專利名稱：可擴充頻道的半導體多管芯測試系統(tǒng)及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導體多管芯的測試系統(tǒng)及方法，特別是一種可擴充頻道的半導體多管芯測試系統(tǒng)及方法，使用測試處理機中有限的測試頻道(channel)進行接腳(pin)總數(shù)超過頻道數(shù)的多個管芯的測試。


圖1顯示了一傳統(tǒng)半導體多管芯測試系統(tǒng)的方塊圖。此系統(tǒng)包括一測試處理機1(Handler/Prober)、測試裝置2、及一界面裝置3。
測試處理機1包括一接收裝置13，在接收裝置13中放入晶片(圖未顯示)，而對晶片上其中一個待測管芯(Die)11進行測試。待測管芯11具有八個待測接腳P1-P8。顯示器14則從八個測試頻道15a-15h分別取得每一個接腳P1-P8的測試結(jié)果而將其顯示。
測試裝置2包括與待測管芯11相對的測試模組21及測試機22。在執(zhí)行數(shù)位測試(如嵌入內(nèi)存(embedded memory)測試)時，測試機22控制測試模組21經(jīng)由信號線L1發(fā)出一組測試信號至待測管芯11的待測接腳P1-P8，測試結(jié)果亦經(jīng)由信號線L1傳回再經(jīng)測試模組21轉(zhuǎn)送至測試機22。而在執(zhí)行類比測試時，測試機22則略過測試模組21而直接對待測管芯11進行測試。
測試機22經(jīng)由信號線L2將測試結(jié)果送至界面裝置3，經(jīng)界面裝置3轉(zhuǎn)換信號接頭后再經(jīng)由信號線L3送回測試處理機1的測試頻道15a-15h。
利用上述傳統(tǒng)的半導體多管芯測試系統(tǒng)進行管芯的測試步驟如下如圖2所示，首先在步驟21中對晶片上選定的第一個待測管芯進行類比測試，即測試待測接腳的類比性質(zhì)，如電壓值、電流值等等。
接著，在步驟22中再對此待測管芯進行數(shù)位測試，即測試待測接腳的邏輯運算功能，如輸出代表特定數(shù)值的數(shù)位信號，此處可以是對嵌入內(nèi)存(embedded memory)進行測試。
再者，在步驟23中，若晶片上尚有第二個管芯需進行測試，則繼續(xù)對第二個待測管芯重復上述步驟21及22；否則結(jié)束測試。
從上述傳統(tǒng)半導體多管芯測試系統(tǒng)及方法的說明中可以得知，在使用一組測試頻道對多個管芯進行測試時，若管芯的總數(shù)大于該組測試頻道的測試容量、或是所有管芯待測接腳的總數(shù)大于該組測試頻道可提供的測試接腳總數(shù)時，由于測試頻道不足，所有的管芯必需一個接著一個地輪流使用頻道以進行測試，所花費的測試時間將隨待測管芯數(shù)目的增加而增加，十分耗時。
另外，由于在進行管芯測試時，數(shù)位測試所花費的時間占了全部測試時間的95％以上，若能縮短數(shù)位測試所需的時間，必能有效減少全部的測試時間。
因此，為克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明特提供一種可擴充頻道的半導體多管芯測試系統(tǒng)及方法，在進行數(shù)位測試時，可使多個測試模組同時進行測試并將測試結(jié)果依序輸入測試頻道，使得在待測接腳總數(shù)大于測試頻道數(shù)時亦可以進行快速的測試。
本發(fā)明的一個目的在于提供一種可擴充頻道的半導體多管芯測試系統(tǒng)，用以測試至少一待測管芯的復數(shù)待測接腳。
其技術(shù)方案是此系統(tǒng)包括一測試處理機、一測試裝置及一多工器。其中，測試處理機具有總數(shù)少于該些待測接腳的復數(shù)測試頻道，且經(jīng)由測試頻道讀取待測接腳的測試結(jié)果。測試模組對待測管芯進行測試而產(chǎn)生待測接腳的測試結(jié)果。多工器則依序切換接收測試結(jié)果，使測試結(jié)果輪流輸出至測試頻道。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種可擴充頻道的半導體多管芯測試系統(tǒng)，用以測試多個待測管芯。
其技術(shù)方案是此系統(tǒng)包括一測試處理機、一測試裝置及一多工器。其中，測試處理機具有一組測試頻道，經(jīng)由測試頻道逐一讀取每一待測管芯的一組測試結(jié)果。測試裝置對每一待測管芯進行測試而產(chǎn)生每一待測管芯的一組測試結(jié)果。多工器則依序輪流接收每一組測試結(jié)果，并將每一組測試結(jié)果輪流輸出至測試頻道。
本發(fā)明的再另一目的在于提供一種半導體多管芯測試方法，使用一具有一組測試頻道的測試處理機配合多個測試模組對多個待測管芯進行測試。
其技術(shù)方案是其中每一測試模組對每一待測管芯進行測試而分別產(chǎn)生一組測試結(jié)果，測試處理機則經(jīng)由測試頻道讀取每一待測管芯的一組測試結(jié)果。該方法包括以下步驟首先，令該些測試模組同時對該些待測管芯進行測試，使每一組測試結(jié)果于同時間產(chǎn)生。接著，使該測試處理機輪流使用該組測試頻道逐一讀取每一組測試結(jié)果。
通過以上對本發(fā)明目的及技術(shù)方案的描述可知，本發(fā)明的可擴充頻道的半導體多管芯測試系統(tǒng)及方法，既可用以測試至少一待測管芯的復數(shù)待測接腳，又可同時測試多個待測管芯。上述的半導體多管芯測試方法，由于執(zhí)行數(shù)位測試時是讓多個管芯同時進行再依序讀取其測試結(jié)果，不會讓測試時間因管芯的增加而增加，且又因數(shù)位測試時間占全部測試時間的95％以上，所以亦有效減少了全部所需的測試時間，使本發(fā)明達到提高測試速度的效果。
以下為本發(fā)明的附圖圖1為一傳統(tǒng)半導體多管芯測試系統(tǒng)的方塊圖；圖2為一傳統(tǒng)半導體多管芯測試方法的流程圖圖3顯示本發(fā)明一實施例中可擴充頻道的半導體多管芯測試系統(tǒng)的方塊圖；圖4顯示本發(fā)明一實施例中半導體多管芯測試方法的流程圖。
圖中元件符號說明1測試處理機 11、11a-11c待測管芯13接收裝置14顯示器15a-15h測試頻道 L1-L3信號線21、21a-21c測試模組 22測試機3界面裝置 4多工器p1-p8待測接腳下面結(jié)合附圖對本發(fā)明做進一步詳述
圖3顯示了本發(fā)明的半導體多管芯測試系統(tǒng)的方塊圖，圖3與圖1中相同的元件使用相同或類似的符號。此系統(tǒng)包括測試處理機1、測試裝置2、一界面裝置3及一多工器4。
測試處理機1包括一接收裝置13，在接收裝置13中放入一晶片(圖未顯示)，此晶片上具有三個待測管芯11a、11b、11c需進行測試。待測管芯11a、11b、11c各具有八個待測接腳p1-p8。顯示器14則從八個測試頻道15a-15h分別取得每一個接腳p1-p8的測試結(jié)果而將其顯示。
測試裝置2包括與待測管芯11a、11b、11c相對的測試模組21a、21b、21c及測試機22。圖3中本發(fā)明的半導體多管芯測試系統(tǒng)與圖1中傳統(tǒng)的半導體多管芯測試系統(tǒng)最大的不同即在于在測試模組與測試機之間增加一多工器4使本系統(tǒng)可使用一組測試頻道15a-15h(其測試容量僅為一個管芯)，配合三個測試模組21a、21b、21c而進行三個待測管芯11a、11b、11c的測試。多工器4的作用在于可將測試模組21a、21b、21c所產(chǎn)生的測試結(jié)果依序切換輸出至測試機22，使測試機22同時間只接受一組測試結(jié)果。因此，在執(zhí)行數(shù)位測試(如嵌入內(nèi)存測試)時，由于多工器4的存在，使得測試機22可令測試模組21a、21b、21c同時經(jīng)由信號線L1a、L1b、L1c各發(fā)出一組測試信號至待測管芯11a、11b、11c的待測接腳p1-p8而同時取回測試結(jié)果，再借由多工器4的切換而依序?qū)⑵漭敵鲋翜y試機22。在執(zhí)行類比測試時，測試機22則略過測試模組21a、21b、21c與多工器4而直接對待測管芯11a、11b、11c以輪流的方式進行測試。
測試機22經(jīng)由信號線L2將測試結(jié)果送至界面裝置3，經(jīng)界面裝置3轉(zhuǎn)換信號接頭后再經(jīng)由信號線L3送回測試處理機1的測試頻道15a-15h。
上述本發(fā)明的半導體多管芯測試系統(tǒng)進行的測試步驟如下如圖4所示，首先在步驟41中對11a的八個待測接腳p1-p8進行類比測試，即測試待測接腳p1-p8的類比性質(zhì)，如電壓值、電流值等等。
接著，在步驟42中，若晶片上尚有管芯未完成類比測試則繼續(xù)對下一個待測管芯(11b或11c)重復步驟41。
在步驟43中再對三個待測管芯11a、11b、11c的八個待測接腳p1-p8同時進行數(shù)位測試，即測試待測接腳p1-p8的邏輯運算功能，如輸出代表特定數(shù)值的數(shù)位信號，此處可以是對嵌入內(nèi)存(embedded memory)進行測試。
雖然本發(fā)明已以一較佳實施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何本專業(yè)的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)所作的更動與潤飾，均應(yīng)在本發(fā)明的保護范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.用以測試至少一待測管芯的復數(shù)待測接腳的一種可擴充頻道的半導體多管芯測試系統(tǒng)，其特征在于該系統(tǒng)包括具有總數(shù)少于該些待測接腳的復數(shù)測試頻道、并由該些測試頻道讀取該些待測接腳的測試結(jié)果的一測試處理機；對該待測管芯進行測試而產(chǎn)生該些待測接腳的測試結(jié)果的一測試裝置；依序切換接收該些測試結(jié)、并使該些測試結(jié)果輪流輸出至該些測試頻道的一多工器。
2.如權(quán)利要求1所述的可擴充頻道的半導體多管芯測試系統(tǒng)，其特征在于其中該測試裝置包括至少一組將一測試信號送入該些待測接腳、并讀取該些待測接腳回饋的測試結(jié)果的測試模組。
3.如權(quán)利要求2所述的可擴充頻道的半導體多管芯測試系統(tǒng)，其特征在于其中該測試裝置包括一用以控制該測試模組的動作的測試機。
4.如權(quán)利要求3所述的可擴充頻道的半導體多管芯測試系統(tǒng)，其特征在于其中該多工器連接于該些測試模組與該測試機之間。
5.用以測試復數(shù)待測管芯的一種可擴充頻道的半導體多管芯測試系統(tǒng)，其特征在于該系統(tǒng)包括具有一組測試頻道且經(jīng)由該組測試頻道逐一讀取每一待測管芯的一組測試結(jié)果的一測試處理機；對每一待測管芯進行測試而產(chǎn)生每一待測管芯的一組測試結(jié)果的一測試裝置；依序輪流接收每一組測試結(jié)果、并將每一組測試結(jié)果輪流輸出至該組測試頻道的一多工器。
6.如權(quán)利要求5所述的可擴充頻道的半導體多管芯測試系統(tǒng)，其特征在于其中該測試裝置包括每一測試模組將一測試信號送入每一待測管芯、并讀取每一待測管芯回饋的測試結(jié)果的復數(shù)測試模組。
7.如權(quán)利要求6所述的可擴充頻道的半導體多管芯測試系統(tǒng)，其特征在于其中該測試裝置包括用以控制該些測試模組動作的一測試機。
8.如權(quán)利要求7所述的可擴充頻道的半導體多管芯測試系統(tǒng)，其特征在于其中該測試機使該些測試模組同時將該測試信號送入每一待測管芯而同時讀取每一待測管芯回饋的測試結(jié)果。
9.如權(quán)利要求7所述的可擴充頻道的半導體多管芯測試系統(tǒng)，其特征在于其中該多工器連接于該些測試模組與該測試機之間。
10.一種半導體多管芯測試方法，其特征在于它使用一具有一組測試頻道的測試處理機配合復數(shù)測試模組對復數(shù)待測管芯進行測試，其中每一測試模組對每一待測管芯進行測試而分別產(chǎn)生一組測試結(jié)果，該測試處理機經(jīng)由該組測試頻道讀取每一待測管芯的一組測試結(jié)果，該方法包括以下步驟令該些測試模組同時對該些待測管芯進行測試，使每一組測試結(jié)果于同時間產(chǎn)生；使該測試處理機輪流使用該組測試頻道逐一讀取每一組測試結(jié)果。
11.如權(quán)利要求10所述的可擴充頻道的半導體多管芯測試方法，其中該測試處理機對該些待測管芯進行數(shù)位測試。
12.如權(quán)利要求11所述的可擴充頻道的半導體多管芯測試方法，其中還包括逐一對該些待測管芯進行類比測試而產(chǎn)生每一待測管芯的一組類比測試結(jié)果；使該測試處理機在每一組類比測試結(jié)果產(chǎn)生時即經(jīng)由該組測試頻道讀取。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種可擴充頻道的半導體多管芯測試系統(tǒng)及方法,用以測試至少一待測管芯的復數(shù)待測接腳、或測試復數(shù)待測管芯,此系統(tǒng)包括:一測試處理機、一測試裝置及一多工器;其中,測試處理機具有總數(shù)少于該些待測接腳的復數(shù)測試頻道且經(jīng)由測試頻道讀取待測接腳的測試結(jié)果,測試模組對待測管芯進行測試而產(chǎn)生待測接腳的測試結(jié)果,多工器則依序切換接收測試結(jié)果,使測試結(jié)果輪流輸出至測試頻道;本發(fā)明可提高測試速度。
文檔編號G01R31/28GK1378258SQ01110410
公開日2002年11月6日 申請日期2001年4月3日 優(yōu)先權(quán)日2001年4月3日
發(fā)明者張國勇 申請人:華邦電子股份有限公司