專利名稱：電子元件的檢驗(yàn)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及電子元件的檢驗(yàn)方法。具體地說本發(fā)明涉及用于對(duì)生產(chǎn)線出口處的批量電子元件進(jìn)行檢驗(yàn)的領(lǐng)域，特別是用于對(duì)存儲(chǔ)器式的電子元件進(jìn)行檢驗(yàn)，尤其是對(duì)閃速存儲(chǔ)器式的電子元件進(jìn)行檢驗(yàn)。在現(xiàn)有技術(shù)中，公知的檢驗(yàn)方法可以對(duì)多個(gè)同種元件反復(fù)進(jìn)行檢驗(yàn)，這些元件來自同一批制造的產(chǎn)品，或者來自單個(gè)或多個(gè)生產(chǎn)線。本發(fā)明旨在提供一種檢驗(yàn)方法，能夠逐步減少對(duì)同種元件進(jìn)行相同檢驗(yàn)的時(shí)間。
在現(xiàn)有技術(shù)中，已知一種對(duì)電子元件，例如對(duì)集成電路的存儲(chǔ)器元件進(jìn)行檢驗(yàn)的機(jī)器。通常，在生產(chǎn)線的出口處存儲(chǔ)器元件都排列在稱作“晶片”的薄上。一個(gè)晶片可以包括上百個(gè)需檢驗(yàn)的存儲(chǔ)器元件。晶片的每一個(gè)存儲(chǔ)器元件進(jìn)行整體檢驗(yàn)，對(duì)各個(gè)元件單獨(dú)進(jìn)行并且與薄片其它元件上需進(jìn)行的其它檢驗(yàn)無關(guān)。
一個(gè)電子元件主要包括一些存儲(chǔ)單元及一些輸入和輸出，這些輸入和輸出可以與單元的輸入和輸出端相連。例如，一個(gè)存儲(chǔ)元件可以有256K個(gè)存儲(chǔ)單元，每個(gè)存儲(chǔ)單元有一個(gè)輸入和一個(gè)輸出端。另外，在一個(gè)例子中的，存儲(chǔ)元件可以有32個(gè)輸入和32個(gè)輸出。通常，這種電子元件的一個(gè)存儲(chǔ)器單元是一個(gè)晶體管。在一個(gè)例子中，晶體管可以具有8個(gè)不同的輸出狀態(tài)。在該例子中，對(duì)于需要檢驗(yàn)的電子元件來講，一個(gè)存儲(chǔ)器單元可以處在8個(gè)不同的電壓電平下，由于電子元件的尺寸關(guān)系，這些電平值為1.5-2.5V。因而存儲(chǔ)單元的一個(gè)電平值經(jīng)編碼后成為3比特。
在現(xiàn)有技術(shù)中，人們知道的檢驗(yàn)機(jī)器能夠按順序?qū)﹄娮釉母鱾€(gè)存儲(chǔ)器單元進(jìn)行檢驗(yàn)，以便確定電子元件是否有用。以前通常根據(jù)理論來確定檢驗(yàn)的特性和方式。特別是從理論上來提供一個(gè)有待傳送到各個(gè)檢驗(yàn)存儲(chǔ)器單元中的檢驗(yàn)信號(hào)的過程模式，并根據(jù)這些檢驗(yàn)信號(hào)從理論上確定狀態(tài)模式，由于初始傳送的信號(hào)的特性和過程模式，所以從理論上來講存儲(chǔ)器單元應(yīng)當(dāng)通過所述的狀態(tài)模式。
由于理論檢驗(yàn)的過程模式在起動(dòng)時(shí)就得到確立，所以當(dāng)設(shè)計(jì)元件時(shí)，為檢驗(yàn)這種元件所確定的時(shí)間應(yīng)該考慮到檢驗(yàn)結(jié)果的可靠系數(shù)。此外，檢驗(yàn)的過程模式及其實(shí)施的時(shí)間沒有考慮改善實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)。因?yàn)?，改變檢驗(yàn)的某一個(gè)過程模式或檢驗(yàn)時(shí)間均會(huì)造成理論上難以計(jì)算的結(jié)果。因此，初始理論檢驗(yàn)的過程模式?jīng)]有改變，或者說即使改變也非常小。因此檢驗(yàn)時(shí)間要比估計(jì)可能用的時(shí)間多很多。因而在現(xiàn)有技術(shù)中，對(duì)電子元件的檢驗(yàn)要化很長(zhǎng)的時(shí)間。
在現(xiàn)有技術(shù)中，為了稍微減少電子元件的總檢驗(yàn)時(shí)間，在所知道的一個(gè)檢驗(yàn)方法中，同時(shí)對(duì)元件的多個(gè)單元進(jìn)行檢驗(yàn)。由于一個(gè)元件可以有多達(dá)32個(gè)輸入，因此在該情況下可以同時(shí)檢驗(yàn)該元件的32個(gè)單元。每一個(gè)檢驗(yàn)在于在一定的時(shí)間內(nèi)傳送一個(gè)非單調(diào)電信號(hào)，但這樣會(huì)出現(xiàn)信號(hào)的耦合問題。因?yàn)橐鶕?jù)理論來確定檢驗(yàn)，使這些檢驗(yàn)?zāi)軌蛲瑫r(shí)進(jìn)行傳送。反之，如果想要改變某些檢驗(yàn)，就有可能出現(xiàn)這些耦合問題。因?yàn)?，在元件?2個(gè)輸入上發(fā)送到該元件的待檢驗(yàn)的32個(gè)單元中的不同信號(hào)的組合是相當(dāng)復(fù)雜的，所以這些組合不可能容易地進(jìn)行最佳組合。因此在現(xiàn)有技術(shù)中，將建立起的檢驗(yàn)過程維持在原來的狀態(tài)，調(diào)整不到任何連續(xù)的最佳狀態(tài)。
本發(fā)明目的旨在解決上述問題，提供一種能夠使對(duì)電子元件進(jìn)行的檢驗(yàn)時(shí)間逐步達(dá)到最佳程度的檢驗(yàn)方法。本發(fā)明提出的方案在于對(duì)電子元件進(jìn)行檢驗(yàn)的方法，例如在第一階段將一個(gè)信號(hào)傳送到元件的待檢驗(yàn)的單元中。該傳送的第一信號(hào)并非單調(diào)信號(hào)。通常，該信號(hào)是復(fù)合形的，它由一個(gè)過程模式確定，該過程模式是在某一時(shí)間內(nèi)的各種不同數(shù)值的鏈接。
例如該信號(hào)可以由一個(gè)數(shù)模轉(zhuǎn)換器發(fā)送，該數(shù)模轉(zhuǎn)換器將相應(yīng)的數(shù)值表轉(zhuǎn)換成有待進(jìn)行檢驗(yàn)的過程模式數(shù)值。因此數(shù)模轉(zhuǎn)換器由一個(gè)時(shí)鐘控制，該時(shí)鐘可以確定電信號(hào)的發(fā)射速度，因而也就能夠控制該信號(hào)的發(fā)射時(shí)間。特別是將該信號(hào)發(fā)送到有待檢驗(yàn)的元件的一個(gè)單元中。
接收單元在一定的時(shí)間后發(fā)射一個(gè)響應(yīng)信號(hào)。測(cè)量該響應(yīng)信號(hào)，所述響應(yīng)信號(hào)通常是包括一個(gè)電狀態(tài)模式的電信號(hào)，所述單元在接收信號(hào)的作用下通過該狀態(tài)模式。在所述的特定例子中，由于單元處于8個(gè)不同的狀態(tài)，因此單元的狀態(tài)模式例如可以用一條曲線表示，該曲線具有8個(gè)不同水平段。然后判斷得到的該狀態(tài)模式是否符合需要的狀態(tài)模式。也就是說，將得到的狀態(tài)模式與可以接受的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)模式進(jìn)行比較，對(duì)于狀態(tài)模式的基本步驟來講，得到的狀態(tài)模式可以大于標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)模式，也可以小于標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)模式。
本發(fā)明的方法提議通過壓縮初始信號(hào)的過程模式時(shí)間再一次進(jìn)行檢驗(yàn)。這樣，就發(fā)送其總體特征與第一次發(fā)動(dòng)信號(hào)相同的相同信號(hào)，所不同的是縮短了所用的時(shí)間。因此更快地實(shí)現(xiàn)了單元通過的狀態(tài)模式，狀態(tài)模式本身的時(shí)間更短了。然后，如果獲得的經(jīng)壓縮的狀態(tài)模式與希望的同樣經(jīng)壓縮的狀態(tài)模式相符或不符，則接受或拒絕該元件。
用與壓縮初始傳送信號(hào)相同的方法壓縮需要的初始狀態(tài)模式，就可以得到需要的壓縮狀態(tài)模式，壓縮初始傳送信號(hào)是為了得到具有壓縮過程模式的信號(hào)。隨著元件的檢驗(yàn)，為了逐漸減少檢驗(yàn)時(shí)間，例如，可考慮把該傳送信號(hào)的新過程模式作為傳送到一個(gè)新的待檢測(cè)元件的信號(hào)。在這種情況下，用壓縮過的檢驗(yàn)時(shí)間直接對(duì)一個(gè)新元件進(jìn)行檢驗(yàn)。
因此，本發(fā)明涉及的是檢驗(yàn)電子元件的方法，其中-在第一階段將具有非單調(diào)的第一過程模式的第一信號(hào)傳送到元件的第一個(gè)單元中；-測(cè)量表示成第一單元的第一電狀態(tài)模式的結(jié)果；-如果第一狀態(tài)模式滿足所需要的狀態(tài)模式，則接受該元件，其特征在于-壓縮第一信號(hào)的過程模式時(shí)間，-測(cè)量相應(yīng)狀態(tài)的壓縮模式，-如果壓縮過的狀態(tài)模式滿足所需要的壓縮模式，則接受該元件。
通過下面結(jié)合附圖的描述將會(huì)更清楚地理解本發(fā)明。這些附圖僅作為本發(fā)明的非限定的例子。這些附圖為

圖1是根據(jù)本發(fā)明方法檢驗(yàn)的電子元件示意圖；圖2a是本發(fā)明檢驗(yàn)方法的信號(hào)總體過程模式；圖2b是可以用本發(fā)明檢驗(yàn)方法得到的總體狀態(tài)模式；圖3是根據(jù)本發(fā)明檢驗(yàn)方法逐步減少時(shí)間的圖表。
如圖1所示，本發(fā)明方法用于對(duì)電子元件1進(jìn)行檢驗(yàn)，該電子元件例如處于薄片2上。薄片2上可以有多達(dá)幾千個(gè)需要檢驗(yàn)的電子元件1。薄片2通常稱作“晶片”。在本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例中，薄片2包括一些集成電路，每個(gè)電路包括至少一個(gè)存儲(chǔ)元件1。存儲(chǔ)元件1例如可以是閃速只讀式存儲(chǔ)器。每一個(gè)排列在薄片2上的存儲(chǔ)元件1都應(yīng)當(dāng)根據(jù)本發(fā)明的檢驗(yàn)方法進(jìn)行檢驗(yàn)。
具體地說，存儲(chǔ)元件1包括一些存儲(chǔ)器單元3，必須使每個(gè)存儲(chǔ)器單元3得到檢驗(yàn)。通常，必須使薄片2上的每個(gè)存儲(chǔ)器單元3都得到檢驗(yàn)。
例如一個(gè)存儲(chǔ)器單元3是一個(gè)晶體管。例如，一個(gè)晶體管可以是一個(gè)簡(jiǎn)單晶體管。在圖2所示的例子中，存儲(chǔ)器單元3是一個(gè)帶有雙柵極的晶體管，使其包括一個(gè)能夠接收不同電壓的輸入通路4，而且還使其包括一個(gè)輸出通路5，該輸出路徑根據(jù)接收到的輸入信號(hào)以及存儲(chǔ)器單元的存儲(chǔ)狀態(tài)傳送輸出信號(hào)。輸出信號(hào)同樣也有不同的電壓。在圖2所示的例子中，由于晶體管包括雙柵極，所以輸出5的輸出信號(hào)可以具有8個(gè)不同的狀態(tài)。
由于所涉及的電子元件很小，所以必須傳送低壓信號(hào)。因此，輸入通路4處的輸入信號(hào)通常為1.5-2.5v電壓。這種信號(hào)可以通過存儲(chǔ)元件1的一個(gè)分接輸入6發(fā)送到通路4中。事實(shí)上存儲(chǔ)器1例如可以分別有16個(gè)或32個(gè)分接輸入和16個(gè)或32個(gè)分接輸出。但是一個(gè)電子元件1通常有32個(gè)以上的存儲(chǔ)器單元，因此輸入分接上發(fā)送的一個(gè)信號(hào)還可以有一個(gè)地址信號(hào)，以便在電子元件1的存儲(chǔ)器單元中設(shè)定一個(gè)待檢驗(yàn)的存儲(chǔ)器單元。在存儲(chǔ)器單元3的輸出5上發(fā)送的信號(hào)在存儲(chǔ)元件1的輸出分支7處得到接收。根據(jù)輸入分支的數(shù)量，例如存儲(chǔ)元件1的6個(gè)輸入分支，就可以同時(shí)與相同數(shù)量的存儲(chǔ)器單元聯(lián)通。
本發(fā)明電子元件1的檢驗(yàn)方法主要包括圖2a所示的信號(hào)S1傳輸，在時(shí)間T1內(nèi)，輸出信號(hào)S1。信號(hào)S1的形狀復(fù)雜，它不是單調(diào)信號(hào)。因?yàn)閷?duì)于檢驗(yàn)Test1來講，圖2a所示的信號(hào)S1開始是數(shù)值V1的固定相，然后突然下降到V0，再慢慢上升到V2，此后又重新下降到V0，接著按照線性方式逐漸上升到V3，最后在該V3值保持恒定。這種形狀是任意的。它表示初始信號(hào)非單調(diào)的復(fù)雜特性。信號(hào)S1的特征在于過程模式。因?yàn)?，在?shù)值V0,V1,V2和V3之間的不同變化以及與每一個(gè)數(shù)值相關(guān)的時(shí)間形成了過程模式。因此該信號(hào)S1通過存儲(chǔ)器單元3的輸入路徑4和電子元件1的輸入接口6發(fā)送到存儲(chǔ)器單元3中。
在存儲(chǔ)器單元3的輸出5以及最后在電子元件1的一個(gè)輸出分接7處反饋一個(gè)由傳送信號(hào)S1產(chǎn)生的結(jié)果。該結(jié)果由一組按順序排列的狀態(tài)構(gòu)成，在接收信號(hào)S1后存儲(chǔ)器單元3通過這些狀態(tài)。例如，一個(gè)結(jié)果可以是圖2b所示的那種信號(hào)S2。在該例子中，信號(hào)S2是一系列不同數(shù)值的水平段(此處是任意的)先是E1，然后E0，再E2,E3，之后重新又是E1。
將該信號(hào)S2與所希望的電狀態(tài)模式或結(jié)果的狀態(tài)模式進(jìn)行比較。結(jié)果，希望的狀態(tài)模式具有高和/或低的接收標(biāo)準(zhǔn)。因?yàn)椋瑢?duì)于每一個(gè)水平段的確切時(shí)間來講，希望的狀態(tài)模式的接收標(biāo)準(zhǔn)可以是隨意的，而對(duì)于所希望的平臺(tái)本身所處的位置來講，該接收標(biāo)準(zhǔn)也是隨意的。每一個(gè)平臺(tái)均有一個(gè)與其它平臺(tái)相關(guān)的時(shí)間間隙。
對(duì)于所做的檢驗(yàn)來講，如果判斷可以接受存儲(chǔ)器單元3，則重新根據(jù)本發(fā)明的方法對(duì)該存儲(chǔ)器單元3進(jìn)行檢驗(yàn)。為此，利用信號(hào)S1’，使S1’的過程模式時(shí)間正比于信號(hào)S1的過程模式時(shí)間。該傳送信號(hào)S1’的時(shí)間等于T2，并使T2小于T1。因而對(duì)存儲(chǔ)器單元3輸出的信號(hào)S2’進(jìn)行研究。信號(hào)S2’由存儲(chǔ)器單元3的電狀態(tài)壓縮模式構(gòu)成。如果得到的狀態(tài)壓縮模式與該存儲(chǔ)器單元希望得到的壓縮狀態(tài)模式相符，則判斷可以接受電子元件。通常預(yù)料信號(hào)S2’暫時(shí)會(huì)與信號(hào)S2成正比，使信號(hào)S2和信號(hào)S2’之間的差主要在于存儲(chǔ)器單元通過的狀態(tài)的各個(gè)時(shí)間成比例地減少。因此，接收該狀態(tài)壓縮模式的標(biāo)準(zhǔn)也分別降低。
在一個(gè)變型中，可以只壓縮信號(hào)S1的時(shí)間部分。因而得到S2形式的響應(yīng)，如果檢驗(yàn)有效的話，該S2根據(jù)響應(yīng)也減少相同的部分。
在這些情況下，當(dāng)用壓縮信號(hào)S1’對(duì)存儲(chǔ)器單元3進(jìn)行檢驗(yàn)時(shí)，如果重新判定該存儲(chǔ)器單元符合要求，則可以決定對(duì)電子元件1的其它存儲(chǔ)器單元進(jìn)行檢驗(yàn)，也可以用輸入信號(hào)S1’決定其它電子元件1，以便進(jìn)行檢驗(yàn)Test1。這樣，對(duì)于所做的各個(gè)新檢驗(yàn)來講，可以縮短T1和T2之間的時(shí)間差。另外，可以反復(fù)進(jìn)行這種檢驗(yàn)，以便在將得到的輸出信號(hào)保持在符合要求的前提下逐步縮短檢驗(yàn)Test1的時(shí)間。
在第一種變型中，根據(jù)本發(fā)明方法可以決定只對(duì)電子元件的單元進(jìn)行重復(fù)檢驗(yàn)。這樣，就一個(gè)單元接一個(gè)單元地逐漸減少檢驗(yàn)時(shí)間。在第二個(gè)變型中，可以決定只在對(duì)逐個(gè)單元新檢驗(yàn)有效以后才利用壓縮的檢驗(yàn)時(shí)間。
在本發(fā)明的優(yōu)選例子中，為了壓縮過程模式S1的時(shí)間T1，可以使用一個(gè)時(shí)鐘。因?yàn)椋谠摍z驗(yàn)中，信號(hào)S1的特征已經(jīng)記錄在一個(gè)表中。根據(jù)時(shí)鐘的節(jié)律依次閱讀該表，以便數(shù)模轉(zhuǎn)換器將該表提供的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的電信號(hào)。時(shí)鐘可以通過數(shù)模轉(zhuǎn)換器確定記錄在該表中的數(shù)值轉(zhuǎn)換速度。因而根據(jù)所選擇的速度得到的信號(hào)具有與數(shù)值相同的特征，但執(zhí)行起來可以快些或饅些。在這種情況下，不論相應(yīng)信號(hào)發(fā)射的時(shí)間有多長(zhǎng)，信號(hào)S1包括與該表中提取的相同取樣數(shù)。
在一種變型中，設(shè)置一個(gè)轉(zhuǎn)換速度一定的調(diào)節(jié)時(shí)鐘。在這種情況下，為了改變某一給定信號(hào)的發(fā)射時(shí)間，可以制定一個(gè)縮減表。在第一表的各數(shù)據(jù)中進(jìn)行取樣以后就可以得到這種縮小表。這樣，得到的第二表包括與第一表完全相同的特性，但它得到一個(gè)其時(shí)間比第一表的時(shí)間少的信號(hào)，其原因在于它讀取的取樣數(shù)較少。但該變型不易實(shí)施，因?yàn)樗笾贫ǘ鄠€(gè)表，以便得到多個(gè)壓縮時(shí)間或多個(gè)需要發(fā)送信號(hào)的過程模式。
電子元件的一個(gè)單元可以進(jìn)行多個(gè)檢驗(yàn)。例如，可以對(duì)該電子元件進(jìn)行需要的檢驗(yàn)Test1,Test2，直至TestN。對(duì)于每一個(gè)檢驗(yàn)來講，均可以使用本發(fā)明的方法。因此，對(duì)于每個(gè)檢驗(yàn)來講，可以壓縮各個(gè)具有非單調(diào)過程模式的S1形信號(hào)的發(fā)射時(shí)間。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于可以單獨(dú)壓縮檢驗(yàn)Test1,Test2…TestN的每一個(gè)時(shí)間。因此每次檢驗(yàn)都可單獨(dú)優(yōu)化。
此外，本發(fā)明的電子元件，尤其是存儲(chǔ)器1包括若干輸入分接6和若干輸出分接7。因此可以同時(shí)檢驗(yàn)若干個(gè)位于該電子元件1中的單元3。因?yàn)槔妹恳粋€(gè)輸入分支6，可以分別作用到電子元件1內(nèi)相同數(shù)量的單元3。因而可以將一個(gè)與指定檢驗(yàn)對(duì)應(yīng)的S1形信號(hào)發(fā)送到各個(gè)單元上。同時(shí)，從一個(gè)單元發(fā)送到另一個(gè)單元的與當(dāng)前所做檢驗(yàn)相關(guān)的信號(hào)可以不同。同樣，根據(jù)本發(fā)明的方法，可以分別減少每一個(gè)檢驗(yàn)的發(fā)送信號(hào)時(shí)間，而每一個(gè)檢驗(yàn)均是用各自的方式對(duì)一個(gè)單元進(jìn)行的。
由于在這種情況下，信號(hào)在同一電子元件的分支上同時(shí)進(jìn)行發(fā)送，而且這些分接非?？拷跃陀锌赡艹霈F(xiàn)與信號(hào)發(fā)射頻率有關(guān)的輻射。因?yàn)榭梢杂^察到各個(gè)分支發(fā)射或接收到的信號(hào)之間的耦合現(xiàn)象。在這種情況下，本發(fā)明方法提出通過同時(shí)進(jìn)行檢驗(yàn)就可將完成檢驗(yàn)的時(shí)間達(dá)到最佳，應(yīng)當(dāng)同時(shí)將所述檢驗(yàn)發(fā)送到需進(jìn)行檢驗(yàn)的所有單元上，從而當(dāng)根據(jù)本發(fā)明方法縮短檢驗(yàn)時(shí)間時(shí)也考慮了上述耦合現(xiàn)象。因?yàn)槿绻淖儼l(fā)送信號(hào)的模式，則可能對(duì)發(fā)送的其它信號(hào)產(chǎn)生干擾，或者對(duì)輸出得到的電狀態(tài)產(chǎn)生干擾。這樣，如圖3所示，就會(huì)先后或同時(shí)進(jìn)行所有的檢驗(yàn)Test1,Test2,TestN，此時(shí)的壓縮系數(shù)為Tr1。然后可以再進(jìn)行這些檢驗(yàn)，此時(shí)為更大的壓縮系數(shù)Tr2(時(shí)間更短)。通過在表中打X來考慮檢驗(yàn)電子元件的檢驗(yàn)結(jié)果。對(duì)于系數(shù)Tr3來講，既然在所有按系數(shù)為Tr2的檢驗(yàn)中已知一個(gè)電子元件是理想的電子元件，則只有檢驗(yàn)Test2才能正確判斷該電子元件。在這種情況下，如果對(duì)電子元件1的其它所有單元或電路(或?qū)ζ渌娮釉?進(jìn)行實(shí)地檢驗(yàn)時(shí)，則可以確定系數(shù)Tr3只能用于檢驗(yàn)Test2，系數(shù)Tr2應(yīng)當(dāng)用于其它檢驗(yàn)。由此用最短時(shí)間同時(shí)進(jìn)行檢驗(yàn)Test1到TestN。
在本發(fā)明的方法中，可以在一個(gè)檢驗(yàn)，例如對(duì)一個(gè)單元3的檢驗(yàn)Test1中得到的最小壓縮時(shí)間和初始規(guī)定時(shí)間T1之間建立一個(gè)比值。這樣就可確定兩個(gè)壓縮比值?？梢源_定一個(gè)對(duì)指定單元和指定檢驗(yàn)實(shí)現(xiàn)的壓縮比值。了解這些壓縮比值就可以根據(jù)一個(gè)評(píng)估的表格判斷單元和更全面地判斷含有該單元的電子元件，所述表格可以比好壞之間的分類更精確。因?yàn)椋梢詾檫@些電子元件建立一個(gè)性能價(jià)值表。例如可以指出那些合格的電子元件，并根據(jù)不同檢驗(yàn)得到的壓縮比對(duì)它們進(jìn)行分類。這樣就可以根據(jù)這些數(shù)值的范圍對(duì)檢驗(yàn)的電子元件分類，它可以鑒別為比期望的數(shù)值更理想的那些較佳元件。同樣，也可以對(duì)那些不好的電子元件進(jìn)行分類。
本發(fā)明的檢驗(yàn)方法還可以用來檢驗(yàn)例如存儲(chǔ)式電子元件在一定時(shí)間以后的閱讀和書寫能力。因此，要在對(duì)應(yīng)發(fā)送信號(hào)S1的閱讀運(yùn)行和對(duì)應(yīng)測(cè)量結(jié)果S2的閱讀運(yùn)行之間進(jìn)行時(shí)效處理。這種時(shí)效處理主要在于逐漸使電子元件經(jīng)受溫度變化。因?yàn)椋脦讉€(gè)小時(shí)，通常用2個(gè)小時(shí)進(jìn)行的時(shí)效處理就相當(dāng)于理論上的6個(gè)月的時(shí)效處理。然后根據(jù)這種次序?qū)匣碾娮釉帽景l(fā)明的方法進(jìn)行檢驗(yàn)。
在對(duì)存儲(chǔ)器單元進(jìn)行檢驗(yàn)時(shí)，通常在各個(gè)檢驗(yàn)結(jié)束后，刪除存儲(chǔ)器的所有內(nèi)容，以便在檢驗(yàn)以后成為完全沒有使用過的存儲(chǔ)器。
權(quán)利要求
1．一種檢驗(yàn)電子元件(1)的方法，其中-將具有非單調(diào)第一過程模式持續(xù)時(shí)間為(T1)的第一信號(hào)S1傳送到元件的第一個(gè)單元中；-測(cè)量表示成第一單元第一個(gè)電狀態(tài)模式的結(jié)果(S2)；-如果第一狀態(tài)模式滿足所需要的狀態(tài)模式，則接受該元件，其特征在于-壓縮第一信號(hào)過程模式的時(shí)間(T2)，-測(cè)量相應(yīng)狀態(tài)的壓縮模式，-如果壓縮過的狀態(tài)模式滿足所需要的壓縮模式，則接受該元件。
2．根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于用時(shí)鐘確定第一過程模式元件鏈距，使該時(shí)鐘的步距能夠減少。
3．根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于根據(jù)第一過程模式的采樣建立一個(gè)表，使過程模式的具有該表一系列采樣的信號(hào)發(fā)送時(shí)間對(duì)應(yīng)于過程模式的壓縮時(shí)間。
4．根據(jù)權(quán)利要求1至3之一所述的方法，其特征在于根據(jù)第一過程模式的采樣建立一組表，該組表示過程模式的表能夠得到不同壓縮系數(shù)的壓縮過程模式。
5．根據(jù)權(quán)利要求1至4之一所述的方法，其特征在于一個(gè)檢驗(yàn)包括若干對(duì)電子元件的單元進(jìn)行檢驗(yàn)的過程模式，對(duì)最初信號(hào)的不同過程模式分別進(jìn)行不同時(shí)間的壓縮。
6．根據(jù)權(quán)利要求1至5之一所述的方法，其特征在于同時(shí)對(duì)同一電子元件的若干電路進(jìn)行檢驗(yàn)。
7．根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于確定不同的壓縮比，從而對(duì)最初信號(hào)的過程模式進(jìn)行壓縮，每一個(gè)最初信號(hào)都同時(shí)發(fā)送到有待檢驗(yàn)的某一個(gè)電路中。
8．根據(jù)權(quán)利要求1至7之一所述的方法，其特征在于根據(jù)為壓縮第一信號(hào)過程模式的時(shí)間所設(shè)定的壓縮比來鑒定電子元件。
9．根據(jù)權(quán)利要求1至8之一所述的方法，其特征在于發(fā)送一個(gè)第一信號(hào)給電子元件的后一個(gè)電路或給后一個(gè)電子元件，對(duì)于過程模式來講，該第一信號(hào)具有壓縮過的過程模式，而該壓縮過程模式是為上一個(gè)檢驗(yàn)過的一個(gè)電路或電子元件確定的。
10．根據(jù)權(quán)利要求1至9之一所述的方法，其特征在于使電子元件反復(fù)經(jīng)受不同的溫度而使其老化，將第一時(shí)間段的具有非單調(diào)第一過程模式的第一信號(hào)發(fā)送給電子元件的第一單元，和測(cè)量表示成第一單元電狀態(tài)第一模式的結(jié)果。
11．根據(jù)權(quán)利要求1至10之一所述的方法，其特征在于和第一信號(hào)一樣，將一個(gè)編程信號(hào)發(fā)送到電子元件的集成電路存儲(chǔ)器的一個(gè)存儲(chǔ)器單元中，所述存儲(chǔ)器主要是閃速可擦除可編程只讀存儲(chǔ)器，檢驗(yàn)結(jié)束以后對(duì)存儲(chǔ)單元進(jìn)行清除。
全文摘要
一種檢驗(yàn)電子元件(1)的方法,其中將一個(gè)信號(hào)(S1)傳送到元件的一個(gè)單元(3)中并且研究該電子元件的輸出信號(hào)(S2),以便確定是否接受該電子元件。如果接受該元件,則根據(jù)本方法重新進(jìn)行檢驗(yàn),發(fā)送一個(gè)與第一信號(hào)類似的信號(hào)(S1’),但持續(xù)時(shí)間(T2)較短。將輸出信號(hào)(S2’)與期望的壓縮模式進(jìn)行比較。如果快速完成的檢驗(yàn)有效,則可以對(duì)后面的檢驗(yàn)元件使用該快速檢驗(yàn)的輸入信號(hào)。
文檔編號(hào)G01R31/28GK1309299SQ00137378
公開日2001年8月22日 申請(qǐng)日期2000年10月20日 優(yōu)先權(quán)日1999年10月21日
發(fā)明者菲利浦·列尤恩 申請(qǐng)人:索福特林克公司