專利名稱：分析系統(tǒng)及分析方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明為關(guān)于分析系統(tǒng)及分析方法，詳而言之，即對復(fù)數(shù)種類的樣本(sample)，用數(shù)臺分析計對應(yīng)各樣本分別常時連續(xù)監(jiān)視分析的方式，形成的分析系統(tǒng)及分析方法。
如供給或使用的氣體有多數(shù)種類的場合，需對應(yīng)各種氣體分別設(shè)置分析計，由各樣本的采樣點，分別采取樣本導(dǎo)入個別對應(yīng)的分析計，在個別分析計分別進行規(guī)定的分析操作。
如空氣分離裝置的氣體供給設(shè)備，大多設(shè)有具有聯(lián)鎖機能的分析計，供給氣體中的不純物量，在復(fù)數(shù)個地點連續(xù)分析，不純物量超過各點的規(guī)定值時，可遮斷由空氣分離裝置供給的氣體，切換成改用備用貯存的氣體供給。此場合，備用的氣體僅供緊急時使用，因其存量有限，需探究不純物增加的原因并采取對策，盡早修復(fù)恢復(fù)由空氣分離裝置供給氣體。
但是，不純物量的增加，有時不是空氣分離裝置的原因，也有可能為分析計的故障。因此，有必要再確認，在分析計中測定為異常值的氣體中，是否真的有相當量的不純物混入，或為分析計的誤報。為此，有必要將對象的氣體采取樣本，送試驗室分析，等待其分析結(jié)果。但，在此試驗室的分析過程，有試驗室的空氣樣本的寄送，氣體的采樣，采取氣體樣本的采樣器到試驗室的往返，試驗室的分析等程序。由向試驗室申請分析到分析結(jié)果出來，最快也需數(shù)日。
在分析計故障的場合，需緊急準備同種分析計代替用，在故障的分析計修理的期間，用此代替用分析計進行常時連續(xù)監(jiān)視分析。但，同種的分析計要立即到手也有困難，考慮由制造廠裝配、搬運、安裝、調(diào)整等，就有數(shù)日間成不能分析的狀態(tài)。特別是近年來在半導(dǎo)體制造業(yè)，使用氣體中的不純物容許量僅在ppb的水準，因此，需使用高精度、高感度的分析計，與一般泛用的分析計相比，價值極高，要保證有備用的分析計，經(jīng)濟上不容易。
空氣分離裝置的運轉(zhuǎn)再開，有時需要一周左右，通常的一日左右的備用量不夠，所以至運轉(zhuǎn)再開期間，需用油罐車由其它空氣分離工廠，搬運液化氣補充貯槽。
如此，分析計的分析結(jié)果一旦異常，空氣分離裝置非停機一周左右不可，且需動用甚多人力，其間的費用極大。半導(dǎo)體制造工廠等的使用氣體設(shè)備，發(fā)生氣體純度異常時，確認分析計的有無故障也需要同樣時間，此期間要停止生產(chǎn)線，也必須化費上述以上的工夫與費用。
為了達成上述的目的，本發(fā)明的分析系統(tǒng)的第一構(gòu)成為對復(fù)數(shù)的采樣點個別設(shè)置對應(yīng)的復(fù)數(shù)的分析計，各采樣點的樣本由個別對應(yīng)的分析計分析的分析系統(tǒng)。其特征為在各分析計有由其個別對應(yīng)的采樣點導(dǎo)入樣本的分析管路，及向其它分析計中能夠分析同種分析對象的分析計，送出前述樣本的送出側(cè)的代行分析管路，經(jīng)個別的管路切換設(shè)備連接。至少有一個分析計，可經(jīng)管路切換設(shè)備連接由其它他分析計送出樣本的代行分析管路。
在前述構(gòu)成中，該管路切換設(shè)備有三向閥或四向閥。又前述代行分析管路，有遮斷該代行分析管路的閥，及連通與遮斷由該代行分析管路連接系統(tǒng)外的排出管路的閥。前述代行分析管路，即連接對樣本反應(yīng)性不佳的分析計。
本發(fā)明的分析系統(tǒng)的第二構(gòu)成為，對復(fù)數(shù)的采樣點個別設(shè)置對應(yīng)的復(fù)數(shù)分析計，各采樣點的樣本由個別對應(yīng)的分析計分析的系統(tǒng)。其特征為，在前述的復(fù)數(shù)的分析計之外，加設(shè)有可分析各分析計的分析對象的共通分析計。在上述各分析計有由其對應(yīng)的采樣點導(dǎo)入樣本的分析管路，及連接經(jīng)管路切換設(shè)備以切換以導(dǎo)入樣本至共通分析計的代行分析管路。該共通分析計的特征為具有上述代行分析管路外，尚加設(shè)有由外部導(dǎo)入樣本的外部樣本導(dǎo)入管路。
本發(fā)明的分析方法，在第一構(gòu)成中，對復(fù)數(shù)的采樣點用復(fù)數(shù)的分析計分別對應(yīng)設(shè)置，各采樣點的樣本，由各對應(yīng)的分析計分析的分析方法。其特征為如有一個分析計發(fā)生異常的場合，將該分析計的全部樣本，導(dǎo)入其它分析計中的可分析同種分析對象的分析計，由該分析計代行分析。上述其它分析計將其本身分析全部樣本的分析，與發(fā)生異常的分析計的全部樣本的代行分析交替進行為其特征。
本發(fā)明的分析方法，在第二構(gòu)成中，對復(fù)數(shù)的采樣點用復(fù)數(shù)的分析計個別對應(yīng)設(shè)置，各采樣點的樣本，由各對應(yīng)的分析計分析的分析方法。其特征在前述復(fù)數(shù)的分析計之外，加設(shè)有可分析各分析計的分析對象的共通分析計，將前述各分析計分析的全部樣本，順次切換導(dǎo)入該共通分析計，在該共分析計一邊切換一邊分析。該共通分析計的特征為，有一個分析計發(fā)生異常時，優(yōu)先分析該分析計的全部樣本。
圖2為常時連續(xù)監(jiān)視分析進行的通常狀態(tài)下，一個分析計故障場合的分析方法。
圖3為一個分析計故障時，進行代行分析管路的清理時的狀態(tài)。
圖4為一個分析計故障時，進行代行分析的狀態(tài)。
圖5為本發(fā)明的分析系統(tǒng)的第二實施例的系統(tǒng)圖。
圖6為本發(fā)明的分析系統(tǒng)的第三實施例的系統(tǒng)圖。
圖7為本發(fā)明的分析系統(tǒng)的第四實施例的系統(tǒng)圖。標號說明10、20、30、40、50 氣體管路10a、20a、30a、50a 采樣點11 氮分析計12a、12b、22a、22b 分析管路32a、32b、42a、52a、52b分析管路13、23、33、43 四向閥13a、13b、23a、23b、33a、33b內(nèi)部流路14、24、34 送出側(cè)代行分析管路15、25、35 受入側(cè)代行分析管路14a、14c、15a、15c、24a、24c遮斷閥25a、25c、34a、34c、35a、35c遮斷閥14b、15b、24b、25b、34b、35b排出管路16、26、36、56 二連三向閥16a、16b、26a、26b、36a、36b、56a、56b閥17、27、37、57、代行分析管路18、28、38、58 外部氣體導(dǎo)入用遮斷閥21氫分析計31氬分析計41氧分析計51氦分析計61共通分析計
62 序列發(fā)生器63 外部試料導(dǎo)入閥100代行分析管路101氮代行分析管路101a、102a、103a、104a、105a 遮斷閥101b、102b、103b、104b 排出閥102 氫代行分析管路103 氬代行分析管路104 氧代行分析管路105 氬送出管路在上述四向閥13、23、33，除前述各分析管路外，尚連接送出樣本至其它分析計的送出側(cè)代行分析管路14、24、34，及由其它分析計受入樣本的受入側(cè)代行分析管路15、25、35。該些管路14、24、34、15、25、35，又各經(jīng)過遮斷閥14a、24a、34a、15a、25a、35a，個別連接共通的代行分析管路100。還有，各管路14、24、34、15、25、35分別經(jīng)遮斷閥14c、24c、34c、15c、25c、35c，連接通往系統(tǒng)外的排出管路14b、24b、34b、15b、25b、35b。
四向閥13、23、33依內(nèi)部流路13a、13b、23a、23b、33a、33b的切換，可形成由采樣點10a、20a、30a取入分析管路12a、22a、32a的樣本氣體，經(jīng)分析管路12b、22b、32b導(dǎo)入各分析計11、21、31的管路，及將分析管路12a、22a、32a采取的氣體樣本送至送出側(cè)代行分析管路14、24、34的管路；以及由受入側(cè)代行分析管路15、25、35，受入其它分析計送來的氣體樣本，導(dǎo)入各分析計11、21、31的管路。且在一方的內(nèi)部流路13a、23a、33a連通兩支分析管路的狀態(tài)時，另一方的內(nèi)部流路13b、23b、33b則成接通送出側(cè)代行分析管路14、24、34與受入側(cè)代行分析管路15、25、35的狀態(tài)。
分析計11、21、31，可因應(yīng)分析對象使用任意的分析機器，例如半導(dǎo)體制造業(yè)傾向分析精制的氣體的場合，使用大氣壓離子化質(zhì)量分析計，該大氣壓離子化質(zhì)量分析計，可高精度、高感度分析氣體中幾乎所有成份，所以，分析氮、氫、氬的任一氣體為分析對象，皆可用同樣的操作，分析各氣體中的不純物。
其次，用圖2至圖4的


，此分析系統(tǒng)中的一個分析計，例如氫分析計21故障時的分析方法，在各圖中，涂黑的閥表示關(guān)閉著，粗線表示管路流通著。
圖2為進行常時連續(xù)監(jiān)視分析的通常時狀態(tài)。在氣體管路10流動的氮氣，其一部分由采樣點10a經(jīng)分析管路12a，四向閥13的內(nèi)部流路13a，及分析管路12b流入氮分析計11。同樣地，在氣體管路20流動的氫氣，其一部分由采樣點20a經(jīng)分析管路22a，四向閥23的內(nèi)部流路23a及分析管路22b導(dǎo)入氫分析計21。在氣體管路30流動的氬氣，其一部分由采樣點30a經(jīng)分析管路32a，四向閥33的內(nèi)部流路33a，及分析管路32b導(dǎo)入氫分析計。因此，在各分析計11、21、31分別進行氮、氫、氬的分析。
在此狀態(tài)，氫分析計發(fā)生故障，不能進行氫的分析時，如圖3所示。由分析管路22a、22b中間的四向閥23的流路切換，同時打開送出側(cè)代行分析管路24的遮斷閥24a，及氮分析計11附設(shè)的受入側(cè)代行析管路15的遮斷閥15a，以及排出管路15b的遮斷閥15c。則氫氣停止導(dǎo)入氫分析計21，在氣體管路20的采樣點20a采取的氫氣樣本，由分析管路22a經(jīng)四向閥23的內(nèi)部流路23a，再經(jīng)送出側(cè)代行分析管路24及代行分析管路100，導(dǎo)入受入側(cè)代行分析管路15，在排出管路15排出。將該些管路，用分析對象的樣本氫氣清理干凈。
此時，氣體管路10流通的氮氣，還是照常地，流經(jīng)分析管路12a，四向閥13的內(nèi)部流路13a，分析管路12b，導(dǎo)入氮分析計11。氣體管路30的氬氣也同樣地，經(jīng)分析管路32a，四向閥22的內(nèi)部流路33a，分析管路32b，流入氬分析31。
在氫分析計21的送出側(cè)代行分析管路24，至氮分析計11的受入側(cè)代行分析管路15間的管路十分洗凈之后。如圖4所示，切換氮分析計11的四向閥13，同時打開排出管路14b的遮斷閥14c，關(guān)閉排出管路15b的遮斷閥15c。依此，由代行分析管路100流入受入側(cè)代行分析管路15的氫氣，通過四向閥13的內(nèi)部流路13b，經(jīng)分析管路12b導(dǎo)入氮分析計11。即成由氣體管路20在分析管路22a采樣的氫氣的分析，用氮分析計11代行的狀態(tài)，氫氣中不純物的分析用氮分析計進行。
此時，氣體管路10在分析管路采樣的氮氣，通過四向閥13內(nèi)部流路13a，通過遮斷閥14c由排出管路14b排出系統(tǒng)外部。氣體管路30的氫氣，仍然如前述，導(dǎo)入氫分析計31分析。
在圖4所示的代行分析狀態(tài)，因四向閥13的切換，分析管路12a的氮氣，可流經(jīng)四向閥13的內(nèi)部流路13a，至分析管路12b導(dǎo)入氮分析計11，依然可進行通常的氮的分析。也就是說，依四向閥13切換操作，氮的分析與氫氣的代行分析可切換進行，利用適當?shù)臅r間的間隔，例如30分鐘的間隔切換四向閥13，可進行氮氣的分析及氫氣的代行分析。
在這期間，氫氣的供給，一面繼續(xù)使用備用的氫氣，同時進行氫精制置的檢查或分析計的檢查，如為氣體管路20的氫氣純度(不純物量)異常時，即為氫精制裝置的異常，需整修該精制裝置，另一方面，如確認氫氣的純度正常，則為氫分析計的故障，需修復(fù)氫分析計。
在異常的原因追查、修復(fù)等完了之后，各遮斷閥及四向閥，恢復(fù)如圖1所示的狀態(tài)，再開始規(guī)定的常時連續(xù)監(jiān)視分析。如此的進行代行分析的操作，可用手動方式切換開閉各四向閥及遮斷閥，也可使用氣壓閥或電磁閥等可在外部操作的設(shè)備，依設(shè)定的次序自動的進行一連串的代行分析操作。
如此地，依四向閥或遮斷閥的開閉切換操作，可不使用發(fā)生異常的分析計，改用其它分析計代行分析。所以在一個分析計(本例用氫分析計21)故障的場合，該分析計分析的全部樣本，用其它分析計中可分析同種分析對象的分析計11代行分析氫氣，可連續(xù)分析監(jiān)視氫氣與氮氣，該些氣體的供給也可繼續(xù)。
因分析管路的切換使用四向閥，較使用復(fù)數(shù)的閥的組合相比，可使通常分析時的無效空間最小。且因在代行分析管路設(shè)遮斷閥，可防止樣本流入非代行分析的分析計。因設(shè)有具備遮斷閥的排出管路，可確實用樣本清凈管路。圖3所示的清凈操作，在本實施例中，流進受入側(cè)代行分析管路15的氫氣，經(jīng)遮斷閥15c通過排出管路15b排出。但，也可不設(shè)排出管路15b，流入受入側(cè)代行分析管路15的氫氣，通過四向閥13的內(nèi)部流路13b，再通過遮斷閥14c，由排出管路14b排出。
關(guān)于分析計，使用無內(nèi)藏校正系統(tǒng)的分析計的場合，在校正該分析計時，例如校正氮分析計時，把四向閥13的內(nèi)部流路13b切換成如圖4所示的狀態(tài)，排出管路15b經(jīng)四向閥13的內(nèi)部流路13b與分析管路12b連通，可由排出管15b順序?qū)бＵ龤怏w進入氮分析計11，就可進行校正。此場合，順次使用各排出管路25b、35b，一臺的校正系統(tǒng)可順次校正各分析計，故一臺高價的校正系統(tǒng)可兼用于復(fù)數(shù)的分析計。
代行分析的分析計可任意選定，例如氮氣的代行分析，使用氫分析計21，氬分析計31的任一個均可以。
圖5為本發(fā)明的分析系統(tǒng)第二實施例的系統(tǒng)圖。以下的說明中，與前述第一實施例的構(gòu)成相同的構(gòu)成要素，使用同符號，其說明省略。
此分析系統(tǒng)為，在流通四支氣體管路的四種氣體中有高反應(yīng)性的氣體混入時，例如與前實施例同樣地，氣體管路10、20、30中分別有氮、氫、氬，第四支管路40中的氣體為對氫反應(yīng)性高的氧氣(O2)的場合。
本實施例中，為避免進行代行分析時氫與氧混合，氫的代行分析用氮分析計11，氧的代行分析用氬分析計31。即，在氮分析計11的四向閥13與氫分析計21的四向閥23之間，設(shè)有在分析管路12a采樣的氮氣導(dǎo)入氫分計21的氮代行分析管路101，及在分析管路22a采取的氫氣導(dǎo)入氮分析計11的氫代行分析管路102，并且分別設(shè)置遮斷閥101a、102a及排出閥101b、102b。又，在氬分析計31的四向閥33與氧分析計41的四向閥43之間，設(shè)有在分析管路32a采樣的氬氣導(dǎo)入氧分析計41的氬代行分析管路103，及在分析管路42a采樣的氧氣導(dǎo)入氬分析計31的氧代行分析管路104，而且，個別設(shè)置遮斷閥103a、104a及排出閥103b、104b。
如圖5所示，氮分析計11的四向閥13的內(nèi)部流路13a，切換成連通分析管路12a與氮代行分析管路101，則在氮分析計11分析的全部氮氣可通過氮代行分析管路101，流向氫分析計21的四向閥23，在經(jīng)排出閥101b排出氮氣的清潔操作完后，關(guān)閉排出閥101b并打開遮斷閥101a，再切換氫分析計21的四向閥23，氮氣就可導(dǎo)入氫分析計21分析。
同樣地操作各四向閥，各遮斷閥，各排出閥，就可進行氫氣在氮分析計11，氬氣在氧分析計41，氧氣在氬分析計31的代行分析。如此，有互相反應(yīng)性如氧與氫的樣本混合的場合，要避免其混合選擇代行分析計，選定使用分析與氫氧無反應(yīng)性的樣本的氮分析計11或氬分析計31，免除安全上的問題，也可防止分析精度的惡化。
圖6為本發(fā)明的分析系統(tǒng)的第三實施例的系統(tǒng)圖。氬分析計31不做其它樣本的代行分析，或不能代行分析的場合之例。也就是說，從氬分析計31的四向閥33，只設(shè)置氬送出管路105，經(jīng)遮斷閥105a連接氫分析計21的四向閥23。
在氮分析計11的四向閥13與氫分析計21的四向閥23，與圖5所示的第二實施例相同，設(shè)有氮代行分析管路101包括遮斷閥101a與排出閥101b，及氫代行分析管路102包括遮斷閥102a與排出閥102b。氮代行分析路101與前述氬送出管路105接合后連接四向閥23。
因此，在分析管路12a采自氣體管路10的氮氣樣本，可依四向閥13、遮斷閥101a、排出閥101b及四向閥23的操作，導(dǎo)入氫分析計21代行分析。在分析管路22a采自氣體管路20的氫氣樣本，可依四向閥23、遮斷閥102a、排出閥102b及四向閥13的操作，在氮分析計11代行分析。在分析管路32a采自氣體管路30的氬氣樣本，經(jīng)四向閥33、遮斷閥105a與四向閥23的操作，可在氫分析計21代行分析。
四向閥13、23、33的各內(nèi)部路形成圖6所示的狀態(tài)，則在分析管路32a采自氣體管路30的氬氣樣本，可通過四向閥33的內(nèi)部流路33a，經(jīng)送出側(cè)代行分析管105、遮斷閥105a、四向閥23的內(nèi)部流路23b、氫代行分析管路102、遮斷閥102a、四向閥13的內(nèi)部流路13b，再經(jīng)分析管路12b導(dǎo)入氮分析計11。
圖7為本發(fā)明的分析系統(tǒng)的第四實施例的系統(tǒng)圖。本系統(tǒng)為氣體管路10、20、30、50分別流通的氮、氫、氬、氦(He)，用氮分析計11、氫分析計21、氬分析計31、氦分析計51的四臺分析計分別進行常時連續(xù)監(jiān)視分析的形態(tài)，加設(shè)有可分析各分析計的分析對象的共通分析計61之例。
進行常時連續(xù)監(jiān)視分析的各分析計11、21、31、51為測定各氣體中的微量氧氣濃度的微量氧分析計，共通分析計61為至少能測定微量氧濃度的分析計，如大氣壓離子化質(zhì)量分析計。
在由各氣體管路10、20、30、50采取樣本的分析管路12a、22a、32、52a，分別設(shè)置二連三向閥16、26、36、56做為管路切換設(shè)備。各二連三向閥的一側(cè)的閥16a、26a、36a、56a、經(jīng)分析管路12b、22b、32b、52b連接各分析計11、21、31、51。另一側(cè)的閥16b、26b、36b、56b，經(jīng)代行分析管路17、27、37、57連接共通分析計61。又，二連三向閥的連接共通分析計側(cè)的閥16b、26b、36b、56b為由序列發(fā)生器(sequencer)62控制開閉的自動閥，設(shè)定成任何時間，只能開一個閥。
在通常的狀態(tài)，閥16a、26a、36a、56a經(jīng)常開著，由各采樣點10a、20a、30a、50a采取流入分析管路12a、22a、32a、52a的氮、氫、氬、氦，通過閥16a、26a、36a、56a及分析管路12b、22b、32b、52b導(dǎo)入各分析計11、21、31、51，以進行不純物氧的常時連續(xù)監(jiān)視分析。
二連三向閥的共通分析計側(cè)的閥16b、26b、36b、56b為依一定的時間間隔，順序打開任一規(guī)定的閥，各樣本順次由打開的閥通過代行分析管路導(dǎo)入共通分析計61，分析含氧的各種不純，例如在氦氣中的氧、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氮、氫等不純物。對其他的氣體，也可以除了主成份，做同樣的分析。因此，共通分析計61，成經(jīng)常在分析任一種氣體的狀態(tài)。
在常時連續(xù)監(jiān)視分析狀態(tài)時，任一分析計譬如氮分析計11輸出異常值的場合，首先將由管路10供應(yīng)的氮氣切換改用備用氮氣供給，同時，二連三向閥的共通分析計側(cè)的閥16b，較其它的閥26b、36b、56b優(yōu)先打開，成共通分析計61優(yōu)先分析氮氣的狀態(tài)。
再將輸出異常值的氮氣，經(jīng)別的管路由外部試料導(dǎo)入閥63導(dǎo)入共通分析計61，與氣體管路10的備用氮氣切換交替分析，做為調(diào)查原因的分析。由此，可再確認氮氣中是否確實有氧混入，而且，其它成份也可確認，也可活用于空氣漏入等原因的調(diào)查。
氮氣中氧氣混入的原因查明的場合，其原因消除之后再做同樣分析，如已沒問題，即可將備用氮氧的供給切換回正常的氮氣供給。
氮分析計11故障的場合，也可開閥16b利用共通分析計61進行氮氣的代行分析，該共通分析計61可繼續(xù)做常時連續(xù)監(jiān)視分析，所以，也可如平常時繼續(xù)供給氮氣。此期間，可關(guān)閉閥16a進行氮分析計的卸下修理，修理后的安裝，或分析計的交換皆無困難。
如此，設(shè)共通分析計61順序切換分析各樣本，不僅可使用為常時連續(xù)監(jiān)視分析的各分析計的交叉校對(cross check)，也可做為故障或異常時的迅速對應(yīng)的備用分析計使用。更在各分析計的入口部個別設(shè)置外部氣體導(dǎo)入用遮斷閥18、28、38、58，由此遮斷閥引導(dǎo)校正氣體入各分析計進行校正之際，也可用二連三向閥的操作，一面做分析計的校正，同時利用共通分析計61代行分析，氣體的供給及常時連續(xù)監(jiān)視分析不致中斷。
以上各實施例中，采樣點及分析計的數(shù)量，樣本的種類或性狀為任意者，同一氣體通過復(fù)數(shù)管路的場合也相同。又，各分析計也可使用任意的分析計。
如上所述，依本發(fā)明，常時連續(xù)監(jiān)視分析計發(fā)生異常值或故障時等的非常時，可迅速做暫時的支持，可在現(xiàn)場迅速判斷其發(fā)生原因。更因縮短故障時分析計不能在采樣點監(jiān)視的時間，可極力減少氣體監(jiān)視的死角。還有，分析計的異常時，可迅速追究原因早期決解對策，也可極力縮短不能在采樣點的樣本分析的期間，而且，因校正裝置的可共有化，不需要每一分析計設(shè)校正裝置。
權(quán)利要求
1.一種分析系統(tǒng)，是對復(fù)數(shù)個的采樣點個別設(shè)置對應(yīng)的分析計，各采樣點采取的樣本，分別由各該對應(yīng)的分析計分析的分析系統(tǒng)，其特征在于在各分析計有由各該對應(yīng)的采樣點導(dǎo)入樣本的分析管路，及向其它分析計中能夠分析同種分析對象的分析計，送出前述樣本的送出側(cè)代行分析管路，分別經(jīng)管路切換設(shè)備可以切換連接，且至少有一個分析計連接由其它分析計經(jīng)管路切換設(shè)備送出樣本的受入側(cè)代行分析管路。
2.如權(quán)利要求1所述的分析系統(tǒng)，其特征在于其中的管路切換設(shè)備為三向閥或四向閥。
3.如權(quán)利要求1所述的分析系統(tǒng)，其特征在于其中的代行分析管路有遮斷該代行分析管路的遮斷閥，并有由該代行分析管路連通系統(tǒng)外部的排出管路及遮斷該排出管路的遮斷閥。
4.如權(quán)利要求1所述的分析系統(tǒng)，其特征在于其中的代行分析管路連接，其分析樣本間無反應(yīng)性的分析計。
5.一種分析系統(tǒng)，是對復(fù)數(shù)的采樣點個別設(shè)置對應(yīng)的分析計，各采樣點采取的樣本，分別由各該對應(yīng)的分析計分析的系統(tǒng)，其特征在于除上述復(fù)數(shù)的分析計外，加設(shè)可分析各分析計的分析對象的共通分析計，在上述各分析計有由該對應(yīng)的采樣點導(dǎo)入樣本的分析管路，及連接經(jīng)管路切換設(shè)備以切換導(dǎo)入樣本至共通分析計的代行分析管路。
6.如權(quán)利要求5所述的分析系統(tǒng)，其特征在于在該共通分析計，除前述代行分析管路外，尚備有由外部導(dǎo)入樣本的外部樣本導(dǎo)入管路。
7.一種分析方法，對復(fù)數(shù)采樣點，以復(fù)數(shù)的分析計個別對應(yīng)設(shè)置，各采樣點采取的樣本，分別由各該對應(yīng)的分析計分析的分析方法，其特征在于有一個分析計發(fā)生異常的場合，可將該分析計的全部樣本導(dǎo)入其它分析計中可分析同種對象的分析計，在該分析計進行代行分析。
8.如權(quán)利要求7所述的分析方法，其待征在于該其它分析計，將本身全部樣本的分析與前述發(fā)生異常的分析計的全部樣本的代行分析交替進行。
9.一種分析方法，對復(fù)數(shù)采樣點，以復(fù)數(shù)的分析計個別對應(yīng)設(shè)置，各采樣點采取的樣本，分別由各該對應(yīng)的分析計分析的分析方法，其特征在于在前述復(fù)數(shù)的分析計之外，加設(shè)可分析各分析計的分析對象的共通分析計，將各分析計分析的全部樣本，順次切換導(dǎo)入共通分析計，在共通分析計邊切換邊進行分析。
10.如權(quán)利要求9所述的分析方法，其特征在于該共通分析計在有一分析計發(fā)生異常的場合，優(yōu)先分析該分析計的全部樣本。
全文摘要
本發(fā)明提供一種常時監(jiān)視氣體的分析計,異常時不能連續(xù)測定的場合,提供可支持連續(xù)監(jiān)視狀態(tài)及調(diào)查異常原因的分析系統(tǒng)及方法。其方式為在各采樣點10a、20a、30a測定氣體的分析計11、21、31的樣本導(dǎo)入部設(shè)有三向閥或四向閥13、23、33等管路切換設(shè)備,在發(fā)生異常值或故障時,控制管路切換設(shè)備的開閉,可在其它的分析計連續(xù)或間歇地測定異常的采樣點的氣體。
文檔編號G01N1/00GK1370996SQ0210342
公開日2002年9月25日 申請日期2002年2月5日 優(yōu)先權(quán)日2001年2月15日
發(fā)明者西名明, 菊地勉, 君島哲也 申請人:日本酸素株式會社