專利名稱:一種俘獲及探測(cè)復(fù)用的掃描光鑷系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于光學(xué)微操縱系統(tǒng)的技術(shù)領(lǐng)域：
，特別涉及一種俘獲及探測(cè)復(fù)用的掃描光鑷系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
具有掃描功能的光鑷在研究生物大分子方面有著廣泛應(yīng)用，如研究蛋白質(zhì)折疊結(jié)構(gòu)、DNA拉伸特性和配體-受體相互作用等。在這些應(yīng)用中，利用光鑷的光阱俘獲修飾有生物大分子的手柄小球，移動(dòng)到需要接觸的生物大分子或細(xì)胞等目標(biāo)上，然后通過(guò)光阱對(duì)手柄小球作特定掃描運(yùn)動(dòng)，使得生物大分子承受特定的應(yīng)力，便可以研究生物大分子的結(jié)構(gòu)變化的力學(xué)特性。具有掃描功能的光鑷，需要能快速追蹤光鑷系統(tǒng)上光阱俘獲顆粒的位置， 因此掃描光鑷的設(shè)計(jì)中，不僅需要實(shí)現(xiàn)光鑷的掃描功能，還需要實(shí)現(xiàn)對(duì)掃描的光阱同步快速和高精度的探測(cè)。
在光鑷系統(tǒng)的探測(cè)上，采用四象限探測(cè)器(Quadrant Photodiode, QPD)實(shí)現(xiàn)對(duì)被顆粒高時(shí)空分辨率的位置追蹤。QPD由四個(gè)獨(dú)立探測(cè)靶面組成，當(dāng)呈現(xiàn)一定光強(qiáng)分布的光束照射到靶面上偏離時(shí)，探測(cè)器相鄰靶面信號(hào)的差分結(jié)果的前后差異就能代表光束偏離的位移，實(shí)現(xiàn)對(duì)納米級(jí)位移高精度探測(cè)和亞毫秒以下時(shí)間間隔的快速探測(cè)。
光鑷系統(tǒng)一般基于商品化的顯微鏡組建而成，在傳統(tǒng)掃描光鑷設(shè)計(jì)中，采用沿著俘獲光束傳播方向的前向探測(cè)方式，通過(guò)QPD探測(cè)顯微鏡聚光鏡后焦面上顆粒的散射光斑。顆粒的散射光可以是光阱俘獲的光束產(chǎn)生的，也可以是另外用探測(cè)光束照射光阱顆粒產(chǎn)生。這兩種前向探測(cè)基于顯微鏡集成的掃描光鑷，都需要在顯微鏡聚光鏡上方空間搭建前向探測(cè)裝置，商品化顯微鏡上方搭建前向探測(cè)裝置使得整個(gè)掃描光鑷系統(tǒng)顯得復(fù)雜。
若利用顯微鏡自身成像功能，沿俘獲光束相反方向探測(cè)顆粒的散射信號(hào)，即為背向探測(cè)，則能簡(jiǎn)化光鑷的設(shè)計(jì)，使得光路變得簡(jiǎn)單，降低系統(tǒng)的成本。在背向探測(cè)光路中，目前所采用的都是基于顯微成像的方式。對(duì)于光阱不掃描時(shí)，背向探測(cè)能實(shí)現(xiàn)高時(shí)空分辨率探測(cè)，因此國(guó)際上也有一些光鑷的實(shí)驗(yàn)裝置采用這種探測(cè)方式。而在光鑷俘獲顆粒掃描時(shí)， 背向成像探測(cè)方式就不能實(shí)時(shí)跟蹤探測(cè)顆粒位置。在背向成像探測(cè)的光鑷中，被俘獲顆粒的軸向微小位移將導(dǎo)致顆粒的像在軸向變化很大，顆粒成像大小也會(huì)有較大變化。為了滿足有限的探測(cè)器靶面探測(cè)被俘獲顆粒的像，需要根據(jù)實(shí)驗(yàn)不斷調(diào)節(jié)合適光路參數(shù)。當(dāng)顆粒尺寸過(guò)大后它的像超過(guò)了探測(cè)靶面大小，難以實(shí)現(xiàn)有效高精度探測(cè)。
在掃描光鑷的光電探測(cè)的設(shè)計(jì)上，前向探測(cè)裝置使得系統(tǒng)復(fù)雜，但能探測(cè)掃描光阱中俘獲顆粒的位置；背向探測(cè)裝置簡(jiǎn)單，但對(duì)顆粒成像的探測(cè)方法難以在掃描光鑷的應(yīng)用。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種俘獲及探測(cè)復(fù)用的掃描光鑷系統(tǒng)，簡(jiǎn)化傳統(tǒng)掃描光鑷的系統(tǒng)，同時(shí)保持在不同掃描位置的光鑷探測(cè)，達(dá)到高精度探測(cè)的要求。[0008]本發(fā)明為了達(dá)到上述目的的解決方案為
一種俘獲及探測(cè)復(fù)用的掃描光鑷系統(tǒng)，其將激光器發(fā)出的俘獲激光光束利用透鏡組擴(kuò)束到合適比例成近平行光束傳播，經(jīng)過(guò)計(jì)算機(jī)控制的掃描轉(zhuǎn)鏡偏轉(zhuǎn)光束；偏轉(zhuǎn)的光束經(jīng)過(guò)45度半反半透的鏡片反射到阱位透鏡，由平行傳播的光束聚焦在顯微鏡左側(cè)通道中心共軛點(diǎn)C處；透射的部分激光用擋光板遮擋；將顯微鏡內(nèi)部左側(cè)光口所對(duì)應(yīng)的分光棱鏡替換為針對(duì)激光45度全反射的二色鏡；掃描轉(zhuǎn)鏡所處位置A與顯微鏡物鏡后焦面B共軛， 光束經(jīng)過(guò)光路中這些透鏡后光束光斑大小與物鏡后瞳大小一致，進(jìn)入高數(shù)值孔徑物鏡聚焦，這樣就形成了掃描光鑷；
探測(cè)光束和俘獲光束為同一激光束；光阱中顆粒的背向散射光都經(jīng)過(guò)高數(shù)值孔徑物鏡收集，沿俘獲光束的光路原路反向傳播；具體的為經(jīng)過(guò)物鏡收集在B處的散射光斑經(jīng)過(guò)一個(gè)透鏡和阱位透鏡，成像在B處共軛面A’，直接用QPD探測(cè)A’光斑便實(shí)現(xiàn)對(duì)掃描光鑷的探測(cè)；
其中，在光路中，A和A’都與B為共軛成像關(guān)系，A和A’分別在阱位透鏡的焦平面；C為無(wú)窮遠(yuǎn)顯微鏡左側(cè)通光孔的成像共軛點(diǎn)；位置a和位置b分別為物鏡成像面上不同散射點(diǎn)；透鏡將A’光斑成像在四象限探測(cè)器靶面上。
在QPD優(yōu)化的探測(cè)設(shè)計(jì)中，探測(cè)光斑尺寸在靶面大小的一半最合適，而商品化的各種QPD靶面大小與共軛點(diǎn)A’處的光斑大小不一定匹配，通過(guò)合適透鏡將A’光斑以合適放大倍率成像在QPD靶面上。
本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和積極效果為
1、本發(fā)明光鑷在不同角度掃描過(guò)程中，掃描光束經(jīng)過(guò)物鏡后焦面的光束被截?cái)嗟那闆r相同，進(jìn)入物鏡的激光功率一致，光斑對(duì)稱性在小角度變化時(shí)也不會(huì)有明顯的變化，光束不同角度入射主要影響光鑷俘獲顆粒的橫向位置，因此在掃描過(guò)程中光鑷的性能保持不變。
2、本發(fā)明在光鑷掃描過(guò)程中，通過(guò)物鏡后焦面處散射光斑經(jīng)過(guò)一系列透鏡共軛成像投影到探測(cè)器靶面上，顆粒在光阱中心的散射光斑的位置變化反映了掃描光阱偏離的距離。在光鑷掃描過(guò)程中，散射光斑中心的變化不會(huì)使光斑偏離探測(cè)器靶面。
3、本發(fā)明在特定角度入射的俘獲光束，相對(duì)中心光斑偏離的位置反映了顆粒偏離光阱中心的位移。通過(guò)相應(yīng)信號(hào)標(biāo)定后，這樣就實(shí)現(xiàn)偏離光阱中心位移高精度的探測(cè)和掃描光阱中心位移的探測(cè)。
4、本發(fā)明當(dāng)光鑷俘獲顆粒大小不同時(shí)，背向探測(cè)顆粒成像的方式需要調(diào)整探測(cè)器位置，而背向探測(cè)后焦面光斑的方式無(wú)須對(duì)探測(cè)器位置作調(diào)整。在物鏡后焦面的共軛面上掃描俘獲光束和探測(cè)顆粒散射光，即可保持性能穩(wěn)定的掃描光鑷和高精度的探測(cè)，簡(jiǎn)化了光鑷裝置，降低了成本，并且在背向探測(cè)方面解決了針對(duì)不同顆粒大小需要重新調(diào)整光路參數(shù)的問(wèn)題。


圖1俘獲及探測(cè)復(fù)用掃描光鑷系統(tǒng)的光路圖。
圖中，1為激光器；2、3、6和11為透鏡；4為掃描轉(zhuǎn)鏡；5為四象限探測(cè)器；7為45 度半反半透平面鏡；8為擋光板；9為阱位透鏡；10為針對(duì)激光45度全反射的二色鏡；12為高數(shù)值孔徑物鏡；13為載物臺(tái)；14為樣品池；15為聚光鏡；16為顯微鏡照明光源；17為視頻監(jiān)控相機(jī)。A和A’代表與物鏡后焦面處的共軛面，B為物鏡后焦面，C處為顯微鏡成像的共軛面。
圖2物鏡收集焦平面不同位置的背向散射光原理圖。
圖中，F(xiàn)為物鏡物方焦點(diǎn)；F’為物鏡像方焦點(diǎn)諷和H2為物鏡等效的主平面；D為物鏡后焦面處光闌；a和b分別為物鏡成像面上不同散射點(diǎn)；a’和b’分別對(duì)應(yīng)物鏡收集由 a和b的散射光線。
圖3俘獲及探測(cè)復(fù)用光路的各共軛面關(guān)系圖。
圖中，5為四象限探測(cè)器，6和11為透鏡；9為阱位透鏡。L1到L4分別為光路中各光學(xué)器件的相隔光程。A和A’為與B處的共軛面，C處位顯微鏡成像的共軛面。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖及具體實(shí)施方式
對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不僅限于下面實(shí)施例，應(yīng)包括權(quán)利要求
書中的全部?jī)?nèi)容。
本發(fā)明的掃描光鑷俘獲及探測(cè)復(fù)用光路設(shè)計(jì)是基于商品化無(wú)窮遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng)，俘獲光束和探測(cè)光束為同一激光束，原理圖見(jiàn)圖1。在本發(fā)明的光鑷系統(tǒng)中，俘獲光路設(shè)計(jì)參數(shù)需要滿足以下條件(1)光束掃描位置與物鏡后焦面共軛；(2)掃描光束光斑大小、掃描精度、阱位透鏡焦距和光束的擴(kuò)束比依賴光束掃描范圍的設(shè)計(jì)要求；(3)進(jìn)入物鏡的俘獲光束光斑尺寸與物鏡后焦面對(duì)光束限制的光學(xué)孔徑大小一致；(4)控制光阱的阱位透鏡與顯微鏡的結(jié)像透鏡共焦點(diǎn)。對(duì)于探測(cè)光路設(shè)計(jì)參數(shù)需要滿足以下條件(1)投影在QPD靶面上的散射光斑約為靶面尺寸的一半；( 投影在QPD靶面的光斑與物鏡后焦面共軛。在整個(gè)光鑷系統(tǒng)整合上，除了機(jī)械尺寸能保障所有光學(xué)元件都能插入外，盡可能將俘獲光路和探測(cè)光路共用光學(xué)元件，減少整個(gè)系統(tǒng)的光學(xué)元件。
將激光器1發(fā)出的俘獲激光光束利用透鏡組2和3擴(kuò)束到合適比例成近平行光束傳播，經(jīng)過(guò)計(jì)算機(jī)控制的掃描轉(zhuǎn)鏡4偏轉(zhuǎn)光束。偏轉(zhuǎn)的光束經(jīng)過(guò)45度半反半透的平面鏡7 反射到阱位透鏡9，由平行傳播的光束聚焦在顯微鏡左側(cè)通道中心共軛點(diǎn)C處。透射的部分激光用擋光板8遮擋。將顯微鏡內(nèi)部左側(cè)光口所對(duì)應(yīng)的分光棱鏡替換為針對(duì)激光45度全反射的二色鏡10。掃描轉(zhuǎn)鏡4所處位置A與顯微鏡物鏡后焦面B共軛，光束經(jīng)過(guò)光路中這些透鏡后光束光斑大小與物鏡后瞳大小一致，進(jìn)入高數(shù)值孔徑物鏡12聚焦，這樣就形成了掃描光鑷。
探測(cè)光束和俘獲光束為同一激光束。光阱中顆粒的背向散射光都經(jīng)過(guò)高數(shù)值孔徑物鏡收集，沿俘獲光束的光路原路反向傳播。由于焦距極短的高數(shù)值孔徑物鏡是一個(gè)復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng)，可以用主平面表示成像系統(tǒng)，見(jiàn)圖2, 和H2表示物鏡系統(tǒng)的兩個(gè)主平面，F(xiàn)和 F’表示物鏡的前后焦點(diǎn)。當(dāng)顆粒在位置a和位置b處于光阱中心散射時(shí)，通過(guò)物鏡系統(tǒng)收集的散射光在主平面上光斑對(duì)稱性是一致的。一般光鑷在顯微鏡成像面上掃描距離在微米級(jí)，因此后焦面F’處(B點(diǎn)處)的散射光束光斑中心也只平移微米級(jí)距離。在共軛面上的光斑中心偏移量也對(duì)應(yīng)于微米級(jí)，而QPD靶面尺寸在毫米級(jí)，因此這種微米級(jí)偏離量與探測(cè)器允許偏離毫米級(jí)光斑比較而言可以忽略。這樣就能實(shí)現(xiàn)光鑷掃描時(shí)，探測(cè)光斑仍然在探測(cè)器靶面上。[0028]采用QPD探測(cè)散射光斑的各個(gè)光學(xué)元件相應(yīng)位置見(jiàn)圖3。經(jīng)過(guò)物鏡收集在B處的散射光斑經(jīng)過(guò)透鏡11和9，成像在B處共軛面A’，直接用QPD探測(cè)A’光斑便實(shí)現(xiàn)對(duì)掃描光鑷的探測(cè)。在QPD優(yōu)化的探測(cè)設(shè)計(jì)中，探測(cè)光斑尺寸在靶面大小的一半最合適，而商品化的各種QPD靶面大小與共軛點(diǎn)A’處的光斑大小不一定匹配，通過(guò)合適透鏡將A’光斑以合適放大倍率成像在QPD靶面上。
高精度位移探測(cè)的實(shí)質(zhì)是反映光阱中顆粒相對(duì)光阱中心位移偏離量。光鑷的俘獲光束通過(guò)高數(shù)值孔徑物鏡聚焦后，在光阱位置處光斑為亞微米級(jí)，這種光束照射在微米 /亞微米級(jí)顆粒上，一旦顆粒偏離光阱中心，納米級(jí)的偏離量都會(huì)導(dǎo)致被物鏡收集的散射光斑對(duì)稱性發(fā)生改變。當(dāng)QPD探測(cè)這一光斑時(shí)，四個(gè)靶面上探測(cè)光強(qiáng)不一樣，通過(guò)差分計(jì)算便將這種細(xì)微變化進(jìn)行了放大探測(cè)。在掃描光鑷中，只要俘獲光束掃描時(shí)散射光斑仍然在探測(cè)器的線性區(qū)間時(shí)，就能實(shí)現(xiàn)高精度探測(cè)，因此合理設(shè)計(jì)探測(cè)物鏡主平面或者后焦面光斑， 能有效的實(shí)現(xiàn)掃描光鑷的高精度探測(cè)。由于物鏡的主平面隨著倍數(shù)和數(shù)值孔徑等參數(shù)變化，而顯微鏡系統(tǒng)齊焦設(shè)計(jì)導(dǎo)致物鏡焦面在同一地方，因此探測(cè)物鏡后焦面光斑更為方便。 雖然光斑中心有細(xì)微偏移，但這種變化不會(huì)影響探測(cè)精度，而只反映前后光束掃描位置的變化。通過(guò)合適的標(biāo)定，光斑中心的偏移還可以作為掃描光鑷掃描位移的測(cè)量量。
對(duì)于俘獲光路和探測(cè)光路中的具體透鏡位置可用圖3所示的等效光路表示。在設(shè)計(jì)具體光學(xué)參數(shù)時(shí)，假定探測(cè)器靶面、激光器準(zhǔn)直出光的光斑和物鏡后瞳孔徑的一維尺寸分別為S”s2和S3 ；俘獲激光束經(jīng)過(guò)透鏡2和3的擴(kuò)束比為M1 ；透鏡6、9和11的焦距分別為 f/、f2和f3 ；物鏡放大倍率為M。w ；掃描器件角度掃描范圍和分辨率分別為θ ^和Δ θ。若系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)需要在顯微鏡視察內(nèi)一維掃描范圍為、，阱位透鏡焦距&和掃描精度位移AS 兩足
/4=冷，⑴
AS = S4A θ /Q00 (2)
由無(wú)窮遠(yuǎn)系統(tǒng)可知阱位透鏡9和透鏡11在C處共焦點(diǎn)，L3 = f2+f3。顯微鏡成像共軛面C為顯微鏡左側(cè)通道中固定位置，透鏡11是固定在顯微鏡內(nèi)部的透鏡，不同廠商所選擇透鏡的焦距不一樣。透鏡9和11構(gòu)成的擴(kuò)束鏡放大倍率為M2 = f3/f2，則激光器準(zhǔn)直出光擴(kuò)束比M1 = S3/ (S2M2)。由于光束掃描角度都很小，因此A點(diǎn)到透鏡9的距離La滿足:
Z4 =/4+(/5-Z4VM22。⑶
在選配器件如激光器、掃描轉(zhuǎn)鏡和顯微鏡系統(tǒng)上作光鑷設(shè)計(jì)，參數(shù)θ ρ Δ θ、M。bj、 &、33、4和1^4為固定值，、為設(shè)計(jì)的要求，則1^的光程便可公式(3)所確定。
在探測(cè)光路中，Α’和A點(diǎn)到透鏡9的光程一致。物鏡后焦面光斑&對(duì)應(yīng)在共軛面的光斑大小為S’ &/M2。E
透鏡成像將A’處光斑像放大或縮小到QPD靶面S1的一半，則
(4)
r r r M2S1
A =/3+/3^^
L2= f4 + 2LlSs
M2S1
(5)
因此選定將A點(diǎn)的光斑投影到QPD靶面的透鏡f3，則透鏡到QPD靶面和阱位透鏡的的光程也就確定了。[0040]在掃描光鑷俘獲不同大小顆粒實(shí)驗(yàn)中，由于背向探測(cè)的是物鏡后焦面光斑大小， 因此實(shí)驗(yàn)中無(wú)須調(diào)整QPD靶面和放大倍率來(lái)適應(yīng)顆粒成像大小的變化。通過(guò)在物鏡后焦面上掃描俘獲光束和探測(cè)顆粒散射光斑，就實(shí)現(xiàn)了性能穩(wěn)定的掃描光鑷和高精度的探測(cè)。
在本發(fā)明中，我們以O(shè)lympus 1X7顯微鏡系統(tǒng)為例，選配IOOX油浸物鏡(NA 1. 4) 聚焦激光光束形成光阱，激光器出光口的光斑為4mm的近平行的激光(香港Anionics AFL-1064-40-R-CL)，掃描轉(zhuǎn)鏡選配PI公司的壓電傾斜平臺(tái)S330. 2SL，四象限探測(cè)器靶面為濱松公司S1557，光鑷的光阱掃描范圍設(shè)定為1. 8 μ m。根據(jù)所選配器件和設(shè)計(jì)要求，則有 θ 0 = 2mrad, Δ θ = 0. 05 μ rad, Mobj = 100，f3 = 180mm, S1 = lmm, S2 = 4mm, S3 = 6mm, S4 =1. 8 μ m，L4 = 180mm。根據(jù)公式(1)到(5)可得，f2 = 90mm, AS = O. 045nm, L3 = 270mm, M2 = 2,M1 = 0. 75, La = 90mm，S，= 3mm。選擇 = 50mm，則 L1 = 58. 3mm, L2 = 440mm。根據(jù)M1可以選擇器件2的焦距為100mm，器件3的焦距為75mm。
依據(jù)以上參數(shù)，掃描光鑷?yán)碚撋蠏呙瓒ㄎ痪饶苓_(dá)到0. 045nm，但實(shí)際探測(cè)的精度依賴具體溶液環(huán)境和生物大分子承受應(yīng)力的條件。
本發(fā)明未詳細(xì)闡述的部分屬于本領(lǐng)域公知技術(shù)。
權(quán)利要求
1.一種俘獲及探測(cè)復(fù)用的掃描光鑷系統(tǒng)，其特征在于該系統(tǒng)將激光器(1)發(fā)出的俘獲激光光束通過(guò)透鏡組O和；3)擴(kuò)束到合適比例成近平行光束傳播，經(jīng)過(guò)計(jì)算機(jī)控制的掃描轉(zhuǎn)鏡(4)偏轉(zhuǎn)光束；偏轉(zhuǎn)的光束經(jīng)過(guò)45度半反半透的鏡片(7)反射到阱位透鏡(9)，由平行傳播的光束聚焦在顯微鏡左側(cè)通道中心共軛點(diǎn)C處；透射的部分激光用擋光板(8)遮擋；將顯微鏡內(nèi)部左側(cè)光口所對(duì)應(yīng)的分光棱鏡替換為針對(duì)激光45度全反射的二色鏡(10)； 掃描轉(zhuǎn)鏡所處位置A與顯微鏡物鏡后焦面B共軛，光束經(jīng)過(guò)光路中這些透鏡后光束光斑大小與物鏡后瞳大小一致，進(jìn)入高數(shù)值孔徑物鏡(1 聚焦，這樣就形成了掃描光鑷；探測(cè)光束和俘獲光束為同一激光束；光阱中顆粒的背向散射光都經(jīng)過(guò)高數(shù)值孔徑物鏡 (12)收集，沿俘獲光束的光路原路反向傳播；具體的為經(jīng)過(guò)物鏡收集在B處的散射光斑經(jīng)過(guò)一個(gè)透鏡(11)和阱位透鏡(9)，成像在B處共軛面A’，直接用QPD探測(cè)A’光斑便實(shí)現(xiàn)對(duì)掃描光鑷的探測(cè)；其中，在光路中，A和A’都與B為共軛成像關(guān)系，A和A’分別在阱位透鏡(9)的焦平面；C為無(wú)窮遠(yuǎn)顯微鏡左側(cè)通光孔的成像共軛點(diǎn)；位置a和位置b分別為物鏡成像面上不同散射點(diǎn)；透鏡(6)將A’光斑成像在四象限探測(cè)器靶面(5)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的一種俘獲及探測(cè)復(fù)用的掃描光鑷系統(tǒng)，其特征在于在QPD 優(yōu)化的探測(cè)設(shè)計(jì)中，探測(cè)光斑尺寸在靶面大小的一半最合適，而商品化的各種QPD靶面大小與共軛點(diǎn)A’處的光斑大小不一定匹配，通過(guò)合適透鏡將A’光斑以合適放大倍率成像在 QPD靶面上。
專利摘要
本發(fā)明提供一種俘獲及探測(cè)復(fù)用的掃描光鑷系統(tǒng)，該系統(tǒng)在物鏡后焦面共軛面掃描俘獲光束形成掃描光鑷；在物鏡后焦面收集被俘獲小球散射光斑，將物鏡后焦面的光斑以共軛成像方式投影到四象限探測(cè)器上；俘獲光路與探測(cè)光路通過(guò)半反半透平面鏡復(fù)用光路；當(dāng)顆粒偏離光阱中心時(shí)改變光斑的對(duì)稱性，實(shí)現(xiàn)對(duì)顆粒位移的高精度探測(cè)；光鑷掃描時(shí)顆粒在物鏡后焦面光斑的共軛像中心位置的仍在探測(cè)器靶面上，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)光束掃描光鑷的位移探測(cè)。本發(fā)明簡(jiǎn)化傳統(tǒng)掃描光鑷的系統(tǒng)設(shè)計(jì)，同時(shí)保持在不同掃描位置的光鑷探測(cè)，達(dá)到高精度探測(cè)的要求。
文檔編號(hào)G21K1/00GKCN102540447SQ201210037312
公開(kāi)日2012年7月4日 申請(qǐng)日期2012年2月17日
發(fā)明者周丹丹, 周金華, 李銀妹, 王自強(qiáng), 鐘敏成 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan