本發(fā)明涉及一種抽真空技術(shù)領(lǐng)域,特別是一種抽高真空方法。
背景技術(shù):
液氧、液氮、液化天然氣等低溫液體需要有非常良好的隔熱、保溫裝置對其進(jìn)行儲藏。而具有高真空的真空儲存裝置是一種理想的選擇,但是現(xiàn)有的高真空儲存裝置的保溫絕熱使用一段時間后,高真空儲存裝置的真空度就會降低,使得其保溫、絕熱效果大大降低。那么現(xiàn)在就需要一種能夠?qū)Ω哒婵毡亟^熱裝置進(jìn)行抽高真空的方法,使得高真空保溫絕熱裝置能夠長時間保持高效的絕熱性能,提高其使用壽命。
技術(shù)實現(xiàn)要素:
針對上述現(xiàn)有技術(shù)存在的不足,本發(fā)明的技術(shù)目的在于提供一種抽高真空的方法。
本發(fā)明通過以下技術(shù)方案實現(xiàn):
本發(fā)明的抽真空的方法,包括以下步驟:
步驟一、將被抽產(chǎn)品安裝在抽真空機組上,對被抽產(chǎn)品進(jìn)行抽真空,使得真空度達(dá)到0~10pa,再對被抽產(chǎn)品進(jìn)行內(nèi)、外加熱;
步驟二、對被抽產(chǎn)品充入溫度為70~130℃的高純熱氮氣,對充入氮氣后的被抽產(chǎn)品進(jìn)行內(nèi)、外表面及夾層加熱至130~180℃,充分熱透,進(jìn)行第一次悶氣;
步驟三、第一次預(yù)抽低真空:對被抽產(chǎn)品進(jìn)行排氣,使得被抽產(chǎn)品真空度達(dá)到0~10pa,排氣時間為70~130min;
步驟四、按照步驟二充入溫度為70~130℃的高純熱氮氣,對充入氮氣后的被抽產(chǎn)品進(jìn)行內(nèi)、外表面及夾層加熱至130~180℃,充分熱透,進(jìn)行第二次悶氣,悶氣時間為40~70min;
步驟五、對被抽產(chǎn)品進(jìn)行第二次預(yù)抽低真空排氣,排氣時間為40min~80min;
步驟六、按照步驟二充入溫度為70~130℃的高純熱氮氣,按照步驟四的方法進(jìn)行第三次悶氣,并按照步驟五排氣;
步驟七、按照步驟二充入溫度為70~130℃的高純熱氮氣,按照步驟四的方法進(jìn)行第四次悶氣,悶氣時間為3~6小時,并按照步驟五排氣,排氣時間100~150min;
步驟八、對被抽真空產(chǎn)品用高真空泵抽高真空,在抽真空時間為4~6小時后,當(dāng)抽真空機組的主管路末端熱態(tài)的真空度p<5pa時,開始6~9次間斷抽真空,達(dá)到所需的高真空。
本發(fā)明的抽高真空的方法,充入高純熱氮氣在8~15min內(nèi)完成,在充氣過程中,當(dāng)被抽產(chǎn)品內(nèi)的壓強略大于外界壓強時,停止充氣。
本發(fā)明的抽高真空的方法,在步驟二中第一次悶氣時間為12~18h。
本發(fā)明的抽高真空的方法,在步驟七排氣結(jié)束后,可按高真空泵的工作條件,提前1h開啟高真空泵,備用。
本發(fā)明的抽高真空的方法,在步驟八對被抽真空產(chǎn)品抽真空前,先使得與被抽真空產(chǎn)品連接的主管末端的真空度小于10pa,再開啟高真空泵。
本發(fā)明的抽高真空的方法,間斷抽真空方法:第一次、第二次抽高真空,采用停抽6~9h,抽氣2~7h循環(huán);第3次、第4次停抽6~12h,抽3~6h循環(huán);第5次停抽11~15h,再抽2~6h;
第6次停抽14~24h,再抽2~6h,開始第一次測量靜置前被抽產(chǎn)品真空度;
第7次停抽14~24h,完成后開始第一次測量靜置后被抽產(chǎn)品極限真空度,完成后繼續(xù)抽空5~8h,開始第二次測量靜置前被抽產(chǎn)品真空度;
第8次停抽14~24h,開始第二次測量靜置后被抽產(chǎn)品極限真空度。
本發(fā)明的抽高真空的方法,根據(jù)測量值,計算出熱態(tài)時的漏放氣速率,連續(xù)兩次計算值應(yīng)≤5pa·m3/s,其中靜態(tài)瞬間極限真空度p1'應(yīng)≤5pa,再靜置14~24h后測量出夾層的真空度p2';
若前兩次漏放氣速率的測量計算值大于5×10-5pa·m3/s時,則進(jìn)行第三次檢量計算,其中對最差的一件產(chǎn)品,要求熱態(tài)下的漏放氣速率應(yīng)<9×10-5pa·m3/s,其中靜態(tài)瞬間極限真空度p1'應(yīng)≤5pa,同時要求相鄰兩次漏放氣速率的差值△q≤2×10-5pa·m3/s,再抽高真空2~5h后,停止內(nèi)、外加熱并快速降溫,至內(nèi)、外表面溫度低于80℃后,最后抽高真空2~3h后逐一間斷壓下各臺被抽產(chǎn)品的封結(jié)閥芯對被抽產(chǎn)品進(jìn)行封結(jié)。
本發(fā)明的抽高真空的方法,若通過測量及計算,被抽產(chǎn)品的極限真空度和夾層漏放氣速率沒能達(dá)到上述檢量計算的要求,應(yīng)繼續(xù)對該機組上的所有被抽產(chǎn)品再抽高真空3h;并再靜置14~24h后再次測量和計算漏放氣速率,直到測量和計算結(jié)果達(dá)到檢量計算的要求后,才能對產(chǎn)品進(jìn)行封結(jié)。
本發(fā)明的抽高真空的方法,當(dāng)測量數(shù)據(jù)合格,再繼續(xù)抽高真空5-6h,可進(jìn)行產(chǎn)品封結(jié)。
本發(fā)明的抽高真空的方法,在對產(chǎn)品封結(jié)時,應(yīng)提前2h停止對被抽產(chǎn)品的內(nèi)、外加熱,在6~9月抽真空時,應(yīng)提前3h停止對被抽產(chǎn)品的內(nèi)、外加熱,并對內(nèi)表面持續(xù)吹冷風(fēng),外表面冬季自然空冷,夏季可借助風(fēng)扇對外表面冷卻。
本發(fā)明的有益效果是:
通過上述的全新的抽真空的方法,能夠?qū)氐讓⒈怀檎婵债a(chǎn)品夾層中的水分、氣體抽除,抽出效果好,能夠使得被抽真空產(chǎn)品的高真空度長時間保持,能夠達(dá)到可靠的絕熱保溫性能,并且通過校驗,能夠保證批量抽真空產(chǎn)品的質(zhì)量。
具體實施方式
本發(fā)明的抽高真空的方法,包括以下步驟:
步驟一、將被抽產(chǎn)品安裝在抽真空機組上,開啟真空機組中的機械泵和羅茨泵,對被抽產(chǎn)品進(jìn)行抽真空,使得真空度達(dá)到0~10pa,可為1pa,抽低真空后,進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏,檢漏合格后,再對被抽產(chǎn)品進(jìn)行內(nèi)、外加熱,在對被抽真空產(chǎn)品進(jìn)行內(nèi)、外加熱前,對被抽真空產(chǎn)品逐個安裝內(nèi)外加熱工裝及溫度監(jiān)控裝置,并利用保溫被保溫,盡量減少熱量損失,利用氦質(zhì)譜檢漏能夠確保抽真空機組的密封性能良好;
步驟二、對被抽產(chǎn)品充入溫度為70~130℃的高純熱氮氣,高純熱氮氣的溫度可為100℃,充入高純熱氮氣在8~15min內(nèi)完成,在充氣過程中,當(dāng)被抽產(chǎn)品內(nèi)的壓強略大于外界壓強時,停止充氣,對充入氮氣后的被抽產(chǎn)品進(jìn)行內(nèi)、外表面及夾層加熱至130~180℃,加熱的溫度可為155℃,充分熱透,使得被抽真空產(chǎn)品內(nèi)的氣體膨脹,使得產(chǎn)品夾層中的水汽能夠釋放,進(jìn)行第一次悶氣,悶氣時間為12~18h,可為14h,悶氣能夠使得被抽真空產(chǎn)品的整體加熱均勻,并且對金屬層中的氣體進(jìn)行置換。
步驟三、第一次預(yù)抽低真空:對被抽產(chǎn)品進(jìn)行排氣,使得被抽產(chǎn)品真空度達(dá)到0~10pa,排氣時間為70~130min,充分的排氣能夠能將吸附于金屬表變的氣體排出;
步驟四、按照步驟二充入溫度為70~130℃的高純熱氮氣,高純熱氮氣的溫度可為95℃,對充入氮氣后的被抽產(chǎn)品進(jìn)行內(nèi)、外表面及夾層加熱至130~180℃,可為155℃,充分熱透,進(jìn)行第二次悶氣,悶氣時間為40~70min,可悶氣50min;其中,第二次悶氣較第一次悶氣的時間短,因為已經(jīng)經(jīng)過悶氣的被抽真空產(chǎn)品,經(jīng)過40~70min中的悶氣已經(jīng)能夠使得被抽真空產(chǎn)品達(dá)到充分受熱、熱透的效果;
步驟五、對被抽產(chǎn)品進(jìn)行第二次預(yù)抽低真空排氣,排氣時間為40min~80min,排氣時間可為70min;
步驟六、按照步驟二充入溫度為70~130℃的高純熱氮氣,按照步驟四的方法進(jìn)行第三次悶氣,并按照步驟五排氣;
步驟七、按照步驟二充入溫度為70~130℃的高純熱氮氣,按照步驟四的方法進(jìn)行第四次悶氣,悶氣時間為3~6小時,并按照步驟五排氣,排氣時間100~150min;在抽高真空前,進(jìn)行的悶氣及排氣時間都較長,并且經(jīng)過上述反復(fù)的悶氣、排氣,能夠?qū)⒔饘賷A層中的空氣及水分較為充分的排出,為抽高真空創(chuàng)造條件;
步驟八、對被抽真空產(chǎn)品用高真空泵抽高真空,在抽真空時間為4~6小時后,當(dāng)抽真空機組的主管路末端熱態(tài)的真空度p<5pa時,開始6~9次間斷抽真空,達(dá)到所需的高真空,在達(dá)到小于5pa的真空度時,就需要間斷抽高真空才能夠達(dá)到更高的真空度。其中,高真空泵有油擴散泵、分子泵及渦輪泵等泵型。
在步驟七排氣結(jié)束后,可按高真空泵的工作條件,提前1h開啟高真空泵,備用。
在步驟八對被抽真空產(chǎn)品抽真空前,先使得與被抽真空產(chǎn)品連接的主管末端的真空度小于10pa,再開啟高真空泵。
上述的間斷抽真空:第一次、第二次抽高真空,采用停抽6~9h,抽氣2~7h循環(huán);第3次、第4次停抽6~12h,抽3~6h循環(huán);第5次停抽11~15h,再抽2~6h;
第6次停抽14~24h,再抽2~6h,開始第一次測量靜置前被抽產(chǎn)品真空度;
第7次停抽14~24h,完成后開始第一次測量靜置后被抽產(chǎn)品極限真空度,完成后繼續(xù)抽真空5~8h,開始第二次測量靜置前被抽產(chǎn)品真空度;
第8次停抽14~24h,開始第二次測量靜置后被抽產(chǎn)品極限真空度。
最好地,間斷抽真空:第一次、第二次抽高真空,采用停抽7h,抽氣4h循環(huán);第3次、第4次停抽9h,抽5h循環(huán);第5次停抽12h,再抽3h;
第6次停抽15h,再抽3h,開始第一次測量靜置前被抽產(chǎn)品真空度;
第7次停抽15h,完成后開始第一次測量靜置后被抽產(chǎn)品極限真空度,完成后繼續(xù)抽真空5h,開始第二次測量靜置前被抽產(chǎn)品真空度;
第8次停抽16h,開始第二次測量靜置后抽產(chǎn)品極限真空度。間斷抽真空能夠確保抽真空過程中氣體能夠充分置換,能夠高效將金屬中的氣體及水汽排出,并且能夠使得機組在每次抽真空過程中都能夠高效運行,達(dá)到預(yù)定的抽真空效果,能夠?qū)C組進(jìn)行保護(hù)。
根據(jù)測量值,按照公式:q=(p2'-p1')·v·k/t,
其中q為被檢件真空夾層的漏放氣速率;
v為被檢件真空夾層幾何容積;
k為夾層容積的修正系數(shù);
p1'為靜態(tài)被抽產(chǎn)品極限真空度;
p2'為靜置后測量出夾層的真空度;
計算出熱態(tài)時的漏放氣速率,連續(xù)兩次計算值應(yīng)≤5×10-5pa·m3/s,其中靜態(tài)被抽產(chǎn)品極限真空度p1'應(yīng)≤5pa,靜態(tài)被抽產(chǎn)品極限真空度即為在抽真空后1~20min測得的真空度,再靜置14~24h后測量出夾層的真空度p2';
若前兩次漏放氣速率的測量計算值大于5×10-5pa·m3/s時,則進(jìn)行第三次檢量計算,對其中最差的一件產(chǎn)品,要求熱態(tài)下的漏放氣速率應(yīng)<9×10-5pa·m3/s,其中靜態(tài)瞬間極限真空度p1'應(yīng)≤5pa,同時要求相鄰兩次漏放氣速率的差值△q≤2×10-5pa·m3/s,再抽高真空2~5h后,停止內(nèi)、外加熱并快速降溫,至內(nèi)、外表面溫度低于80℃后,最后抽高真空2~3h后逐一間斷壓下各臺被抽產(chǎn)品的封結(jié)閥芯對被抽產(chǎn)品進(jìn)行封結(jié)。抽高真空2~5h后,停止內(nèi)、外加熱并快速降溫,至內(nèi)、外表面溫度低于80℃,能夠中止快速放氣,降低材料放氣量,增加夾層壽命,在此之后,抽高真空2~3h,抽除降溫而釋放出的氣體,再對被抽產(chǎn)品封結(jié),提高被抽產(chǎn)品的真空度,逐一間斷壓下對被抽產(chǎn)品密封,能夠確保密封可靠,避免真空泄露。
若通過測量及計算,被抽產(chǎn)品的靜態(tài)瞬間極限真空度和夾層漏放氣速率沒能達(dá)到上述檢量計算的要求,應(yīng)繼續(xù)對該機組上的所有被抽產(chǎn)品再抽高真空3h;并再靜置14~24h后再次測量和計算漏放氣速率,直到測量和計算結(jié)果達(dá)到上述檢量計算的要求后,才能對產(chǎn)品進(jìn)行封結(jié)。本申請熱態(tài)是被抽真空產(chǎn)品內(nèi)外表面維持在130~180℃。
當(dāng)測量數(shù)據(jù)合格,再繼續(xù)抽高真空5-6h,可進(jìn)行產(chǎn)品封結(jié)。
在對產(chǎn)品封結(jié)時,應(yīng)提前2h停止對被抽產(chǎn)品的內(nèi)、外加熱,在6~9月抽真空時,應(yīng)提前3h停止對被抽產(chǎn)品的內(nèi)、外加熱,并對內(nèi)表面持續(xù)吹冷風(fēng),外表面冬季自然空冷,夏季可借助風(fēng)扇對外表面冷卻。
通過上述抽真空方法,能夠?qū)Ρ怀楫a(chǎn)品抽高真空,能夠有效抽除被抽產(chǎn)品夾層內(nèi)的氣體及水汽,并且在封結(jié)的過程中均能夠確保被抽產(chǎn)品的真空度達(dá)到高標(biāo)準(zhǔn)要求,被抽真空產(chǎn)品的真空度能夠達(dá)到10-3pa~10-6pa,并且相對于傳統(tǒng)的抽真空的方法,這種抽真空方法更加快速。