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一種三氯氫硅或四氯化硅槽車卸料至儲罐的卸料接頭的制作方法

文檔序號:11301610閱讀:789來源:國知局
一種三氯氫硅或四氯化硅槽車卸料至儲罐的卸料接頭的制造方法與工藝

本實用新型運用在多晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域,具體涉及三氯氫硅或四氯化硅槽車卸料至儲罐的卸料接頭。



背景技術(shù):

現(xiàn)有三氯氫硅、四氯化硅槽車卸料方法是把槽車上的卸料球閥與卸料軟管上球閥直接連接,管道連接完成后無法置換出卸料管道內(nèi)的空氣,無法對卸料管道內(nèi)進行干燥,物料與管道內(nèi)的氧氣、水分反應(yīng)后的產(chǎn)物容易腐蝕、堵塞設(shè)備;連接完成后,利用物料對管道連接的氣密性進行檢測,有安全隱患。出現(xiàn)泄漏后,處理起來復(fù)雜,易造成環(huán)境污染,影響卸車人員的健康。

如圖1所示,現(xiàn)有的卸車結(jié)構(gòu)中,包括槽車9、儲罐10、第一球閥11、第二球閥12、第三球閥13、第四球閥14和金屬軟管15,其中第一球閥為槽車通過自帶閥門,其余第二球閥連接,第二球閥通過金屬軟管連接第三球閥及儲罐,金屬軟管靠近第三球閥處還設(shè)有支管,支管上安裝第四球閥。第四球閥的作用是在更換金屬軟管的時候,置換第二球閥到第三球閥之間管道內(nèi)的空氣和水分,處于常關(guān)閉狀態(tài)。

國內(nèi)多晶硅生產(chǎn)企業(yè)目前采用的卸車方法是先開啟第一球閥,槽車內(nèi)三氯氫硅或四氯化硅流入到第一球閥與第二球閥之間的空腔處,檢查此處連接的氣密性。如果無泄露,則開啟第一球閥、第二球閥、第三球閥,從槽車頂部充入氮氣,通過氮氣將車內(nèi)物料壓入儲罐內(nèi)。

第一球閥和第二球閥之間連接不夠緊密的時候,物料就會泄漏到環(huán)境中。處理泄露過程中會遇到更換墊片或螺栓的情況,此時需要戴防毒面具將第一球閥和第二球閥空腔內(nèi)物料放掉,放掉的物料會掛在車上,對槽車造成腐蝕,對環(huán)境造成污染,對卸車人員健康造成傷害。由于車上槽罐內(nèi)有1.5Kg/cm2左右的壓力,處理泄露時會有安全隱患,三氯氫硅、四氯化硅會通過縫隙噴射到操作人員的身上,造成腐蝕和中毒。

另外,國內(nèi)卸車區(qū)域,大部分是露天的。雨雪天氣,第一球閥和第二球閥之間的空腔內(nèi)會積留較多的雨水、雪水,卸車過程中積水會與三氯氫硅、四氯化硅反應(yīng)產(chǎn)生二氧化硅、氯化氫等雜質(zhì),導(dǎo)致閥門卡死或內(nèi)漏嚴重,堵塞管道和液位計。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

本實用新型提供的一種三氯氫硅或四氯化硅槽車卸料至儲罐的卸料接頭,通過對卸車管道進行干燥,在氮氣環(huán)境下檢測卸車管道連接氣密性。能夠有效的克服現(xiàn)有卸車作業(yè)過程中產(chǎn)生的弊端。

為解決上述技術(shù)問題,本實用新型所采用的技術(shù)方案是:一種三氯氫硅或四氯化硅槽車卸料至儲罐的卸料接頭,包括接頭管,其兩端均設(shè)有法蘭,接頭管一端靠近法蘭的管壁下方連接有第一閥門,另一端靠近法蘭的管壁上方連接有第二閥門,第一閥門還連接有第一快插式氣管接頭,第二閥門還連接有第二快插式氣管接頭,第二快插式氣管接頭連接軟管,軟管的另一端連接氮氣源。

所述的氮氣源還設(shè)有減壓閥。減壓閥與軟管之間也通過快插式氣管接頭連接。

所述的接頭管為鋼管。

所述的第一閥門和第二閥門均為螺紋球閥。

本實用新型通過在槽車與儲罐的連接管道上安裝卸料接頭,往接頭管內(nèi)通入干燥氮氣,排除尾氣,將卸料管道內(nèi)的空氣置換掉,并對卸車管道進行干燥。能夠有效防止環(huán)境中的空氣進入儲罐;能夠在卸料前對管道密閉性進行檢查,提高卸車作業(yè)安全性;有效防止管道中的氧氣、水分與三氯氫硅、四氯化硅發(fā)生反應(yīng)產(chǎn)生二氧化硅、氯化氫等雜質(zhì)。

附圖說明

圖1為背景技術(shù)中采用的卸車結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實用新型提供的卸車接頭部分結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為該卸車接頭的使用狀態(tài)圖。

圖中,接頭管1、法蘭2、第一閥門3、第二閥門4、第一快插式氣管接頭5、第二快插式氣管接頭6、軟管7、氮氣源8、減壓閥81、槽車9、儲罐10、第一球閥11、第二球閥12、第三球閥13、第四球閥14和金屬軟管15。

具體實施方式

下面結(jié)合實施例及附圖來進一步說明本實用新型,但本實用新型要求保護的范圍并不局限于實施例表述的范圍。

如圖2-圖3所示,一種三氯氫硅或四氯化硅槽車卸料至儲罐的卸料接頭,包括接頭管1,其兩端均設(shè)有法蘭2,接頭管1一端靠近法蘭的管壁下方連接有第一閥門3,另一端靠近法蘭的管壁上方連接有第二閥門4,第一閥門3還連接有第一快插式氣管接頭5,第二閥門4還連接有第二快插式氣管接頭6,第二快插式氣管接頭6連接軟管7,軟管的另一端連接氮氣源8。

進一步地,所述的氮氣源8還設(shè)有減壓閥81。

進一步地,所述的接頭管1為鋼管。

進一步地,所述的第一閥門3和第二閥門4均為螺紋球閥。

使用時,槽車通過管道及第一球閥連接靠近第一閥門的法蘭,另一法蘭與第二球閥連接,槽車也連接有氮氣管道。

具體實施時,按圖3所示連接,氮氣源提供的氮氣通過減壓閥調(diào)節(jié)壓力后,由第二閥門處進入接頭管,往第一球閥與第二球閥之間的空腔內(nèi)充入氮氣,空腔內(nèi)壓力達到0.3MPa,用肥皂水檢查接頭管與第一球閥、第二球閥之間連接的氣密性。氣密不合格,可以緊固各連接處螺栓;緊固螺栓無效,則關(guān)閉氮氣,打開第一閥門卸掉空腔內(nèi)壓力,進行墊片更換或螺栓更換,更換完成后,再次往空腔內(nèi)充入氮氣進行氣密實驗。氣密合格后,打開第一閥門對空腔進行吹掃、置換和干燥,廢氣通過第一閥門排入空氣中。吹掃、置換和干燥完成后,關(guān)閉第二閥門和第一閥門,打開第一球閥、第二球閥、第三球閥,走通槽車去儲罐的管線,用氮氣將槽車內(nèi)物料壓至儲罐內(nèi)。卸車完成后,經(jīng)第一閥門下部第一快插式氣管接頭處接尾氣管到廢氣處理池或低濃度堿液桶,吹盡殘留物料后拆掉卸車管線,完成卸車作業(yè)。

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