專利名稱：用于混合信號(hào)測(cè)試的事件測(cè)試器結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)，用于測(cè)試半導(dǎo)體集成電路，如大規(guī)模集成電路(LSI)，更具體地說，是涉及一種具有事件測(cè)試器結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)，能夠以高速度及高效率測(cè)試混合信號(hào)集成電路。在本發(fā)明的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)中，測(cè)試系統(tǒng)由多個(gè)性能相同或不同的測(cè)試器模塊自由組合構(gòu)成，各測(cè)試器模塊相互獨(dú)立工作，因此能夠同時(shí)測(cè)試被測(cè)器件的模擬信號(hào)塊和數(shù)字信號(hào)塊。


圖1的示意方框圖表示常規(guī)技術(shù)中用于測(cè)試半導(dǎo)體集成電路(以下稱之“IC器件”、“被測(cè)LSI”或“被測(cè)器件”等)的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)示例。
在圖1的示例中，測(cè)試處理器11是一個(gè)設(shè)置在該半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)中的專用處理器，它通過一條測(cè)試器總線TB控制測(cè)試系統(tǒng)的運(yùn)行。根據(jù)測(cè)試處理器11的模式數(shù)據(jù)，一模式產(chǎn)生器12分別為時(shí)序發(fā)生器13和波形格式器14提供時(shí)序數(shù)據(jù)和波形數(shù)據(jù)。波形格式器14采用模式產(chǎn)生器12的波形數(shù)據(jù)和時(shí)序發(fā)生器的時(shí)序數(shù)據(jù)產(chǎn)生一個(gè)測(cè)試模式，該測(cè)試模式通過驅(qū)動(dòng)器15被提供給被測(cè)器件(DUT)19。
根據(jù)一個(gè)預(yù)定的閾值電壓電平，模擬比較器16將DUT 19給出的、由該測(cè)試模式導(dǎo)致的響應(yīng)信號(hào)轉(zhuǎn)換成邏輯信號(hào)。邏輯比較器17將該邏輯信號(hào)與模式產(chǎn)生器12的期望值數(shù)據(jù)進(jìn)行比較。該邏輯比較結(jié)果存于對(duì)應(yīng)于該DUT 19之地址的故障存儲(chǔ)器18。驅(qū)動(dòng)器15、模擬比較器16以及用于改變被測(cè)器件引腳的開關(guān)(未示出)均設(shè)置在引腳電子線路20。
在該半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)中，每個(gè)測(cè)試引腳均配置了上述電路結(jié)構(gòu)。因此，由于大規(guī)模半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)有大量的測(cè)試引腳，如從256至1048個(gè)測(cè)試引腳不等，相同數(shù)量的、如圖1所示的電路結(jié)構(gòu)被組合起來，實(shí)際的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)變成了一個(gè)很大的系統(tǒng)。圖2所示是這種半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)的外觀示例。該半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)主要是由主機(jī)22、測(cè)試頭24及工作站26組成。
例如，工作站26是一臺(tái)計(jì)算機(jī)，配置有圖形用戶接口(GUT)，其功能是作為該測(cè)試系統(tǒng)與用戶之間的接口。該測(cè)試系統(tǒng)的運(yùn)行、測(cè)試程序的產(chǎn)生及測(cè)試程序的執(zhí)行都是通過工作站26而被實(shí)施。主機(jī)22包括大量的測(cè)試通道(引腳)，各通道中設(shè)有如圖1所示的測(cè)試處理器11、模式產(chǎn)生器12、時(shí)序發(fā)生器13、波形格式器14和比較器17。
測(cè)試頭24包括大量印刷電路板，各電路板上設(shè)有引腳電子線路20，見圖1。例如，測(cè)試頭24呈圓柱形，其中構(gòu)成引腳電子線路的印刷電路板呈輻射狀排列。在測(cè)試頭24的上面，被測(cè)器件19被插入在操作板28中心附近的一測(cè)試槽中。
在該引腳電子線路和操作板28之間，設(shè)置有一個(gè)引腳(測(cè)試)固定裝置27，它是一個(gè)用于電信號(hào)傳送的接觸式結(jié)構(gòu)。引腳固定裝置27包括大量的連接器，例如用于電連接引腳電子線路及操作板的彈簧引腳(pogo-pin)。被測(cè)器件19從引腳電子線路接收測(cè)試模式信號(hào)并產(chǎn)生一個(gè)響應(yīng)輸出信號(hào)。
在常規(guī)半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)中，為產(chǎn)生施加于被測(cè)器件的測(cè)試模式，采用被稱之為基于周期的格式所描述的測(cè)試數(shù)據(jù)。在基于周期的格式中，測(cè)試模式中每一變量的限定與該半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)的每一測(cè)試周期(測(cè)試器頻率)相關(guān)。更明確地說，在某一特定測(cè)試周期中，測(cè)試周期(測(cè)試器頻率)描述、波形(波形種類、邊沿時(shí)序)描述、以及矢量描述對(duì)該測(cè)試模式作了詳盡說明。
在被測(cè)器件的設(shè)計(jì)階段，在計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)(CAD)環(huán)境中，通過一測(cè)試臺(tái)，所設(shè)計(jì)出的結(jié)果數(shù)據(jù)由邏輯仿真處理而進(jìn)行鑒定。然而，通過測(cè)試臺(tái)而獲得的設(shè)計(jì)鑒定數(shù)據(jù)采用基于事件的格式描述。在基于事件的格式中，特定測(cè)試模式中的各個(gè)變化點(diǎn)(事件)參照時(shí)間段來描述，例如從“0”到“1”或從“1”到“0”。例如，時(shí)間段的定義是采用從一預(yù)定參考點(diǎn)開始的絕對(duì)時(shí)間長(zhǎng)度，或是兩個(gè)鄰近事件之間的相對(duì)時(shí)間長(zhǎng)度。
在美國(guó)專利申請(qǐng)第09/340,371號(hào)文件中，本發(fā)明的發(fā)明人公開了兩種測(cè)試模式之間的比較，一種是采用基于周期格式的測(cè)試數(shù)據(jù)的測(cè)試模式構(gòu)成，另一種是采用基于事件格式的測(cè)試數(shù)據(jù)的測(cè)試模式構(gòu)成。本發(fā)明之發(fā)明人還提出了一種基于事件的測(cè)試系統(tǒng)，作為半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)中的一種新概念系統(tǒng)。在屬于該發(fā)明之相同受讓人的美國(guó)專利申請(qǐng)第09/406300號(hào)文件中，對(duì)于這種基于事件的測(cè)試系統(tǒng)之結(jié)構(gòu)和運(yùn)行給出了詳細(xì)說明。
如上所述，半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)設(shè)置了大量的印刷電路板及類似器件，其數(shù)量等于或大于測(cè)試引腳的數(shù)量，其結(jié)果形成一個(gè)整體龐大的系統(tǒng)。在常規(guī)半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)中，印刷電路板及類似器件都是彼此相同的。
例如，在測(cè)試頻率為500MHz、時(shí)序精度為80微微秒的高速和高分辨率測(cè)試系統(tǒng)中，印刷電路板對(duì)于所有的測(cè)試引腳都具有同樣強(qiáng)的性能，每一引腳都能滿足該測(cè)試頻率和時(shí)序分辨率。因此，常規(guī)的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)不可避免地成為一個(gè)成本非常昂貴的系統(tǒng)。而且，由于在每一測(cè)試引腳采用相同的電路結(jié)構(gòu)，這種測(cè)試系統(tǒng)所能實(shí)施的測(cè)試類型是有限的。
例如，待測(cè)試器件包括一種具有模擬功能和數(shù)字功能的半導(dǎo)體器件。一個(gè)典型的例子就是音頻IC或通信器件IC，包括模數(shù)(AD)轉(zhuǎn)換器、數(shù)模(DA)轉(zhuǎn)換器以及數(shù)字信號(hào)處理電路等。在常規(guī)的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)中，一次只能進(jìn)行一種功能測(cè)試。所以，為了測(cè)試上述的混合信號(hào)集成電路，必須以順序方式分別對(duì)每一個(gè)功能塊進(jìn)行測(cè)試，例如，先測(cè)試AD轉(zhuǎn)換器，接著測(cè)試DA轉(zhuǎn)換器，然后測(cè)試數(shù)字信號(hào)處理電路。
甚至幾乎經(jīng)常性地有這樣的情況，在測(cè)試只設(shè)置邏輯電路的器件時(shí)，并非這種被測(cè)器件的所有測(cè)試引腳不需要半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)的最高性能。例如，待測(cè)試的是一典型的邏輯LSI器件，該器件有幾百個(gè)測(cè)試引腳，實(shí)際測(cè)試中，只有幾個(gè)測(cè)試引腳處于最高速工作狀態(tài)并需要最高速測(cè)試信號(hào)，而其他幾百個(gè)測(cè)試引腳則工作在相當(dāng)?shù)偷乃俣?，而且需要的是低速測(cè)試信號(hào)。新近開發(fā)的單芯片系統(tǒng)(system-on-chip)也是如此，它是一種備受關(guān)注的半導(dǎo)體器件。因此，單芯片系統(tǒng)(SOC)只有少數(shù)引腳需用高速測(cè)試信號(hào)，而對(duì)于其它引腳用低速測(cè)試信號(hào)就足夠了。
由于常規(guī)的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)不能同時(shí)并行進(jìn)行不同類型的測(cè)試，其缺陷是，為了完成混合信號(hào)器件的測(cè)試，它需要較長(zhǎng)的測(cè)試時(shí)間。而且，只是被測(cè)器件的少數(shù)引腳所需的高性能卻配置給所有的測(cè)試引腳，結(jié)果導(dǎo)致該測(cè)試系統(tǒng)的成本很高。
常規(guī)半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)之所以在如上所述的所有測(cè)試引腳中設(shè)置相同的電路結(jié)構(gòu)，結(jié)果使其不能通過設(shè)有不同電路結(jié)構(gòu)以同時(shí)進(jìn)行兩種或多種不同類型的測(cè)試，其原因之一便是該系統(tǒng)的配置是采用基于周期的測(cè)試數(shù)據(jù)來產(chǎn)生測(cè)試模式。采用基于周期的原理產(chǎn)生測(cè)試模式，其軟件和硬件都趨于復(fù)雜，因此，要在該測(cè)試系統(tǒng)中包含不同的電路結(jié)構(gòu)和相關(guān)的軟件，實(shí)際上是不可能的，這樣會(huì)使測(cè)試系統(tǒng)更加復(fù)雜。
為更清楚地解釋上述理由，根據(jù)圖3所示的波形，對(duì)兩種測(cè)試模式構(gòu)成做簡(jiǎn)單的比較，即一種是采用基于周期格式的測(cè)試數(shù)據(jù)的測(cè)試模式構(gòu)成，另一種是采用基于事件格式的測(cè)試數(shù)據(jù)的測(cè)試模式構(gòu)成。更詳細(xì)的比較被公開在以上提到的美國(guó)專利申請(qǐng)中，該申請(qǐng)屬于與本發(fā)明相同的受讓人。
如圖3的示例所示，其中，測(cè)試模式的產(chǎn)生，是根據(jù)在該集成電路的設(shè)計(jì)階段中實(shí)施的邏輯仿真所得到的數(shù)據(jù)。該結(jié)果數(shù)據(jù)被存儲(chǔ)在轉(zhuǎn)儲(chǔ)文件(dump file)37中，該轉(zhuǎn)儲(chǔ)文件37的輸出為基于事件的格式的數(shù)據(jù)，表示所設(shè)計(jì)之LSI(大規(guī)模集成電路)器件的輸入和輸出中的變化，并具有圖3右下方所示的說明38，例如，用于表示波形31。
在該示例中，假設(shè)通過采用該說明構(gòu)成如波形31所示的測(cè)試模式，該波形31分別說明了產(chǎn)生于引腳(測(cè)試器引腳或測(cè)試通道)Sa和Sb的測(cè)試模式。描述該波形的事件數(shù)據(jù)由置位邊沿San、Sbn及其時(shí)序(例如，從一參考點(diǎn)開始的時(shí)間段)、復(fù)位邊沿Ran、Rbn及其時(shí)序組成。
在根據(jù)基于周期原理的常規(guī)半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)中，為產(chǎn)生所用的測(cè)試模式，測(cè)試數(shù)據(jù)必須被分為測(cè)試周期(測(cè)試器頻率)、波形(波形類型及其邊沿時(shí)序)和向量。這種描述的示例如圖3之中部和左部所示。在基于周期的測(cè)試模式中，如圖3之左部的波形33所示，測(cè)試模式被分為各個(gè)測(cè)試周期(TS1、TS2和TS3)以詳細(xì)說明各測(cè)試周期的波形和時(shí)序(延時(shí))。
對(duì)于這種波形、時(shí)序和測(cè)試周期的數(shù)據(jù)說明之示例參見時(shí)序數(shù)據(jù)(測(cè)試計(jì)劃)36所示。波形的邏輯“1”、“0”或“Z”的示例如向量數(shù)據(jù)(模式數(shù)據(jù))35所示。例如，在時(shí)序數(shù)據(jù)36中，測(cè)試周期由“頻率”描述，以定義測(cè)試周期之間的時(shí)間間隔；波形由RZ(歸零)、NRZ(未歸零)和XOR(異或)來描述。此外，每一波形的時(shí)序由自相應(yīng)的測(cè)試周期之一預(yù)定邊沿開始的延時(shí)來限定。
如上文所述，由于常規(guī)半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)在基于周期的過程中產(chǎn)生測(cè)試模式，模式產(chǎn)生器、時(shí)序發(fā)生器和波形格式器中的硬件結(jié)構(gòu)趨于復(fù)雜，相應(yīng)地，在這樣的硬件中所用的軟件也變得復(fù)雜。此外，由于所有的測(cè)試引腳(例如在以上示例中的Sa和Sb)由共同的測(cè)試周期所限定，因而不可能同時(shí)在各測(cè)試引腳中產(chǎn)生不同周期的測(cè)試模式。
因此，在常規(guī)的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)中，同樣的電路結(jié)構(gòu)被用于所有的測(cè)試引腳，在其中不可能組合不同電路結(jié)構(gòu)的印刷電路板，結(jié)果，不可能同時(shí)以并行方式進(jìn)行不同的測(cè)試，例如模擬塊測(cè)試和數(shù)字塊測(cè)試；而且，例如，高速型測(cè)試系統(tǒng)也需要包括低速硬件配置(例如高電壓和大振幅發(fā)生電路及驅(qū)動(dòng)器截止電路，等等)，因此，在這樣一個(gè)測(cè)試系統(tǒng)中，高速性能得不到充分的改善。
相反，為了通過采用基于事件的方法產(chǎn)生測(cè)試模式，只需要讀出存儲(chǔ)于事件存儲(chǔ)器中的置位/復(fù)位數(shù)據(jù)和相關(guān)的時(shí)序數(shù)據(jù)，所需的硬件和軟件結(jié)構(gòu)非常簡(jiǎn)單。而且，每一個(gè)測(cè)試引腳能夠按照其是否有任何事件而獨(dú)立地工作，而不是根據(jù)測(cè)試周期；因此，同時(shí)能夠產(chǎn)生不同功能和頻率范圍的測(cè)試模式。
如上所述，該發(fā)明之發(fā)明人已提出了基于事件的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)。在該基于事件的測(cè)試系統(tǒng)中，由于所包含的硬件和軟件在結(jié)構(gòu)和內(nèi)容上都十分簡(jiǎn)單，有可能提出一種其中具有不同軟硬件的總的測(cè)試系統(tǒng)。而且，由于各測(cè)試引腳能夠相互獨(dú)立工作，也就能夠同時(shí)以并行的方式進(jìn)行兩個(gè)或多個(gè)功能不同、頻率范圍不同的測(cè)試。
因此，本發(fā)明的目的是提供一種半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)，該系統(tǒng)具有性能不同的測(cè)試器模塊并與測(cè)試引腳相對(duì)應(yīng)，因此，它通過同時(shí)對(duì)模擬功能和數(shù)字功能進(jìn)行并行測(cè)試，能夠測(cè)試混合信號(hào)器件。
本發(fā)明的另一目的是提供一種半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)，其中在測(cè)試器主機(jī)(或測(cè)試頭)中可以自由地安裝不同引腳數(shù)量、不同性能的測(cè)試器模塊，這些測(cè)試器模塊與該測(cè)試器主機(jī)之間的連接規(guī)格是標(biāo)準(zhǔn)化的。
本發(fā)明的又一目的是提供一種半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)，它能自由地容納多個(gè)不同性能的測(cè)試器模塊，因此，它能夠同時(shí)并行測(cè)試多個(gè)不同種類的被測(cè)器件或功能塊。
本發(fā)明的又一目的是提供一種半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)，它能自由地容納多個(gè)性能不同的測(cè)試器模塊，因而能以低成本建立一個(gè)具有足夠測(cè)試性能的測(cè)試系統(tǒng)，進(jìn)而能夠在將來改進(jìn)其性能。
本發(fā)明的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)包括兩個(gè)或多個(gè)性能不同的測(cè)試器模塊；一個(gè)容納兩個(gè)或多個(gè)性能不同的測(cè)試器模塊的測(cè)試頭；設(shè)置在該測(cè)試頭上用于電連接測(cè)試器模塊與被測(cè)器件的裝置；當(dāng)被測(cè)器件是一個(gè)具有模擬功能和數(shù)字功能的混合信號(hào)IC時(shí)，一個(gè)與被測(cè)器件相對(duì)應(yīng)的可選電路；以及一臺(tái)主計(jì)算機(jī)，通過一測(cè)試器總線與測(cè)試器模塊相聯(lián)以控制該測(cè)試系統(tǒng)的整體運(yùn)行。測(cè)試器模塊之性能的一種類型是高速和高時(shí)序分辨率，另一種類型是低速和低時(shí)序分辨率。
在本發(fā)明的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)中，每一測(cè)試器模塊都包含多個(gè)事件測(cè)試器板。在該主計(jì)算機(jī)的控制下，每一測(cè)試器板提供一個(gè)測(cè)試模式給被測(cè)器件的一個(gè)對(duì)應(yīng)引腳，并且對(duì)該被測(cè)器件所產(chǎn)生的結(jié)果輸出信號(hào)進(jìn)行鑒定。
由于本發(fā)明的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)具有模塊化的結(jié)構(gòu)，因此可以根據(jù)被測(cè)器件的種類和測(cè)試目的而自由構(gòu)成一個(gè)所需要的測(cè)試系統(tǒng)。因此，當(dāng)被測(cè)器件是一個(gè)混合信號(hào)集成電路(其中既有模擬電路又有數(shù)字電路)時(shí)，可以同時(shí)以并行方式對(duì)模擬電路和數(shù)字電路進(jìn)行測(cè)試。當(dāng)被測(cè)器件是高速邏輯IC時(shí)，其中也僅有一小部分的邏輯電路實(shí)際工作在高速狀態(tài)。因此，為了測(cè)試這種高速邏輯IC時(shí)，少數(shù)測(cè)試器引腳必須具有高速性能。在本發(fā)明的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)中，該測(cè)試頭與測(cè)試器模塊(接口)之間連接的規(guī)格是標(biāo)準(zhǔn)化的。因此，任何具有標(biāo)準(zhǔn)接口的測(cè)試器模塊能夠安裝在該測(cè)試頭的任何位置。
如上所述，在本發(fā)明的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)中，測(cè)試器模塊(測(cè)試器板)的配置采用基于事件的結(jié)構(gòu)，其中，執(zhí)行測(cè)試所需的所有信息都以基于事件的格式來準(zhǔn)備。因此，在常規(guī)技術(shù)中所采用的表示每一測(cè)試周期起始時(shí)序的頻率信號(hào)或與該頻率信號(hào)相同步工作的模式產(chǎn)生器就不再是必須的了。由于不必包括該頻率信號(hào)或模式產(chǎn)生器，基于事件的測(cè)試系統(tǒng)中的每一個(gè)測(cè)試引腳都能獨(dú)立于其它測(cè)試引腳進(jìn)行工作。因而，可以同時(shí)進(jìn)行不同類型的測(cè)試，比如模擬電路測(cè)試和數(shù)字電路測(cè)試。
此外，由于采用了基于事件的結(jié)構(gòu)，該基于事件的測(cè)試系統(tǒng)的硬件就能極大地減少，而用于控制測(cè)試器模塊的軟件也能極大地簡(jiǎn)化。相應(yīng)地，該基于事件的測(cè)試系統(tǒng)之總的物理尺寸就能減小，從而進(jìn)一步降低成本、減少所占用的空間及節(jié)省相關(guān)的成本。
此外，在本發(fā)明的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)中，在電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化(EDA)環(huán)境中，在該器件的設(shè)計(jì)階段的邏輯仿真數(shù)據(jù)可以直接用于產(chǎn)生測(cè)試模式，以在鑒定階段測(cè)試該器件。因此，可以大大縮短從器件設(shè)計(jì)到器件鑒定之間的工作周期，從而進(jìn)一步降低測(cè)試成本，同時(shí)提高測(cè)試效率。
以下結(jié)合附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。
圖1是常規(guī)技術(shù)中的一種半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)(LSI測(cè)試儀)的基本結(jié)構(gòu)方框圖；圖2是常規(guī)技術(shù)中的一種半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)的外觀示例的示意圖；圖3是用于比較兩個(gè)示例的圖表，其中一個(gè)示例是常規(guī)半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)中產(chǎn)生基于周期的測(cè)試模式的說明，另一個(gè)示例是在本發(fā)明的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)中產(chǎn)生基于事件的測(cè)試模式的說明；圖4所示的方框圖表示采用本發(fā)明的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)測(cè)試混合信號(hào)IC(混合信號(hào)集成電路)的測(cè)試系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示例；圖5是一個(gè)事件測(cè)試器中的電路結(jié)構(gòu)示例的方框圖，該事件測(cè)試器設(shè)置在一事件測(cè)試器板中，該事件測(cè)試器板被組合在根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)測(cè)試器模塊中；圖6是通過組合本發(fā)明的多個(gè)測(cè)試器模塊而建立一個(gè)半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)的示意圖，該測(cè)試系統(tǒng)具有被分為不同性能的測(cè)試引腳；圖7是一測(cè)試器模塊示例的方框圖，該測(cè)試器模塊包括多個(gè)用于本發(fā)明的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)的事件測(cè)試器板；圖8所示的示意圖表示一個(gè)混合信號(hào)IC的內(nèi)部結(jié)構(gòu)，該混合信號(hào)IC具有模擬功能和數(shù)字功能，及表示采用本發(fā)明的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)以并行方式測(cè)試該混合信號(hào)器件中的不同功能的原理；圖9A是采用常規(guī)半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)測(cè)試混合信號(hào)器件的測(cè)試過程示意圖，圖9B是采用本發(fā)明的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)測(cè)試混合信號(hào)器件的測(cè)試過程示意圖；圖10是一個(gè)本發(fā)明的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)的外觀示例示意圖。
參照?qǐng)D4至圖10說明本發(fā)明的實(shí)施例。圖4是本發(fā)明的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)的基本結(jié)構(gòu)方框圖，該測(cè)試系統(tǒng)用于測(cè)試模擬/數(shù)字混合信號(hào)集成電路(混合信號(hào)IC)。在本發(fā)明的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)中，所設(shè)置的一個(gè)測(cè)試頭(測(cè)試器主機(jī))用于在其中可選擇地安裝一個(gè)或多個(gè)模塊化的測(cè)試器(下文稱“測(cè)試器模塊”)。所安裝的測(cè)試器模塊可以是多個(gè)與測(cè)試器引腳數(shù)量相對(duì)應(yīng)的相同測(cè)試器模塊，或者是不同測(cè)試器模塊的組合，比如高速模塊HSM以及低速模塊LSM。
正如稍后將對(duì)圖6和圖7所作的說明一樣，每一個(gè)測(cè)試器模塊配置有多個(gè)事件測(cè)試器板43，比如有八個(gè)測(cè)試器板。此外，每一事件測(cè)試器板包括多個(gè)事件測(cè)試器66與多個(gè)測(cè)試器引腳相對(duì)應(yīng)，比如32個(gè)事件測(cè)試器對(duì)應(yīng)32個(gè)測(cè)試器引腳。因而，在圖4的示例中，事件測(cè)試器板431處理器件測(cè)試的模擬部分，而其它的事件測(cè)試器板43處理器件測(cè)試的數(shù)字部分。
在圖4的測(cè)試系統(tǒng)中，多個(gè)測(cè)試器板43都由一個(gè)測(cè)試器控制器41通過系統(tǒng)總線54來控制，該測(cè)試器控制器是該測(cè)試系統(tǒng)的一主計(jì)算機(jī)。如上所述，例如，八塊事件測(cè)試器板43可以安裝在一個(gè)測(cè)試器模塊內(nèi)。雖然圖4中未示出，本發(fā)明的測(cè)試系統(tǒng)的典型配置是有兩個(gè)或多個(gè)這樣的測(cè)試器模塊，如圖6所示。
在圖4的測(cè)試系統(tǒng)中，事件測(cè)試器板43提供一個(gè)測(cè)試模式(測(cè)試信號(hào))給被測(cè)器件19，然后檢驗(yàn)被測(cè)器件在該測(cè)試模式下的響應(yīng)信號(hào)。為了測(cè)試被測(cè)器件的模擬功能，可以在該測(cè)試系統(tǒng)設(shè)置一個(gè)可選電路48。這種可選電路48包括，例如，一個(gè)DA轉(zhuǎn)換器、一個(gè)AD轉(zhuǎn)換器和一個(gè)濾波器。
例如，每個(gè)事件測(cè)試器板43包括作為32個(gè)通道的事件測(cè)試器661-6632一個(gè)接口53、一個(gè)處理器67以及一個(gè)存儲(chǔ)器68。每一事件測(cè)試器66與一測(cè)試引腳相對(duì)應(yīng)，并且在同一個(gè)測(cè)試器板內(nèi)都具有相同的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。在本例中，事件測(cè)試器66包括一個(gè)事件存儲(chǔ)器60、一個(gè)事件執(zhí)行單元47、一個(gè)驅(qū)動(dòng)器/比較器61以及一個(gè)測(cè)試結(jié)果存儲(chǔ)器57。
事件存儲(chǔ)器60存儲(chǔ)用來產(chǎn)生測(cè)試模式的事件數(shù)據(jù)。事件執(zhí)行單元47根據(jù)事件存儲(chǔ)器60中的事件數(shù)據(jù)來產(chǎn)生測(cè)試模式，該測(cè)試模式通過驅(qū)動(dòng)器/比較器61加在被測(cè)器件上。如果被測(cè)器件的輸入引腳是模擬輸入，那么上述的可選電路48就通過其中的DA轉(zhuǎn)換器把該測(cè)試模式轉(zhuǎn)換成一模擬信號(hào)。因此，該模擬信號(hào)可以加到被測(cè)器件上。通過驅(qū)動(dòng)器/比較器61把被測(cè)器件的輸出信號(hào)與一期望信號(hào)相比較，其結(jié)果被存儲(chǔ)在測(cè)試結(jié)果存儲(chǔ)器57中。如果被測(cè)器件的輸出信號(hào)是一模擬信號(hào)，必要時(shí)，通過可選電路48內(nèi)的AD轉(zhuǎn)換器可以將該模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換成一數(shù)字信號(hào)。
圖5的方框圖更詳細(xì)地顯示事件測(cè)試器板43中的事件測(cè)試器66的結(jié)構(gòu)示例。在上述的美國(guó)專利申請(qǐng)?zhí)?9/406,300及美國(guó)專利申請(qǐng)?zhí)?9/259,401的文件中，對(duì)于基于事件的測(cè)試系統(tǒng)做了更詳細(xì)的說明，這兩項(xiàng)專利申請(qǐng)屬于該發(fā)明的相同受讓人。在圖5中，與圖4中之方框相同的方框以相同的參考標(biāo)號(hào)表示。
接口53和處理器67通過系統(tǒng)總線54而連接在測(cè)試器處理器(主計(jì)算機(jī))41上。例如，接口53用于轉(zhuǎn)送測(cè)試器控制器41的數(shù)據(jù)至事件測(cè)試器板中的一寄存器(未示出)，以把事件測(cè)試器分配給被測(cè)器件的輸入/輸出引腳。例如，當(dāng)主計(jì)算機(jī)發(fā)送一組分配地址到系統(tǒng)總線，接口53解釋該組分配地址，并允許主計(jì)算機(jī)的數(shù)據(jù)被存儲(chǔ)在特定的事件測(cè)試器板中的寄存器。
例如，處理器67被設(shè)置在每一事件測(cè)試器板中，并控制事件測(cè)試器板中的運(yùn)行，包括事件(測(cè)試模式)的產(chǎn)生、對(duì)被測(cè)器件輸出信號(hào)的鑒定和故障數(shù)據(jù)的采集。該處理器67能夠被設(shè)置在每一測(cè)試器板上或是每若干個(gè)測(cè)試器板上。此外，處理器67并不總是有必要設(shè)置在該事件測(cè)試器板中，但是由測(cè)試器控制器41能夠直接對(duì)該事件測(cè)試器板實(shí)現(xiàn)相同的控制功能。
例如，在最簡(jiǎn)單的情況下，地址控制器58是一個(gè)程序計(jì)數(shù)器，該地址控制器58控制被傳送至故障數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器57和事件存儲(chǔ)器60的地址。該事件時(shí)序數(shù)據(jù)作為一個(gè)測(cè)試程序，從主計(jì)算機(jī)被傳送至事件存儲(chǔ)器60并被存儲(chǔ)在其中。
該事件存儲(chǔ)器60存儲(chǔ)如上所述的事件時(shí)序數(shù)據(jù)，該數(shù)據(jù)定義了該事件中的每一時(shí)序(從“1”到“0”和從“0”到“1”的改變點(diǎn))。例如，事件時(shí)序數(shù)據(jù)被存儲(chǔ)為兩種數(shù)據(jù)，一種表示基準(zhǔn)時(shí)鐘周期的整數(shù)倍，而另一種表示基準(zhǔn)時(shí)鐘周期的幾分之一。優(yōu)選的是，該事件時(shí)序數(shù)據(jù)在被存儲(chǔ)于事件存儲(chǔ)器60之前先被壓縮。
在圖5的示例中，圖4中的事件執(zhí)行單元47設(shè)置有一解壓?jiǎn)卧?2、一時(shí)序計(jì)數(shù)/比例邏輯(timing count/scaling logic)63和事件發(fā)生器64。該解壓?jiǎn)卧?2對(duì)事件存儲(chǔ)器60的壓縮時(shí)序數(shù)據(jù)進(jìn)行解壓縮(再現(xiàn))。該時(shí)序計(jì)數(shù)/比例邏輯63通過總計(jì)或修改事件時(shí)序數(shù)據(jù)，產(chǎn)生每一事件的時(shí)間長(zhǎng)度數(shù)據(jù)。該時(shí)間長(zhǎng)度數(shù)據(jù)由自一預(yù)定參考點(diǎn)起的時(shí)間長(zhǎng)度(延時(shí))表示每一事件的時(shí)序。
事件發(fā)生器64根據(jù)該時(shí)間長(zhǎng)度數(shù)據(jù)產(chǎn)生一測(cè)試模式，并通過驅(qū)動(dòng)器/比較器61向被測(cè)器件19提供該測(cè)試模式。因此，通過鑒定其響應(yīng)輸出，測(cè)試該被測(cè)器件(DUT)19的一個(gè)特定引腳。如圖4所示，該驅(qū)動(dòng)器/比較器61主要由一驅(qū)動(dòng)器和一比較器構(gòu)成，其中驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)被施加于該特定器件引腳的測(cè)試模式，比較器確定器件引腳之輸出信號(hào)的電壓電平，并將該輸出信號(hào)和所期望的邏輯數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，該輸出信號(hào)是由該測(cè)試模式引發(fā)的。
在以上所概述的事件測(cè)試器中，施加于被測(cè)器件的輸入信號(hào)、與被測(cè)器件的輸出信號(hào)相比較的期望信號(hào)是由基于事件格式的數(shù)據(jù)產(chǎn)生的。在該基于事件的格式中，在輸入信號(hào)和期望信號(hào)上的改變點(diǎn)之信息是由動(dòng)作信息(置位和/或復(fù)位)和時(shí)間信息(自一特定點(diǎn)的時(shí)間長(zhǎng)度)組成。
如上所述，在常規(guī)的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)中，采用的是基于周期的方法，該方法所需的存儲(chǔ)容量小于基于事件的結(jié)構(gòu)所需容量。在基于周期的測(cè)試系統(tǒng)中，輸入信號(hào)和期望信號(hào)的時(shí)間信息是由周期信息(頻率信號(hào))和延時(shí)信息構(gòu)成。輸入信號(hào)和期望信號(hào)的動(dòng)作信息是由波形數(shù)據(jù)和模式數(shù)據(jù)構(gòu)成。在這種情況下，延時(shí)信息只能由有限數(shù)量的數(shù)據(jù)來限定。而且，為了靈活地產(chǎn)生模式數(shù)據(jù)，其測(cè)試程序必須在其中包括許多循環(huán)、跳轉(zhuǎn)和(或)子程序。因此，常規(guī)的測(cè)試系統(tǒng)需要復(fù)雜的結(jié)構(gòu)和工作過程。
在基于事件的測(cè)試系統(tǒng)中，沒有必要采用基于周期的常規(guī)測(cè)試系統(tǒng)中那么復(fù)雜的結(jié)構(gòu)和操作過程，因此容易增加測(cè)試引腳的數(shù)量和(或)在相同的測(cè)試系統(tǒng)中組合不同性能的測(cè)試引腳。盡管基于事件的測(cè)試系統(tǒng)需要大容量的存儲(chǔ)器，但這種存儲(chǔ)器容量的增加并不是主要問題，因?yàn)樵诋?dāng)今，存儲(chǔ)器密度的增加和存儲(chǔ)器成本的降低都取得了迅速地、不斷地進(jìn)展。
如上所述，在該基于事件的測(cè)試系統(tǒng)中，每一個(gè)測(cè)試引腳或每一組測(cè)試引腳都可以進(jìn)行相互獨(dú)立的測(cè)試工作。因此，當(dāng)要進(jìn)行多個(gè)不同種類的測(cè)試時(shí)，比如在測(cè)試包括模擬信號(hào)和數(shù)字信號(hào)的混合信號(hào)器件時(shí)，這些不同種類的測(cè)試可以同時(shí)并行進(jìn)行。此外，這些不同種類測(cè)試的起始與結(jié)束時(shí)序可以獨(dú)立地建立。
圖6是通過組合本發(fā)明的多個(gè)測(cè)試器模塊而構(gòu)建的一半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)的示意圖，該測(cè)試系統(tǒng)具有被分為不同性能的測(cè)試引腳。
例如，根據(jù)測(cè)試固定裝置127的引腳數(shù)、被測(cè)器件的類型和被測(cè)器件的引腳數(shù)，測(cè)試頭124設(shè)置有多個(gè)測(cè)試器模塊。以后將說明，該測(cè)試固定裝置和測(cè)試模塊之間的接口(連接)規(guī)格是標(biāo)準(zhǔn)化的，以便使任何測(cè)試器模塊可以被安裝在該測(cè)試頭(系統(tǒng)主機(jī))中的任何位置。
測(cè)試固定裝置127包括大量的彈性連接器，比如彈簧引腳，以實(shí)現(xiàn)與測(cè)試器模塊和操作板128的電連接及機(jī)械連接。被測(cè)器件19插入在操作板128上的測(cè)試槽中，從而與該半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)建立電連接。根據(jù)被測(cè)器件的規(guī)格，圖4中用于模擬測(cè)試的可選電路48可以被排列在操作板128上。
每一個(gè)測(cè)試器模塊設(shè)有預(yù)定數(shù)量的引腳組。例如，一個(gè)高速模塊HSM安裝對(duì)應(yīng)于128個(gè)測(cè)試引腳(測(cè)試通道)的印刷電路板，而一個(gè)低速模塊LSM安裝有對(duì)應(yīng)于256個(gè)測(cè)試引腳的印刷電路板。列出這些數(shù)字只是為了示范，其它不同數(shù)量的測(cè)試引腳也是可能的。在圖7的示例中，測(cè)試器模塊把256個(gè)通道作為一個(gè)基本單元進(jìn)行配置，其中安裝了8塊事件測(cè)試器板。例如，每塊事件測(cè)試器板包括32個(gè)事件測(cè)試器(測(cè)試通道)。
如上所述，測(cè)試器模塊中的每塊板設(shè)有事件測(cè)試器，每個(gè)事件測(cè)試器產(chǎn)生測(cè)試模式并通過操作板128加在被測(cè)器件的相應(yīng)引腳。被測(cè)器件19對(duì)該測(cè)試模式響應(yīng)的輸出信號(hào)通過操作板128傳送到測(cè)試器模塊中的事件測(cè)試器板上，并與期望信號(hào)進(jìn)行比較，以確定該被測(cè)器件是合格或有故障。
每個(gè)測(cè)試器板設(shè)置有一個(gè)接口(連接器)126。該連接器126的設(shè)置符合測(cè)試固定裝置127的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格。
例如，在測(cè)試固定裝置127的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格中，連接器引腳的結(jié)構(gòu)、引腳的阻抗、引腳間的距離(引腳間距)、以及引腳的相對(duì)位置都被規(guī)定而用于預(yù)期的測(cè)試頭。通過在所有測(cè)試器模塊上采用符合該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格的接口(連接器)126，就可以自由地建立測(cè)試器模塊之不同組合的測(cè)試系統(tǒng)。
由于本發(fā)明的結(jié)構(gòu)，能夠建立具有最佳性能價(jià)格比并與被測(cè)器件相適應(yīng)的測(cè)試系統(tǒng)。而且，通過替代一個(gè)或多個(gè)測(cè)試模塊，能夠使測(cè)試系統(tǒng)的性能得到改善。因此，能夠延長(zhǎng)該測(cè)試系統(tǒng)總的使用壽命。而且，本發(fā)明的測(cè)試系統(tǒng)能夠容納多個(gè)性能相互不同的測(cè)試模塊，因此，采用相應(yīng)的測(cè)試模塊能夠直接實(shí)現(xiàn)該測(cè)試系統(tǒng)所需的性能，因而，該測(cè)試系統(tǒng)的性能可以容易地、直接地得以改善。
圖8是利用本發(fā)明的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)并行進(jìn)行不同類型測(cè)試的基本原理示意方框圖，被測(cè)器件是具有模擬功能和數(shù)字功能的混合信號(hào)器件19。在本例中，混合信號(hào)器件19包括一個(gè)AD轉(zhuǎn)換器電路、一個(gè)邏輯電路、及一個(gè)DA轉(zhuǎn)換器電路。如上所述，本發(fā)明的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)可以對(duì)每一組特定數(shù)量的測(cè)試器引腳進(jìn)行獨(dú)立于其它組的測(cè)試。因此，通過把各組測(cè)試器引腳分配給混合信號(hào)器件的各個(gè)電路，就能夠同時(shí)并行地對(duì)這些電路進(jìn)行測(cè)試。
圖9A是用常規(guī)半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)測(cè)試混合信號(hào)器件的測(cè)試過程示意圖，圖9B是用本發(fā)明的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)測(cè)試混合信號(hào)器件的測(cè)試過程示意圖。當(dāng)用常規(guī)半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)測(cè)試如圖8所示的具有模擬電路和數(shù)字電路的混合信號(hào)IC時(shí)，該測(cè)試是以連續(xù)方式進(jìn)行的，比如，完成了一項(xiàng)測(cè)試后再進(jìn)行下一步測(cè)試。因此，完成測(cè)試所需的總時(shí)間是如圖9A所示的所有測(cè)試時(shí)間的總和。
相反，當(dāng)采用本發(fā)明的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)測(cè)試圖8所示的混合信號(hào)IC時(shí)，AD轉(zhuǎn)換器電路、邏輯電路、及DA轉(zhuǎn)換器電路可以同時(shí)并行進(jìn)行測(cè)試，如圖9B所示。因此，本發(fā)明能極大地縮短總的測(cè)試時(shí)間。由于通常的作法是采用預(yù)定公式來鑒定AD轉(zhuǎn)換器電路和DA轉(zhuǎn)換器電路的測(cè)試結(jié)果，每一個(gè)AD及DA電路測(cè)試后的計(jì)算時(shí)間被規(guī)定在圖9A及9B中。
本發(fā)明的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)的外觀示例如圖10的示意圖所示。在圖10中，例如，一臺(tái)主計(jì)算機(jī)(主系統(tǒng)計(jì)算機(jī))41是一臺(tái)具有圖形用戶接口(GUI)的工作站。該主計(jì)算機(jī)的功能是作為一個(gè)用戶接口和一個(gè)控制器，以控制該測(cè)試系統(tǒng)總的運(yùn)行。主計(jì)算機(jī)41通過系統(tǒng)總線54(圖4和圖5)與該測(cè)試系統(tǒng)的內(nèi)部硬件相連。
常規(guī)的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)根據(jù)基于周期之原理而配置的，使用模式產(chǎn)生器和時(shí)序發(fā)生器，而本發(fā)明之基于事件的測(cè)試系統(tǒng)卻不需要。因此，通過在測(cè)試頭(或測(cè)試器主機(jī))124中安裝所有模塊化的事件測(cè)試器，有可能顯著地減小整個(gè)測(cè)試系統(tǒng)的物理尺寸。
如前所述，在本發(fā)明的基于事件的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)中，每一測(cè)試引腳都能夠相互獨(dú)立地進(jìn)行工作。因此，通過把各組測(cè)試引腳分配給不同的被測(cè)器件或不同的被測(cè)塊，就能同時(shí)測(cè)試兩個(gè)或更多個(gè)不同的器件或塊。因此，依據(jù)本發(fā)明的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)，就能同時(shí)并行地測(cè)試混合信號(hào)器件中的模擬電路和數(shù)字電路。
如上所述，在本發(fā)明的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)中，測(cè)試器模塊(測(cè)試器板)的配置采用基于事件的結(jié)構(gòu)，其中，所有執(zhí)行測(cè)試所需的信息都以基于事件的格式來準(zhǔn)備。因此，在常規(guī)技術(shù)中采用的表示每一測(cè)試周期起始時(shí)序的頻率信號(hào)或與該頻率信號(hào)同步工作的模式產(chǎn)生器就不再是必需的了。由于不必包括頻率信號(hào)或模式產(chǎn)生器，在基于事件的測(cè)試系統(tǒng)中的各測(cè)試引腳可以獨(dú)立于其它測(cè)試引腳而工作。因此，可以同時(shí)進(jìn)行不同類型的測(cè)試，例如模擬電路測(cè)試和數(shù)字電路測(cè)試。
由于本發(fā)明的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)具有模塊化的結(jié)構(gòu)，因此可以根據(jù)被測(cè)器件的種類和測(cè)試目的靈活地構(gòu)成所需的測(cè)試系統(tǒng)。此外，該基于事件的測(cè)試系統(tǒng)的硬件可以被極大地縮減，同時(shí)測(cè)試系統(tǒng)的軟件也能極大地簡(jiǎn)化。因此，不同性能和功能的測(cè)試器模塊可以安裝在同一個(gè)測(cè)試系統(tǒng)中。而且，如圖6所示，該基于事件的測(cè)試系統(tǒng)的總物理尺寸也能明顯減小，導(dǎo)致進(jìn)一步降低成本、減小設(shè)備占用空間、以及節(jié)省相關(guān)的成本。
另外，在本發(fā)明的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)中，在電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化(EDA)環(huán)境中，在該器件的設(shè)計(jì)階段的邏輯仿真數(shù)據(jù)可以直接用于產(chǎn)生測(cè)試模式，以在鑒定階段測(cè)試該器件。因此，可以大大縮短從器件設(shè)計(jì)到器件鑒定之間的工作周期，從而進(jìn)一步降低測(cè)試成本，同時(shí)提高測(cè)試效率。
雖然在此只專門說明了一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施例，可以理解的是，在不背離本發(fā)明的宗旨和預(yù)期范圍，在所附權(quán)利要求的范圍內(nèi)，根據(jù)上述指導(dǎo)，可能對(duì)本發(fā)明作出許多修改和變化。
權(quán)利要求
1.一種用于測(cè)試混合信號(hào)集成電路的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)，包括兩個(gè)或多個(gè)性能相互不同的測(cè)試器模塊；一個(gè)測(cè)試頭，用于容納兩個(gè)或多個(gè)性能不同的測(cè)試器模塊；用于電連接測(cè)試器模塊與被測(cè)器件的裝置，該裝置設(shè)置在該測(cè)試頭上；當(dāng)被測(cè)器件是具有模擬功能塊和數(shù)字功能塊的混合信號(hào)集成電路時(shí)，與被測(cè)器件相對(duì)應(yīng)的一個(gè)可選電路，以及一臺(tái)主計(jì)算機(jī)，通過測(cè)試器總線與測(cè)試器模塊相聯(lián)，控制該測(cè)試系統(tǒng)的整體運(yùn)行；由此而同時(shí)并行測(cè)試該混合信號(hào)集成電路的模擬功能塊和數(shù)字功能塊。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于測(cè)試混合信號(hào)集成電路的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)，其中，測(cè)試器模塊之性能的一種類型是高速和高時(shí)序分辨率，另一種性能類型是低速和低時(shí)序分辨率。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于測(cè)試混合信號(hào)集成電路的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)，其中，用于連接測(cè)試器模塊、電連接測(cè)試器模塊與被測(cè)器件的連接裝置的連接規(guī)格是標(biāo)準(zhǔn)化的。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于測(cè)試混合信號(hào)集成電路的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)，其中，電連接測(cè)試器模塊與被測(cè)器件的連接裝置包括一個(gè)操作板和一個(gè)測(cè)試固定裝置，操作板上設(shè)有一個(gè)安裝被測(cè)器件的機(jī)械結(jié)構(gòu)，測(cè)試固定裝置設(shè)有一個(gè)電連接該操作板與測(cè)試器模塊的連接機(jī)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于測(cè)試混合信號(hào)集成電路的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)，其中，若干測(cè)試引腳可變地分配給測(cè)試器模塊。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于測(cè)試混合信號(hào)集成電路的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)，其中，若干測(cè)試引腳可變地分配給測(cè)試器模塊，這種測(cè)試引腳的分配及其修改由來自該主計(jì)算機(jī)的地址數(shù)據(jù)進(jìn)行調(diào)整。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于測(cè)試混合信號(hào)集成電路的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)，其中，每一測(cè)試器模塊包括多個(gè)事件測(cè)試器板，其中每一事件測(cè)試器板被分配給預(yù)定數(shù)量的測(cè)試引腳。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于測(cè)試混合信號(hào)集成電路的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)，其中，每一個(gè)測(cè)試器模塊對(duì)應(yīng)一個(gè)事件測(cè)試器板。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于測(cè)試混合信號(hào)集成電路的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)，其中，每個(gè)測(cè)試器模塊包括一個(gè)內(nèi)部控制器，該內(nèi)部控制器根據(jù)主計(jì)算機(jī)的指令，控制由該測(cè)試器模塊產(chǎn)生一測(cè)試模式，并鑒定被測(cè)器件的輸出信號(hào)。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于測(cè)試混合信號(hào)集成電路的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)，其中，每一個(gè)測(cè)試器模塊包括多個(gè)事件測(cè)試器板，其中每一個(gè)事件測(cè)試器板包括一個(gè)內(nèi)部控制器，該內(nèi)部控制器根據(jù)主計(jì)算機(jī)的指令，控制由該測(cè)試器模塊產(chǎn)生一測(cè)試模式，并鑒定被測(cè)器件的輸出信號(hào)。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于測(cè)試混合信號(hào)集成電路的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)，其中，每一個(gè)測(cè)試器模塊包括多個(gè)事件測(cè)試器板，每一個(gè)事件測(cè)試器板被分配至一個(gè)測(cè)試引腳，其中每個(gè)事件測(cè)試器板包括一控制器，根據(jù)主計(jì)算機(jī)的指令，控制由該測(cè)試器模塊產(chǎn)生測(cè)試模式，并鑒定被測(cè)器件的輸出信號(hào)；一事件存儲(chǔ)器，用于存儲(chǔ)每一事件的時(shí)序數(shù)據(jù)；一地址序列發(fā)生器，在該控制器的控制下，用于提供地址數(shù)據(jù)給該事件存儲(chǔ)器；用于根據(jù)該事件存儲(chǔ)器的時(shí)序數(shù)據(jù)而產(chǎn)生測(cè)試模式的裝置；及一驅(qū)動(dòng)器/比較器，用于將測(cè)試模式傳送到被測(cè)器件的相應(yīng)的引腳，并接收被測(cè)器件的響應(yīng)輸出信號(hào)。
全文摘要
一種測(cè)試半導(dǎo)體器件的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng),特別是一種具有多個(gè)不同類型測(cè)試器模塊的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng),用于高速和高效率地測(cè)試具有模擬信號(hào)和數(shù)字信號(hào)的混合信號(hào)集成電路。本發(fā)明的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)包括兩個(gè)或多個(gè)性能不同的測(cè)試器模塊;一個(gè)容納兩個(gè)或多個(gè)性能不同的測(cè)試器模塊的測(cè)試頭;設(shè)置在該測(cè)試頭上用于電連接測(cè)試器模塊與被測(cè)器件的裝置;當(dāng)被測(cè)器件是一個(gè)具有模擬功能和數(shù)字功能的混合信號(hào)集成電路時(shí)與被測(cè)器件相對(duì)應(yīng)的一個(gè)可選電路;以及通過測(cè)試器總線與測(cè)試器模塊相聯(lián)以控制該測(cè)試系統(tǒng)整體運(yùn)行的一臺(tái)主計(jì)算機(jī)。每一事件測(cè)試器模塊包括一個(gè)測(cè)試器板,該測(cè)試器板配置為基于事件的測(cè)試器。
文檔編號(hào)G01R31/28GK1385710SQ0111761
公開日2002年12月18日 申請(qǐng)日期2001年5月11日 優(yōu)先權(quán)日2001年5月11日
發(fā)明者菅森茂 申請(qǐng)人:株式會(huì)社鼎新