一種氣體精確分裝裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種氣體精確分裝裝置，包括相互并聯(lián)且均與主管路連通的真空抽氣設(shè)備、Ⅰ號(hào)容器、Ⅱ號(hào)容器、Ⅲ號(hào)容器、氣體容器、壓強(qiáng)計(jì)和分裝容器，且上述設(shè)備及容器與主管路之間均設(shè)置有截止閥。本實(shí)用新型根據(jù)實(shí)際的氣體新材料所需分裝量選擇不同體積的容器并聯(lián)，使裝置內(nèi)所需壓強(qiáng)在一個(gè)容易控制的范圍；通過(guò)真空接口可以對(duì)裝置進(jìn)行真空處理，減少雜質(zhì)混入；由于分裝過(guò)程需要壓強(qiáng)數(shù)據(jù)，通過(guò)壓強(qiáng)檢測(cè)口可以對(duì)裝置壓強(qiáng)進(jìn)行監(jiān)控；體積的精確標(biāo)定可以降低實(shí)際分裝過(guò)程中的體積誤差，使分裝量更準(zhǔn)確；高真空抽氣設(shè)備可以進(jìn)一步降低分裝過(guò)程中的雜質(zhì)混入量；精度高于0.2%的壓強(qiáng)計(jì)可以降低實(shí)際分裝過(guò)程中的壓強(qiáng)誤差，使分裝量更準(zhǔn)確。
【專利說(shuō)明】
一種氣體精確分裝裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型屬于一種氣體分裝裝置，具體涉及一種氣體精確分裝裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，國(guó)內(nèi)外常見的分裝裝置主要有流量控制裝置和壓強(qiáng)控制裝置兩類。流量控制裝置是指在分裝裝置入口處接入流量控制設(shè)備，根據(jù)所需要分裝氣體的質(zhì)量控制氣體流量和流入時(shí)間，達(dá)到分裝氣體的目的;壓強(qiáng)控制裝置是指標(biāo)定裝入新氣體容器的體積，推算出所需氣體的壓強(qiáng)，外部控制容器瓶口壓強(qiáng)，達(dá)到分裝氣體的目的。流量控制裝置在氣體分裝過(guò)程中，起始和收尾階段流量波動(dòng)很大，此時(shí)流量控制設(shè)備流量計(jì)算誤差較大，如果所需分裝氣體新材料質(zhì)量很小，會(huì)導(dǎo)致氣體新材料分裝量不夠精確;壓強(qiáng)控制裝置在氣體分裝過(guò)程中，一般要求容器瓶口壓強(qiáng)很大，為了保證容器口部壓強(qiáng)，外部所需的氣體新材料很多，氣體新材料分裝量很精確，但是需要有大量的氣體新材料儲(chǔ)備。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點(diǎn)而提出的，其目的是提供一種氣體精確分裝裝置。
[0004]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是:
[0005]—種氣體精確分裝裝置，包括相互并聯(lián)且依次均與主管路連通的真空抽氣設(shè)備、I號(hào)容器、π號(hào)容器、m號(hào)容器、氣體容器和分裝容器，主管路上安裝有壓強(qiáng)計(jì);真空抽氣設(shè)備與主管路之間設(shè)置有D截止閥；I號(hào)容器與主管路之間設(shè)置有I號(hào)截止閥；Π號(hào)容器與主管路之間設(shè)置有Π號(hào)截止閥；m號(hào)容器與主管路之間設(shè)置有m號(hào)截止閥；氣體容器與主管路之間設(shè)置有F截止閥；分裝容器與主管路之間設(shè)置有s截止閥；壓強(qiáng)計(jì)與主管路之間設(shè)置有P截止閥。
[0006]所述I號(hào)容器的容積為5L; Π號(hào)容器的容積為10L;m號(hào)容器的容積為20L。
[0007]本實(shí)用新型的有益效果是:
[0008]本實(shí)用新型根據(jù)實(shí)際的氣體新材料所需分裝量選擇不同體積的容器并聯(lián)，使裝置內(nèi)所需壓強(qiáng)在一個(gè)容易控制的范圍；通過(guò)真空接口可以對(duì)裝置進(jìn)行真空處理，減少雜質(zhì)混入；由于分裝過(guò)程需要壓強(qiáng)數(shù)據(jù)，通過(guò)壓強(qiáng)檢測(cè)口可以對(duì)裝置壓強(qiáng)進(jìn)行監(jiān)控;體積的精確標(biāo)定可以降低實(shí)際分裝過(guò)程中的體積誤差，使分裝量更準(zhǔn)確;高真空抽氣設(shè)備可以進(jìn)一步降低分裝過(guò)程中的雜質(zhì)混入量;精度高于0.2%的壓強(qiáng)計(jì)可以降低實(shí)際分裝過(guò)程中的壓強(qiáng)誤差，使分裝量更準(zhǔn)確。
【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0010]其中:
[0011]I I號(hào)容器2 Π號(hào)容器
[0012]3m號(hào)容器4氣體容器
[0013]5分裝容器6真空抽氣設(shè)備
[0014]7壓強(qiáng)計(jì)8主管路
[0015]9D截止閥10P截止閥
[0016]11I號(hào)截止閥12Π號(hào)截止閥
[0017]13ΙΠ號(hào)截止閥14F截止閥
[0018]15S 截止閥。
【具體實(shí)施方式】
[0019]下面結(jié)合說(shuō)明書附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型一種氣體精確分裝裝置進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明:
[0020]如圖1所示，一種氣體精確分裝裝置，包括相互并聯(lián)且依次均與主管路8連通的真空抽氣設(shè)備6、I號(hào)容器1、Π號(hào)容器2、m號(hào)容器3、氣體容器4和分裝容器5，主管路8上安裝有壓強(qiáng)計(jì)7;真空抽氣設(shè)備6與主管路8之間設(shè)置有D截止閥9; I號(hào)容器I與主管路8之間設(shè)置有I號(hào)截止閥11; Π號(hào)容器2與主管路8之間設(shè)置有Π號(hào)截止閥12; ΙΠ號(hào)容器3與主管路8之間設(shè)置有ΙΠ號(hào)截止閥13;氣體容器4與主管路8之間設(shè)置有F截止閥14;分裝容器5與主管路8之間設(shè)置有S截止閥15;壓強(qiáng)計(jì)7與主管路8之間設(shè)置有P截止閥10。
[0021]所述I號(hào)容器I的容積為5L; Π號(hào)容器2的容積為10L;m號(hào)容器3的容積為20L。
[0022]本實(shí)用新型的使用方法:
[0023 ] 一種氣體精確分裝方法，包括以下步驟:
[0024](i )打開所有截止閥門，使用真空抽氣設(shè)備6對(duì)整個(gè)裝置進(jìn)行高真空處理；
[0025]( ? )關(guān)閉D截止閥9和根據(jù)所需氣體新材料質(zhì)量推算的不被使用的容器的截止閥門；
[0026](m)使用氣體新材料盛裝容器4釋放氣體使高精度壓強(qiáng)計(jì)7的壓強(qiáng)略小于理論值；
[0027]( iv )穩(wěn)定一段時(shí)間，消除氣體膨脹所代入的溫差，使裝置整體溫度于室溫平衡；
[0028]( V )使用氣體新材料盛裝容器4微量增加氣體，使高精度壓強(qiáng)計(jì)7的壓強(qiáng)等于理論值；
[0029](vi )將裝置內(nèi)所有氣體新材料通過(guò)低溫方式收集到所需分裝的新材料分裝容器5內(nèi)；
[0030](vii)待高精度壓強(qiáng)計(jì)7的壓強(qiáng)低于一定數(shù)值后，認(rèn)為所有氣體新材料都收集到所需分裝的新材料分裝容器5中，關(guān)閉所有截止閥門，結(jié)束該次分裝工作，實(shí)際稱重計(jì)算重量，實(shí)際質(zhì)量誤差應(yīng)該在10毫克以內(nèi)。
[0031]以分裝124Xe豐度99.5%以上的氙氣2克為例，具體步驟如下:
[0032](i)打開所有截止閥門，使用真空抽氣設(shè)備6對(duì)整個(gè)裝置進(jìn)行高真空處理；
[0033]( ? )根據(jù)一個(gè)大氣壓下16°C時(shí)產(chǎn)品密度為5.18克/升推算，只需要使用一個(gè)5升容器即可完成分裝工作(其中，室溫18，連接管道和5升容器標(biāo)定的實(shí)際體積分別為1.145升和5.323升，所需壓強(qiáng)為68.05百帕)。因此關(guān)閉D截止閥9、Π號(hào)容器2和ΙΠ號(hào)容器3對(duì)應(yīng)的I號(hào)截止閥11和Π號(hào)截止閥12;
[0034]( m )使用氣體新材料盛裝容器4釋放氣體使高精度壓強(qiáng)計(jì)7的壓強(qiáng)略小于68.05百帕(實(shí)際67.34百帕)；
[0035](iv )穩(wěn)定半小時(shí)，消除氣體膨脹所代入的溫差，使裝置整體溫度于室溫平衡，儀表壓強(qiáng)變?yōu)?7.76百帕；
[0036]( V)使用氣體新材料盛裝容器4微量釋放氙氣，使高精度壓強(qiáng)計(jì)7等于68.20百帕(實(shí)際控制不能精確到68.05百帕，近似即可)；
[0037](vi)將裝置內(nèi)所有氙氣通過(guò)液氮冷凍方式收集到所需分裝的新材料分裝容器5內(nèi)
[0038](vii)待高精度壓強(qiáng)計(jì)7的壓強(qiáng)低于0.02百帕后，認(rèn)為所有氙氣都收集到所需分裝的新材料分裝容器5中，關(guān)閉所有截止閥門，結(jié)束該次分裝工作，實(shí)際稱重計(jì)算重量，實(shí)際稱重結(jié)果為2.004克，誤差4毫克。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種氣體精確分裝裝置，其特征在于:包括相互并聯(lián)且依次均與主管路(8)連通的真空抽氣設(shè)備(6)、I號(hào)容器(I)、Π號(hào)容器(2)、ΙΠ號(hào)容器(3)、氣體容器(4)和分裝容器(5)，主管路(8)上安裝有壓強(qiáng)計(jì)(7);真空抽氣設(shè)備(6)與主管路(8)之間設(shè)置有D截止閥(9); I號(hào)容器(I)與主管路(8)之間設(shè)置有I號(hào)截止閥(11); Π號(hào)容器(2)與主管路(8)之間設(shè)置有Π號(hào)截止閥(12);ΙΠ號(hào)容器(3)與主管路(8)之間設(shè)置有ΙΠ號(hào)截止閥(13);氣體容器(4)與主管路(8)之間設(shè)置有F截止閥(14);分裝容器(5)與主管路(8)之間設(shè)置有S截止閥(15);壓強(qiáng)計(jì)(7)與主管路(8)之間設(shè)置有P截止閥(10)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣體精確分裝裝置，其特征在于:所述I號(hào)容器(I)的容積為5L; Π號(hào)容器(2 )的容積為1L; ΙΠ號(hào)容器(3 )的容積為20L。
【文檔編號(hào)】F17C5/06GK205606168SQ201620282523
【公開日】2016年9月28日
【申請(qǐng)日】2016年4月7日
【發(fā)明人】叢藝?yán)? 謝全新, 孫志杰, 牟宏, 耿冰霜, 于濱, 李強(qiáng), 楊坤, 蘇亮, 張宏志, 鐘軍
【申請(qǐng)人】核工業(yè)理化工程研究院