管11連通于真空抽拉閥10，所述主管8頂部設(shè)有真空規(guī)管12和電離規(guī)管13，所述分子泵16頂部通過真空法蘭17連通于主管8。

所述分子泵16底部連通有進(jìn)水管18。所述機(jī)架1底部設(shè)有萬向輪15。所述分子泵驅(qū)動控制器5電性連接于分子泵16。

本實(shí)用新型通過四機(jī)組成的抽真空機(jī)組是一種高效率的抽真空裝置，羅茨泵7與旋片泵3組成粗抽機(jī)組，分子泵16與前級泵3組成精抽機(jī)組，其特點(diǎn)是抽速大，極限高，性能可靠，適合長時間連續(xù)性運(yùn)轉(zhuǎn)。

盡管已經(jīng)示出和描述了本實(shí)用新型的實(shí)施例，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以理解在不脫離本實(shí)用新型的原理和精神的情況下可以對這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型，本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。