專利名稱：測角頭的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種測量晶體各面角度的設(shè)備，具體涉及一種用于承載晶體并調(diào)節(jié)晶體位置的測角頭。
在測量晶體各個(gè)面的角度時(shí)，需要一種測角頭，用于承載晶體并調(diào)節(jié)晶體的位置?，F(xiàn)有的測角頭，包括底座、連接件、設(shè)于連接件上的X軸、Y軸、Z軸運(yùn)動組件和平臺，晶體是放在載體上在培養(yǎng)箱中進(jìn)行培養(yǎng)的，測量時(shí)，將晶體和載體一起放在測角頭頂部的平臺上，由于測量是在極低溫的條件下進(jìn)行的，測角頭的X軸、Y軸、Z軸調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)往往會被凍結(jié)，導(dǎo)致無法將樣品調(diào)到所需的位置；另一方面，為了使用的方便，載體可以很自如地從平臺上放取，載體和平臺間是松接觸的，在使用過程中會出現(xiàn)載體晃動掉下的情況，無法保證測量精度，甚至?xí)斐删w的損壞，現(xiàn)有技術(shù)中，通常是特制一個(gè)安裝樣品的磁鐵平臺裝置，使用很不方便。
本實(shí)用新型目的是提供一種試驗(yàn)時(shí)能方便調(diào)節(jié)樣品位置，同時(shí)載體放置穩(wěn)定的測角頭。
為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是一種測角頭，包括底座、連接件、設(shè)于連接件上的X軸、Y軸、Z軸運(yùn)動組件和平臺，所述連接件和三個(gè)運(yùn)動組件的主體均為導(dǎo)熱材料制成，所述連接件底面中空處緊貼連接件底面設(shè)置有PTC加熱件，PTC加熱件與底座間設(shè)有隔離材料。
上述技術(shù)方案中，所述的“導(dǎo)熱材料”可以是金屬材料，也可以是其他導(dǎo)熱材料，現(xiàn)有的測角頭，一般也是采用金屬材料制成的，可以對本體直接進(jìn)行改裝。
為了便于控制溫度，可以在所述X軸運(yùn)動組件的基臺上開有孔，孔內(nèi)設(shè)有測溫元件，所述PTC加熱件及測溫元件與外接的溫控器電連接；這種電連接，可以是通過一個(gè)溫控器插頭形成與外接溫控器之間的電連接，因而可以根據(jù)情況使多個(gè)測角頭共用溫控器。
進(jìn)一步的技術(shù)方案，可以在所述平臺上固定有磁鐵。
上述技術(shù)方案中，還可以包括有外罩，所述外罩可以固定在底座上。
本實(shí)用新型工作原理是可以通過測角頭內(nèi)置的PTC發(fā)熱元件進(jìn)行加熱，這種內(nèi)置式的加熱方式，加熱快速，效率高，溫度容易控制，這樣，即使樣品是在極低溫的條件下，對樣品位置進(jìn)行調(diào)節(jié)的X軸、Y軸、Z軸運(yùn)動組件也不會凍結(jié)，能自如調(diào)節(jié)，另一方面，通過控制溫度，使樣品的位置不會受到實(shí)驗(yàn)溫度變化導(dǎo)致的熱脹冷縮因素的影響，提高了測試精度；為保證載體在平臺上的穩(wěn)定性，在平臺上設(shè)置了磁鐵，可以吸合鐵磁性的金屬載體，提高測試精度。
由于上述技術(shù)方案運(yùn)用，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn)1、由于本實(shí)用新型采用了內(nèi)置式加熱結(jié)構(gòu)，使樣品的位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)不會因低溫的實(shí)驗(yàn)條件而凍結(jié)，保證了實(shí)驗(yàn)的正常進(jìn)行，同時(shí)，內(nèi)置式的結(jié)構(gòu)熱損耗低，溫度控制方便、精確；2、本實(shí)用新型由于能對支撐、調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)加熱，樣品的位置不會受到實(shí)驗(yàn)溫度變化導(dǎo)致的熱脹冷縮因素的影響，提高了測試精度；3、與本實(shí)用新型配套使用的載體為鐵磁性金屬載體，在平臺上設(shè)置了磁鐵，保證了載體在平臺上的穩(wěn)定性，從而提高了測試精度，也不會造成晶體損壞。
附

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)示意圖；附圖2為圖1中除去外罩后的左視圖(局部剖視)；附圖3為圖2的局部放大示意圖；附圖4為圖1中除去外罩后的俯視圖。
其中[1]、磁鐵；[2]、溫控器插頭；[3]、PTC加熱件；[4]、X軸運(yùn)動組件；[5]、Y軸運(yùn)動組件；[6]、Z軸運(yùn)動組件；[7]、底座；[8]、外罩；[9]、連接件；[10]、隔離材料；[11]、平臺；[12]、測溫元件。
以下結(jié)合附圖及實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述實(shí)施例一參見附圖1至附圖4所示，一種測角頭，包括底座7、連接件9、設(shè)于連接件9上的X軸、Y軸、Z軸運(yùn)動組件4、5、6和平臺11，所述連接件9和三個(gè)運(yùn)動組件4、5、6的主體均由金屬材料制成，所述連接件9底面中空處緊貼連接件9底面設(shè)置有PTC加熱件3，PTC加熱件3與底座7間設(shè)有隔離材料10。在X軸運(yùn)動組件4的基臺上開有孔，孔內(nèi)設(shè)有測溫元件12，所述PTC加熱件3及測溫元件12與一個(gè)溫控器插頭2連接，在平臺11上固定有磁鐵1。
整個(gè)裝置由可以固定在底座7上的透明外罩8遮蓋。
權(quán)利要求1.一種測角頭，包括底座[7]、連接件[9]、設(shè)于連接件上的X軸、Y軸、Z軸運(yùn)動組件[4、5、6]和平臺[11]，其特征在于所述連接件[9]和三個(gè)運(yùn)動組件[4、5、6]的主體均為導(dǎo)熱材料制成，所述連接件[9]底面中空處緊貼連接件[9]底面設(shè)置有PTC加熱件[3]，PTC加熱件[3]與底座[7]間設(shè)有隔離材料[10]。
2.如權(quán)利要求1所述的測角頭，其特征在于所述X軸運(yùn)動組件[4]的基臺上開有孔，孔內(nèi)設(shè)有測溫元件[12]，所述PTC加熱件[3]及測溫元件[12]與外接的溫控器電連接。
3.如權(quán)利要求2所述的測角頭，其特征在于所述PTC加熱件[3]及測溫元件[12]通過一個(gè)溫控器插頭[2]形成與外接溫控器之間的電連接。
4.如權(quán)利要求1所述的測角頭，其特征在于所述平臺[11]上固定有磁鐵[1]。
5.如權(quán)利要求1或4所述的測角頭，其特征在于還包括有外罩[8]，所述外罩[8]可以固定在底座[7]上。
專利摘要一種測角頭,包括底座、連接件、設(shè)于連接件上的X軸、Y軸、Z軸運(yùn)動組件和平臺,其特征在于:所述連接件和三個(gè)運(yùn)動組件的主體均為導(dǎo)熱材料制成,所述連接件底面中空處設(shè)有PTC加熱件,PTC加熱件與底座間設(shè)有隔離材料。本實(shí)用新型加熱損耗低,溫度控制方便、精確;載體在平臺上放置穩(wěn)定,且可以直接將載體固定在平臺上進(jìn)行晶體培養(yǎng),使用方便。
文檔編號G01B5/24GK2468008SQ0121750
公開日2001年12月26日 申請日期2001年2月19日 優(yōu)先權(quán)日2001年2月19日
發(fā)明者王振明 申請人:王振明, 蘇州捷美電子有限公司