技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種氣路壓力控制系統(tǒng)，包括氣體供應(yīng)管路和對所述氣體供應(yīng)管路的氣體流量進(jìn)行控制的控制管路；所述氣體供應(yīng)管路中設(shè)置有第一氣體阻尼器，所述控制管路中從上游至下游依次設(shè)有第一穩(wěn)壓閥和第二氣體阻尼器；所述第一穩(wěn)壓閥與第二氣體阻尼器之間的管路連通于所述氣體供應(yīng)管路中位于第一氣體阻尼器下游的管路，本系統(tǒng)無需使用背壓調(diào)節(jié)器就能保證氣體供應(yīng)管路的流量穩(wěn)定性，維護(hù)保養(yǎng)成本較低，同時供應(yīng)氣的壓力和流量可以在低溫處進(jìn)行控制和讀取。

技術(shù)研發(fā)人員：馬立剛
受保護(hù)的技術(shù)使用者：重慶川儀分析儀器有限公司
文檔號碼：201710093070
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.21
技術(shù)公布日：2017.06.30