本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造，尤其涉及一種化學(xué)源輸送管路結(jié)構(gòu)及peald設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、在現(xiàn)有技術(shù)中，半導(dǎo)體工藝設(shè)備例如peald設(shè)備(等離子體增強原子層沉積設(shè)備)，載氣進入液態(tài)源鋼瓶中，攜帶反應(yīng)源進入反應(yīng)腔，同反應(yīng)氣體混合后的氣體通過噴淋板噴淋至晶圓表面實現(xiàn)成膜過程，而載氣在進入和進出液態(tài)源瓶則是通過ald閥的快速響應(yīng)切換控制，而ald閥布置在液態(tài)源瓶的進出口，在安全方面一定要有interlock(互鎖)功能限制開關(guān)條件。

2、而在上述ald閥的問題上，存在的技術(shù)弊端是，ald閥的正常響應(yīng)時間在14～16ms,而ald閥關(guān)聯(lián)interlock后，其響應(yīng)時間在24～28ms浮動,原因是ald閥帶有互鎖功能，就需要在閥門開啟指令中通過繼電器判斷開閥條件是否滿足，因此開閥信號經(jīng)過一個繼電器則會延遲6～8ms，又因為生產(chǎn)要求對peald設(shè)備的ald閥響應(yīng)時間的報警值是25ms，所以24～28ms的響應(yīng)速度就會頻繁的觸發(fā)報警，導(dǎo)致工藝recipe無法順利進行。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種化學(xué)源輸送管路結(jié)構(gòu)及peald設(shè)備，旨在實現(xiàn)既能保證ald閥快速響應(yīng)時間，又可以在安全上帶有互鎖功能。

2、為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

3、一方面，本發(fā)明提供了一種化學(xué)源輸送管路結(jié)構(gòu)，包括：

4、載氣輸送管路，與反應(yīng)腔可通斷地的連接；

5、載氣進入管路，與所述載氣輸送管路和反應(yīng)源入口可通斷地的連接；

6、反應(yīng)源輸出管路，與反應(yīng)源出口和反應(yīng)腔可通斷地的連接；

7、其中，所述載氣輸送管路、所述載氣進入管路和所述反應(yīng)源輸出管路均設(shè)有ald閥，所述載氣進入管路和所述反應(yīng)源輸出管路中至少一條管路上設(shè)有氣動閥，所述氣動閥設(shè)于所述ald閥的上游位置，所述氣動閥上設(shè)有互鎖功能。

8、進一步地，所述載氣進入管路和所述反應(yīng)源輸出管路均設(shè)有手動閥。

9、進一步地，當(dāng)僅所述載氣進入管路設(shè)有所述氣動閥時，所述載氣進入管路的所述手動閥布置于所述載氣進入管路的所述ald閥的下游位置，所述反應(yīng)源輸出管路的所述手動閥布置于所述反應(yīng)源輸出管路的所述ald閥的上游位置。

10、進一步地，當(dāng)僅所述反應(yīng)源輸出管路設(shè)有所述氣動閥時，所述載氣進入管路的所述手動閥布置于所述載氣進入管路的所述ald閥的下游位置，所述反應(yīng)源輸出管路的所述手動閥布置于所述反應(yīng)源輸出管路的所述氣動閥的上游位置。

11、進一步地，所述載氣進入管路的所述手動閥布置于所述載氣進入管路的所述ald閥的下游位置，所述反應(yīng)源輸出管路的所述手動閥布置于所述反應(yīng)源輸出管路的所述氣動閥的上游位置。

12、進一步地，所述氣動閥與所述ald閥二者獨立分開設(shè)計或者集成式設(shè)計。

13、進一步地，所述載氣輸送管路和所述反應(yīng)源輸出管路設(shè)有二者共用的所述ald閥。

14、進一步地，所述載氣輸送管路和所述反應(yīng)源輸出管路設(shè)有二者共用的所述ald閥為三通閥。

15、另一方面，本發(fā)明還提供了一種peald設(shè)備，包括反應(yīng)源容器、反應(yīng)室及上述的化學(xué)源輸送管路結(jié)構(gòu)，所述反應(yīng)源容器設(shè)有反應(yīng)源入口和反應(yīng)源出口，所述反應(yīng)室設(shè)有反應(yīng)腔。

16、本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比的有益效果是：本發(fā)明通過在載氣進入管路和反應(yīng)源輸出管路中至少一條管路上設(shè)有氣動閥，且氣動閥布置在ald閥的上游位置，并將互鎖功能設(shè)置在氣動閥上，從而釋放了ald閥，使其不受繼電器的影響，實現(xiàn)了ald閥的快速響應(yīng)，同時，將互鎖功能設(shè)置在氣動閥上，滿足了安全的要求。

17、上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明技術(shù)手段，可依照說明書的內(nèi)容予以實施，并且為了讓本發(fā)明的上述和其它目的特征及優(yōu)點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，詳細(xì)說明如下。

技術(shù)特征：

1.一種化學(xué)源輸送管路結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種化學(xué)源輸送管路結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述載氣進入管路和所述反應(yīng)源輸出管路均設(shè)有手動閥。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種化學(xué)源輸送管路結(jié)構(gòu)，其特征在于，當(dāng)僅所述載氣進入管路設(shè)有所述氣動閥時，所述載氣進入管路的所述手動閥布置于所述載氣進入管路的所述ald閥的下游位置，所述反應(yīng)源輸出管路的所述手動閥布置于所述反應(yīng)源輸出管路的所述ald閥的上游位置。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種化學(xué)源輸送管路結(jié)構(gòu)，其特征在于，當(dāng)僅所述反應(yīng)源輸出管路設(shè)有所述氣動閥時，所述載氣進入管路的所述手動閥布置于所述載氣進入管路的所述ald閥的下游位置，所述反應(yīng)源輸出管路的所述手動閥布置于所述反應(yīng)源輸出管路的所述氣動閥的上游位置。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種化學(xué)源輸送管路結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述載氣進入管路的所述手動閥布置于所述載氣進入管路的所述ald閥的下游位置，所述反應(yīng)源輸出管路的所述手動閥布置于所述反應(yīng)源輸出管路的所述氣動閥的上游位置。

6.根據(jù)權(quán)利要求2-5任意一項所述的一種化學(xué)源輸送管路結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述氣動閥與所述ald閥二者獨立分開設(shè)計或者集成式設(shè)計。

7.根據(jù)權(quán)利要求2-5任意一項所述的一種化學(xué)源輸送管路結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述載氣輸送管路和所述反應(yīng)源輸出管路設(shè)有二者共用的所述ald閥。

8.根據(jù)權(quán)利要求7任意一項所述的一種化學(xué)源輸送管路結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述載氣輸送管路和所述反應(yīng)源輸出管路設(shè)有二者共用的所述ald閥為三通閥。

9.一種peald設(shè)備，其特征在于，包括反應(yīng)源容器、反應(yīng)室及權(quán)利要求1-8任意一項所述的化學(xué)源輸送管路結(jié)構(gòu)，所述反應(yīng)源容器設(shè)有反應(yīng)源入口和反應(yīng)源出口，所述反應(yīng)室設(shè)有反應(yīng)腔。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種化學(xué)源輸送管路結(jié)構(gòu)及PEALD設(shè)備，化學(xué)源輸送管路結(jié)構(gòu)，包括載氣輸送管路、載氣進入管路以及反應(yīng)源輸出管路，載氣輸送管路與反應(yīng)腔可通斷地的連接，載氣進入管路與載氣輸送管路和反應(yīng)源入口可通斷地的連接；反應(yīng)源輸出管路與反應(yīng)源出口和反應(yīng)腔可通斷地的連接；其中，載氣輸送管路、載氣進入管路和反應(yīng)源輸出管路均設(shè)有ALD閥，載氣進入管路和反應(yīng)源輸出管路中至少一條管路上設(shè)有氣動閥，氣動閥設(shè)于ALD閥的上游位置，氣動閥上設(shè)有互鎖功能。本發(fā)明釋放了ALD閥，使其不受繼電器的影響，實現(xiàn)了ALD閥的快速響應(yīng)，同時，將互鎖功能設(shè)置在氣動閥上，滿足了安全的要求。

技術(shù)研發(fā)人員：齊永恒,關(guān)帥,吳鳳麗
受保護的技術(shù)使用者：拓荊科技（上海）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/6